JPH02153865A - 窒化珪素焼結体及びその製造方法 - Google Patents
窒化珪素焼結体及びその製造方法Info
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- JPH02153865A JPH02153865A JP63306320A JP30632088A JPH02153865A JP H02153865 A JPH02153865 A JP H02153865A JP 63306320 A JP63306320 A JP 63306320A JP 30632088 A JP30632088 A JP 30632088A JP H02153865 A JPH02153865 A JP H02153865A
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、窒化珪素基焼結体に関し、更に詳しくいえば
靭性等の本質的特性を低下させることなく耐摩耗性を向
上させた窒化珪素基焼結体に関する。本発明は、切削工
具、耐摩耗部品及び摺動部品等に利用される。
靭性等の本質的特性を低下させることなく耐摩耗性を向
上させた窒化珪素基焼結体に関する。本発明は、切削工
具、耐摩耗部品及び摺動部品等に利用される。
従来の窒化珪素焼結体としては、耐摩耗性を向上させる
ために、表面に高硬度又は耐摩耗性に優れるセラミック
材料を被覆したものが知られている（特公昭６３−１２
７８号公報）。
ために、表面に高硬度又は耐摩耗性に優れるセラミック
材料を被覆したものが知られている（特公昭６３−１２
７８号公報）。
また、他の窒化珪素焼結体において、母材の改良として
高硬度のα−窒化珪素粒を強靭性のβ−窒化珪素粒中に
分散させたものも知られている（特開昭５８−１８５４
８４号公報）。
高硬度のα−窒化珪素粒を強靭性のβ−窒化珪素粒中に
分散させたものも知られている（特開昭５８−１８５４
８４号公報）。
上記前者の焼結体においては、被覆セラミック材と窒化
珪素母材との熱膨張又は化学的親和性の相違という問題
により、十分な接着強度が得られに＜＜、更に費用もか
かり経済性にも問題があり、はとんど実用化されていな
い。
珪素母材との熱膨張又は化学的親和性の相違という問題
により、十分な接着強度が得られに＜＜、更に費用もか
かり経済性にも問題があり、はとんど実用化されていな
い。
上記後者の焼結体は、両相を全体に均一に含むので、そ
の割合により性能が変化するものであり、その各性能を
十分に発揮できない。即ち一方の性能を十分に高めよう
とすると、他方の性能を犠牲にせざるをえず、バランス
を保ってその中間性能を示すに過ぎない。
の割合により性能が変化するものであり、その各性能を
十分に発揮できない。即ち一方の性能を十分に高めよう
とすると、他方の性能を犠牲にせざるをえず、バランス
を保ってその中間性能を示すに過ぎない。
本発明は、上記観点に鑑みてなされたものであり、表面
を改良して耐摩耗性に優れた表面部を形成させて表面部
及び内部の材質特性を十分に発揮させた従来になく優れ
た窒化珪素基焼結体を提供することを目的とする。
を改良して耐摩耗性に優れた表面部を形成させて表面部
及び内部の材質特性を十分に発揮させた従来になく優れ
た窒化珪素基焼結体を提供することを目的とする。
本発明者は、窒化珪素の耐摩耗性が悪い原因について種
々検討した結果、以下の知見を発見して本発明を完成し
たものである。
々検討した結果、以下の知見を発見して本発明を完成し
たものである。
即ち、被削材又は相手材のほとんどは鉄系の合金が多く
、これに対して窒化珪素の主構成元素であるＳｉは化学
的親和性が高いために、耐摩耗性が劣ることを見出した
。ここで、窒化珪素の焼結は、従来より窒化珪素の分解
揮発を防ぐ工夫がなされていた。本発明は、逆にこの分
