JPH02153834A - 脱水焼結炉 - Google Patents
脱水焼結炉Info
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- JPH02153834A JPH02153834A JP30772288A JP30772288A JPH02153834A JP H02153834 A JPH02153834 A JP H02153834A JP 30772288 A JP30772288 A JP 30772288A JP 30772288 A JP30772288 A JP 30772288A JP H02153834 A JPH02153834 A JP H02153834A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分舒〉
本発明は、複数本の管を連結して形成した炉心管を有す
る多孔質光ファイバ母材の脱水焼結炉に関する。
る多孔質光ファイバ母材の脱水焼結炉に関する。
〈従来の技術〉
光ファイバ母材を生産する代表的な方法には、気相軸付
は法や外付は法などがある。これらの方法では、まず回
転するガラス棒や板に、酸水素炎中で、ガラス原料物質
が火炎加水分解してできたガラス微粒子を付着、堆積さ
せて、円柱状の多孔質光ファイバ母材をつくる。さらに
この多孔質光ファイバ母材をアルゴン、ヘリウム等の不
活性ガスや塩素系ガスや弗素系ガスの存在する雰囲気中
で、加熱、脱水焼結して、透明、高純度な光ファイバ母
材に変える。
は法や外付は法などがある。これらの方法では、まず回
転するガラス棒や板に、酸水素炎中で、ガラス原料物質
が火炎加水分解してできたガラス微粒子を付着、堆積さ
せて、円柱状の多孔質光ファイバ母材をつくる。さらに
この多孔質光ファイバ母材をアルゴン、ヘリウム等の不
活性ガスや塩素系ガスや弗素系ガスの存在する雰囲気中
で、加熱、脱水焼結して、透明、高純度な光ファイバ母
材に変える。
この脱水焼結処理を行う炉としては、第２図に示すよう
なものがあり、多孔質光ファイバ母材１１が挿入される
炉心管１２の外周には、この母材１１を加熱するヒータ
１３とヒータ１３からの放熱が母材１１側以外に及ぶの
を防ぐ断熱材１４とを備えた炉体１５が取り巻く状態で
設けられている。また炉心管１２の図中下方には脱水焼
結処理を行う際に必要とする前述した不活性ガス、塩素
系ガス、弗素系ガス等を炉心管１２内に導く導入管１６
が連結されている。
なものがあり、多孔質光ファイバ母材１１が挿入される
炉心管１２の外周には、この母材１１を加熱するヒータ
１３とヒータ１３からの放熱が母材１１側以外に及ぶの
を防ぐ断熱材１４とを備えた炉体１５が取り巻く状態で
設けられている。また炉心管１２の図中下方には脱水焼
結処理を行う際に必要とする前述した不活性ガス、塩素
系ガス、弗素系ガス等を炉心管１２内に導く導入管１６
が連結されている。
このような脱水焼結炉に用いられる炉心管１２の１つに
、石英でできた石英炉心管があるが、高１下ではガラス
状態から結晶状態へと移行する「失透」と呼ばれる現象
が生じて急速にもろくなり耐久性に乏しい。そこで高温
下における耐久性に富むカーボンを素材とし、且つガス
の不透過性や耐酸化性を向上させるために内周面に炭化
ケイ素（ＳｉＣ）を被覆したカーボン炉心管がしばしば
用いられている。しかしこの種のカーボン炉心管を継ぎ
目のない単体の長尺物として形成することは技術的にも
コスト面からも極めて困難であゆ、従ってこれを実際に
脱水焼結炉等に用いろ際には複数本のカーボン管を連結
することにより必要とする長さのカーボン炉心管を形成
していた。即ち第２図に示すように炉心管１２は、複数
本（本例では２本）のカーボン管１７゜１８を連結部Ａ
を介して連結し形成したものである。
、石英でできた石英炉心管があるが、高１下ではガラス
状態から結晶状態へと移行する「失透」と呼ばれる現象
が生じて急速にもろくなり耐久性に乏しい。そこで高温
下における耐久性に富むカーボンを素材とし、且つガス
の不透過性や耐酸化性を向上させるために内周面に炭化
