JPH02157635A - Device for inspecting stability of light wavelength - Google Patents
Device for inspecting stability of light wavelengthInfo
- Publication number
- JPH02157635A JPH02157635A JP31020388A JP31020388A JPH02157635A JP H02157635 A JPH02157635 A JP H02157635A JP 31020388 A JP31020388 A JP 31020388A JP 31020388 A JP31020388 A JP 31020388A JP H02157635 A JPH02157635 A JP H02157635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- hologram lens
- optical fiber
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体レーザ等の光源について、その発光波
長の安定度を検査する装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an apparatus for inspecting the stability of the emission wavelength of a light source such as a semiconductor laser.
(従来の技術)
半導体レーザは、光フアイバ通信、光ディスク等の光源
に数多く用いられているが、高性能化には出力波長の安
定化が必要である。しかし、通常、発光波長は温度変化
によって変動し易いなど安定度に欠点がある。また、製
品に特性のばらつきが生じ易い。したがって、波長安定
度を要する利用にあたっては、あらかじめその検査を実
施する必要がある。しかし従来の検査では、回折格子を
内蔵した精密分光器を用いて光学系を独自に組むか、ま
たは光スペクトルアナライザと呼ばれる光学干渉系内蔵
の高価な分光装置を必要とした。前者では特に広い設置
スペースを要する問題がある。また、いずれの方法を採
用するにしても、検査装置が高価になるので、半導体レ
ーザの検査コストがかさむ問題があった。(Prior Art) Semiconductor lasers are widely used as light sources for optical fiber communications, optical disks, etc., but stabilization of the output wavelength is required for high performance. However, they usually have shortcomings in stability, such as the fact that the emission wavelength tends to fluctuate due to temperature changes. Further, variations in characteristics are likely to occur in the product. Therefore, when using a device that requires wavelength stability, it is necessary to test it in advance. However, conventional inspections require either a custom optical system using a precision spectrometer with a built-in diffraction grating, or an expensive spectroscopic device called an optical spectrum analyzer with a built-in optical interference system. The former has a problem in that it requires a particularly large installation space. In addition, whichever method is adopted, the inspection equipment becomes expensive, so there is a problem in that the cost of inspecting the semiconductor laser increases.
(発明が解決しようとする課題)
本発明は、ホログラムレンズを用いて分光系を簡易に構
成することにより、発光波長の安定度を容易に検査でき
る光波長安定度検査装置を提供することにある。(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to provide an optical wavelength stability testing device that can easily test the stability of the emission wavelength by simply configuring a spectroscopic system using a hologram lens. .
(課題を解決するための手段)
本発明の光波長安定度検査装置は、検査対象の光源から
の出射光を受けるホログラムレンズと、該ホログラムレ
ンズによる集光位置付近に設置された単一または1列に
並んだ複数の微小な光学的開口と、該光学的開口の各々
を通過した光を受ける光センサと、該光センサの出力を
記録する装置とにより構成する。(Means for Solving the Problem) The optical wavelength stability inspection device of the present invention includes a hologram lens that receives emitted light from a light source to be inspected, and a single or single It consists of a plurality of minute optical apertures arranged in a row, an optical sensor that receives light that passes through each of the optical apertures, and a device that records the output of the optical sensor.
すなわち本発明は、半導体レーザ(または半導体レーザ
からの光を受けた光ファイバ)からの出射光を、ホログ
ラムレンズを介して特定の位置に設置された光学的開口
(光ファイバのコア、ピンホール、スリットなど)に入
射し、この光学的開口を通過した光の強度を測定するこ
とにより、半導体レーザの発光波長安定度を検査する。That is, the present invention allows light emitted from a semiconductor laser (or an optical fiber that receives light from the semiconductor laser) to be transmitted through an optical aperture (core of an optical fiber, pinhole, etc.) installed at a specific position via a hologram lens. The stability of the emission wavelength of a semiconductor laser is tested by measuring the intensity of light that enters a slit (such as a slit) and passes through this optical aperture.
