JPH02146120A - 光記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要］ 書き替え可能の光記録媒体の記録消去性及び記録保存性
を向上する改良に関し、 記録消去性と記録保存性との双方がすぐれている相変化
型光記録媒体を提供することを目的とし、基板上に、そ
れにそって情報が書き込まれるトラックをなすグルーブ
が形成されており、少なくとも前記のトラック上に相変
化型光記録膜が形成されている円板よりなる光記録媒体
において、前記の相変化型光記録膜の少なくとも１面に
は、前記の相変化型光記録膜をなす化合物と前記の相変
化型光記録膜の構成要素をなす元素の酸化物との組成物
よりなり、前記の相変化型光記録膜からの距離に応答し
て、前記の相変化型光記録膜をなす化合物の含量が連続
的に減少してなる熱遮蔽膜が形成されている光記録媒体
をもって構成される。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、書き替え可能の光記録媒体の記録消去性及び
記録保存性を向上する改良に関する。

〔従来の技術〕

書き替え可能の光記録媒体の１種として、従来、相変化
にともなう反射率の変化を利用する形式の光記録媒体が
知られている。

相変化型光記録媒体は、第２図に示すように、ガラス等
の円板状の基板１上に紫外線硬化型樹脂等の膜２１を使
用してヘッド案内用のトラック２を約１，６ｎのピッチ
をもって渦巻状または同心円状に形成し、その上にイン
ジニウムアンチモン（Ｉｎ４ｓＳｂｓｓ）等よりなる光
記録層３を形成し、さらにその上に、ポリイミド等の保
護膜４を形成するか、または、第３図に示すように、ポ
リカーボネート等の円板状の基板１の表層を成形して、
ヘッド案内用のトラック２を約１．６ｎのピッチをもっ
て渦巻状または同心円状に形成し、その上に光記録層３
としてインジニウムアンチモン（Ｉ　ｎａｓｓ　ｂｓｓ
）等よりなる層を形成し、さらにその上に、ポリイミド
等の保護膜４を形成する。

オン・オフ情報の書き込みにあたっては、書き込まれる
べきオン・オフ情報に対応して、レーザビーム等のパル
ス光信号を照射し、平衡状態のインジニウムアンチモン
等の層を準安定状態に遷移する。インジニウムアンチモ
ン等の層の反射率は、平衡状態において低く、準安定状
態において高いので、オン・オフ情報の読み出しにあた
っては、平面状態と準安定状態とにおける反射率の相違
による反射光の強弱を検出してオン・オフ情報を読み出
す。

光ディスクにおいては、アドレス領域を正確に作らない
ので、線速度が一定なコンスタントリニヤベロシティ−
（ｃｏｎｓｔａｎｔ　１ｉｎｅａｒ　ｖｅｌｏｃｉｔｙ
）型が一般に使用される。この線速度は情報記録材の材
料によって異なるが、平衡状態（低反射率）から準安定
状ａ（高反射率）に遷移するには、光信号出力１０ｍＷ
、周速６　ｍ　／　ｓ程度が、その逆は光信号出力３．
５ｍＷ、周速２ｍ／ｓ程度が一般に使用されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

光記録媒体においては、記録消去性も記録保存性も極め
て重要な特性である。現実に予想しうる最高温度例えば
６０°Ｃにおいても記録が保存されうる特性が重要であ
ることは云うまでもないが、記録消去性が良好でないと
、次に書き込む情報にノイズが混入することになるから
、記録消去性も極めて重要な特性である。しかし、相変
化型光記録媒体においては、記録消去性と記録保存性と
は二律背反の性格を有し、記録消去性と記録保存性との
双方がすぐれている相変化型光記録媒体を実現すること
は容易ではなく、かねて、相変化型記録消去性と記録保
存性との双方がすぐれている光記録媒体を実現すること
が望まれていた。

本発明の目的は、この要請を実現するものであり、記録
消去性と記録保存性との双方がすぐれている相変化型光
記録媒体を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、基板（１）上に、それにそって情報が書
き込まれるトラック（２）をなすグルーブが形成されて
おり、少なくとも前記のトラック（２）上に相変化型光
記録膜（３）が形成されている円板よりなる光記録媒体
において、前記の相変化型光記録膜（３）の少なくとも
１面には、前記の相変化型光記録膜（３）をなす化合物
と前記の相変化型光記録膜（３）の構成要素をなす元素
の酸化物との組成物よりなり、前記の相変化型光記録膜
（３）からの距離に応答して、前記の相変化型光記録膜
（３）をなす化合物の含量が連続的に減少してなる熱遮
蔽膜（５）が形成されている光記録媒体によって達成さ
れる。