ケイ素（ＳｉＣ）を被覆したカーボン炉心管がしばしば
用いられている。しかしこの種のカーボン炉心管を継ぎ
目のない単体の長尺物として形成することは技術的にも
コスト面からも極めて困難であゆ、従ってこれを実際に
脱水焼結炉等に用いろ際には複数本のカーボン管を連結
することにより必要とする長さのカーボン炉心管を形成
していた。即ち第２図に示すように炉心管１２は、複数
本（本例では２本）のカーボン管１７゜１８を連結部Ａ
を介して連結し形成したものである。
この連結部Ａの断面を拡大して表した図が第３図であり
、図中上方に位置するカーボン管１７の下端部の内周側
には内径が大となるような段差部が形成され且つその内
周面部には雌ねじ部１９が形成されている。また図中下
方に位置するカーボン管１８の上端部の外周側には外径
が小となるような段差部が形成され且つその外周面部に
は前記線ねじ部１９と螺合し得る雄ねじ部２０が形成さ
れていて、これら雌ねじ部１９と雄ねじ部２０とを螺合
させることによりカーボンｖ：１７とカーボン管１８と
が連結されている。またカーボン管１７の先端面とカー
ボン管１８の段差部との間にはこの連結部Ａを気密に封
止して炉心管１２内外の雰囲気の相互の混入を避ける目
的でカーボン製のシールリング２１が介装されている。
、図中上方に位置するカーボン管１７の下端部の内周側
には内径が大となるような段差部が形成され且つその内
周面部には雌ねじ部１９が形成されている。また図中下
方に位置するカーボン管１８の上端部の外周側には外径
が小となるような段差部が形成され且つその外周面部に
は前記線ねじ部１９と螺合し得る雄ねじ部２０が形成さ
れていて、これら雌ねじ部１９と雄ねじ部２０とを螺合
させることによりカーボンｖ：１７とカーボン管１８と
が連結されている。またカーボン管１７の先端面とカー
ボン管１８の段差部との間にはこの連結部Ａを気密に封
止して炉心管１２内外の雰囲気の相互の混入を避ける目
的でカーボン製のシールリング２１が介装されている。
さらにこの炉心管１２は、炉心管１２に嵌１された支持
リング２２を介して、水冷却用の流路２３を形成した炉
体１５の上蓋部２４に固定されている。
リング２２を介して、水冷却用の流路２３を形成した炉
体１５の上蓋部２４に固定されている。
〈発明が解決しようとする課題〉
複数本のカーボン管を連結して炉心ｗ１２を形成するに
際しては、例えば従来技術に示した如くカーボン管１７
．１８の連結部Ａにねじ部１９．２０を形成してこれら
を螺合させることによりカーボン管１７．１８を連結し
さらにこの連結部Ａに非常な高温にも耐え得るカーボン
製等のシールリング２１を介在させてシールを行う。し
かしカーボン製のシールリング２１は本来弾力性に乏し
く十分なシール効果を持ち得ないため、この連結部Ａの
微小すき間を経て炉体１５内雰囲気或いは外気が炉心管
内に浸入して処理中の多孔質光ファイバ母材１１に不純
物が混入し、処理後の光ファイバ母材から得られる光フ
ァイバの伝送特性を著しく低下させてしまうという問題
があった。
際しては、例えば従来技術に示した如くカーボン管１７
．１８の連結部Ａにねじ部１９．２０を形成してこれら
を螺合させることによりカーボン管１７．１８を連結し
さらにこの連結部Ａに非常な高温にも耐え得るカーボン
製等のシールリング２１を介在させてシールを行う。し
かしカーボン製のシールリング２１は本来弾力性に乏し
く十分なシール効果を持ち得ないため、この連結部Ａの
微小すき間を経て炉体１５内雰囲気或いは外気が炉心管
内に浸入して処理中の多孔質光ファイバ母材１１に不純
物が混入し、処理後の光ファイバ母材から得られる光フ
ァイバの伝送特性を著しく低下させてしまうという問題
があった。
く課題を解決するための手段〉
本発明による脱水焼結炉は、多孔質の光フアイバ母材が
挿入され且つ複数本の管を連結して形成した炉心管と、
該炉心管を囲繞し且つ加熱源を有する炉体とを備えた脱
水焼結炉において、前記管の連結部を囲繞して形成され
且つシールガスが圧送されて前記炉心管内外の雰囲気が
前記連結部を通して相互に浸入することを防ぐ与圧室を
設けたことを特徴とするものである。