従来技術では、グレーティングや干渉系を内蔵した精密
な分光器で実施していたが、本発明は以下に説明するよ
うに、極めて簡単なホログラムレンズと光パワ検出との
組合せで、検査を容易に行うので、両者には大きな違い
がある。In the conventional technology, inspection was performed using a precision spectrometer with built-in gratings and interference systems, but as explained below, the present invention simplifies inspection by combining an extremely simple hologram lens and optical power detection. There is a big difference between the two.
(実施例)
第1図は本発明の第1の実施例の構成を示す平面図であ
って、1は検査対象の半導体レーザ、2は光ファイバ、
3はホログラムレンズ、4は受光用光ファイバ、5は光
センサ、6は記録装置、7は光コネクタ、8は半導体レ
ーザ結合用光ファイバである。この実施例では、本発明
の検査装置は、破線で囲まれた本体と、記録装置6とに
より構成される。この図のように、本体と電気的にだけ
結合していてもよいし、本体と物理的に一体の形態でも
よい。この記録装置は、導光部とホログラムレンズなど
小さな部品の少数の集合と受光電気系の組合せであるか
ら、簡単、経済的な構成である。(Embodiment) FIG. 1 is a plan view showing the configuration of a first embodiment of the present invention, in which 1 is a semiconductor laser to be inspected, 2 is an optical fiber,
3 is a hologram lens, 4 is a light receiving optical fiber, 5 is an optical sensor, 6 is a recording device, 7 is an optical connector, and 8 is an optical fiber for coupling a semiconductor laser. In this embodiment, the inspection device of the present invention includes a main body surrounded by a broken line and a recording device 6. As shown in this figure, it may be connected only electrically to the main body, or it may be physically integrated with the main body. This recording device has a simple and economical configuration because it is a combination of a small number of small parts such as a light guiding section and a hologram lens, and a light receiving electric system.
半導体レーザ1から出射された光は、光ファイバ8と2
を通って薄板形状のホログラムレンズ3に入射し、ホロ
グラムレンズ3の回折作用で集光される。この点に受光
用光ファイバ4の端面を設置しておき、光を受ける。受
光用光ファイバに入った光は、他端に取り付けられた光
センサ5に導いてその強度を測る。この測定値を記録装
置6に記録する。The light emitted from the semiconductor laser 1 is transmitted through optical fibers 8 and 2.
The light passes through the thin plate-shaped hologram lens 3 and is focused by the diffraction effect of the hologram lens 3. The end face of the light-receiving optical fiber 4 is installed at this point to receive light. The light entering the light-receiving optical fiber is guided to an optical sensor 5 attached to the other end and its intensity is measured. This measured value is recorded on the recording device 6.
本発明の原理は、薄膜状のホログラムレンズの集光点位
置が光の波長に依存することを利用したものである。受
光用光ファイバの受光端面を、光が最も集束した位置に
取り付ける。この後、半導体レーザの波長が変化すると
、光の集束位置が移動するため、受光用光ファイバに入
る光の量が少なくなるので、光センサの出力が変化する
。したがって、半導体レーザの出射波長の変化を、光セ
ンサの出力の変化として計測できる。The principle of the present invention utilizes the fact that the focal point position of a thin film hologram lens depends on the wavelength of light. The light-receiving end face of the light-receiving optical fiber is attached to the position where the light is most focused. Thereafter, when the wavelength of the semiconductor laser changes, the focusing position of the light moves, and the amount of light entering the light-receiving optical fiber decreases, so the output of the optical sensor changes. Therefore, a change in the emission wavelength of the semiconductor laser can be measured as a change in the output of the optical sensor.
本発明は、ホログラムレンズによる光の集束点の位置が
、入射光の波長によって異なってくるという特性を利用
したものである。そこで、本発明の構成に不可欠なホロ
グラムレンズについて説明する。The present invention utilizes the characteristic that the position of the focal point of light by a hologram lens differs depending on the wavelength of incident light. Therefore, the hologram lens essential to the configuration of the present invention will be explained.
