JPH02147964A - マイクロ波電界分布の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 マイクロ波を用いた加熱、乾燥、熱処理用のアプリケー
タ内、例えば電子レンジのオーブンの電界分布のＡＰＩ
定に関する。

［従来の技術］ マイクロ波の電界分布を測定する為の従来の方法を第２
図圃を参照して説明する。

アプリケータ２３内の電界分布を測定する場合アプリケ
ータ２３内にビーカー２８に水を入れたものを配置する
。マイクロ波を照射すると、マイクロ波は水の吸収され
昇温する。一定時間、マイクロ波を照射し、昇温した水
の温度を測定し、電界の分布を得ていた。なお、第２図
において、２１は発振器、２２は導波管、２４は窓を示
す。

［発明が解決しようとする課ｒＪ］ 従来の方法では、概略の電界分布しか測定できず、また
、アプリケータ内の壁の近くの分布等は、測定困難であ
った。さらに５０〜５００Ｗで誤差は５％程度であった
。

本発明の課題は上記の問題点を解決し、アプリケータ内
の電界分布をより精密に且つ、非接触で測定でき、また
、経時変化も測定することができるマイクロ波電界分布
の測定方法を提供しようとするものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明によるマイクロ波電界分布の測定方法は、ガスを
封入したガラス管を電界中に配置し、マイクロ波電界に
よるグロー放電からの発光強度を計１定することにより
、電界分布を測定することを特徴とする特 ［作用コ 本発明によれば、アプリケータ内に配置されたガス封入
管内のガスがマイクロ波の電界の作用によりグロー放電
を起こし光を発する。この光の強度を測定することによ
り、アプリケータ内の電界分布を知ることができる。こ
の測定方法に利用できるガス封入管は希ガス（Ｈｅ、Ｎ
ｅ、Ａｒ等）や、他のガス（Ｈ２、Ｎｚ　、０２　）を
、１０ｍＴｏ　ｒ　ｒ〜１００Ｔｏ　ｒ　ｒの圧力で封
入したもので、ガスの種類、圧力、電界強度により、発
光強度が異なることを利用したものである。第３図にＨ
ｅを封入した時のマイクロ波電界の強度と、発光強度の
関係を示したものである。同一ガスを同一圧力により封
入した管をアプリケータ内に配置することにより、マイ
クロ波の電界強度を測定することができる。

また、水のマイクロ波吸収による昇温を利用する従来法
においては、１００ｃｃ程度の水が必要となる。（例え
ば４２Ｗのとき１００ｃｃの水を用いると１００秒の加
熱で１０℃の昇温を測定することになる）。これに対し
本発明方法によれば、気体封入管は１００ｍｍφＸ１０
０ｍｍｆ！程度にできるため、空間分解能も上がり、ま
た壁に近づけることも可能である。

［実施例］ 第１図は本発明方法を実施するのに用いられる装置の一
実施例の概略図である。マイクロ波は、発信器１より発
し、導波管２によりアプリケータ３に導かれ、アプリケ
ータ３内に置がれた被加熱物に吸収される。このアプリ
ケータ３内の電界分布を測定する為に、ガス封入管７を
配置し、封入管７内のガスがマイクロ波電界により放電
し、発した光をアプリケータの窓４を通して、ビデオカ
メラ５で撮影する。撮影画面中の封入管の色及び輝度の
分布により、マイクロ波の電界分布を得る。

６はビデオモニタを示す。

［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明による電界ａＩｌｊ定法によ
ればアプリケータ内のマイクロ波電界を精密に且つ、非
接触で測定でき、また経時変化も４１１定することかで
き、さらに、例えば１０〜５００Ｗで誤差が２〜３％で
あるので、アプリケータの設計に非常に存効な手段とな
りうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明方法を実施するのに用いられる装置の
一実施例を示す概略図、第２図は従来の電界＃ｌ−１定
方法を説明するための概略図、第３図はマイクロ波の電
界強度とＨｅ封入管の発光強度の関係を示す図である。 １・・・マイクロ波発振器、２・・・導波管、３・・・
アプリケータ（オーブン）、４・・・窓、５・・・ビデ
オカメラ、６・・・ビデオモニタ、７・・・ガス封入管
。 第１図 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第２図 マイクロ波吸収 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガスを封入したガラス管を、電界中におき、管内のガス
   放電よりの発光強度を測定することにより、電界強度を
   測定することを特徴とするマイクロ波電界分布の測定方
   法。