JPH0215590Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は容器から微量の液体をパルス状の圧搾
空気により間欠的に吐出して滴出させる微量液体
塗布装置に関する。

〔従来技術〕

例えば半導体装置の製造においては、微量の接
着剤をリードフレームのダイアイランドに塗布
し、この上にチツプを搭載して接着させるダイボ
ンデイング工程がある。

そして、このような工程に使用される装置とし
て、第８図に示すように、接着剤１わ収納する容
器２の一方側から導通管３を介して圧搾空気発生
装置４によりパルス状の圧搾空気を供給し、他方
側に設けた突出細口２ａより接着剤を間欠的に滴
下させる装置がある。

ところが、このような装置においては容器内の
残留接着剤量を積算流量計或いは通常の圧力計等
で測定することが極めて困難であるため、その確
認を肉眼で行つているが、肉眼による確認は誤
認、見過ごし等が起こり易く、この結果、容器内
に液体が無くなつたにも拘わらず作業が継続され
る場合があり、このような場合にはダイボンデイ
ングが不完全となり、不良品発生の原因となる。

また、容器内の残留接着剤量が減少するに伴つ
て、１パルス当りの滴下接着剤の量が変動するた
め、適時その補正・調整をしなくてはならず煩雑
な作業を必要としている。

〔考案の目的〕

本考案は上記した点に鑑みてなされたものであ
つて、その目的は、容器内の液体の残量を測定可
能とし、該測定結果により供給される圧搾空気を
制御できるようにして上記したような問題点を解
消可能とした微量液体塗布装置を提供することに
ある。

〔考案の構成〕

このために本考案の微量液体塗布装置は、電極
を容器に配設すると共に、該電極を静電容量検出
手段に接続し、該静電容量検出手段からの上記容
器内の上記液体の現在量を示す出力信号を上記圧
搾空気発生装置にフイードバツクさせて構成して
いる。

〔実施例〕

以下、本考案の微量液体塗布装置の実施例つい
て説明する。第１図はその一実施例の装置を示す
ものであり、前記した第８図におけるものと同一
のものには同一の符号を附した。

本実施例では、接着剤１等の液体を封入する容
器５を、絶縁体よつて概ね円筒状に形成し、その
上面を開口させてその縁部に第３図に示すように
外側に突出するクサビ状の係合突片５ａを適数個
形成し、底部は漏斗状に形成して最下部に吐出細
口５ｂを形成する。

６はキヤツプで、容器５の上面の係合突片５ａ
に着脱可能に被蓋して装着するものであり、第２
図に示すように内側にクサビ状の係合突片６ａが
形成されている。

従つて、係合受片５ａと係合突片６ａとを相互
に離間してキヤツプ６を容器５の上面に当接させ
てから、両者を相互に回転させると係合受片５ａ
に係合突片６ａが係合する。なお、密閉のために
パツキン７を介在させる場合もある（第４図参
照）。

８は中心電極であり、容器５の中心位置に垂直
状に配置するようキヤツプ６にされており、その
キヤツプ６の導通管３接続部から端子が引き出さ
れている。

９は外側電極であり、容器５の同一外径部の全
周を囲むように配置されている。

１０はホルダであり、内部に外側電極９を配置
して容器５の外面に配置する機能を有すると共
に、その容器５自体を図示しない基体に対して保
持する機能を有する。

このホルダ１０は第５図に示すように、電極９
配置する孔１０ａを有し、その穴１０ａに通じる
ように外部から切り込んだ溝１０ｂが形成され、
その溝１０ｂの両側の挾持片１０ｃ，１０ｄ間に
ボルト・ナツト等の締付け機構１１が装着されて
おり、この機構１１を締めつけることにより溝１
０ｂの間隔が狭まり、穴１０ａ内に電極９を介し
て装着した容器５が締付け固定される。１０ｅは
基体に固定される側である。また１０ｆは容器５
の下部を受ける受片である。