〔作用〕

本発明の発明者は、記録の消去にあたり、光記録膜の局
限された各ビット領域のみを、急速に昇温し、急速に冷
却すれば、消去性を向上することができるのではないか
との着想を得た。そして、この着想を具体化するため、
相変化型光記録膜の１面または両面を、熱伝導性の悪い
膜をもワてカバーすればよいと考え、トラックをなすグ
ルーブを有する基板上に、か−る熱伝導性の悪い物質と
して各種の物質、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯｉ）
、硫化亜鉛（ＺｎＳ）等を選択して成膜し、その上に、
インジニウムアンチモン（Ｉ　ｎｎ５ｓ　ｂｓｓ）等よ
りなる相変化型光記録膜を形成する努力を繰り返した。

しかし、か−る熱伝導性の悪い物質、例えば、二酸化シ
リコン（ＳｉＯオ）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）等とインジニ
ウムアンチモン（Ｉ　ｎｎ５ｓ　ｂｓｓ）等よりなる相
変化型光記録膜との界面において不連続面が発生し、場
合によってはこの不連続面において剥離が発生する等の
不具合が発生し、上記の着想を具体化することはできな
かった。

そこで、本発明の発明者は、この不連続面の発生は、熱
伝導性の悪い物質、例えば、二酸化シリコン（Ｓｔｏｗ
）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）等とインジニウムアンチモン（
Ｉ　ｎ４ｓｓ　ｂｓｉ）等との化学的結合力の不足にも
とすくものと考え、これらの２層の間に、これらの２層
との化学的結合力が強い物質の膜を介在させればよいと
の着想を得て、この着想を具体化するため、相変化型光
記録膜として、例えば、上記のインジニウムアンチモン
（Ｉ　ｎａｓｓ　ｂｓｓ）を使用する場合は、例えばイ
ンジニウムアンチモンＩｎ３ｓＳｂｔｈｓの合金をター
ゲットとするスパッタ法を使用して相変化型光記録膜を
形成すること−し、相変化型光記録膜から離隔するにと
もない、キャリヤガスに酸素を多量に混入すること−し
たところ、上記の不連続面は発生せず、好ましい特性の
熱遮蔽膜を形成することができた。

換言すれば、トラックを有する基板上に、まづ、例えば
インジニウムアンチモン１ｎ１５ｓｂｔｈｓの合金をタ
ーゲットとするスパッタ法を使用して、多量の酸素を含
有するキャリヤガスを供給しながらスパッタ法を実行し
て、例えば酸化アンチモンＳｂ＊Ｏｚ　と酸化インジュ
ウムＩｎｇｏｔ　との組成物の膜を形成して、これを熱
遮蔽膜とし、次第に酸素ガスの供給量を減少して、熱遮
蔽膜として形成される膜の中に含まれるインジニウムア
ンチモンの量を増大し、遂にインジニウムアンチモンの
みとして、インジニウムアンチモン （ｒ　ｎａｓＳ　ｂｓｓ）よりなる相変化型光記録膜を
形成する。

次に、次第に酸素ガスの供給量を増大し、形成されるイ
ンジニウムアンチモンの量を減少すると同時に、例えば
、酸化アンチモンｓｂ、ｏ、と酸化インジュウムＩｎｘ
Ｏｓとの組成物の膜を形成して、熱遮蔽膜とする。

このようにして、形成された熱遮蔽膜に挟まれたインジ
ニウムアンチモンの相変化型光記録膜は、保温性が向上
するので、消去にあたってレーザ照射を受けると、局部
領域のみが急速に昇温しで急速に降温し、消去率が向上
するとともに、ある程度以下の外気温度の変化によって
は、相変化型光記録膜は温度変化せず、記録の保存性も
向上した。

〔実施例〕

以下、図面を参照して、本発明の一実施例に係る相変化
型光記録媒体の製造工程について説明す第１図参照 直径１３０ｆｆｉＩ１１のガラス等の基板１に紫外線硬
化型樹脂を用いて１．６ｎのピッチのトラック２をなす
グルーブを形成する。

