JPH02149120U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02149120U JPH02149120U JP5796989U JP5796989U JPH02149120U JP H02149120 U JPH02149120 U JP H02149120U JP 5796989 U JP5796989 U JP 5796989U JP 5796989 U JP5796989 U JP 5796989U JP H02149120 U JPH02149120 U JP H02149120U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical pick
- stamper
- rotary table
- inspection device
- disk inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例であるスタンパおよ
びデイスクの検査装置のデイスク検査状態を示す
斜視図、第２図はこの考案の実施例であるスタン
パおよびデイスクの検査装置のスタンパ検査状態
を示す斜視図、第３図はこの考案他の実施例であ
るスタンパおよびデイスクの検査装置を示す斜視
図、第４図は同実施例の制御回路を示すブロツク
図、第５図ａおよびｂは従来の検査装置の光学式
ピツクアツプを示す斜視図である。 １…スピンドル軸、２…回転テーブル、３…光
学式ピツクアツプ、４…調整ステージ、５…スラ
イドテーブル、６…補正板、７…補正板保持部材
、８…スライド機構、９…調整ステージ、１０…
金属センサー、１１…アクチユエータ、１２…ス
タンパ。
びデイスクの検査装置のデイスク検査状態を示す
斜視図、第２図はこの考案の実施例であるスタン
パおよびデイスクの検査装置のスタンパ検査状態
を示す斜視図、第３図はこの考案他の実施例であ
るスタンパおよびデイスクの検査装置を示す斜視
図、第４図は同実施例の制御回路を示すブロツク
図、第５図ａおよびｂは従来の検査装置の光学式
ピツクアツプを示す斜視図である。 １…スピンドル軸、２…回転テーブル、３…光
学式ピツクアツプ、４…調整ステージ、５…スラ
イドテーブル、６…補正板、７…補正板保持部材
、８…スライド機構、９…調整ステージ、１０…
金属センサー、１１…アクチユエータ、１２…ス
タンパ。
Claims (1)
- 光学式ピツクアツプと回転テーブルと光学式ピ
ツクアツプと回転テーブルとの相対移動を行う送
り機構とを備えたデイスク検査装置に、光学式ピ
ツクアツプと回転テーブルとの間に補正板を出入
させる機構を設け補正板が光学式ピツクアツプと
回転テーブルとの間に挿入された状態で姿勢を調
整可能としたスタンパおよびデイスクの検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5796989U JP2502054Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | スタンパおよびディスクの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5796989U JP2502054Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | スタンパおよびディスクの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149120U true JPH02149120U (ja) | 1990-12-19 |
| JP2502054Y2 JP2502054Y2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=31583161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5796989U Expired - Lifetime JP2502054Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | スタンパおよびディスクの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2502054Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP5796989U patent/JP2502054Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2502054Y2 (ja) | 1996-06-19 |