JPH02144110A - クリーンルーム用エアクリーナおよびこれを利用する衣服内集塵パイプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、最近、盛んに行なわれる半導体デバイス製造
、無菌手術等に利用されるクリーンルーム内で使用され
、そのクリーンルーム内の防塵、制塵のためクリーンル
ーム内で使用するクリーンルーム用エアクリーナ、特に
人体から発生する應挨を清浄衣の外側に放出することの
ないクリーンルーム用エアクリーナに関する。

〔技術の背景〕

近年における高度テクノロジーの発達に伴ない電子、精
密工業、医薬、醸造、化粧品等の分野において、空気中
の塵埃を極端におさえたクリーンルームが必要とされ、
中でも半導体製造の分野では、クリーンルーム内のクリ
ーン度が半導体の品質性能に大きな影響を与えるし、ま
た、病院の手術室でも、手術後の傷口の回復の配慮等か
ら清浄な室内で手術をする必要が生じている。これらの
クリーンルーム内では、外部からの塵埃が侵入しないよ
うに配慮することはもとより、該クリーンルーム内に従
事する作業者自身の人体からの発塵にも注意を払う必要
がある。

本願出願人らは、このようなりリーン ルーム内での防塵、制塵に使用される空気吸引式白衣お
よびクリーンルーム用空気清浄装置に関し、特開昭６３
年第１０８１４０号を既に提案し、第９図に示すような
フィルタ７１、集塵器７２、吸引ポンプ７３からなる携
帯用空気清浄器に言及している。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、この特開昭６３年第１０８１４０号公報に示
した携帯用空気清浄器および衣服内集塵パイプの改良型
に関するもので、第９図に示した携帯用空気清浄器は、
図からも明らかなように従来の筒型のフィルタ７１．集
塵器７２、吸引ポンプ７３からなるので、携帯用とはい
っても、人体へ着用に際して、不便であると共に、人体
の腰部分等に取り付けられた際にも、円筒状で比較的大
きな体積容量を有するので、着用者の作業の邪魔になり
、作業性を著しく阻害する等の欠点があった。

〔上記問題点を解決するための手段〕

そこで、本発明は、上記の携帯用空気清浄器を改良して
、その形状をコンパクトに、かつ、軽量に形成して、携
帯に一層便利なようにするとともに、その形状に関して
も、着用に際して、着用者の人体に密着させ、作業の邪
魔になることを防止できるような形状とし、かつ、特開
昭６３年第１０８１４０号公報に示した空気吸入式白衣
の使用と相持って作業従事者の人体から発塵する塵埃を
クリーンルーム内に巻きちらさないようにすることを目
的とするクリーンルーム用エアークリーナとしたもので
ある。

このため、本発明は、兵弐飯愈型の形状を有し、この形
状に沿った空気流通経路を有し、前記兵式飯念型の形状
の上端に設けられた空気吸入口と、該空気吸入口直下に
設けられた銅メッキ法シートコイル等を使用したブラシ
レスモータおよび該モータに直結されたシロッコファン
と、これらブラシレスモータおよびシロッコファンの横
位置に設けられたフィルタと、該フィルタの横位置で、
前記兵式飯★型の形状の下端に設けられた排気口と、お
よび前記ブラシレスモータおよびシロッコファンの下に
着脱自在に設けられた一体型バッテリとを有する清浄底
内の空気の吸引を目的としたクリーンルーム用エアクリ
ーナであり、これを利用する衣服内集塵パイプを改良し
たものでる。

〔発明の作用〕

本発明は、銅メッキ法シートコイル等を使用したブラシ
レスモータおよびこのモータに直結されたシロッコファ
ンを使用することにより、重量の軽量化と省スペースを
可能とし、ガラス繊維材質からなるＨＥＰＡフィルタ（
ｔ（ｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌ
ａｔｅＡｉｒ　Ｆｌｌｔｅｒ）を前記ブラシレスモータ
およびシロッコファンの横位置に配置した構成により、
特徴のある兵式飯盒型の外形形状のエアクリーナとし、
着用に際し、着用者の人体への密着性を改善し、着用者
の作業性の高いクリーンルーム用エアークリーナ本体と
し、また、該エアークリーナ本体に付属する柔軟で人体
にパイプの吸引用空気口が密着することなく空気吸引を
可能とするコルゲートパイプを使用した改良された衣服
内集塵パイプである。