解揮発を利用し、表面部の窒化珪素成分のＳｉ含有量の
内部に対する減少率を２０重量％（以下、単に％という
）以上とした窒化珪素基焼結体が、靭性等を低下させる
ことなく耐摩耗性を向上させるという知見を得た。
、これに対して窒化珪素の主構成元素であるＳｉは化学
的親和性が高いために、耐摩耗性が劣ることを見出した
。ここで、窒化珪素の焼結は、従来より窒化珪素の分解
揮発を防ぐ工夫がなされていた。本発明は、逆にこの分
解揮発を利用し、表面部の窒化珪素成分のＳｉ含有量の
内部に対する減少率を２０重量％（以下、単に％という
）以上とした窒化珪素基焼結体が、靭性等を低下させる
ことなく耐摩耗性を向上させるという知見を得た。
本発明の窒化珪素基焼結体は、上記のように、表面部と
内部ではそれを構成するＳｉ含有量が異なることを特徴
とする。ここで、このＳｉ減少率は、上記特許請求の範
囲欄で述べた式により算出される。
内部ではそれを構成するＳｉ含有量が異なることを特徴
とする。ここで、このＳｉ減少率は、上記特許請求の範
囲欄で述べた式により算出される。
この減少率を２０％とするのは、２０％未満ではその効
果が十分でなく、それ以上の場合は靭性等に優れるとい
う内部の特性を低下させることなく耐摩耗性を向上させ
ることができるからである。尚、この減少率は５０％以
上が好ましい。この場合は耐摩耗性が一層向上するから
である。また、表面部のＳｉ含有量がほとんどなくなっ
てもよく、この場合は耐摩耗性がより一層向上するが、
面粗度が低下するので、脆い化合物が生成しない範囲に
するのが好ましい。
果が十分でなく、それ以上の場合は靭性等に優れるとい
う内部の特性を低下させることなく耐摩耗性を向上させ
ることができるからである。尚、この減少率は５０％以
上が好ましい。この場合は耐摩耗性が一層向上するから
である。また、表面部のＳｉ含有量がほとんどなくなっ
てもよく、この場合は耐摩耗性がより一層向上するが、
面粗度が低下するので、脆い化合物が生成しない範囲に
するのが好ましい。
本窒化珪素基焼結体は通常、窒化珪素を主体とするもの
であるが、これに限らずサイアロンであってもよい。こ
の窒化珪素又はサイアロンとしても、α−１β型を問わ
ず、目的、用途により選択され、更にそれらの混合であ
ってもよい。窒化珪素等以外の成分としては、粒界相構
成成分又は粒界相以外の第３成分とすることができる。
であるが、これに限らずサイアロンであってもよい。こ
の窒化珪素又はサイアロンとしても、α−１β型を問わ
ず、目的、用途により選択され、更にそれらの混合であ
ってもよい。窒化珪素等以外の成分としては、粒界相構
成成分又は粒界相以外の第３成分とすることができる。
粒界を目構成成分は、ガラス相のみであってもよいし、
ガラス相以外に種々の結晶相を含んでもよい。第３成分
としては、例えば耐摩耗性、靭性向上に有効な成分とす
ることができる。このものとしては、例えば、周期律表
第１Ｖａ、Ｖａ、Ｖｉａ族遷移金属の炭化物、窒化物及
び酸化物、並びにこれら２種以上の固溶体のうちの１種
若しくは２種以上等を用いることができる。尚、この化
合物は、焼結体の靭性を低下させないために、３０重型
開以下が好ましい。
ガラス相以外に種々の結晶相を含んでもよい。第３成分
としては、例えば耐摩耗性、靭性向上に有効な成分とす
ることができる。このものとしては、例えば、周期律表
第１Ｖａ、Ｖａ、Ｖｉａ族遷移金属の炭化物、窒化物及
び酸化物、並びにこれら２種以上の固溶体のうちの１種
若しくは２種以上等を用いることができる。尚、この化
合物は、焼結体の靭性を低下させないために、３０重型
開以下が好ましい。
内部とは、表面部を除いた部分であり、本窒化珪素基焼
結体の主要部となり、本焼結体の本質的特性を示す部分
である。この内部は、５ｉ＝Ｎ＝が分解揮発除去（以下
