JPH02146341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02146341U JPH02146341U JP5498289U JP5498289U JPH02146341U JP H02146341 U JPH02146341 U JP H02146341U JP 5498289 U JP5498289 U JP 5498289U JP 5498289 U JP5498289 U JP 5498289U JP H02146341 U JPH02146341 U JP H02146341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sensor chip
- pressure sensor
- detection device
- pressure detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による圧力検出装
置の平面図、第２図は第１図の−線の断面図
、第３図はこの考案の他の実施例による圧力検出
装置の断面図、第４図は従来の半導体圧力検出装
置の平面図、第５図は第４図の−線の断面図
である。 １……半導体圧力センサチツプ、３……台座、
４……基板、１２……スペーサ、１３……治具、
１４……Ｏリング。なお、図中、同一符号は同一
、又は相当部分を示す。
置の平面図、第２図は第１図の−線の断面図
、第３図はこの考案の他の実施例による圧力検出
装置の断面図、第４図は従来の半導体圧力検出装
置の平面図、第５図は第４図の−線の断面図
である。 １……半導体圧力センサチツプ、３……台座、
４……基板、１２……スペーサ、１３……治具、
１４……Ｏリング。なお、図中、同一符号は同一
、又は相当部分を示す。
補正 平２．５．８
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
基板上に台座を介して取り付けられ、上記基板
に電気的に接続された圧力センサチツプと、上記
基板上において上記圧力センサチツプの周辺を包
囲するように配置され電子部品を搭載しない環状
のスペースとを備えた圧力検出装置。
に電気的に接続された圧力センサチツプと、上記
基板上において上記圧力センサチツプの周辺を包
囲するように配置され電子部品を搭載しない環状
のスペースとを備えた圧力検出装置。
Claims (1)
- 基板上に台座を介して取り付けられ、上記基板
に電気的に接続された圧力センサチツプと、上記
基板上において上記圧力センサチツプの周辺を包
囲するように配置され電子部品を搭載しない環状
のスペーサとを備えた圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5498289U JPH02146341U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5498289U JPH02146341U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146341U true JPH02146341U (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=31577532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5498289U Pending JPH02146341U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146341U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6136164A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-20 | 京セラ株式会社 | 導電性セラミツクス |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP5498289U patent/JPH02146341U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6136164A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-20 | 京セラ株式会社 | 導電性セラミツクス |