（発明の実施例］ 本発明を一実施例図面に基づいて詳細に説明する。

第１図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の一実施例である兵式飯
盒型の形状のエアークリーナの外形形状を上側および下
側から見た図であり、第２図は、第１図に示した本実施
例に係るエアクリーナの断面図である。

第１図（Ａ）（Ｂ）および第２図において、１は本発明
に係るエアークリーナ本体、２は該本体上部右端に設け
られる吸気口、３は該本体下部左端に設けられる排気口
、４はスイッチ、５はＡＣアダプタ用コネクタ、６はバ
ッテリーケース部であ る。

本実施例におけるエアークリーナは、人体に密着する兵
式飯念型の形状に形成され、着用者が着用する清浄衣の
中から吸引される空気は、着用者の発する塵埃とともに
前記吸気口２に吸引され、排気口３から外部に排出され
る。また、７は径３５［ｌ１ｒＱの特徴ある形状のシロ
ッコファンであり、空気の流れを円滑にし、エアークリ
ーナの容積を小さくするため、前記吸気口２の直下に形
成される。

８はこのシロッコファン７に接続される直径３５ｍｍ、
厚さ１２．５ｍｍのブラシレスモータである。９はファ
ンの空気吐き出し口、１０は、ガラス繊維製ＨＥＰＡフ
ィルタ（Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉ
ｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ　Ｆｉｌｔｅｒ）であり、フィル
タケース１４に収納される。

本実施例に使用されるＨＥＰＡフィルタ１０およびフィ
ルタケース１４の具体的形状を、第３図に示す。

該ＨＥＰＡフィルタ１０は、ガラス繊維を主体としたろ
過フィルタであり、ろ材の折り込み構造を標準よりは、
細かく、すなわち、八つ折りにしたトラス状ろ材を重ね
ることによって、全体として６０ｍｍｘ　６５ｍｍＸ　
４５ｍｍの寸法形状を有するフィルタを構成し、当該フ
ィルタ１０は、性能的には、単位面積当りのる材面績を
標準の二倍の広さとなるようにして空気通過時の圧力損
失が小さくなるようにし、０．３マイクロミリメートル
の微粒子の９９．９７に以上の捕集を可能とするもので
ある。また、上記フィルタケース１４は、ＡＢＳ樹脂か
らなるフィルタケース１４としたため、当該ケース枠自
体からの発塵がなく、また、フィルタ枠にナツト１５が
インサートされた構造としたため、該フィルタ１０を取
り付ける際に該フィルタエ０がずれることがなく、簡単
に、しかも、ケース１４に正確に取り付けることができ
、フィルタ枠周辺からの空気溜れの無い構造としている
。

また、前記空気吸気口２には、コルゲートバイブからな
る衣服内集塵パイプ２０が取り付けられる。

第４図にその集塵バイブ２０の具体的構成の一実施例を
示す。

この第４図に示した集塵パイプ２０は、半袖タイプの清
浄衣の内側に配置される集塵パイプ２０の一実施例であ
る。本実施例では、図面上明らかではないが、この集塵
パイプ２０をコルゲートパイプ材質としたものである。

パイプの材質をコルゲートバイブとしたことによって、
柔軟性に富み、曲げても扁平になることはなく、したが
って、空気流通に優れるばかりでなく、バイブ表面にリ
ブ状の凸部と、これに対応した凹部を有するので、当該
凹部に空気口を設けた場合には、該空気口が人体の肌や
該バ、イブを覆う布地等で閉塞されることがなく、この
面からも空気流通に優れたものであ る。

該集塵バイブ２０は、第４図に示すように、カチット１
１により、一方が前記空気吸気口２に接続され、他方が
衣服内において各部の空気を吸引するバイブ２１〜３０
に分岐する１字ジヨイント１２に接続されたバイブ１３
から構成され、該パイプ２１〜３０は、さらに襟口部バ
イブ２１〜２４、腕部バイブ２７〜３０およびこれらの
間を接続する接続バイブ２５．２６からなり、これら各
パイプは、第４図に示されるように、数個のＴ字ジヨイ
ント３１〜３４によって接続され、前記シロッコファン
７によって負圧が掛けられることによって、前記空気吸
気口２を通じて首部および両腕部から発塵した塵埃が空
気と共に吸引されるようにしたものである。