Ｉｎ５ｓＳｂｉｓの合金よりなるターゲットを使用して
、酸素ガスを、ＩＰａの圧力をもって供給しながら、１
００ｍＷの電力をもってＲＦスパッタをなす、この工程
によって、５ｂｘＯｉをい（らか多く含みＩｎ１Ｏｓを
いくらか少なく含むＳｂｇＯｓ　とＩｎ、Ｏ，との組成
物よりなり厚さ１００ｎ腸の熱遮蔽膜５を形成する。酸
素を徐々にアルゴンに転換し、遂に全量アルゴンとして
、インジニウムアンチモンよりなる厚さ１００ｎ鏑の相
変化型光記録膜３を形成する。

次に、再び酸素量を増加して５ｂｔＯｓをいくらか多く
含みＩｎｔＯｓをいくらか少なく含む５ｂｔＯｓとＩｎ
、Ｏ，との組成物よりなり厚さ１００ｎ−〇熱遮蔽膜５
を形成する。上記せる下部熱遮蔽膜と、この上部熱遮蔽
膜との組成の変化が上王道になっていることは云うまで
もない。

最後に、ポリイミド等の保護膜４を形成する。

以上の工程をもって製造した相変化型光記録媒体を線速
度１．６ｍ／ｓをもって、書き込み・消去を実施したと
ころ、書き込みレーザ強度は６ｍＷをもって、消去レー
ザ強度は３ｍＷをもって、十分に機能し、消去量は３５
ｄＢを確認した。

また、現実に予想しうる最高温度例えば６０°Ｃより遥
かに高温である８５℃に保持して、加速劣化試験を実施
して記録の保存性を確認したところ、第４図に示すよう
に、少なくとも１，０００時間は全く変化を認めなかっ
た。なお、同様の加速劣化試験において従来技術に係る
光記録媒体は、約４０％の低下が！！！された。

なお、熱遮蔽膜は、熱伝導性の良好な１面に設ければ十
分であるが、２面に設ければ、さらに効果が大きいこと
は勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明せるとおり、本発明に係る光記録媒体の相変化
型光記録膜は、少なくともその工面が、その組成が上記
の相変化型光記録膜を構成する化合物から上記の相変化
型光記録膜を構成する要素を構成する元素の酸化物にグ
レーデッドに変化している熱遮蔽膜をもって挟まれてい
るので、消去にあたリレーザが照射される局部領域のみ
、急速昇温・急速冷却され、十分に大きな消去率が得ら
れ、同時に、十分に大きな記録保持特性も得られる。こ
の理由は、必ずしも明らかではないが、熱遮蔽膜の存在
によって、記録の消去にあたり、光記録膜の局限された
各ビットｔｄ域のみが、急速に昇温し、急速に冷却され
るので、消去性が向上するものと思われる。また、この
ような特性が実現される理由は、熱遮蔽膜と相変化型光
記録膜との間の組成変化がグレーデッドになされ、これ
らの眉間に不連続がないからであると思われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る相変化型光記録体の
断面図である。 第２図は、従来技術に係る相変化型光記録体の１例の断
面図である。 第３図は、従来技術に係る相変化型光記録体の他の１例
の断面図である。 第４図は、本発明の一実施例に係る相変化型光記録体の
加速劣化試験の結果を示すグラフである。 基板、 グルーブを存するトラック、 紫外線硬化型樹脂等の膜、 相変化型光記録膜、 保！！膜、 本発明の要旨に係る熱遮蔽膜。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］基板（１）上に、それにそって情報が書き込まれ
   るトラック（２）をなすグルーブが形成されてなり、少
   なくとも前記トラック（２）上に相変化型光記録膜（３
   ）が形成されてなる円板よりなる光記録媒体において、 前記相変化型光記録膜（３）の少なくとも１面には、前
   記相変化型光記録膜（３）をなす化合物と前記相変化型
   光記録膜（３）の構成要素をなす元素の酸化物との組成
   物よりなり、 前記相変化型光記録膜（３）からの距離に応答して、前
   記相変化型光記録膜（３）をなす化合物の含量が連続的
   に減少してなる熱遮蔽膜（５）が形成されてなる ことを特徴とする光記録媒体。