、気化という）されないので、上記窒化珪素等及び粒界
相成成分更には上記第３成分がそのままで構成される。
結体の主要部となり、本焼結体の本質的特性を示す部分
である。この内部は、５ｉ＝Ｎ＝が分解揮発除去（以下
、気化という）されないので、上記窒化珪素等及び粒界
相成成分更には上記第３成分がそのままで構成される。
表面部は、５ｉ３Ｎ４が気化されてＳｉ含有量が減少し
た分、Ｓｉ３Ｎ＜以外の成分が残存し、その成分の相対
的含有率が向上した部分である。
た分、Ｓｉ３Ｎ＜以外の成分が残存し、その成分の相対
的含有率が向上した部分である。
表面部の厚さは、目的、用途及び製造方法等により異な
るが、通常、数μｍ〜０．１ｍｍ程度である。尚、本焼
結体においては、表面部と内部の境界において上記組成
比が急に変わらない場合即ち連続的に変わる場合も含ま
れ、このように少なくとも所定の組成比をもつ表面部と
所定の組成比をもつ内部とをもつものであればよい。
るが、通常、数μｍ〜０．１ｍｍ程度である。尚、本焼
結体においては、表面部と内部の境界において上記組成
比が急に変わらない場合即ち連続的に変わる場合も含ま
れ、このように少なくとも所定の組成比をもつ表面部と
所定の組成比をもつ内部とをもつものであればよい。
本焼結体は表面のＳｉ、Ｎ、分を気化させた焼肌にて通
常使用されるので、気化に伴う面粗度の悪化には注意を
する必要がある。従って、この面粗度は１２．５Ｓ （
ＪＩＳ Ｂ ０６０１）以下にするのが好ましい。
常使用されるので、気化に伴う面粗度の悪化には注意を
する必要がある。従って、この面粗度は１２．５Ｓ （
ＪＩＳ Ｂ ０６０１）以下にするのが好ましい。
特に、面粗度を重視する用途の場合は、粒界相形成成分
が残留し表面を覆うのが好ましい。
が残留し表面を覆うのが好ましい。
本焼結体は、通常、−船釣な常圧焼結法により製造され
るが、ガス圧焼結法又は熱間静水圧焼結法（ＨＩＰ法）
により製造することもできる。焼成雰囲気は、基本的に
は窒素を含有した雰囲気で行うことが必要で、圧力は窒
化珪素が適当量気化する条件であればよく、減圧から数
千気圧まで変化させることができる。焼結温度は、通常
、１５５０〜１８００℃の範囲を用い、好ましくは１６
００〜１７５０℃である。
るが、ガス圧焼結法又は熱間静水圧焼結法（ＨＩＰ法）
により製造することもできる。焼成雰囲気は、基本的に
は窒素を含有した雰囲気で行うことが必要で、圧力は窒
化珪素が適当量気化する条件であればよく、減圧から数
千気圧まで変化させることができる。焼結温度は、通常
、１５５０〜１８００℃の範囲を用い、好ましくは１６
００〜１７５０℃である。
本焼結体の製造方法は、例えば、まず、窒化珪素粉末、
所定の焼結助剤等を所定組成に配合し、混合、粉砕する
。焼結助剤としては、窒化珪素の常圧焼結（ガス圧焼結
、ＨＩＰ焼結も含む）用の助剤であればよく、好ましく
はＳｉ元素を含まないものがよい。このものとして、例
えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２０３ 、ＡＲＮ、ＭｇＯ若しく
はＣａＯ１又はＹ２Ｏ１等の希土類酸化物等がある。こ
の素地は、必要形状に加圧成形され焼結される。この焼
結時において、表面の５ｉ３Ｎ４を気化させる方法とし
ては、例えば、窒素分圧、Ｓｉ分圧を下げたり、還元雰
囲気を用いたりすることができる。
所定の焼結助剤等を所定組成に配合し、混合、粉砕する
。焼結助剤としては、窒化珪素の常圧焼結（ガス圧焼結
、ＨＩＰ焼結も含む）用の助剤であればよく、好ましく
はＳｉ元素を含まないものがよい。このものとして、例
えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２０３ 、ＡＲＮ、ＭｇＯ若しく
はＣａＯ１又はＹ２Ｏ１等の希土類酸化物等がある。こ