ホログラムレンズは、集光レンズの作用をもつように作
製したホログラムである。一般のホログラムは、感光材
料を塗布した基板に、同一レーザからの二つのビームを
適切な条件で同時に重ねて照射し、その干渉縞を記録し
たものである。この干渉縞が一種の回折格子として働く
ことにより、入射光に対して特定の作用を及ぼす。A hologram lens is a hologram made to have the function of a condensing lens. A typical hologram is created by simultaneously irradiating a substrate coated with a photosensitive material with two beams from the same laser under appropriate conditions, and recording the interference fringes. These interference fringes act as a kind of diffraction grating, thereby exerting a specific effect on the incident light.
よく知られるように、光の回折角は波長に依存して大き
く変化する。波長が大きいと回折角も大きくなる。した
がって、回折の効果を利用し、たホログラムレンズによ
る光の集束位置は、波長の変化によって移動する。この
現象については、例えば、応用物理学会誌第57巻、第
5号、pp、 759−761(198B)に掲載され
ている論文;゛°グレーティングレンズ′°のなかで述
べられている。As is well known, the diffraction angle of light changes significantly depending on the wavelength. The larger the wavelength, the larger the diffraction angle. Therefore, by utilizing the effect of diffraction, the focusing position of light by the hologram lens moves as the wavelength changes. This phenomenon is described, for example, in the article ``Grating Lens'' published in Journal of Applied Physics, Vol. 57, No. 5, pp. 759-761 (198B).
ホログラムを作製するための感光材料としては、S艮塩
、重クロム酸ゼラチン、フォトポリマー、サーモプラス
チックなどがあるが、いずれの材料でもホログラムレン
ズを作製できる。通常は感光材料を保護する必要から、
記録後は感光面にガラス板を貼り付けてシールする。ホ
ログラムレンズの形状は単なる貼り合わせガラスになり
、薄板状で扱いが容易である。収差を小さくするといっ
た目的で、ホログラムを2枚張り合わせ一つのホログラ
ムレンズとすることも行われるが、取扱いは同じである
。Examples of photosensitive materials for producing holograms include sulfur salts, dichromate gelatin, photopolymers, and thermoplastics, and hologram lenses can be produced using any of these materials. Usually due to the need to protect the photosensitive material,
After recording, a glass plate is attached to the photosensitive surface and sealed. The shape of the hologram lens is simply laminated glass, which is thin and easy to handle. For the purpose of reducing aberrations, two holograms are sometimes pasted together to form a single hologram lens, but the handling is the same.
第2図はホログラムの光学的作用の説明図である。第2
図(a)は光ファイバ2.4が同一軸上にある場合、(
b) 、 (c)は同一軸上にない場合である。光ファ
イバ2からの出射光は、実線で示したようにホログラム
レンズを通過した後、光ファイバの中心のコアで受光さ
れる。波長が長い方に変動した場合、ホログラムレンズ
を通過した後の光線は、破線で示したように変化する。FIG. 2 is an explanatory diagram of the optical effect of the hologram. Second
Figure (a) shows that when the optical fibers 2.4 are on the same axis, (
b) and (c) are cases where they are not on the same axis. The light emitted from the optical fiber 2 passes through the hologram lens as shown by the solid line, and then is received by the central core of the optical fiber. When the wavelength changes to the longer side, the light beam after passing through the hologram lens changes as shown by the broken line.
ホログラムレンズ は、通常の光学レンズのような同一
軸上の集光機能のほかに、第2図(b) 、 (c)の
ように光軸を曲げる機能とを併せ持たせることができる
。In addition to the function of condensing light on the same axis like a normal optical lens, a hologram lens can also have the function of bending the optical axis as shown in FIGS. 2(b) and 2(c).
第2図(a)のように、一般の集光レンズと同様、光軸
が変化しない場合は、波長変化に対して集束点の位置が
光軸上を前後に移動するだけである。As shown in FIG. 2(a), when the optical axis does not change as in a general condensing lens, the position of the focusing point simply moves back and forth on the optical axis as the wavelength changes.
