JPH02156584A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH02156584A JPH02156584A JP63310678A JP31067888A JPH02156584A JP H02156584 A JPH02156584 A JP H02156584A JP 63310678 A JP63310678 A JP 63310678A JP 31067888 A JP31067888 A JP 31067888A JP H02156584 A JPH02156584 A JP H02156584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- fresh
- control unit
- flow rate
- fresh gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ媒体としてＣＯｚ又はｌ−１ｅ又はＮ、
ｌ又はその他各種のガスを用い、連続してレーザ発振が
行なわれるガス循環系を有するガスレーザ発振器に関す
るものである。
ｌ又はその他各種のガスを用い、連続してレーザ発振が
行なわれるガス循環系を有するガスレーザ発振器に関す
るものである。
従来の技術
従来のガスレーザ発振器の一例として高速軸流タイプの
ＣＯ２レーザの場合を第３図にブロック図で示す。
ＣＯ２レーザの場合を第３図にブロック図で示す。
第３図ではガス循環系ｌの一部に対向する２つの出力ミ
ラー２と終段ミラー３を取り付け、その間に高圧電源４
により放電領域を設ける。この放電領域でレーザ光を発
生させ両端の出力ミラー２と終段ミラー３間で増幅させ
、その一部を出力ミラー２より外部へ取出し加工等に用
いるものである。
ラー２と終段ミラー３を取り付け、その間に高圧電源４
により放電領域を設ける。この放電領域でレーザ光を発
生させ両端の出力ミラー２と終段ミラー３間で増幅させ
、その一部を出力ミラー２より外部へ取出し加工等に用
いるものである。
媒体ガスは送風機５によりガス循環系ｌを循環している
が、その一部は真空ポンプ６により外部へ排気され、そ
の分新鮮ガス７を供給している。
が、その一部は真空ポンプ６により外部へ排気され、そ
の分新鮮ガス７を供給している。
新鮮ガス７としてはＣｏよ、Ｉｌｅ、Ｎ２等が用いられ
る。又、熱交換器８はガスを冷却するために用いられて
いる。
る。又、熱交換器８はガスを冷却するために用いられて
いる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記従来のガスレーザ発振器では媒体ガスの一
部を排気するとともに一定量の新鮮ガスを常に供給して
いるため、レーザ光を加工等に用いるレーザシステムに
用いた場合、加工しない時間においても、新鮮ガスは供
給され続けており。
部を排気するとともに一定量の新鮮ガスを常に供給して
いるため、レーザ光を加工等に用いるレーザシステムに
用いた場合、加工しない時間においても、新鮮ガスは供
給され続けており。
新鮮ガスが無駄に消費され全体としての稼動費用が高く
なるという問題がある。
なるという問題がある。
課題を解決するための手段
上記目的達成のため本発明は、レーザ媒体としてＣＯ２
又はＨｅ又はＮ、又はその他各種のガスを用い、常時前
記レーザ媒体としてのガスの一部排気と新鮮ガスの供給
をしている循環系を備え、この循環系内で新鮮ガスの供
給量を調整するガス流１制御装置とガス圧を一定にする
ガス圧制御装置とを設けたガスレーザ発振器とした。
又はＨｅ又はＮ、又はその他各種のガスを用い、常時前
記レーザ媒体としてのガスの一部排気と新鮮ガスの供給
をしている循環系を備え、この循環系内で新鮮ガスの供
給量を調整するガス流１制御装置とガス圧を一定にする
ガス圧制御装置とを設けたガスレーザ発振器とした。
作 用
本発明では、ガス循環系内に新鮮ガスの供給量を制御す
るガス流量制御装置と、ガス圧を一定にするガス圧制御
装置とを設けることにより、ガスの一部を常に排気する
とともに新鮮ガスを供給した場合でも一定流量とガス圧
を得られ、さらにガス循環系内のガス圧を一定に保持し
たままで、新鮮ガスの供給を必要なときのみに基壁量供
給し、それ以外の時間は新鮮ガスを減少もしくはゼロに
調整できるようになった。
るガス流量制御装置と、ガス圧を一定にするガス圧制御
装置とを設けることにより、ガスの一部を常に排気する
とともに新鮮ガスを供給した場合でも一定流量とガス圧
を得られ、さらにガス循環系内のガス圧を一定に保持し
たままで、新鮮ガスの供給を必要なときのみに基壁量供
給し、それ以外の時間は新鮮ガスを減少もしくはゼロに
調整できるようになった。
実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。第１図に示したガス
レーザ発振器の構成中１〜８の部分は従来例と同じ構成
である。
レーザ発振器の構成中１〜８の部分は従来例と同じ構成
である。
９はガス流量コントローラで、新鮮ガス７の流路に設け
られ、ガス流量制御装置１０により制御されている。１
１はガス圧制御装置で、圧力センサ１２を介して、循環
系ｌ内の圧力を検知し、真空ポンプ６に接続したコント
ロールバルブ１３を制御してガス圧を一定に保持するよ
うにした。１４は外部信号で、ガスｒＭ １３装置１０
に人力することにより新鮮がスフの供給や停止を制御す
るようになっている。
られ、ガス流量制御装置１０により制御されている。１
１はガス圧制御装置で、圧力センサ１２を介して、循環
系ｌ内の圧力を検知し、真空ポンプ６に接続したコント
ロールバルブ１３を制御してガス圧を一定に保持するよ
うにした。１４は外部信号で、ガスｒＭ １３装置１０
に人力することにより新鮮がスフの供給や停止を制御す
るようになっている。
第２図はレーザ光の発生状態の関連をしめず説明図であ
る。前記ガス流１制御装置１０の調整により新鮮ガスを
供給し、レーザ光を発生させている。
る。前記ガス流１制御装置１０の調整により新鮮ガスを
供給し、レーザ光を発生させている。
第１図において、先ずレーザ光を必要とする外部信号１
４がガス流量制御装置ＩＯに入力されると。
４がガス流量制御装置ＩＯに入力されると。
流ｆｉｌコントローラ９により新鮮ガス７が基１＄量供
給される。又逆にレーザ光を不要とする外部信号１４が
ガス流量制御装置１０に人力されると、流量コントロー
ラ９により新鮮ガス７が基”Ｐ（ｉｌｌより減少又は停
止される。しかし、この時ガス循環系ｌ内のガス圧は一
定に保たなければ、放電状態も変化し、レーザ光出力が
変動してしまうので、圧力センサ１２によりガス循環系
ｌ内のガス圧を検知し、ガス圧制御装置１１に信号を送
り、その信号よりガス圧制御装置１１が真空ポンプ６前
のコントロールバルブ１３を調整し、ガス循環系ｌのガ
ス圧を一定に保つようにした。
給される。又逆にレーザ光を不要とする外部信号１４が
