JPH02150355A - 高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電気ノ４ルス式液滴堆積装置に関１−１更に詳
しくは高密度多重溝配列の形体の電気パルス式液滴堆積
装置に関する。この種の装置の通常の用途は要求液滴イ
ンク・プリントヘッドとしての用途である。

〔従来の技術〕

高密度配列プリントヘッドはそれぞれの溝が別々に作動
させることができ且つ１つの溝に加えるエネルギーの最
小が隣りの溝に結合される性質を明瞭にもつべきである
。溝と溝との間を結合するエネルギーは「クロストーク
」（ｃｒｏｓｓｔａｌｋ）と呼ばれる。

欧州特許出願第８８３００１４４．８号（公開番号第０
２７７７０３Ａ）および同第８８３００１４６．３（公
開番号第０２７８５９ＯＡ）には、溝の長さに対して直
角の方向に配列された交互に間隔をおいた多数の平行溝
をもつ、且つ溝に連通するそれぞれのノズルから液滴を
排出させる手段として溝の側壁を占める剪断型作動器を
使用する、インクジェット−プリントヘッドが記載され
ているう剪断型作動器は１Ｎ！！の「クロストーク」す
なわち作動器の容積変化によって生ずるプリントヘッド
のピエゾ電気材料を介しての応力波からの弾性交互作用
から生じるクロストークをを避けるようにえらばれる。

剪断性作動器は作動時には容積変化（たとえば長さ又は
高さの変化）ｆ経験しない。

奇数および偶数の溝のそれぞれ２群の交互の作動は欧州
特許出願第８８３００１４６．３（公開番号第０２７８
５９ＯＡ）に記載されている工うに共有剪断型作動器の
もう１つの特徴である。えらばれた溝における圧力ｐの
作動けすぐ近くの溝に−ｐ／２の圧力を誘発するので、
これらの（すぐ近くの）溝はえらげれた溝と同時に作動
させることはできないつ圧力のクロストークすなわち１
以外の次の溝に、３以外の次の溝に、以下同様に、結合
するエネルギー、換言すれば同じ群の近隣溝に結合する
エネルギーは、えらげれた溝の順応溝壁作動器が作動さ
れるときにも起る。これは上記の欧州特許出願に記載さ
れているオフセット型の溝配列によって避けることがで
きる。

クロストークの減少は上記の形体のクロストークについ
ては上記のように行なわれたけれども、もう１つのクロ
ストーク源が発見され、それは厄介でその減少を達成さ
せるためには異なった試みを必要とするものであった。

上記の種類のプリントヘッドの剪断型壁作動器は作動時
に作動器全構成する壁に面する溝の反応側にある電極に
対して直角のそれぞれのｔ場を受ける。これらの１！場
は干渉の場を生ずる。この干渉の場は壁作動器の根元の
付近において極性方向に平行な大きな成分をもち、それ
故これらの区域中のピエゾ電気材料は剪断で歪むよりは
むしろ容量的に歪む。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述の干渉の場の全効果は壁作動器の根元において基部
材料をそりかえらせて近隣溝にクロストークを生ぜしめ
ると同時に壁作動器のそりかえりを著るしく減少させる
ことである。本発明が解決しようとする課題は、剪断型
溝の作動器の作動の際に生じる干渉の場の効果に寄与し
うるクロストークが最小になる高密度多重溝配列の電気
／ミルス式液滴堆積を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は高密度多重溝配列の電気・ミルス式液滴堆積装
置であって、 シートに対して直角の方向に極性をもつピエゾ材料の底
部シート； 底部シートによって作られる溝であって、溝の長さ方向
に対して直角の方向に相互に間隔をおいて配置され、そ
れぞれが側壁と９壁間にのびる底面を合せることによっ
て形成されている多数の平行な頂部開放の溝；上記の溝
の底面に向き合い、上記の側壁に結合して上記の溝を閉
鎖する頂部シート； 上記の溝に連通していて液滴を排出させるそれぞｔのノ
ズル； 上記の溝を液滴用の流体源に接続させる接続部材；およ
び 上記の側壁の少なくとも若干のそれぞれの反対側に配置
されて、作動部材に付随する溝から液滴の排出を行うた
めの剪断型の作動部材を形成する電極； 全備えて成り、それぞれの電極が対応する側壁の長さに
そって且つＭ、極の配置された溝の底面から間隔をおい
た区域にわたって実質的にのびていて、側壁の電極を横
切って電場を加えたとき、電極を配置した側壁に隣接す
る底部シートを溝の底面に隣接するピエゾ・エラスチッ
ク歪みの実質的にないものとしたことを特徴とする高密
度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置にある。