したがって、受光用光フアイバ端面では光束のスポット
径が変化するだけである。一方、第2図(b)(c)の
ように、光軸を曲げて集束させているものは、波長の変
化によって、光軸の曲がる角度自体も変化する。したが
って、光束のスポット径の変化のほかに、スポットの位
置が受光用光ファイバの軸からずれることになるので、
前者の場合よりも、受光用光ファイバへの入射光量の変
化が大きくなる。したがって後者の方では感度を高くで
きる利点がある。また前者では、ホログラムレンズの回
折効率が大きくないときは、回折しないで直進する光成
分(O次回折光)の一部が、光フアイバ端面に入射する
ことになるが、後者では0次回折光は空間的に分離され
るので、そのようなノイズの恐れがない。Therefore, only the spot diameter of the light beam changes at the end face of the light-receiving optical fiber. On the other hand, in the case where the optical axis is bent and focused as shown in FIGS. 2(b) and 2(c), the angle at which the optical axis is bent itself changes as the wavelength changes. Therefore, in addition to the change in the spot diameter of the luminous flux, the spot position will shift from the axis of the receiving optical fiber.
The change in the amount of light incident on the light-receiving optical fiber is greater than in the former case. Therefore, the latter method has the advantage of increasing sensitivity. In the former case, if the diffraction efficiency of the hologram lens is not high, a part of the light component (O-order diffracted light) that travels straight without being diffracted will be incident on the end face of the optical fiber, but in the latter case, the 0-order diffracted light will be spaced out. Since the signals are separated from each other, there is no fear of such noise.
第3図は光の波長が変化した時の光束の変化を説明する
ための原理図である。第3図(a)はホログラムによる
光線の方向の変化を表わしている。FIG. 3 is a principle diagram for explaining the change in luminous flux when the wavelength of light changes. FIG. 3(a) shows the change in the direction of the light beam due to the hologram.
ホログラムの同一の位置に入射する波長λ、λ2の光線
の入射角をα1.α2とし、出射角を01.θ2とする
。このとき、次の関係が与えられる。Let the incident angles of the rays of wavelength λ and λ2 incident on the same position of the hologram be α1. α2 and the exit angle are 01. Let it be θ2. At this time, the following relationship is given.
この関係式をもとに、第2図(b)の場合を例にとって
、軸ずれの大きさを説明する。第3図(b)に示したよ
うに、ホログラムレンズからの出射光の光軸とホログラ
ムレンズへの入射光の光軸とがなす角度をθ、波長をλ
としたとき、波長がΔλだけ変化したとすれば、弐(1
)において、α1=α2=O1λ、=λ、 λ2=λ、
+Δλ、 θ、=θ、 θ2=θ+Δとすればよい。こ
のとき、出射光の光軸の変化量Δθは次式で近似的に与
えられる。Based on this relational expression, the magnitude of the axis deviation will be explained by taking the case of FIG. 2(b) as an example. As shown in Figure 3(b), the angle between the optical axis of the light emitted from the hologram lens and the optical axis of the light incident on the hologram lens is θ, and the wavelength is λ.
If the wavelength changes by Δλ, then 2(1
), α1=α2=O1λ, =λ, λ2=λ,
+Δλ, θ, =θ, θ2=θ+Δ. At this time, the amount of change Δθ in the optical axis of the emitted light is approximately given by the following equation.
λ
また、ホログラムレンズから光の集束点までの距離をL
とすれば、集束点の光ファイバに対する軸ずれ量ΔXは
、
Jx=L ・Δθ
である。λ Also, the distance from the hologram lens to the focal point of light is L
Then, the amount of axis deviation ΔX of the focal point with respect to the optical fiber is Jx=L·Δθ.