ガス流量制御装置１０に人力されると、流量コントロー
ラ９により新鮮ガス７が基”Ｐ（ｉｌｌより減少又は停
止される。しかし、この時ガス循環系ｌ内のガス圧は一
定に保たなければ、放電状態も変化し、レーザ光出力が
変動してしまうので、圧力センサ１２によりガス循環系
ｌ内のガス圧を検知し、ガス圧制御装置１１に信号を送
り、その信号よりガス圧制御装置１１が真空ポンプ６前
のコントロールバルブ１３を調整し、ガス循環系ｌのガ
ス圧を一定に保つようにした。
発明の効果
本発明により各種ガスを用いたガスレーザ発振器におい
て、常にガスの一部を排気するとともに新鮮ガスを供給
して継続してレーザ光を発生させる場合には一定のガス
圧の保持と新鮮ガスの供給とが安定して行なわれる。さ
らにレーザ光を必要としない場合にもガス循環系内のガ
ス圧を一定に保ったままで、新鮮ガスの供給を停［ヒし
たり、減少したりして調整することが可能となり、ガス
レーザ発振器の稼動費用が低減するという優れたガスレ
ーザ発振器を提供することができた。
て、常にガスの一部を排気するとともに新鮮ガスを供給
して継続してレーザ光を発生させる場合には一定のガス
圧の保持と新鮮ガスの供給とが安定して行なわれる。さ
らにレーザ光を必要としない場合にもガス循環系内のガ
ス圧を一定に保ったままで、新鮮ガスの供給を停［ヒし
たり、減少したりして調整することが可能となり、ガス
レーザ発振器の稼動費用が低減するという優れたガスレ
ーザ発振器を提供することができた。
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振器のブ
ロック図、第２図は本発明を用いた場合のレーザ光と新
鮮ガスの供給との関連を示す説明図、第３図は従来例を
示すブロック図である。
ロック図、第２図は本発明を用いた場合のレーザ光と新
鮮ガスの供給との関連を示す説明図、第３図は従来例を
示すブロック図である。
Claims (1)
- （１） レーザ媒体としてＣＯ＿２又はＨｅ又はＮ＿２
又はその他各種のガスを用い、常時前記レーザ媒体とし
てのガスの一部排気と新鮮ガスの供給をしている循環系
を備え、この循環系内で新鮮ガスの供給量を調整するガ
ス流量制御装置とガス圧を一定にするガス圧制御装置と
を設けたことを特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63310678A JPH02156584A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63310678A JPH02156584A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02156584A true JPH02156584A (ja) | 1990-06-15 |
Family
ID=18008136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63310678A Pending JPH02156584A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02156584A (ja) |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP63310678A patent/JPH02156584A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20130315274A1 (en) | Gas laser device | |
| EP2618433B2 (en) | Laser processing device, and method for controlling laser processing device | |
| JPH02156584A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JP2706485B2 (ja) | レーザガス置換量制御方法 | |
| JPH0996279A (ja) | エアコンプレッサシステムの省エネルギ制御装置 | |
| JPH022199A (ja) | 色素レーザの色素循環装置 | |
| JPH04188782A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2588864B2 (ja) | 光処理装置 | |
| CA2347490A1 (en) | Apparatus for minimizing the effects of laser intensity reduction at cold temperatures in ring laser gyros | |
| JPH01232779A (ja) | レーザ発振器用冷却装置 | |
| JPS63288080A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| US5044938A (en) | Method of controlling temperature of a joining area between two different strip materials in a continuous strip processing line | |
| JP2821764B2 (ja) | 気体レーザ発振装置 | |
| JPH02293303A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPH02280391A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPS5849842A (ja) | 空気調和装置の制御方法およびその装置 | |
| JP4829169B2 (ja) | ガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法 | |
| JP2541564B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP4574076B2 (ja) | 高度安全施設とその制御方法 | |
| JPH033383A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH0738179A (ja) | ガス圧力制御装置 | |
| JPH03295285A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6260061U (ja) | ||
| JPH01291000A (ja) | 通信制御装置における冷却用ファン騒音低減装置 | |
| JPH0744034Y2 (ja) | 高周波励起ガスレーザ装置 |