挿入され且つ複数本の管を連結して形成した炉心管と、
該炉心管を囲繞し且つ加熱源を有する炉体とを備えた脱
水焼結炉において、前記管の連結部を囲繞して形成され
且つシールガスが圧送されて前記炉心管内外の雰囲気が
前記連結部を通して相互に浸入することを防ぐ与圧室を
設けたことを特徴とするものである。
く作 用〉
脱水焼結炉内に多孔質の光ファイバ母材を挿入して脱水
焼結処理を行うに際し、複数本の管を連結して形成され
た炉心管において、この炉心管の連結部を囲繞して形成
された与圧室内にシールガスが圧送され且つとの与圧室
内雰囲気の圧力が与圧室外雰囲気の圧力より僅かに大き
な圧力に保持されて、炉心管内外の雰囲気が連結部の微
小すき間を通して相互に浸入することを防ぐ。
焼結処理を行うに際し、複数本の管を連結して形成され
た炉心管において、この炉心管の連結部を囲繞して形成
された与圧室内にシールガスが圧送され且つとの与圧室
内雰囲気の圧力が与圧室外雰囲気の圧力より僅かに大き
な圧力に保持されて、炉心管内外の雰囲気が連結部の微
小すき間を通して相互に浸入することを防ぐ。
く実 施 例〉
以下、本発明による脱水焼結炉の一実施例を図面を参照
して詳細に説明する。尚、従来技術と同一の部材につい
ては同一符号を付して表すこととし、これらの構成、作
用等詳細な説明は省略する。
して詳細に説明する。尚、従来技術と同一の部材につい
ては同一符号を付して表すこととし、これらの構成、作
用等詳細な説明は省略する。
との一実施例に係る炉心管１２の連結部Ａの断面を拡大
して表した第１図に示すように、カーボンｗ１７とカー
ボン管１８との連結部Ａの図中下方に位置するカーボン
管１８の外周には、略帯状の突起部２５が全周に亙って
突設され且つこの突起部２５の外周部にはカーボン管１
８の長手方向に沿って雄ねじ部２６が形成されている。
して表した第１図に示すように、カーボンｗ１７とカー
ボン管１８との連結部Ａの図中下方に位置するカーボン
管１８の外周には、略帯状の突起部２５が全周に亙って
突設され且つこの突起部２５の外周部にはカーボン管１
８の長手方向に沿って雄ねじ部２６が形成されている。
またこの雄ねじ部２６には、カーボン管１７．１８の外
径より大きい内径を有するカーボン製外管２７の下端部
内周側に形成された雌ねじ部２８が螺合することにより
、前記外管２７はカーボン管１８に対して同心状に固定
されている。さらに外管２７の図中上端部には、フラン
ジ部２９が一体的に形成され且つこの上端面にはカーボ
ン管１７に嵌着された二分割可能な支持リング２２の下
端面がシール部材３０を挾んで固着されている。さらに
炉心＃ｆ！：１２は、支持リング２２を介して水冷却用
の流路２３を形成した上蓋部２４に固定されている。こ
うしてカーボン管１７の外周面と外管２７の内周面と突
起部２５と支持リング２２とが取り囲んで形成する略中
空円筒状の与圧室３１は、カーボン管１７．１８の連結
部Ａの継ぎ目を炉心管１２外部から略気密に囲繞してい
る。しかも支持リング２２内にはこの与圧室３１内にヘ
リウム等の不活性ガス等全圧送導入するための流路３２
が形成されている。従って図示しないガス供給源よりこ
の流路３２を経て圧送されたガスを与圧室３１内にて与
圧室３１外雰囲気の圧力より僅かに大きく保つようにし
、炉心管１２内に連結部Ａの隙間を経て炉体１５内雰囲
気或いは外気が浸入して多孔質光ファイバ母材１１に不
純物が混入するのを防いでいる。また逆に、脱水焼結処
理中に用いられろ塩素や弗素等のガスが、炉心管１２内
より連結部Ａの隙間を経て炉体１５内に至り、炉体１５
内の金属部品等を腐食させ炉体１５の寿命を短くすると
いう問題もなくなる。
径より大きい内径を有するカーボン製外管２７の下端部
内周側に形成された雌ねじ部２８が螺合することにより
、前記外管２７はカーボン管１８に対して同心状に固定
されている。さらに外管２７の図中上端部には、フラン
ジ部２９が一体的に形成され且つこの上端面にはカーボ
ン管１７に嵌着された二分割可能な支持リング２２の下
端面がシール部材３０を挾んで固着されている。さらに
炉心＃ｆ！：１２は、支持リング２２を介して水冷却用
の流路２３を形成した上蓋部２４に固定されている。こ
