JPH02143477A - レーザ共振器 - Google Patents
レーザ共振器Info
- Publication number
- JPH02143477A JPH02143477A JP63294670A JP29467088A JPH02143477A JP H02143477 A JPH02143477 A JP H02143477A JP 63294670 A JP63294670 A JP 63294670A JP 29467088 A JP29467088 A JP 29467088A JP H02143477 A JPH02143477 A JP H02143477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- wind tunnel
- resonator
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、共振器室内部のレーザガス停滞空間を縮小し
共振器の小形コンパクト化すべて共振ミラーを配置した
安定型及び不安定型のレーザ共振器に関する。
共振器の小形コンパクト化すべて共振ミラーを配置した
安定型及び不安定型のレーザ共振器に関する。
（従来の技術）
大出力の炭酸ガスレーザ共振器（以下ＣＯ２レーザ発振
器と呼ぶ）は溶接、切断、熱処理等の加工条件により、
それに対応した加工性能に適した共振器を採用する。
器と呼ぶ）は溶接、切断、熱処理等の加工条件により、
それに対応した加工性能に適した共振器を採用する。
レーザ共振器には、切断、熱処理等に適した安定型共振
器とｍ接に適した不安定型共振器があり、第２図に示す
ように一対の反射ミラーにより構成され、レーザ光出力
側は出力ミラー１．リア側は凹面ミラー２が使用される
。
器とｍ接に適した不安定型共振器があり、第２図に示す
ように一対の反射ミラーにより構成され、レーザ光出力
側は出力ミラー１．リア側は凹面ミラー２が使用される
。
前記反射ミラーを備えた安定型及び不安定型共振器の従
来構成側を第３図により説明する。
来構成側を第３図により説明する。
真空状態に保持された風洞８内の放電部９の放電によっ
て励起したレーザガス１０からのレーザ光を共振させる
反射ミラー（出力ミラー及び凹面ミラー）１，２は、ミ
ラーホルダー３により支持固定されレーザ光通過孔を形
成するアパーチャ１１を具備している。前記反射ミラー
１，２及びミラーホルダー３．アパーチャ１１はレーザ
光軸合せのためアパーチャ１１によりミラー姿勢を調整
するミラー調整ネジ７及び伸縮可能なベローズ１２を有
し共振器板４及びプレート５に取付けられる。
て励起したレーザガス１０からのレーザ光を共振させる
反射ミラー（出力ミラー及び凹面ミラー）１，２は、ミ
ラーホルダー３により支持固定されレーザ光通過孔を形
成するアパーチャ１１を具備している。前記反射ミラー
１，２及びミラーホルダー３．アパーチャ１１はレーザ
光軸合せのためアパーチャ１１によりミラー姿勢を調整
するミラー調整ネジ７及び伸縮可能なベローズ１２を有
し共振器板４及びプレート５に取付けられる。
さらに伸縮可能なベローズ６を介し取付けられており、
該ベローズ６により風洞８より発生する振動を吸収し上
記反射ミラー１，２に与える風洞８の振動の影響を防ぎ
、安定したレーザ光を得ることの出来る共振器構成とな
っている。
該ベローズ６により風洞８より発生する振動を吸収し上
記反射ミラー１，２に与える風洞８の振動の影響を防ぎ
、安定したレーザ光を得ることの出来る共振器構成とな
っている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら前記共振器構成によれば、反射ミラー１，
２を支持固定するミラーホルダー３及びレーザ光通過孔
であるアパーチャ１１は言うに及ばずレーザ光軸合せ機
構さらには風洞８の振動吸収機能は安定したレーザ光を
得るため必要な構成となるため、第３図に示す通り共振
器全体の長さΩが大きくなり、レーザ発振器全体外形に
占める共振器の割合いが大きくなっている。従ってレー
ザ発振器の据付スペース及びメンテナンススペースが大
きくなる欠点があった。
２を支持固定するミラーホルダー３及びレーザ光通過孔
であるアパーチャ１１は言うに及ばずレーザ光軸合せ機
構さらには風洞８の振動吸収機能は安定したレーザ光を
得るため必要な構成となるため、第３図に示す通り共振
器全体の長さΩが大きくなり、レーザ発振器全体外形に
占める共振器の割合いが大きくなっている。従ってレー
ザ発振器の据付スペース及びメンテナンススペースが大
きくなる欠点があった。
又、上述の通り共振器全体の長さＱが大きくなることは
共振器室空間容積Ｖが大きく風洞８内を循環するレーザ
ガス１０はこの共振器室が停滞空間となり滞留してしま