好ましくは、それぞれの電極は頂部シートに隣接する側
壁の縁からｖＬ極を備える側壁の区域にわたってのびて
いる。

有利には、それぞれの溝が底面と頂部シートとの間に均
一な深さの前方部材を備え、そして前方部材の後方に前
方部材より浅い後方部材が存在する。該後方部材は対向
壁とその底面に形成され、溝の前方部材の対向側壁上の
電気的に接続する電気伝導性被１３を有する。

本発明の一形態において、それぞれの溝の前方部材の対
向面上の電極Ｆｉ核前方部材の後方の溝部分の電気伝導
性被覆と一体になって形成される。

好適には、側壁上の被秒の厚さは溝の前方部材の深さの
約半分であり、核前方部材の後方の溝の底部を稗ってい
る。

本発明の別の形態において、頂部シートは底部シートと
同様にピエゾ電気材料で作られており且つ底部シートの
溝に対応する溝をもち、電極を備える底部シートの側壁
に対応する頂部シートの溝の側壁に電極を備え、頂部シ
ートが底部シートに対して逆に配置されて底部シートに
締着され、それによってこれらのシートの対応溝の七れ
ぞれの対が−緒になってこれらのシートのそれぞれの内
部をのびる単一の複合溝を形成しており、そしてこれら
のシートに締着されたノズルプレートにノズルが備えて
あって上記の複合溝の端部においてそれぞれのノズルを
与えるようになっている。

同様の機能を果す装置を達成させる別の手段として、底
部シートがそれぞれの溝の側壁の上部および下部にそれ
ぞれ反対の極の区域をもつピエゾ電気材料の一体シート
から成り、電極が側壁の頂部から溝側壁の少なくとも若
干のそれぞれの反対側にのびており、それぞれの電極が
上部の該区域および対応する溝側の下部の該区域の実質
的部分を樟っている装置が提供される。

本発明は高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置
を製造する方法にもあり、その方法は 層に対して直角の方向に極をもつピエゾ電気材料の層で
底部シートを形成し； この底部シートに、該ピエゾＩ！！気材料層中を部分的
にのびて、順次につづく溝の間にピエゾ電気材料の壁を
与える多数の平行な頂部開放の液滴溝を形成し；上記の
壁の少なくとも若干のそれぞれの向き合った面に、鉄壁
の頂部から鉄壁の底部より離れた場所にまでのびる電極
を形成して、電場を加えて上記の溝に対して横方向に、
ｔｉを備えた壁の剪断型の移動を行ないうるようになし
；これらの電極に！、気駆動回路部材を接続し；これら
の壁に頂部シートを締着して溝を密閉し；これらの溝に
ノズル及び液滴供給部材を設置し；該電極を壁の実質的
な長さの部分上に且つ壁の底部から間隔をおいて形成さ
せて、電極によって１ｉ場を壁の横方向に加えたとき電
極を備えた壁の溝の底面に隣接して弾性歪みが実質的に
ないようにする； ことから放ることを特徴とする。

〔実施例〕

本発明の実施例を添付の図面を参照して具体的に説明す
る。これらの図面において同じ符号（参照番号）は同じ
部材を表わす。

第１図１参照して、インクジェット・プリントヘッド（
１０）は多数の平行なインク溝を含み、これらの溝は溝
の長さ方向に対して垂直の整列方向に相互に間隔をおい
て配置されている。これらの溝は矢印（１５）の方向に
極性をもつピエゾ電気材料（好適にはＰＺＴ）の底部シ
ー）　（１４）中にＩＷ当り２個以上の溝密度で形成さ
れており、側壁（１６）および底面（１８）によってそ
れぞれ構成される。