うしてカーボン管１７の外周面と外管２７の内周面と突
起部２５と支持リング２２とが取り囲んで形成する略中
空円筒状の与圧室３１は、カーボン管１７．１８の連結
部Ａの継ぎ目を炉心管１２外部から略気密に囲繞してい
る。しかも支持リング２２内にはこの与圧室３１内にヘ
リウム等の不活性ガス等全圧送導入するための流路３２
が形成されている。従って図示しないガス供給源よりこ
の流路３２を経て圧送されたガスを与圧室３１内にて与
圧室３１外雰囲気の圧力より僅かに大きく保つようにし
、炉心管１２内に連結部Ａの隙間を経て炉体１５内雰囲
気或いは外気が浸入して多孔質光ファイバ母材１１に不
純物が混入するのを防いでいる。また逆に、脱水焼結処
理中に用いられろ塩素や弗素等のガスが、炉心管１２内
より連結部Ａの隙間を経て炉体１５内に至り、炉体１５
内の金属部品等を腐食させ炉体１５の寿命を短くすると
いう問題もなくなる。
前述したような炉心管１２を備えた本実施例の脱水焼結
炉と従来の脱水焼結炉とを用いて、夫々クラッド部に弗
素添加を施した純シリカコアの単モード光ファイバを製
作する比較実験では、１．５５μｍ帯における光ファイ
バの伝送損失の平均が従来装置では０．１９７ ｄＢ／
ｋｍであったのに対し本実施例による装置では０．１８
０ ｄＢ／に＋ｍであって明らかな伝送特性の向上が認
められた。
炉と従来の脱水焼結炉とを用いて、夫々クラッド部に弗
素添加を施した純シリカコアの単モード光ファイバを製
作する比較実験では、１．５５μｍ帯における光ファイ
バの伝送損失の平均が従来装置では０．１９７ ｄＢ／
ｋｍであったのに対し本実施例による装置では０．１８
０ ｄＢ／に＋ｍであって明らかな伝送特性の向上が認
められた。
ところで本実施例に係る炉心管１２では、外管２７とカ
ーボンｖ１８との接合をねじによって行ったが、もちろ
んこの方法のみに限定されないし、また外管２７をカー
ボンｖ：１８の上方に位置するカーボン管１７に接合し
てもよく、従ってこの外管２７と共に与圧室３１を形成
する支持リング２２、フランジ部２９、突起部２５の形
状や取り付は位置等も本実施例のみに限定されない。ま
た与圧室３１は炉心管１２の内周側に形成されていても
よく、要するにカーボンＩＷ１７とカーボン管１８の連
結部Ａの継ぎ目を炉心管１２の内周或いは外周側の少な
くとも一方から囲繞し得ると共にとの与圧室３１内に不
活性ガス等のガスが圧送し得る構成であればよいのであ
る。
ーボンｖ１８との接合をねじによって行ったが、もちろ
んこの方法のみに限定されないし、また外管２７をカー
ボンｖ：１８の上方に位置するカーボン管１７に接合し
てもよく、従ってこの外管２７と共に与圧室３１を形成
する支持リング２２、フランジ部２９、突起部２５の形
状や取り付は位置等も本実施例のみに限定されない。ま
た与圧室３１は炉心管１２の内周側に形成されていても
よく、要するにカーボンＩＷ１７とカーボン管１８の連
結部Ａの継ぎ目を炉心管１２の内周或いは外周側の少な
くとも一方から囲繞し得ると共にとの与圧室３１内に不
活性ガス等のガスが圧送し得る構成であればよいのであ
る。
〈発明の効果〉
本発明によれば、複数本の管を連結して形成した炉心管
を有する脱水焼結炉において、前記管の連結部を囲繞し
て形成されると共にシールガスが圧送される与圧室を備
えたことにより、炉心管内外の雰囲気が前記連結部の隙
間を通して相互に浸入することが防止されるので、この
炉心管内にて加熱される多孔質光ファイバ母材内に不純
物が混入し難くなり従って光ファイバの伝送特性が著し
く向上する。
を有する脱水焼結炉において、前記管の連結部を囲繞し
て形成されると共にシールガスが圧送される与圧室を備
えたことにより、炉心管内外の雰囲気が前記連結部の隙
間を通して相互に浸入することが防止されるので、この
炉心管内にて加熱される多孔質光ファイバ母材内に不純
物が混入し難くなり従って光ファイバの伝送特性が著し
く向上する。
第１図は本発明による脱水焼結炉の一実施例に係る炉心
管連結部を表す概略構成断面図、第２図は脱水焼結炉の
概略構成断面図、第３図は従来の脱水焼結炉に係る炉心