そこで、例えばλ=0.78μ齢、θ=45°、L=5
01とし、Δλ=0.1 rvを与えると、Δx ’i
2μmが得られる。すなわち、0.1μmの波長変化
によって、約2μ−の軸ずれが生じる。光ファイバ2、
受光用光ファイバ4にシングルモード光ファイバを採用
しているとすれば、光ファイバのコアの直径は5〜10
μmであり、ホログラムレンズによる光のスポットの直
径も同等の大きさにまで小さくできる。コア直径10μ
mの光フアイバ相互を突き合わせ、一方から他方へ光を
入射するとき、軸ずれのない状態から軸ずれを2μ−与
えた場合には、受光パワの低下は1割強になることが計
算できる。So, for example, λ=0.78μ age, θ=45°, L=5
01 and Δλ=0.1 rv, Δx 'i
2 μm is obtained. That is, a wavelength change of 0.1 .mu.m causes an axis misalignment of about 2 .mu.m. optical fiber 2,
If a single-mode optical fiber is used as the light-receiving optical fiber 4, the diameter of the optical fiber core is between 5 and 10 mm.
μm, and the diameter of the light spot produced by the hologram lens can be reduced to the same size. Core diameter 10μ
When m optical fibers are butted against each other and light is incident from one to the other, if an axial deviation of 2 .mu.- is applied from a state where there is no axial deviation, it can be calculated that the reduction in received light power will be more than 10%.
したがって、この実施例において、2μ−の軸ずれによ
る受光パワの変化は十分検知可能である。Therefore, in this embodiment, a change in received light power due to an axis deviation of 2 μm can be sufficiently detected.
0、 In−の波長分解能は、回折格子による分光器で
も一般には困難である。なお、感度を下げたい場合、す
なわち波長の大きな変動を検知したいときには、受光用
光ファイバ4の受光端面をビーム径の大きな位置にずら
せばよい。光ファイバ2、受光用光ファイバ4を、コア
径の大きな多モード光ファイバにしてもよい。0, In- wavelength resolution is generally difficult even with a spectrometer using a diffraction grating. Note that when it is desired to lower the sensitivity, that is, when it is desired to detect large fluctuations in wavelength, the light-receiving end face of the light-receiving optical fiber 4 may be shifted to a position where the beam diameter is large. The optical fiber 2 and the light-receiving optical fiber 4 may be multimode optical fibers with a large core diameter.
なお、半導体レーザの発光波長に、ばらつきがあること
を前提にすれば、まず検査開始時に光を受光用光ファイ
バで受かるように設定できるようになっていなければな
らない。このためには、光ファイバ2の出射端面の位置
、ホログラムレンズの傾き、受光用光ファイバの受光端
面位置のうち、少なくとも一つを調整可能にしておけば
よい。Note that, assuming that there are variations in the emission wavelength of the semiconductor laser, it is first necessary to be able to set the light receiving optical fiber to receive the light at the beginning of the inspection. For this purpose, at least one of the position of the output end face of the optical fiber 2, the inclination of the hologram lens, and the position of the light receiving end face of the light receiving optical fiber may be made adjustable.
また、ホログラムからの出射光を集光点付近で受ける素
子は、この実施例では受光用光ファイバを用いたが、こ
の代わりに、ピンホールを置き、光センサはそのピンホ
ールを通過した光を受けるようにしてもよい。また、ピ
ンホールの代わりにスリットでもよい。ただし、スリッ
トの場合には、スリットは長さ方向が紙面に垂直になる
よう配置する。なお、スリットの場合には、紙面垂直方
向の位置決めが非常に簡単になるという利点がある。In this embodiment, a light-receiving optical fiber was used as the element that receives the light emitted from the hologram near the condensing point, but instead, a pinhole was placed, and the optical sensor receives the light that passed through the pinhole. You may choose to accept it. Also, slits may be used instead of pinholes. However, in the case of slits, the slits are arranged so that the length direction is perpendicular to the plane of the paper. Note that in the case of slits, there is an advantage that positioning in the direction perpendicular to the plane of the drawing becomes very easy.