ＰＺＴの厚さは溝の深さより大きい。溝（１２）　Ｆｉ
頂部開放であり、絶縁部材の頂部シー）　（２０）によ
ってプリントヘッド中で閉鎖されている。頂部シー）　
（２０）は第２図には示しであるが、第１図に性装置に
関連する問題を明らかにするために省略しである。頂部
シート（２０）　Ｆｉ底部シート（１４）に熱的に接合
し、底面（１８）に平行に配置され、セして！　（２１
）を壁（１６）の頂部（２２）に結合することによって
結合される。匍１壁および底面にある溝（１２）は金属
化電極層（２４）で内張すされている。それ故、２つの
隣接壁（１６）のそれぞれの対向面の電極に同様の強度
であるが異った極の電位差が加わると、これらの壁は極
性方向（１５）に対して直角に反対の意味でのフラック
ス密度（２６）の線によって示される電場を受ける。こ
れらの壁はその結果として剪断型に歪み、頂部シー）　
（２０）がない場合には破線（２８）によって示す位竹
に移動する。然しなから、側壁の根元においては、電場
（２６）は干渉効果を示１７て力＃け極性の方向に実質
的な成分をもつ。ピエゾ電気材料において、電場が極性
方向（３）に存在すると、このピエゾ電気材料は極性方
向に対して直角の方向（３−１：Ｆ−よび３−２の方向
）と３−３の方向の双方に伸び又は収縮を受ける。これ
に対して、符号１の方向の電場が極性の方向に対して組
直であるときには、剪断型の歪みが起り１−５の歪みは
回転性であり、電場の軸および極性の軸の双方に直角で
あり、そして歪みを生じた側壁の高さ又は長さの変化を
ともなわない。

鎖線（３２）は、電気的に活性化されている溝の中間位
置において最小でろるピエゾ電気材料の干渉電場の線（
２６）によって生ずる膨張ならびに活性化溝に隣接する
溝の中間において最大である収縮を示す。

上述のプリントヘッドにおいて、溝は奇数の溝および偶
数の溝の２群に配置され、それぞれの群のえらばれた溝
は同時に活性化され且つ他の群の溝と交互に活性化され
る。

干渉電場が底部シー）　（１４）中に歪みを生せしめる
。これらＨ壁（１６）の剪断型の歪みを減少させ、ピエ
ゾ弾性応力（弾性的に伝播し、隣接溝にクロストークを
発現させる）を発生させる。

あるいはまた、溝は３つの群以上の間をおいた溝から成
るものであってもよい。この場合、１つの群のえもばれ
た溝は同時に作動され、他の群のえらばれた溝は順次に
作動される。２つ以上の群に配置されたときは１作動溝
の間には溝群の数より少なくとも１つ少ない数の非作動
溝が存在することは明らかである。クロストークは実質
的に減少するが、壁の根元における剪断型の壁の歪み損
失は依然として著るしい。

第２図および第３図を参照して、溝（１２）はその対向
壁（１６）に備えてあり、金属化電極（３４）が壁（１
６）の頂部の縁から膣壁を降下して溝の底面（１８）の
すぐ近くの位置にまでのびている。壁の剛性分布に依存
ｌ−て壁の中間のまわりに最大の壁移動を与える最適の
金属化の深さが存在する。この設計の利点は、干渉Ｍ、
場が壁（１６）内で迅速に減衰し、応力は発生させるが
壁の歪みは起らないということである。壁の根元には干
渉Ｍ、場は存在せず、従って極性方向に電場成分は存在
ぜす、それ故に第１図の線３２で示すような種部の分布
は起らない。

