JPH0214496U - - Google Patents

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JPH0214496U
JPH0214496U JP9338788U JP9338788U JPH0214496U JP H0214496 U JPH0214496 U JP H0214496U JP 9338788 U JP9338788 U JP 9338788U JP 9338788 U JP9338788 U JP 9338788U JP H0214496 U JPH0214496 U JP H0214496U
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turbine blade
diameter
rotor
threaded groove
groove portion
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JP9338788U
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本考案による複合型ターボ分
子ポンプの一実施例を示す図であり、第１図は複
合型ターボ分子ポンプの断面図、第２図はロータ
の側面図、第３図は従来の複合型ターボ分子ポン
プの断面図である。 １……複合型ターボ分子ポンプ、２……ハウジ
ング、３……ステータ翼、５……ロータ、６……
ロータ翼（タービン翼）、７……ネジ溝、８……
固定筒、９……ネジ溝部、１０……ロータ軸、１
２……モータ、１４……半径方向電磁石、１５…
…軸方向電磁石、１７……アーマチヤーデイスク
、１８……スペーサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. タービン翼部とネジ溝部とを併有するロータを
    備えた複合型ターボ分子ポンプにおいて、前記タ
    ービン翼部の径とネジ溝部の径を異らしめたこと
    を特徴とする複合型ターボ分子ポンプ。
JP9338788U 1988-07-13 1988-07-13 Pending JPH0214496U (ja)

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JP9338788U JPH0214496U (ja) 1988-07-13 1988-07-13

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JPH0214496U true JPH0214496U (ja) 1990-01-30

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JP9338788U Pending JPH0214496U (ja) 1988-07-13 1988-07-13

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5048512A (ja) * 1973-03-30 1975-04-30
JPS6172896A (ja) * 1984-09-17 1986-04-14 Japan Atom Energy Res Inst 高速回転ポンプ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5048512A (ja) * 1973-03-30 1975-04-30
JPS6172896A (ja) * 1984-09-17 1986-04-14 Japan Atom Energy Res Inst 高速回転ポンプ

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