以上は、光干渉によって作製する狭義のホログラムレン
ズを前提にした説明であったが、リソグラフィ技術を利
用して作製される広義のホログラム(計算機ホログラム
)によって作製したレンズも用いることが可能である。The above explanation was based on a narrowly defined hologram lens produced by optical interference, but it is also possible to use a lens produced by a broadly defined hologram (computer generated hologram) produced using lithography technology.
計算機ホログラムは、計算機により仮想的にホログラム
面での干渉光の位相差を計算し、これをもとに、電子ビ
ーム露光、紫外線露光等の手法により基板の表面の形状
を加工するものである。このホログラム基板を透過する
時に光の位相が変化して、先に述べた光干渉法による狭
義のホログラムと同様の作用をする。この技術により、
ホログラムレンズを作製することができ、これを本発明
に用いることもできる。最も単純な設計のものは、寸法
が小さいことを除けば、従来、フレネルレンズと呼ばれ
ているものと同じである。この技術によっても、光軸を
曲げて光を集束させるホログラムを作製することができ
る。In computer generated holograms, the phase difference of interference light on the hologram surface is virtually calculated by a computer, and based on this, the shape of the surface of the substrate is processed using methods such as electron beam exposure and ultraviolet exposure. The phase of the light changes when it passes through this hologram substrate, producing an effect similar to that of a hologram in the narrow sense of the optical interference method described above. With this technology,
A hologram lens can be produced and can also be used in the present invention. The simplest design is the same as what is traditionally called a Fresnel lens, except for its smaller dimensions. This technique also makes it possible to create a hologram that focuses light by bending its optical axis.
第4図は本発明の第2の実施例の構成を示す平面図であ
る。半導体レーザ1からの光は、光コネクタ7を介して
本発明装置に入射された後、二つに分岐される。一方の
光は、第1の実施例のようにホログラムレンズ3に入射
する。他方の光は、光ファイバ2′を通って光センサ5
゛に導かれ、この光センサの信号は記録装置6に伝えら
れる。FIG. 4 is a plan view showing the configuration of a second embodiment of the present invention. After the light from the semiconductor laser 1 enters the device of the present invention via the optical connector 7, it is split into two. One of the lights enters the hologram lens 3 as in the first embodiment. The other light passes through the optical fiber 2' and reaches the optical sensor 5.
The signal from this optical sensor is transmitted to the recording device 6.
また、ホログラムレンズ3の集束光は、2本の光ファイ
バ4.4で受ける。各々の入射光は、光センサ5,5で
検知され、信号が記録装置6に伝達される。Further, the focused light from the hologram lens 3 is received by two optical fibers 4.4. Each incident light beam is detected by optical sensors 5, 5, and a signal is transmitted to recording device 6.
2本の光ファイバ4.4で受けることにより、両者の光
強度の差から波長の変化方向と変化量がわかる。光強度
の差と、波長変化量との関係は、あらかじめ校正してお
く。なおこの光強度差の測定値は、光センサ5′からの
光強度値で規格化することにより、半導体レーザの出射
光の強度変動の影響を避けるようにしている。これらの
演算は記録装置で行う、第1の実施例では、半導体レー
ザの出射光の強度に変動があると、測定誤差に影響して
くるが、この実施例のように、半導体レーザの出射光の
強度を同時に測定し、これを用いて波長変化の信号光を
規格化することにより、測定誤差を小さ(することがで
きる。強度モニタ信号の出力端子をもつ半導体レーザの
場合は、実施例のように光を分岐する必要はなく、端子
からの信号を直接、記録装置に入力すればよい。By receiving the light through two optical fibers 4.4, the direction and amount of change in wavelength can be determined from the difference in light intensity between the two. The relationship between the difference in light intensity and the amount of wavelength change is calibrated in advance. Note that the measured value of the light intensity difference is normalized by the light intensity value from the optical sensor 5' to avoid the influence of intensity fluctuations of the light emitted from the semiconductor laser. In the first embodiment, these calculations are performed by a recording device. Fluctuations in the intensity of the light emitted from the semiconductor laser affect measurement errors; By simultaneously measuring the intensity of the signal and using this to standardize the wavelength-varying signal light, the measurement error can be reduced.In the case of a semiconductor laser that has an output terminal for the intensity monitor signal, There is no need to branch out the light as in the case of the above method, and the signal from the terminal can be input directly to the recording device.