第３図において、溝（１２）は均一な深さの前方部材（
３６）を含み、この部材は前方においてノズルプレー）
　（３Ｂ）によって閉鎖され、このノズルプレートには
ノズ／ｌ／（４０）が備えてあってこのノズルから溝中
のインク液滴が溝の対向作動壁（１６）の作動によって
押出される。前方部材（３６）の彼方にある溝（１２）
も、前方部材よシも浅い深さで、壁（１６）の頂部（２
２）からのびる部分をもっている。壁（１６）の対向面
に存在する金属化メツキ（３４）は溝側壁の約−の、然
し溝部分（４２）の深さよりは大きい深さケ占め、これ
によってメツキが行なわれるとき溝部分（４２）の側壁
（１６）および底面（１８）は十分に轡われるが、溝の
前方部材（３６）中のａｔ壁はこの部分における溝の深
さの約１／２までが覆われる。使用するのに好適な電極
金属はニッケルとクロムの合金にクロム）である。作動
壁（１６）の満足な作動のためには、結合ｍ　（２２）
のコンプライアンス（すなわち、歪み／外力の比）ｂＥ
／Ｈｅ　［ｈは結合層の高さであり；ｅは結合層の弾性
率であり；Ｈは壁（１６）の高さであり；Ｅは壁（１６
）の弾性率である］は１未満であるべきでちゃ、好まし
く　ｔｉ、ｏ、　ｉ未満である。

液滴用の液マニホルド（４６）は平行溝（１２）に対し
て横方向に頂部シー）　（２０）中に形成され、このマ
ニホルドは溝（１２）のそれぞれに連通し且つ液滴用の
液源（図示していない）に導くダク）　（４８）に連通
している。

シー）　（１４）中の溝の切込みは欧州特許出願第８８
３０８５１５．１号または英国特許出願第８９１１３１
２．０号に記載されている種類のダイス・カッターを使
用するグラインディングによって行なわれる。このカッ
ターは高速で回転し、多数の極性ＰＺＴシートを締着さ
せる可動性の床の上に取付けられる。この床はカッター
の水平回転軸に対して、該軸に平行に且つ２つの相互に
垂直な軸（カッター軸に平行な水平軸に対して共に直角
（７する垂直軸および水平軸）中で、可動性である。カ
ッター刃のピッチは溝（１２）に必要なピッチより大き
く、そのためにカッターの２回以上の通過が溝（１２）
の切込みに必要である。それぞれの切込みにおいて、前
方溝部分（３６）がまず切込まれ、次いで床を低下させ
て溝の区部（４２）が必要とする浅い深さに切込まれる
。溝の区分（３６）の後端における最小の曲率半径はカ
ッター刃の半径によって決定される。

第４（ａ）図および第４（ｂ）図を参照して、これらは
金属、好適にはニクロムの電極（３４）を形成させる方
法を説明するためのものである。この操作について、蒸
発金属原子の平行ビーム（６０）が溝を切込んだＰＺＴ
シートを保持するジグ（ｊ　Ｉｇ）から約０．５〜１．
０ｍ離れて配置された金属源に向けられた電子ビームか
ら誘導される。ジグに含まれるＰＺＴシートは金属蒸気
ビームに対して配置され、蒸気の放出は溝（１２）の縦
方向垂直中心面と＋δの角度をなす。

このようにして金属の蒸着がそれぞれの溝の１つの側壁
上にある深さまで起る。その深さは角度δによって決定
され。

溝の区分（３６）の深さの釣菌であるが、溝の区分（４
２）の深さよりも大きい。溝区分（３６）のそれぞれに
おける側壁（１６）の被覆社、区分（４２）中の対応す
る壁の被覆およびこれらの区分のそれぞれの底面の大部
分の被覆によって達成される。金属の蒸着を完了するた
めの被覆の第２段階はシー）　（１４）を１８０°回転
させて金属蒸気の入射角管−δとなし、既に被覆した側
に向き合った壁（１６）を処理し、溝区分（４２）の底
面の被覆も同様にして完成させることによって行なわれ
る。溝壁の頂部および端部にある過剰金属は折り重ねる
ことによって除去される。シー）　（１４）を逆転させ
る代りに、２つの金属蒸気源を順次に使用して金属被覆
を行なうこともできる。