の素地は、必要形状に加圧成形され焼結される。この焼
結時において、表面の５ｉ３Ｎ４を気化させる方法とし
ては、例えば、窒素分圧、Ｓｉ分圧を下げたり、還元雰
囲気を用いたりすることができる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
まず、原料粉末として、平均粒径０．６μｍのＳｉ、Ｎ
、（α化率９０容積％以上）粉末、同０５μｍのＡＲｘ
Ｏ＊若しくはＭｇＯ１同１． ３ｐｍのＡｆＮ粉末、同
１．２μｍのＹ２Ｏ，粉末、同０．４ｐｍのＺｒＯ２粉
末、同１．２ｕｍのＴｉＮ粉末、同１．７μｍのＨｆＮ
粉末、同２゜０μｍのＷＣ粉末を、各々表に示す配合組
成に配合し、湿式、ボールミルで４８時間混合した後、
成形助剤を添加して乾燥した。
、（α化率９０容積％以上）粉末、同０５μｍのＡＲｘ
Ｏ＊若しくはＭｇＯ１同１． ３ｐｍのＡｆＮ粉末、同
１．２μｍのＹ２Ｏ，粉末、同０．４ｐｍのＺｒＯ２粉
末、同１．２ｕｍのＴｉＮ粉末、同１．７μｍのＨｆＮ
粉末、同２゜０μｍのＷＣ粉末を、各々表に示す配合組
成に配合し、湿式、ボールミルで４８時間混合した後、
成形助剤を添加して乾燥した。
この粉末を用いて金型成形し、１６５０〜１７５０℃、
窒素圧０．７〜１０気圧、一部は炭酸ガスを併用した雰
囲気中で焼成して焼結体を製造した。尚、表面部の厚さ
は、研削による表面削除及び微小領域Ｘ線回折により測
定した所、いずれも約０．０１〜０．１ｍｍ程度であっ
た。
窒素圧０．７〜１０気圧、一部は炭酸ガスを併用した雰
囲気中で焼成して焼結体を製造した。尚、表面部の厚さ
は、研削による表面削除及び微小領域Ｘ線回折により測
定した所、いずれも約０．０１〜０．１ｍｍ程度であっ
た。
この焼結体は、ＳＮＭＮ４３２（ＪＩＳ Ｂ１２Ｏ３
）の寸法に仕上げた。但し、この仕上加工は、上下面の
み研削加工を行い側面は焼肌のままとし、これをテスト
ピース（チップ） ２とした。
）の寸法に仕上げた。但し、この仕上加工は、上下面の
み研削加工を行い側面は焼肌のままとし、これをテスト
ピース（チップ） ２とした。
その寸法はプレス成形時に調整した。以下に示す３つの
方法による評価（特に方法ｌ、２は耐摩耗性、方法３は
強度）を行い、その結果を表及び第１図に示した。
方法による評価（特に方法ｌ、２は耐摩耗性、方法３は
強度）を行い、その結果を表及び第１図に示した。
方法ｌ、２．３の各条件は以下の通りである。
尚、方法２は小括弧内、方法３は中括弧内に示した。ま
た、方法１における寿命は、以下に述べるように欠損ま
での時間をとっている。この場合、欠損の主因は単純な
機械的強度ではなく、摩耗により切削抵抗が増大した結
果であり、耐摩耗性の目安として使われる。
た、方法１における寿命は、以下に述べるように欠損ま
での時間をとっている。この場合、欠損の主因は単純な
機械的強度ではなく、摩耗により切削抵抗が増大した結
果であり、耐摩耗性の目安として使われる。
被削材；インコネル７１８ （Ｆｅ１２） ［ＦＣ２３
］切削速度（ｍ／分） ； ２５０ （６００） ［
１５０］切込み（ｍｍ） ； ｌ （０，５） ［２
］送り （ｍｍ／ ｒ ｅ ｖ ） ； ０，２５
（０，２） ［０，６］切削油；水溶性油（なし）〔
なし〕 切削時間（秒）；欠損まで （３３０） ［欠損まで〕
寿命判定−秒（ｍｍ）［山数］ 被削材（図中の１）形状；第２図に示すように外径３０
０ｍｍφ、内径２００ｍｍφのドーナツ状（第３図に示
すように外径２４０ｍｍφの棒状）〔第４図に示すよう
に外径２４０ｍｍφ、山幅１５ｍｍのリング状溝付き棒
状〕。
］切削速度（ｍ／分） ； ２５０ （６００） ［
１５０］切込み（ｍｍ） ； ｌ （０，５） ［２
］送り （ｍｍ／ ｒ ｅ ｖ ） ； ０，２５
（０，２） ［０，６］切削油；水溶性油（なし）〔
