JPH02155083A - 半導体装置の外観検査装置 - Google Patents
半導体装置の外観検査装置Info
- Publication number
- JPH02155083A JPH02155083A JP63310317A JP31031788A JPH02155083A JP H02155083 A JPH02155083 A JP H02155083A JP 63310317 A JP63310317 A JP 63310317A JP 31031788 A JP31031788 A JP 31031788A JP H02155083 A JPH02155083 A JP H02155083A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置いわゆるＩＣの外観検査の自動化装
置に関し、特に検査対象物であるガル・ウイング（ＧＵ
ＬＬ−ＷＩＮＧ ）状のリードをもつＩＣの外観を検査
する外観検査装置に関するものである。
置に関し、特に検査対象物であるガル・ウイング（ＧＵ
ＬＬ−ＷＩＮＧ ）状のリードをもつＩＣの外観を検査
する外観検査装置に関するものである。
第３図は従来の半導体装置の外観検査装置の構成図であ
る。同図において、１は第５図に示すようにガル・ウイ
ング状のリード１ｂが両方向に配列されたｓｏｐのＩＣ
（以下ＩＣと略す）、１ａはこのＩＣ１のリード先端面
、３は該リード先端面１ａに対向して配置された照明装
置、３ｍは照明装置３ｔ−構成するハーフミラ−３ｂは
照明装置３を構成する電球である。また、４はＩＣ１の
リード先端面１ａに対向し照明装置３の後方に配置され
たカメラ、５はこのカメラ４に接続された画像処理検査
装置、６はこの画像処理検査装置５に接続されたモニタ
テレビ、７はＩＣＩを載せる検査台である。
る。同図において、１は第５図に示すようにガル・ウイ
ング状のリード１ｂが両方向に配列されたｓｏｐのＩＣ
（以下ＩＣと略す）、１ａはこのＩＣ１のリード先端面
、３は該リード先端面１ａに対向して配置された照明装
置、３ｍは照明装置３ｔ−構成するハーフミラ−３ｂは
照明装置３を構成する電球である。また、４はＩＣ１の
リード先端面１ａに対向し照明装置３の後方に配置され
たカメラ、５はこのカメラ４に接続された画像処理検査
装置、６はこの画像処理検査装置５に接続されたモニタ
テレビ、７はＩＣＩを載せる検査台である。
このようなＩＣの外観検査装置において、電球３ｂから
の光３ｃはハーフミラ−３為にて反射し、ＩＣ１のリー
ド先端面１ａへ向かう。そして、第４図に示すように、
そのリード先端面１ａと検査台Ｔで反射した光は、ハー
フミラ−３＆を通り抜はカメラ４に撮像される。これに
より、カメラ４は映像信号として出力し、この映像信号
から画像処理検査装置５では、検査台Ｔとリード先端面
１ａのすき間βを計測・判定することによって検査して
いる。
の光３ｃはハーフミラ−３為にて反射し、ＩＣ１のリー
ド先端面１ａへ向かう。そして、第４図に示すように、
そのリード先端面１ａと検査台Ｔで反射した光は、ハー
フミラ−３＆を通り抜はカメラ４に撮像される。これに
より、カメラ４は映像信号として出力し、この映像信号
から画像処理検査装置５では、検査台Ｔとリード先端面
１ａのすき間βを計測・判定することによって検査して
いる。
従来の外観検査装置は以上の様に構成されているので、
カメラの分解能によって検査精度が大きく左右されてし
まい、通常のカメラの分解能では十分な検査精度が得ら
れないという問題があった。
カメラの分解能によって検査精度が大きく左右されてし
まい、通常のカメラの分解能では十分な検査精度が得ら
れないという問題があった。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、カメラの分解能を変えることなく精度の良い半
導体装置の外観検査装置を得ることを目的とする。
もので、カメラの分解能を変えることなく精度の良い半
導体装置の外観検査装置を得ることを目的とする。
本発明に係る外観検査装置は、検査対象物を撮像するカ
メラと照明装置を検査台に対し４５°傾けた配置構造と
し、この検査台をミラーから構成したものである。
メラと照明装置を検査台に対し４５°傾けた配置構造と
し、この検査台をミラーから構成したものである。
本発明における外観検査装置は、カメラと照明装置を４
５°傾けて検査台をミラーにて構成することにより、こ
のカメラでは、リード先端面の実像とミラー反射像が同
じ明るさで写り、これを撮像することが可能になる。
５°傾けて検査台をミラーにて構成することにより、こ
のカメラでは、リード先端面の実像とミラー反射像が同
じ明るさで写り、これを撮像することが可能になる。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第１図は本発明の一実施例によるＩＣの外観検査装置の
概略構成図である。この実施例が第３図に示した従来例
のものと異なる点は、検査対象物を撮像し電気信号に変
換する光電変換装置としてのカメラ４と照明装置３を検
査台の水平面に対し４５°傾けた配置構造とし、この検
査台をミラー２から構成したことである。なお、図中、
同一符号は同一または相当部分を示している。
概略構成図である。この実施例が第３図に示した従来例
のものと異なる点は、検査対象物を撮像し電気信号に変
換する光電変換装置としてのカメラ４と照明装置３を検
査台の水平面に対し４５°傾けた配置構造とし、この検
査台をミラー２から構成したことである。なお、図中、
同一符号は同一または相当部分を示している。
上記実施例構成の外観検査装置によると、照明装置３か
ら発せられた光３Ｃは、第２図（耐及び（ｂ）に示すよ
うに、ＩＣ１のリード先端面１ａに反射するとともに検
査台としてのミラー２にて反射して戻ってくる光と、そ
のミニ７−２に反射しかつリード先端面１ａにて反射し
て戻ってくる光とになる。これをカメラ４で撮像すると
、該カメラ４は、リード先端面１ａの実像とミラー反射