う。レーザガス１０が停滞する共振器室は当然レーザ光
軸となるためレーザ光により停滞したレーザガス１０の
温度は上昇する。この温度上昇したレーザガスはレーザ
吸光作用があることから共振器室内において急激にレー
ザ出力が低下するという現象があった。
共振器室空間容積Ｖが大きく風洞８内を循環するレーザ
ガス１０はこの共振器室が停滞空間となり滞留してしま
う。レーザガス１０が停滞する共振器室は当然レーザ光
軸となるためレーザ光により停滞したレーザガス１０の
温度は上昇する。この温度上昇したレーザガスはレーザ
吸光作用があることから共振器室内において急激にレー
ザ出力が低下するという現象があった。
そこで本発明の目的は、一対の反射ミラーにより構成さ
れた安定型及び不安定型共振器において共振器自身を小
形コンパクト化し据付スペース及びメンテナンススペー
スの縮小と安定したレーザ出力を得ることの出来るレー
ザ共振器を提供することを目的とする。
れた安定型及び不安定型共振器において共振器自身を小
形コンパクト化し据付スペース及びメンテナンススペー
スの縮小と安定したレーザ出力を得ることの出来るレー
ザ共振器を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
かかる目的を達成するため風洞に取付けられた伸縮可能
なベローズの内部に反射ミラーと反射ミラーを支持固定
するためのレーザ光通過孔を形成したミラーホルダーを
配設し反射ミラーを放電部近傍に配置したことを特徴と
する。
なベローズの内部に反射ミラーと反射ミラーを支持固定
するためのレーザ光通過孔を形成したミラーホルダーを
配設し反射ミラーを放電部近傍に配置したことを特徴と
する。
（作用）
以上のように構成された本発明のレーザ共振器によれば
共振器室内まレーザガス停滞空間を縮小することが出来
、共振器室内におけるレーザ吸光作用を防止し、安定し
たレーザ出力を得ることが出来ると共に共振器の小形コ
ンパクト化をすることが出来る。
共振器室内まレーザガス停滞空間を縮小することが出来
、共振器室内におけるレーザ吸光作用を防止し、安定し
たレーザ出力を得ることが出来ると共に共振器の小形コ
ンパクト化をすることが出来る。
（実施例）
以下に本発明の安定型及び不安定型レーザ共振器の一実
施例を第１図に基づいて説明する。
施例を第１図に基づいて説明する。
第１図に示すように真空状態に保持された風洞８内の放
電部９によって励起したレーザガス１０からのレーザ光
を共振させる反射ミラー（出力ミラー及び凹面ミラー）
１，２は、ミラーホルダー３により支持固定される。前
記反射ミラー１，２支持固定用のミラーホルダー３は、
ミラーホルダー自身でレーザ光通過孔を形成しアパーチ
ャを成す構成としている。
電部９によって励起したレーザガス１０からのレーザ光
を共振させる反射ミラー（出力ミラー及び凹面ミラー）
１，２は、ミラーホルダー３により支持固定される。前
記反射ミラー１，２支持固定用のミラーホルダー３は、
ミラーホルダー自身でレーザ光通過孔を形成しアパーチ
ャを成す構成としている。
そして前記反射ミラー１，２及びミラーホルダー３は共
振器板４に取付けられさらにレーザ光軸合せのため該共
振器板４により前記反射ミラー１゜２の姿勢を調整する
ミラー調整ネジ７を有しプレート５及び伸縮可能なベロ
ーズ６に取付けられている。又、上記ベローズ６は反射
ミラー１，２の姿勢調整時の伸縮機とする他に、風洞８
に取付は風洞８から発生する振動を吸収する役目も有し
ている。
振器板４に取付けられさらにレーザ光軸合せのため該共
振器板４により前記反射ミラー１゜２の姿勢を調整する
ミラー調整ネジ７を有しプレート５及び伸縮可能なベロ
ーズ６に取付けられている。又、上記ベローズ６は反射
ミラー１，２の姿勢調整時の伸縮機とする他に、風洞８
に取付は風洞８から発生する振動を吸収する役目も有し
ている。
ここで、前記反射ミラー１，２が風洞８に取付けた反射
ミラー姿勢調整用及び風洞８振動吸収用のベローズ６内
部に設置されるようにミラーホルダー３を構成し、反射
ミラー１，２を風洞８内の放電部９近傍に配置し共振器
室内の空間を最小限となるように構成する。
ミラー姿勢調整用及び風洞８振動吸収用のベローズ６内
部に設置されるようにミラーホルダー３を構成し、反射
ミラー１，２を風洞８内の放電部９近傍に配置し共振器
室内の空間を最小限となるように構成する。
上記構成によればミラーホルダー自身でレーザ光光通過
孔を形成しているため単独で形成するレーザ通過孔を設
ける必要がなく、又、光軸合せのためのミラー姿勢調整
機能及び風洞からの振動を吸収する機能を有する伸縮可
能なベローズを１個取付ければよくかつ該ベローズの内
部に反射ミラーが配置されるため共振器が小形コンパク
ト化されている。
孔を形成しているため単独で形成するレーザ通過孔を設