本発明に係るクリーンルーム用エアク リーナおよびこれを利用する衣服内集塵バイブ２０は、
小型軽量化されたファン７を有し、かつ、長時間使用を
可能とするためには、本実施例に係る集囲バイブ２０の
通気抵抗を小さくする必要があり、このため種々の実験
結果から、第４図に示したような構成の集塵パイプ２０
とし、かつ、衣服内の空気を均一に吸引するためには、
バイブ長にを襟口部パイプ２１〜２４については、１５
ｍｒＱ間隔で、腕部バイブ２７〜３０については３０ｍ
ｍ間隔で開口することが、最も適当であり、したがって
、襟口部パイプ２１〜２４には、全体で２５個の開口穴
〇〇を、腕部バイブ２７〜３０には、全体で１５個の開
口穴６６を開けることによって、すなわち、着用者の襟
口、袖口部からの合計毎分約ｉｏｎ程度の空気吸引を行
なえるようにしたちのである。

なお、前記開口穴６６のパイプ上の位置については、着
用者の作業中に衣服や肌によって、該穴が閉塞されてし
まわないようにバイブを支持する布地に対し直角に開口
せしめ、襟口部パイプ２１〜２４では、上方向すなわち
頭方向に開口し、腕部バイブ２７〜３０では、手先方向
に向けて開口するように本実施例では工夫されたもので
ある。

なお、該集塵バイブ２０は、クリーンルーム内で使用さ
れる着用者の衣服の内部に配置されるのであるが、その
衣服内のパイプの配置構成は、第４図に示した半袖タイ
プのものばかりでなく、第５図（Ａ）に示すような、つ
なぎ長袖タイプの衣服や、同図（Ｂ）に示すような上下
分割の長袖タイプのような変形実施例がある。これらの
場合には、同図（Ｃ）に示すように、衣服のフード部　
の取り付は位置に前記襟口部パイプ２１〜２４が、前記
腕部バイブ２７〜３０が府下に位置するように袖裏に取
り付けられる。本実施例は、長袖タイプに対応した清浄
衣であるため、第４図に示したのとは異なり、苦干長め
接続パイプ２５’　　２６’を使用したパイプの配置構
成を取り、その衣服の内側に配置される前記集朋バイブ
２０は、同図（Ｄ）が示すようなテープ４６とドツトボ
タン４７とで適当な箇所に固定できるようにしである。

すなわち、衣服は、清潔さを保つためにも、適宜洗ａ等
を必要とし、取り変え着用されるため、それらの場合に
も、前記集塵パイプ２０を衣服の内側に交換可能に配置
でとるようにするものであ る。

また、同図（Ｄ）に示すような取り付は手段を講じるこ
とによって、同じ前記集塵バイブ２０を同図（Ｂ）に示
したような上下分割長袖タイプの清浄衣にも対応でき る。

なお、第１図および第２図に示した実施例に係るエアク
リーナ本体１では、空気吸引の実効仕様として、定格毎
分約１０℃程度を３．６Ｖの低電圧で稼動するモータ８
を使用したので、この実効仕様に耐え得るようにしたも
のである。

また、携帯するための要請からは、少しでも軽量なモー
タでなければならず、例えば、旭化成ＩＦＰコイルを使
用した前記ブラシレスモータ８を採用した。なお、空気
の吸引のため、および携帯の便宜、さらには、人体に密
着する形状構造のためには、前記モータ８の取り付けら
れるファン７は、前記モータ８の回転数およびトルクと
の関係からシロッコファンがもつとも適当であり、しか
も、その具体的ファン７の形状は、羽数１５枚、取り付
は勾配２４°　径２１ｍＩＩ＋から３５ｍ＋ｎまでの内
部空芯状のシロッコファンがもっとも適当であった。

第６図（Ａ）（Ｂ）に、前記シロッコ ファン７の具体的形状を示す。

第６図（Ａ）は、該シロツコフアンマの平面図、同（Ｂ
）は、その断面図である。

第６図（Ａ）（Ｂ）において、５１はシャフト軸、５２
はファン羽で、本実施例においては、１５枚の羽数を有
し該別５２の取り付は勾配は２４″とした。また、５３
は、同シロッコファン７のファン基台である。