像を同じ明るさで撮像してその変換出力を映像信号とし
て画像処理検査装置５に送出する。これにより、画像処
理検査装置５では、リード先端面１ａの実像とミラー反
射像のすき間αを計測・判定することにより検査を行う
。したがって、このとき、画像処理検査装置５は、ＩＣ
１のリード先端面１ａとミラー２のすき間を〆「倍した
ものを計測することになるので、従来と同様のカメラ４
を用いて検査精度を高めることができる。
ら発せられた光３Ｃは、第２図（耐及び（ｂ）に示すよ
うに、ＩＣ１のリード先端面１ａに反射するとともに検
査台としてのミラー２にて反射して戻ってくる光と、そ
のミニ７−２に反射しかつリード先端面１ａにて反射し
て戻ってくる光とになる。これをカメラ４で撮像すると
、該カメラ４は、リード先端面１ａの実像とミラー反射
像を同じ明るさで撮像してその変換出力を映像信号とし
て画像処理検査装置５に送出する。これにより、画像処
理検査装置５では、リード先端面１ａの実像とミラー反
射像のすき間αを計測・判定することにより検査を行う
。したがって、このとき、画像処理検査装置５は、ＩＣ
１のリード先端面１ａとミラー２のすき間を〆「倍した
ものを計測することになるので、従来と同様のカメラ４
を用いて検査精度を高めることができる。
なお、上記実施例では検査対象をｓｏｐのＩＣとしたが
、ＱＦＰのＩＣ′／にどでもよい。
、ＱＦＰのＩＣ′／にどでもよい。
以上のように本発明によれば、ガル・ウイング状のリー
ドをもつＩＣをミラー上に載せてその４５°の方向から
照明し撮像する構成としたので、リード先端面の実像と
ミラー反射像が同じ明るさで写り、この間隔はミラーと
リード先端面のすき間の７７倍されたものとなる。した
がって、これを計測・判定して検査するので、非常に検
査精度が良くなる効果がある。
ドをもつＩＣをミラー上に載せてその４５°の方向から
照明し撮像する構成としたので、リード先端面の実像と
ミラー反射像が同じ明るさで写り、この間隔はミラーと
リード先端面のすき間の７７倍されたものとなる。した
がって、これを計測・判定して検査するので、非常に検
査精度が良くなる効果がある。
第１図は本発明の一実施例による半導体装置の外観検査
装置の概略構成図、第２図は本発明の動作原理の説明図
、第３図は従来の半導体装置の外観検査装置の概略構成
図、第４図は従来装置の動作原理の説明図、第５図はｓ
ｏｐのＩＣ外観図である。 １・・・・ＩＣ，２φ・・・ミラー（検査台）、３・骨
・・照明装置、４・・・・カメラ、５・・・・画像処理
検査装置。 代理八大岩増雄 第 図 ６：モクタテレし 第 図 ３Ｃ：λＮも
装置の概略構成図、第２図は本発明の動作原理の説明図
、第３図は従来の半導体装置の外観検査装置の概略構成
図、第４図は従来装置の動作原理の説明図、第５図はｓ
ｏｐのＩＣ外観図である。 １・・・・ＩＣ，２φ・・・ミラー（検査台）、３・骨
・・照明装置、４・・・・カメラ、５・・・・画像処理
検査装置。 代理八大岩増雄 第 図 ６：モクタテレし 第 図 ３Ｃ：λＮも
Claims (1)
- 検査対象物であるガル・ウイング状のリードをもつ半導
体装置の外観を検査するものにおいて、前記半導体装置
の検査台となるミラーと、このミラーに対し４５°の傾
きから該ミラー上に置かれた前記半導体装置のリード先
端面を光らせる照明装置と、この照明装置と同じ傾きか
らリード先端面とミラーに写つたリード先端面を撮像し
電気信号に変換する光電変換装置と、この光電変換装置
からの電気信号によりリード先端面とミラーに写つたリ
ード先端面の間隔を求め良否判定を行う画像処理検査装
置を備えたことを特徴とする半導体装置の外観検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63310317A JPH02155083A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 半導体装置の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63310317A JPH02155083A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 半導体装置の外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02155083A true JPH02155083A (ja) | 1990-06-14 |
Family
ID=18003773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63310317A Pending JPH02155083A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 半導体装置の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02155083A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258433A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Susumu Nakatani | 平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP63310317A patent/JPH02155083A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258433A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Susumu Nakatani | 平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法 |
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