ける必要がなく、又、光軸合せのためのミラー姿勢調整
機能及び風洞からの振動を吸収する機能を有する伸縮可
能なベローズを１個取付ければよくかつ該ベローズの内
部に反射ミラーが配置されるため共振器が小形コンパク
ト化されている。
以上述べたように本発明によれば単独のレーザ光通過孔
であるアパーチャを設ける必要がなく１個の伸縮可能な
ベローズで反射ミラーの姿勢調整及び風洞の振動伝達を
防止する機能を有しかつ該ベローズ内に反射ミラーを設
は放電部近傍に配置した構成となっているため、共振器
は部品数が少なく小形コンパクト化されレーザ発振器全
体外形に占める割合が小さく、従って、レーザ発振器の
据付スペース及びメンテナンススペースが小さくてよい
。さらに小形コンパクト化されたことにより共振器室空
間が最小限となることからレーザガスは共振器室内にお
いて滞留することなく常に循環されることになる。共振
器室内でのレーザガス滞留がないためその部分における
レーザガスの極部温度上昇が回避されレーザ吸光作用を
防止することが出来る。
であるアパーチャを設ける必要がなく１個の伸縮可能な
ベローズで反射ミラーの姿勢調整及び風洞の振動伝達を
防止する機能を有しかつ該ベローズ内に反射ミラーを設
は放電部近傍に配置した構成となっているため、共振器
は部品数が少なく小形コンパクト化されレーザ発振器全
体外形に占める割合が小さく、従って、レーザ発振器の
据付スペース及びメンテナンススペースが小さくてよい
。さらに小形コンパクト化されたことにより共振器室空
間が最小限となることからレーザガスは共振器室内にお
いて滞留することなく常に循環されることになる。共振
器室内でのレーザガス滞留がないためその部分における
レーザガスの極部温度上昇が回避されレーザ吸光作用を
防止することが出来る。
従って安定したレーザ出力を得ることが出来る。
第１図は本発明による安定型及び不安定型のレーザ共振
器の構成を示す断面図、第２図はレーザ共振器原理を示
す概略図、第３図は従来のレーザ共振器構成を示す断面
図である。 １・・・出力ミラー ２・・・凹面ミラー ３・・・ミラーホルダー ４・・・共振器板 ５・・・プレート ６・・・ベローズ ７・・・ミラー調整ネジ ８・・・風洞 ９・・・放電部 １０・・・レーザガス １１・・アパーチャ １２・・・ベローズ 第２図 第１図 第３図
器の構成を示す断面図、第２図はレーザ共振器原理を示
す概略図、第３図は従来のレーザ共振器構成を示す断面
図である。 １・・・出力ミラー ２・・・凹面ミラー ３・・・ミラーホルダー ４・・・共振器板 ５・・・プレート ６・・・ベローズ ７・・・ミラー調整ネジ ８・・・風洞 ９・・・放電部 １０・・・レーザガス １１・・アパーチャ １２・・・ベローズ 第２図 第１図 第３図
Claims (1)
- 真空状態に保持された風洞内における放電によって励起
したレーザガスからのレーザ光を共振させる一対の反射
ミラーを備えると共に該反射ミラーを支持固定するため
ミラーホルダー及びレーザ光通過孔を形成するアパーチ
ャと上記風洞に対し伸縮可能なベローズを設けたレーザ
共振器において風洞に取付られた伸縮可能なベローズの
内部にミラーホルダーに支持固定された反射ミラーを配
設することにより前記反射ミラーを放電部近傍に配設し
かつ、前記ミラーホルダー自身でレーザ光通過孔を形成
し、アパーチャとしたことを特徴とするレーザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294670A JPH02143477A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294670A JPH02143477A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02143477A true JPH02143477A (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=17810786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63294670A Pending JPH02143477A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02143477A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP63294670A patent/JPH02143477A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
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