１２は静電容量計測器であり、電極８，９が接
続されており、その電極８，９をブリツジの一辺
とする交流ブリツジにより構成されている。そし
て、この静電容量計測器１２の出力は、フイード
バツク信号として、圧搾空気発生装置４に接続さ
れいてる。

さて、圧搾空気発生装置４よりパルス状の圧搾
空気を容器５内に間欠的に供給すると、その容器
５内部の接着剤が突出細口５ｂよりパルス毎に一
滴づつ押出・滴下され、容器１内の液体量が徐々
に減少する。

この間、静電容量計測器１２では、電極８，９
間の静電容量を連続的に計測しており、この容量
は容器５内の接着剤１の減少に対応して減少する
ようになる。従つて、容量を接着剤量に変換して
レベル計等で表示させれば、接着剤の現在量を常
時知ることがてきる。

また、突出細口５ｂより滴下される接着剤量
は、供給されるパルス状の圧搾空気が一定であつ
たとしても容器１内の液体の残量によつて変化し
て、残存量が少なくなるほど滴下量が増加する。

この点について、本実施例では、静電容量計測
器１２での検出容量信号を圧搾空気発生装置４に
フイードバツクさせているので、その信号により
圧搾空気発生装置４を制御して、滴下量が常に一
定になるように調整することができ、また接着剤
量が予め決めた一定量以下となつた時点で圧搾空
気発生装置４の作動を停止させることもできる。

なお、この実施例においては、電極８が容器５
内部に位置するので、内部の接着剤１等の液体が
付着する。しかし、腐蝕性の液体を扱う場合であ
つても、電極８を耐腐蝕性の膜で被覆すれば何等
問題なく使用できる。

第７図は本考案の別の実施例の要部を示すもの
である。この実施例においては容器５内には電極
を配設しないで、２個の電極１３，１４を相互に
接触しないようにして、容器５の外周面に装着し
たものである。他は前記した実施例と同様であ
る。

この実施例では、電極が容器５内の接着剤に触
れることがないので、その表面保護等について特
別の対策をとる必要はない。

〔考案の効果〕

以上から本考案によれば、容器内の液体の残量
が測定可能で、該測定結果により供給される圧搾
空気を制御できるので、容器内の残存液体の現在
量を正確に知ることができ、しかもその現在量が
所定の量となつた時点で圧搾空気発生装置を停止
させることもでき、ダイボンデイング工程等おけ
る接着剤塗布に使用する場合に、接着不良の発生
を効果的に防止することができる。

また、容器内の液体残存量に応じて圧搾空気発
生装置を制御することもできるので、常時同一の
量だけ液体を滴出することも可能となる。

更に、容器を基体に対して保持するホルダを使
用する場合には、そのホルダに容量検出用の電極
を設けることができ、電極装填等が容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の実施例の微量液体塗布装
置の説明図、第２図はその装置のキヤツプの斜視
図、第３図はその装置の容器の上方部を示す斜視
図、第４図はその装置の容器の上端部にキヤツプ
を装着した状態を示す断面図、第５図はその装置
のホルダの斜視図、第６図はその断面図、第７図
は他の実施例の微量液体塗布装置の要部を示す説
明図、第８図は従来の微量液体塗布装置の説明図
である。 ４……圧搾空気発生装置、５……容器、６……
キヤツプ、８，９……電極、１０……ホルダ、１
１……締付機構、１２……静電容量計測器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 容器の一方側よりパルス状の圧搾空気を供給し
   て内部液体を他方側の細口から間欠的に滴出する
   ように構成した微量液体塗布装置において、 電極を上記容器に配設すると共に、該電極を静
   電容量検出手段に接続し、該静電容量検出手段か
   らの上記容器内の上記液体の現在量を示す出力信
   号を上記圧搾空気発生装置にフイードバツクさせ
   たことを特徴とする微量液体塗布装置。