溝のメツキを行なった後に且つ好適なドライバー・チッ
プへの接続を行なう前に、不活性な無機不動態化剤を溝
区分（３６，４２）の壁に被覆する。不動態化剤被ａＦ
ｉ高い電気抵抗をもつように、且つ剪断型作動器の場で
インクを使用するプリンタの場合に液滴流体からのイオ
ン種の移動を妨げるようにえらばれる。必要な電気特性
を得るためには多数の不動態化層が必要であることもあ
る。５ＩＳＮ４　および５ｉＯＮ　の交互のフィルムは
意図する目的に好適である。

第５図は第３図とは別の設計を示し、ここではＰＺＴの
薄いシートを使用し、これを結合層（５１）によって基
層（５０）好適にはシート（１４）に熱的に接合するガ
ラスに積層させる。この基層は、溝に連通し且つ液滴の
液源に連通するインク・マニホルド（５２）を含む。前
方部材（３６）、すなわち溝の活性部分、の結合層を強
化するのを助けるために、溝（１２）はＰＺＴシートよ
りも少し浅く形成されるっ第６図を参照して、本発明を
欧州特許出願第８８３００１４６．３号（公開番号第０
２７８５９０号）の第２（＆）図〜第２（ｄ）図を参照
して述べられているプリントヘッド（１ｏ）の形体に応
用するものとして訝明する。すなわち、ピエゾ電気材料
の同様の上部シートおよび下部シートに金属化電極（３
４）付きの対応する溝（１２）を形成し、上部シートを
下部シートに対して逆さにすることによってこれらのシ
ートを一緒に締着させ、対応する溝の側壁の頂部間に結
合層（２２）　”ｔ−与える。この形体の作動において
、極性の方向が両シートにおいて逆であるため、溝側壁
は山形模様（シェブロン）の形体に歪む。

電極（３４）は、第２図に示す本発明の態様のように溝
の底部を短かく止め、それによって極性方向の電量成分
を作る干渉効果は、無くならないとしても、減少する。

同じ形体のシート（１４）を作ることによって製作が容
易になることが明らかであろう。

第７図に示す具体例を参照して、矢印（１５）で示すよ
うに反対の極性をもつ上部区域および下部区域な有する
シー）　（１４）がここでは使用される。電極（３４）
は頂部から底部より短い距離にあるところにまで下降す
る向き合った溝側面を覆うように配置され、それによっ
て溝の頂部からのびる一方の極をもつそれぞれの側壁の
区域ならびに反対の極をもつ側壁の下部区域の実質的部
分が適切な電極によって覆われる。従って、この配列は
第６図を参照して述べた本発明の具体例のように溝側壁
を山形模様の形体に歪ませるけれども、この具体例にお
いては山形模様の歪みは、溝の軸を含む面で又はその近
くで結合する２枚のそのようなシートではなくピエゾ電
気材料の単一シート中に起ることが理解されるであろう
。ピエゾ電気材料のシー）　（１４）に該シートに対し
て横方向の極性をもたせ、そして該シートの反対側に反
対の極性をもたせる方法は欧州特許出願箱８８３０８５
１４．４号（公開番号第０３０９１４７号）に記載され
ている。

第８図は第２，３．５．６および７図に示す本発明の具
体例のシート（２０）の代りに使用しうる絶縁材料のシ
ート（２０’）を示す。このシー）　（２０’）はシー
）　（３４）の溝に対応する浅い溝を備えており、逆に
した後にシー）　（１４）に結合される。結合層（２２
）はこれらのシー）　（１４，２０’）中の対応する溝
側壁の頂部の間に形成される。

第５図に関して述べたように、ガラスまたは他の絶縁材
料のシート（５０’）はピエゾ電気材料のシー）　（１
４）の強化手段として使用される。このような強化用シ
ートはまた第２図および第３図の配列におけるシートけ
４）を強化するために及び第６図の配列における両シー
ト（１４）を強化するためにも使用することができる。