また、吸引された空気の濾過のための、濾過部材として
のガラス繊維製フィルタ１０は、前述したように、単位
面積当りのる材面積を標準の二倍の広さとなるようにし
て、０．３マイクロミリメートルの微粒子を９９．９７
′３６以上の捕集を可能とするガラス繊維を主体とした
）ＩＥＰＡフィルタを使用することが、前記モータ８の
能力およびファン７の特性との関係から適当であり、本
実施例では、これらの各構成部品の特性に鑑み、先の第
１図および第２図に示した長さ１５７．５ｍｍ、長辺部
の長さ１００．５ｎ＋ｍ　、幅５　（ｌｎｍ、短辺部の
長さ３６．２＋ｎｍ、幅５３ｍ＋ｎ、高さ夫々９３ｍｍ
の兵式飯盒型形状のエアクリーナ本体１とし、さらに、
各構成部品に関しても、前記のようにシロツコフアンマ
を径３５ｍｍ、幅１０　、５ｍｍのものを使用し、吸気
口２および排気口３に径８ｍ［１１のものを使用したも
のである。

なお、本発明に係るエアクリーナ本体１の形状に関して
は、前記排気口３の取り付は位置が、第１図に示したの
実施例とは逆に、前記吸気口２と同じ面に取り付けられ
るように構成しても良く、かかる場合には、エアクリー
ナ本体１を着用者が移動作業中は、人体に密着させて携
帯に便利なようにすることはもとより、着用者が、椅子
等に座って一定の場所において作業をする場合には、体
から外して、側の机等の上に置いて空気吸引を行なうこ
とができる。

このように構成されたエアクリーナ本体１の第２の実施
例について第７図に示す。

第７図において、各部の構成部分は、第１図において示
したと同様な符号をもって示している。

第７図に示す第２の実施例であるエアクリーナ本体１の
底面には、突起部材が出るような構成とはしないで、容
易に机等の上に載置できるように、スイッチ４およびＡ
Ｃアダプタ用コネクタ５をエアクリーナ本体１の側面に
配置している。

また、本実施例の使用に際しては、単に机、テーブル等
へ載置するというだけでなく、予じめこれらの机、テー
ブル等に取り付は構造とすることもでき、さらに、フィ
ルタ１０を挿入しないで直接クリーンルーム内の集中吸
引ダクトに接続されるようにしても良い。この場合、本
実施例に係るエアクリーナのモータｓＭ、源は、本実施
例のように、バッテリーケース部６に収納されたバッテ
リーから供給するようにしても良いが、また、クリーン
ルームの壁等に設けられた電源端子から供給されるよう
にしても良いものである。

第８図に、椅子５４に該エアクリーナ本体１の取り付は
金具５５を備え、作業者が　前記エアクリーナ本体１を
着用して、該椅子５４に腰掛けて使用する状態を示す実
施例図である。本実施例においては、エアクリーナ本体
１は、前記取り付は金具５５によって着用者が座る椅子
５４に取り付けられ、着用者とエアクリーナ本体１の間
は、バイブ１３で、また該エアクリーナ本体１には排気
用バイブ４２がそれぞれ取り付けられて、人体からの塵
埃を着用者の足元に導くようにする。

（発明の効果） 本発明によれば、コンパクトに形成された簡易な構成の
クリーンルーム用エアクリーナによって、携帯に便利で
、かつ、兵式飯愈型形状とし、人体に密着する外径形状
としたので作業最中においても、着用者の作業性を阻害
せずに携行することができ、また、裸部、肩神都に配置
されるバイブ状空気吸引機構を従来の清浄入内に簡単に
一体的に適合せしめて、容易にクリーンルーム内のクリ
ーン度を向上させることができる。

また、クリーンルーム内での作業中は、作業者の側に該
エアクリーナを配置できるようにもすることによって、
特に座って作業をするような場合には、特別な取り付番
プ手段を椅子等に講じることによって、作業性がより向
上する。

また、コルゲートバイブ材からなる衣服内集塵バイブを
前記エアクリーナに取り付けるようにしたので、衣服内
に負圧を掛けて空気吸引を行なう場合にも、前記バイブ
の間口が閉塞されることがなく、前記適度な実効仕様を
有するエアクリーナの使用と相持って、クリーンルーム
内での着用者の作業性を格段に向上させることができ る。