管連結部を表す概略構成断面図である。 図面中、１１は多孔質光ファイバ母材、１２は炉心管、
１３はヒータ、１４は断熱材、１５は炉体、１６は導入
管、１？、１８はカーボン管、１９．２８は雌ねじ部、
２０，２６は雄ねじ部、２１はシールリング、２２は支
持リング、２９はフランジ部、２７は外管、３０はシー
ル部材、３１は与圧室、３２は流路、Ａは連結部である
。
管連結部を表す概略構成断面図、第２図は脱水焼結炉の
概略構成断面図、第３図は従来の脱水焼結炉に係る炉心
管連結部を表す概略構成断面図である。 図面中、１１は多孔質光ファイバ母材、１２は炉心管、
１３はヒータ、１４は断熱材、１５は炉体、１６は導入
管、１？、１８はカーボン管、１９．２８は雌ねじ部、
２０，２６は雄ねじ部、２１はシールリング、２２は支
持リング、２９はフランジ部、２７は外管、３０はシー
ル部材、３１は与圧室、３２は流路、Ａは連結部である
。
Claims (1)
- 多孔質の光ファイバ母材が挿入され且つ複数本の管を連
結して形成した炉心管と、該炉心管を囲繞し且つ加熱源
を有する炉体とを備えた脱水焼結炉において、前記管の
連結部を囲繞して形成され且つシールガスが圧送されて
前記炉心管内外の雰囲気が前記連結部を通して相互に浸
入することを防ぐ与圧室を設けたことを特徴とする脱水
焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30772288A JPH02153834A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 脱水焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30772288A JPH02153834A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 脱水焼結炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02153834A true JPH02153834A (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=17972463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30772288A Pending JPH02153834A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 脱水焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02153834A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999050197A1 (fr) * | 1998-03-31 | 1999-10-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Tube a reaction |
| CN101745783B (zh) | 2009-12-14 | 2011-07-20 | 成都天保重型装备股份有限公司 | 煅烧炉炉体制作工艺 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30772288A patent/JPH02153834A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999050197A1 (fr) * | 1998-03-31 | 1999-10-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Tube a reaction |
| CN101745783B (zh) | 2009-12-14 | 2011-07-20 | 成都天保重型装备股份有限公司 | 煅烧炉炉体制作工艺 |
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