【図面の簡単な説明】 第１図はインクジェット・プリントヘッドの形体の高密
度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置の拡大破断概
略断面図であって、本発明が解消しようとする課題を説
明するためのものである。 第２図は第１図に類似の図面であって、本発明によるイ
ンクジェット・プリントヘッドを示すものである。 第３図は本発明によるインクジェット・プリントヘッド
の一形体のインク溝の破断縦断面図である。 第４（ａ）図および第４（ｂ）図は第３図の線（ａ）−
（ａ）および（ｂ）−（ｂ）にそってとった破断断面図
である。 第５図は本発明によるインクジェット・プリントヘッド
の別の形体の、第３図と同様の図である。 第６図は第２図と同様の図であって、本発明によるイン
クジェット・プリントヘッドの更に別の形体を示すもの
である。 第７図は第２図および第６図と同様の図であって、本発
明によるインクジェット・プリントヘッドの更にもう１
つの別の形体を示すものである。 第８図は第２図および第７図に示す本発明の態様におい
て使用するシート要素の別の形体のものを示す図である
。 １０・・・インクジェット・プリントヘッド：　　１２
．１２’・・・溝；　１４・・・底部シート；　１６・
・・側壁；　１８・・・底面；２０、２０’・・・頂部
シート；２２・・・頂部；２４・・・金属化電極層；　
２６・・・雷、坤；　３４・・・′ｗＬ極；３６・・・
前方部材；３８・・ツズルプレート； ４０・・・ノズル； ４２・・・溝の− 部； ５０．５０’・・・基層； ５１・・・結合層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置であ
   つて、 シートに対して直角の方向に極性をもつピエゾ材料の底
   部シート； 底部シートによつて作られる溝であつて、溝の長さ方向
   に対して直角の方向に相互に間隔を置いて配置され、そ
   れぞれが側壁と側壁間にのびる底面を合せることによつ
   て形成されている多数の平行な頂部開放の溝； 上記の溝の底面に向き合い、上記の側壁に結合して上記
   の溝を閉鎖する頂部シート； 上記の溝に連通していて液滴を排出させるそれぞれのノ
   ズル； 上記の溝を液滴用の液体源に接続させる接続部材；およ
   び 上記の側壁の少なくとも若干のそれぞれの反対側に配置
   されて、作動部材に付随する溝から液滴の排出を行なう
   ための剪断型の作動部材を形成する電極； を備えて成り、それぞれの電極が対応する側壁の長さに
   そつて且つ電極の配置された溝の底面から間隔をおいた
   区域にわたつて実質的にのびていて、側壁の電極を横切
   つて電場を加えたとき、電極を配置した側壁に隣接する
   底部シートを溝の底面に隣接するピエゾ・エラスチック
   歪みの実質的にないものとしたことを特徴とする高密度
   多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置。 ２、それぞれの電極が頂部シートに隣接する側壁の縁か
   ら電極を備える側壁の区域にわたつてのびている請求項
   １記載の液滴堆積装置。 ３、該区域が長方形である請求項２記載の液滴堆積装置
   。 ４、電極がノズルに隣接する溝の端部からのびている請
   求項１〜３のいづれか１項記載の液滴堆積装置。 ５、溝のそれぞれが底面と電極配置の頂部シートとの間
   に均一な深さの前方部材を備え、そして前方部材の後方
   に前方部材より浅い後方部材が存在する請求項２又は３
   記載の液滴堆積装置。 ６、前方部材のそれぞれの向き合つた壁に備えた電極が
   後方部材の深さよりも大きいが溝の深さよりも小さい深
   さをもつ請求項５記載の液滴堆積装置。 ７、後方部分のそれぞれが内部に電気伝導性被覆を備え
   、該被覆が溝の前方部材の向き合つた側壁にある電極と
   電気的に接触している請求項６記載の液滴堆積装置。 ８、それぞれの溝の前方部材の向き合つた壁にある電極
   が前方部材の後方にある溝部分上の電気伝導性被覆と一
   体となつて形成されている請求項５記載の液滴堆積装置
