JPH02144706U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係る光学式測定機の回転ミ
ラー取付構造の実施例を示す断面図、第２図は、
従来（及び本実施例）における光学式測定機の概
略構成を示す一部にブロツク線図を含む断面図、
第３図は、従来のポリゴンミラーの取付構造を示
す第１図相当の断面図、第４図は、第３図におけ
るミラーホルダを示す平面図である。 １０……レーザ光源、１４……固定ミラー、１
６……回転ミラー、１６Ａ……ポリゴンミラー、
１８……コリメータレンズ、２０……平行走査光
線ビーム、２２……集光レンズ、２４……被測定
物、２６……受光素子、５０……高速度走査型レ
ーザ測長機（光学式測定機）、８０……回転軸、
８２……フライホイール、８４……ミラーホルダ
、８６……隙間、８８……ねじ機構、９０……リ
ング。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転ミラー及びコリメータレンズで平行走査光
   線ビームを発生する手段及びこれを受光する手段
   を有し、該発生手段と受光手段との間に配置した
   被測定物により、前記平行走査光線ビームが遮ぎ
   られて生じる暗部又は明部への切替りを検出して
   、被測定物の走査方向寸法を測定するように構成
   した光学式測定機の回転ミラー取付構造において
   、 前記回転ミラーをミラーホルダに固着し、 該ミラーホルダを、モータ回転軸側に対して、
   あおり調整可能、且つ、モータ回転軸と同心回転
   可能に取付けると共に、 前記回転ミラーとミラーホルダとの間に、前記
   あおり調整を行つた際にミラーホルダがモータ回
   転軸側からの反力を受けて変形するのを吸収可能
   な隙間を形成した ことを特徴とする光学式測定機の回転ミラー取
   付構造。