なお第2の実施例では、ホログラムレンズからの光を受
ける光ファイバは2本であるが、さらに多くの光ファイ
バを並べておき、任意の2本の光ファイバを利用するな
らば、広い波長範囲にわたって波長変化の測定が可能に
なる、またこの光ファイバが、複数のコアを有するマル
チコア形光ファイバであってもよい。In the second embodiment, there are two optical fibers that receive the light from the hologram lens, but if more optical fibers are lined up and any two optical fibers are used, it can be used over a wide wavelength range. This optical fiber that enables measurement of wavelength changes may also be a multi-core optical fiber having a plurality of cores.
第5図は本発明の第3の実施例の構成を示す平面図であ
って、ホログラムによる集束光をアレイ形光センサ5#
で受光するものである。各々の受光素子の並び間隔が十
分に狭い場合には、最大の測定強度を示す受光素子を捜
すことにより、波長の変化を、集束光の位置の変化とし
て逐次測定できる。受光素子の並び間隔が大きい場合に
は、第2の実施例のように、任意の受光素子についての
測定強度の差をもとに、波長の変化を測定することがで
きる。FIG. 5 is a plan view showing the configuration of the third embodiment of the present invention, in which the focused light by the hologram is transmitted to the array type optical sensor 5#.
It receives light at If the spacing between the light receiving elements is sufficiently narrow, changes in wavelength can be successively measured as changes in the position of the focused light by searching for the light receiving element that exhibits the maximum measured intensity. When the spacing between the light receiving elements is large, the change in wavelength can be measured based on the difference in measured intensity for arbitrary light receiving elements, as in the second embodiment.
(発明の効果)
以上説明したように、従来、高価かつ大きな精密分光器
で計測してきた半導体レーザの波長安定性を、本発明は
、ホログラムレンズと、光束の位置の変化に敏感な光フ
ァイバとの光結合を用いることにより、簡易、かつ小形
な光学系で測定できるようにしたものである。構成部品
が削減されるので、高感度でありながら検査装置の大幅
な小型化と低価格化が実現できる。したがって、本発明
を用いれば、大量の半導体レーザを並行して検査を実施
するなどの検査の迅速化、および検査コストの軽減が可
能になるので、本発明は半導体レーザの利用に大きな便
宜を与えるものである。(Effects of the Invention) As explained above, the wavelength stability of a semiconductor laser, which has conventionally been measured using an expensive and large precision spectrometer, can be measured using a hologram lens and an optical fiber that is sensitive to changes in the position of the light beam. By using optical coupling, measurements can be made with a simple and compact optical system. Since the number of component parts is reduced, the inspection device can be significantly smaller and lower in price while maintaining high sensitivity. Therefore, if the present invention is used, it is possible to speed up the inspection by testing a large number of semiconductor lasers in parallel, and reduce the inspection cost, so the present invention provides great convenience in the use of semiconductor lasers. It is something.