   。 ９、電極がそれぞれの溝のそれぞれの向き合つた側壁に
   備えてある請求項１〜８のいづれか１項記載の液滴堆積
   装置。 １０、それぞれの溝の電極への電気的接続が複数の群の
   はさまれた溝中の溝の操作を可能にするよう備えてあり
   、これらの群のそれぞれのえらばれた溝が該群の他方の
   えらばれた同時作動の溝と順次に同時作動されて、任意
   の２つの作動溝の間に少なくとも１つの非作動溝が配置
   されるようになつている請求項９記載の液滴堆積装置。 １１、それぞれの溝の電極への電気的接続が２つの群の
   はさまれた交互の溝中の溝の操作を可能にするように備
   えてあり、これらの群の１つの群のえらばれた溝が該群
   の他方のえらばれた同時作動の溝と順次に同時作動され
   るようになつている請求項１０記載の液滴堆積装置。 １２、頂部シートが底部シートと同様にピエゾ電気材料
   で作られており且つ底部シートの溝に対応する溝をもち
   、電極を備える底部シートの側壁に対応する頂部シート
   の溝の側壁に電極を備え、頂部シートが底部シートに対
   して逆に配置されて底部シートに締着され、それによつ
   てこれらのシートの対応溝のそれぞれの対が一緒になつ
   てこれらのシートのそれぞれの内部をのびる単一の複合
   溝を形成しており、そしてこれらのシートに締着された
   ノズル・プレートにノズルが備えてあつて上記の複合溝
   の端部においてそれぞれのノズルを与えるようになつて
   いる請求項１〜１１項のいずれか１項記載の液滴堆積装
   置。 １３、頂部シートおよび底部シートが同一の形状のもの
   である請求項１２記載の液滴堆積装置。 １４、頂部シートおよび底部シートがそれぞれの絶縁材
   料の強化層に結合されている請求項１２または１３記載
   の液滴堆積装置。 １５、底部シートがそれぞれの溝の側壁の上部および下
   部にそれぞれ反対の極の区域をもつピエゾ電気材料の一
   体シートから成り、電極が側壁の頂部から溝側壁の少な
   くとも若干のそれぞれの反対側にのびており、それぞれ
   の電極が上部の該区域および対応する溝側壁の下部の該
   区域の実質的部分を覆つている請求項１〜１１のいづれ
   か１項記載の液滴堆積装置。 １６、底部シートが絶縁材料の強化層に結合されている
   請求項１〜１１および１５のいづれか１項記載の液滴堆
   積装置。 １７、頂部シートが底部シートの溝に対応する溝を備え
   、この頂部シートが底部シートに結合してこれらのシー
   トの対応溝のそれぞれの対が一緒になつて単一の複合溝
   を形成している請求項１〜１１および１５〜１６のいづ
   れか１項記載の液滴堆積装置。 １８、高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置の
   製造法であつて、 層に対して直角の方向に極をもつピエゾ買気材料の層で
   底部シートを形成し； この底部シートに、該ピエゾ電気材料層中を部分的にの
   びて、順次につづく溝の間にピエゾ電気材料の壁を与え
   る多数の平行な頂部開放の液滴溝を形成し； 上記の壁の少なくとも若干のそれぞれの向き合つた面に
   、該壁の頂部から該壁の底部より離れた場所にまでのび
   る電極を形成して、電場を加えて上記の溝に対して横方
   向に、電極を備えた壁の剪断型の移動を行ないうるよう
   になし；これらの電極に電気駆動回路部材を持続し；こ
   れらの壁に頂部シートを締着して溝を密閉し；これらの
   溝にノズル及び液滴供給部材を設置し；該電極を壁の実
   質的な長さの部分上に且つ壁の底部から間隔をおいて形
   成させて、電極によつて電場を壁の横方向に加えたとき
   電極を備えた壁の溝の底面に隣接して弾性歪みが実質的
   にないようにする； ことから成ることを特徴とする高密度多重溝配列の電気
   パルス式液滴堆積装置の製造法。 １９、壁面に面する溝に対してある角度で該壁に向けた
   金属蒸気ビームからの金属の蒸着によつて電極を形成す
   る請求項１８記載の方法。