なし〕 切削時間（秒）；欠損まで （３３０） ［欠損まで〕
寿命判定−秒（ｍｍ）［山数］ 被削材（図中の１）形状；第２図に示すように外径３０
０ｍｍφ、内径２００ｍｍφのドーナツ状（第３図に示
すように外径２４０ｍｍφの棒状）〔第４図に示すよう
に外径２４０ｍｍφ、山幅１５ｍｍのリング状溝付き棒
状〕。
尚、図中の３はホルダーを示す。方法２の寿命判定は側
面側の摩耗によった。
面側の摩耗によった。
Ｓｉ、Ｎ、（サイアロンも含む）は使用目的に応じてそ
の配合組成等は決定される。従って同一条件下でこれら
の例を比較することは困難である。例えば、上記比較例
において、比較的高強度の型（比較例１）、比較的Ｎｉ
合金に適した型（比較例２）、比較的錆物に適した型（
比較例３）を示しており、これらの型を相互に比較する
ことはほとんど意味がなく、各型内での比較が意味があ
る。従って、表には、同−又は類似の原料配合組成間に
て性能を比較できるように配列し、その結果を述べると
以下の通りである。尚、比較例１．３の各々は、各実施
例１．６の各々を研削加工してその表面から約０．２ｍ
ｍ以上削除し、表面部を完全に除去して内部を表出させ
たものである。
の配合組成等は決定される。従って同一条件下でこれら
の例を比較することは困難である。例えば、上記比較例
において、比較的高強度の型（比較例１）、比較的Ｎｉ
合金に適した型（比較例２）、比較的錆物に適した型（
比較例３）を示しており、これらの型を相互に比較する
ことはほとんど意味がなく、各型内での比較が意味があ
る。従って、表には、同−又は類似の原料配合組成間に
て性能を比較できるように配列し、その結果を述べると
以下の通りである。尚、比較例１．３の各々は、各実施
例１．６の各々を研削加工してその表面から約０．２ｍ
ｍ以上削除し、表面部を完全に除去して内部を表出させ
たものである。
比較例２は実施例３の組成で表面のＳｉがほとんど減少
していない焼肌をもつものである。
していない焼肌をもつものである。
表面部のＳｉ含有量を減らした各実施例を各比較例と比
べると（実施例１と比較例１、実施例３と比較例２、実
施例６〜８と比較例３）、いずれも耐摩耗性が向上して
いる。この場合、いずれも強度は若干低下するがほとん
ど変わらず、問題となる程度のものではない。更に、実
施例６〜８及び比較例３において、Ｓｉ減少率と耐摩耗
性の関係を第１図に示すと、その減少率が大きくなるに
従って耐摩耗性が向上しており、特にそれが２０％以上
ではその効果に優れる。
べると（実施例１と比較例１、実施例３と比較例２、実
施例６〜８と比較例３）、いずれも耐摩耗性が向上して
いる。この場合、いずれも強度は若干低下するがほとん
ど変わらず、問題となる程度のものではない。更に、実
施例６〜８及び比較例３において、Ｓｉ減少率と耐摩耗
性の関係を第１図に示すと、その減少率が大きくなるに
従って耐摩耗性が向上しており、特にそれが２０％以上
ではその効果に優れる。
また、これらにＩＶａ、ＶＩａ族遷移金属の化合物（Ｈ
ｆ Ｎ、 ＷＣ，Ｔ ｉ Ｎ）を配合したもの（実施例
２．４．６）は配合しないもの（実施例１．３５）と比
べると、耐摩耗性は改善される。尚、この配合量があま
り多いと、実施例９のように強度がかなり低下する場合
があるので注意する必要がある。
ｆ Ｎ、 ＷＣ，Ｔ ｉ Ｎ）を配合したもの（実施例
２．４．６）は配合しないもの（実施例１．３５）と比
べると、耐摩耗性は改善される。尚、この配合量があま
り多いと、実施例９のように強度がかなり低下する場合
があるので注意する必要がある。
以上より、実施例１〜９については、表面部のＳｉ減少
率が２５〜６１％であるので、いずれも強度を維持しつ
つ耐摩耗性が向上しており、表面部及び内部を構成する
材料の特性を十分に発揮できた。
率が２５〜６１％であるので、いずれも強度を維持しつ