第1図は本発明の第1の実施例の構成を示す平面図、
第2図はホログラムレンズの光学的作用を説明する原理
図、
第3図は光の波長が変化した時の光束の変化を説明する
ための原理図、
第4図は第2の実施例の構成を示す平面図、第5図は第
3の実施例の構成を示す平面図である。
1・・・半導体レーザ、2.2’光フアイバ3・・・ホ
ログラムレンズ
4.4′・・・受光用光ファイバFig. 1 is a plan view showing the configuration of the first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a principle diagram explaining the optical action of a hologram lens, and Fig. 3 is a change in luminous flux when the wavelength of light changes. FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the second embodiment, and FIG. 5 is a plan view showing the configuration of the third embodiment. 1... Semiconductor laser, 2.2' optical fiber 3... Hologram lens 4.4'... Optical fiber for light reception
Claims (1)
ンズと、該ホログラムレンズによる集光位置付近に設置
された単一または1列に並んだ複数の微小な光学的開口
と、該光学的開口の各々を通過した光を受ける光センサ
と、該光センサの出力を記録する装置とから構成される
ことを特徴とする光波長安定度検査装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の光波長安定度検査装置
において、ホログラムレンズによる集束光を受ける光学
的開口とこれに付属する光センサの両者の代わりに、ア
レイ形光センサがホログラムレンズによる集光位置付近
に設置されていることを特徴とする光波長安定度検査装
置。[Scope of Claims] 1. A hologram lens that receives light emitted from a light source to be inspected, and a single or a plurality of minute optical apertures arranged in a row installed near a light condensing position by the hologram lens; , an optical wavelength stability inspection device comprising: an optical sensor that receives light passing through each of the optical apertures; and a device that records the output of the optical sensor. 2. In the optical wavelength stability testing device as set forth in claim 1, an array type optical sensor is provided by a hologram lens in place of both the optical aperture that receives the focused light by the hologram lens and the optical sensor attached thereto. An optical wavelength stability inspection device characterized in that it is installed near a light condensing position.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31020388A JPH02157635A (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | Device for inspecting stability of light wavelength |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31020388A JPH02157635A (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | Device for inspecting stability of light wavelength |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02157635A true JPH02157635A (en) | 1990-06-18 |
Family
ID=18002424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31020388A Pending JPH02157635A (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | Device for inspecting stability of light wavelength |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02157635A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994010538A1 (en) * | 1992-11-03 | 1994-05-11 | Communaute Economique Europeenne (Cee) | Detector of variations in a physical quantity |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP31020388A patent/JPH02157635A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994010538A1 (en) * | 1992-11-03 | 1994-05-11 | Communaute Economique Europeenne (Cee) | Detector of variations in a physical quantity |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Bouzid et al. | Fiber-optic four-detector polarimeter | |
| US4081215A (en) | Stable two-channel, single-filter spectrometer | |
| US5608530A (en) | Inspection device for measuring a geometric dimension of a part | |
| US7346233B2 (en) | Single mode (SM) fiber optical reader system and method for interrogating resonant waveguide-grating sensor(s) | |
| US4970388A (en) | Encoder with diffraction grating and multiply diffracted light | |
| EP0632256A1 (en) | Micropolarimeter, microsensor system and method of characterizing thin films | |
| JP3144143B2 (en) | Optical displacement measuring device | |
| JP4357421B2 (en) | Optical spectrometer | |
| JPS6381226A (en) | Spectrum analyzing method and device | |
| JP2002005823A (en) | Thin-film measuring apparatus | |
| CA2070330C (en) | High resolution spectroscopy system | |
| US4779984A (en) | Method and apparatus for holographic spectrometry | |
| JP4790822B2 (en) | Optical spectrometer | |
| JPH02206745A (en) | Highly stable interferometer for measuring refractive index | |
| JP3395339B2 (en) | Fixed point detector | |
| JP3030905B2 (en) | Fixed point detector | |
| US4166697A (en) | Spectrophotometer employing magneto-optic effect | |
| JPH02157635A (en) | Device for inspecting stability of light wavelength | |
| JPS62177421A (en) | Grazing incidence interferometer device | |
| JPH10318720A (en) | Apparatus for measuring floating height and orientation of magnetic head relative to transparent medium based on frustrated total internal reflection | |
| CN114910421A (en) | A spectrometer for a measurement system | |
| JP3494148B2 (en) | Focus detection device and laser inspection processing device | |
| CN116336971B (en) | Grating beam splitter, angle measuring device and method | |
| JP3365881B2 (en) | Lens refractive index inspection device | |
| JPS6033003A (en) | Shape measuring device |