さらに、この集塵バイブとエアクリーナの組み合わせに
係るのみならず、場合によっては、エアクリーナを単独
で使用して、例えば清浄な状態で部品を他所に運ぶ必要
のある場合等には、とのエアクリーナを密閉された運搬
ケース等に取り付け、浄化した空気を運搬ケースに吹ぎ
込むことによって、クリーンルームからクリーンルーム
への途中の運ｍＡ程においてのクリーン度を向上するこ
とができる。

また、前記集塵バイブは、別途クリーンルーム内に設け
られた塵埃をルーム外に排出する装置を使用し、前記バ
イブのカチットをこの装置の室内開口部に接続すること
によって、直接人体から発する塵埃を速やかにルーム外
に排出することができる。この場合、一定位置において
作業するような作業者には特に便利であり、バッチツリ
ーの実効時間を心配する必要がない等の実益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）（Ｂ）は、本発明の一実施例に係るエアー
クリーナの上側および下側の外形形状図、第２図は、同
エアクリーナの断面図、第３図は、本実施例に使用され
るＨＥＰＡフィルタおよびフィルタケースの具体的形状
図、第４図は、集塵バイブ０の具体的形状図、第５図（
Ａ）〜（Ｄ）は、つなぎ長袖タイプの衣服や、上下分割
の長袖タイプの衣服に集塵バイブを応用した変形実施例
図、第６図（Ａ）（Ｂ）は、本実施例に使用するシロッ
コファンの具体的形状図、第７図は、剥れ等の上に置い
て空気吸引を行なうように構成されたエアクリーナ本体
の他の実施例図、第８図は、綺子エアクリーナ本体を取
り付は可能にした構成を有する実施例図、第９図は、特
開昭６３年第１０８１４０号において提案されている従
来の携帯用空気清浄器。 １；エアークリーナ本体、２；吸気口、３；排気口、４
；スイッチ、５．ＡＣアダプタ用コネクタ、６；バッテ
リーケース部、７；シロッコファン、８；ブラシレスモ
ータ、９；空気吐き出し口、ｌＯ；フィルタ、１１．４
１；カチット、１２．３１〜３４：丁字ジヨイント、１
３；バイブ、１４：フィルタケース１５；ナツト、２０
；集廐バイブ、２１〜２４；襟口部パイプ、２５．２６
．２５’　　２６’、接続バイブ、２７〜３０：腕部バ
イブ、４２；排気バイブ、４６；テープ、４７；ドツト
ボタン、５１：シャフト軸、５２；ファン羽、５３；フ
ァン基台、５４；椅子、５５；取り付は金具、６６；開
口穴、７１：フィルタ、７２；集塵器、７３：吸引ポン
プ 第 図 （Ｂ） 第 第５図 （Ａ） 図 第 図 第５図 （Ｂ） 第５図 （Ｃ） （Ｄ） 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第８図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）兵式飯盒型の形状を有し、この形状に沿った空気
   流通経路において、前記兵式飯盒型の形状の上端に設け
   られた空気吸入口と、該空気吸入口直下に設けられた銅
   メッキ法シートコイル等を使用したブラシレスモータお
   よび該モータに直結されたシロッコファンと、該ブラシ
   レスモータおよびシロッコファンの横位置に設けられた
   ガラス繊維フィルタと、前記兵式飯盒型の形状の下端に
   設けられた排気口とから成ることを特徴とするクリーン
   ルーム用エアクリーナ。
2. （２）前記クリーンルーム用エアクリーナは、前記ブラ
   シレスモータおよびシロッコファンの下に着脱自在に設
   けられた一体型バッテリを有することを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のクリーンルーム用エアクリーナ
3. （３）一方が前記エアクリア本体の空気吸入口に接続さ
   れ、他方が衣服内の襟部分の空気を吸引する襟口部パイ
   プにＴ字ジョイントを介して接続され、該襟口部パイプ
   は、衣服の両袖部に配置され、両袖部分の空気を吸引す
   る腕部バイブに別途のＴ字ジョイントおよび接続パイプ
   を介して接続され、前記袖部パイプは、それぞれ途中位
   置に配置されるＴ字ジョイントを介して前記接続パイプ
   に連なり、袖口部パイプ、腕部パイプは、それぞれ１０
   〜３０個の空気口を有する構成からなることを特徴とし
   た特許請求の範囲第１項乃至第４項記載のエアクリーナ
   用衣服内集塵パイプ