つ耐摩耗性が向上しており、表面部及び内部を構成する
材料の特性を十分に発揮できた。
本発明の窒化珪素基焼結体は、その表面部のＳｉ含有量
が内部と比べて２０％以上減少しており、その内部は５
１３Ｎ４の気化がなくそのままであるので、表面部の耐
摩耗性に優れるという性質と内部の高靭性等という本質
的特性が十分に発揮される。即ち、本焼結体では、従来
のように両性質の中間的特性を示すものではない。従っ
て、本焼結体では、その表面改質により、内部の本質的
特性を低下させることなく耐摩耗性を向上させることが
できる。
が内部と比べて２０％以上減少しており、その内部は５
１３Ｎ４の気化がなくそのままであるので、表面部の耐
摩耗性に優れるという性質と内部の高靭性等という本質
的特性が十分に発揮される。即ち、本焼結体では、従来
のように両性質の中間的特性を示すものではない。従っ
て、本焼結体では、その表面改質により、内部の本質的
特性を低下させることなく耐摩耗性を向上させることが
できる。
また、表面部と内部は一体のため、両者間の接合強度が
高く剥離することもない。
高く剥離することもない。
第１図は表面部のＳｉ減少率と耐摩耗性の関係を示すグ
ラフ、第２図は方法ｌに用いた被削材形状等を示す説明
断面図、第３図は方法２に用いた被削材形状等を示す説
明断面図、第４図は方法３に用いた被削材形状等を示す
一部断面図である。 ｌ；被削材、２；窒化珪素基焼結体チップ、３；ホルダ
ー 第１図 第３図 第４図
ラフ、第２図は方法ｌに用いた被削材形状等を示す説明
断面図、第３図は方法２に用いた被削材形状等を示す説
明断面図、第４図は方法３に用いた被削材形状等を示す
一部断面図である。 ｌ；被削材、２；窒化珪素基焼結体チップ、３；ホルダ
ー 第１図 第３図 第４図
Claims (1)
- （１）内部のＳｉ含有量に対する表面部のＳｉ含有量の
以下の算出式に示す減少率が、２０重量％以上であるこ
とを特徴とする窒化珪素焼結体。 Ｓｉ減少率＝［｛内部Ｓｉ含有量（重量）−表面部Ｓｉ
含有量（重量）｝／内部Ｓｉ含有 量（重量）］×１００。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63306320A JP2719942B2 (ja) | 1988-12-03 | 1988-12-03 | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 |
| KR1019890017810A KR960016069B1 (ko) | 1988-12-03 | 1989-12-02 | 질화규소에 기초한 소결체 |
| DE3939989A DE3939989C2 (de) | 1988-12-03 | 1989-12-02 | Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers auf Siliziumnitridbasis und Sinterkörper auf Siliziumnitridbasis |
| US08/075,917 US5316856A (en) | 1988-12-03 | 1993-06-14 | Silicon nitride base sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63306320A JP2719942B2 (ja) | 1988-12-03 | 1988-12-03 | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH02153865A true JPH02153865A (ja) | 1990-06-13 |
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