JPH02149406U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案バルブの一実施例を示す斜視図
、第２図ａ〜ｃはそれぞれ本考案バルブの全閉状
態、半開状態、及び全開状態を示す斜視図、第３
図ａ〜ｃは同じく本考案バルブが全閉（開口度０
％）、半開（開口度５０％）及び全開（開口度１
００％）したことを示す説明図、第４図は本考案
に係る真空装置のブロツク図、第５図及び第６図
はそれぞれ従来のバタフライ式及びスライド式の
可変コンダクタンスバルブの説明用斜視図である
。 １……ボデイ、２……気体入口、３……気体出
口、４，５……蓋、６……シヤフト、７……磁気
シールユニツト、８……弧状シヤツタ、１０……
ポテンシヨメータ、１１……回転駆動源（モータ
）、１２……回転伝達機構、１３……カム、１４
……リミツトスイツチ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ボデイ１の対向する部分に気体入口２と気体出
   口３を設け、これらと直角位置関係にあるボデイ
   １の開口を蓋４，５で密閉し、その一方の蓋４の
   内面に他方の蓋５を貫通するシヤフト６の一端部
   を枢支し、このシヤフト６の他端部は外部とのシ
   ールを兼ねた磁気シールユニツト７で枢支せしめ
   、当該シヤフト６にボデイの内面に沿う弧状シヤ
   ツタ８を取付けると共に、他方の蓋５側にシヤフ
   ト６の回転角度を検出するポテンシヨメータ１０
   と、回転駆動源１１と、この駆動源１１の回転を
   シヤフト６とポテンシヨメータ１０に伝達する回
   転伝達機構１２と、シヤフト６に固定されたカム
   １３により回転駆動源１１のオーバー・ロードを
   防止するリミツトスイツチ１４を設置してなるロ
   ータリー式可変コンダクタンスバルブ。