JPH0215808B2 - - Google Patents
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- JPH0215808B2 JPH0215808B2 JP55015300A JP1530080A JPH0215808B2 JP H0215808 B2 JPH0215808 B2 JP H0215808B2 JP 55015300 A JP55015300 A JP 55015300A JP 1530080 A JP1530080 A JP 1530080A JP H0215808 B2 JPH0215808 B2 JP H0215808B2
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- JP
- Japan
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- light
- pressure
- parallel
- interference fringes
- transparent plate
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光を用いた圧力測定装置に関する。
光線を用いた圧力信号伝送装置はこれまで実用
化されていないが、圧力を受圧素子の変位に変換
し、その変位を光線を用いて測定する実験室的な
装置はある。
化されていないが、圧力を受圧素子の変位に変換
し、その変位を光線を用いて測定する実験室的な
装置はある。
第１図は、受圧素子としてブルドン管を用いた
圧力測定装置の簡単な構成図である。導圧孔１に
ブルドン管の圧力入力部２が接続されている。こ
の圧力入力部２にＣ状のブルドン管３の一端が接
続され、供給された圧力に応じて実線および点線
で示したように変形するようになつている。ブル
ドン管３の自由端には反射板４が設けられてお
り、光源５からの光を受光面６へ反射するように
なつている。
圧力測定装置の簡単な構成図である。導圧孔１に
ブルドン管の圧力入力部２が接続されている。こ
の圧力入力部２にＣ状のブルドン管３の一端が接
続され、供給された圧力に応じて実線および点線
で示したように変形するようになつている。ブル
ドン管３の自由端には反射板４が設けられてお
り、光源５からの光を受光面６へ反射するように
なつている。
このような構成なので、圧力の変化に応じてブ
ルドン管３が変形し、このブルドン管の先端の反
射板４は光の反射方向を変える。それにより受光
面６上の光も位置的に変化する。従つて、あらか
じめ、受光面６上の光の位置と圧力の大きさとの
関係を求めておけば、逆に光の位置から圧力を測
定できることになる。
ルドン管３が変形し、このブルドン管の先端の反
射板４は光の反射方向を変える。それにより受光
面６上の光も位置的に変化する。従つて、あらか
じめ、受光面６上の光の位置と圧力の大きさとの
関係を求めておけば、逆に光の位置から圧力を測
定できることになる。
ところで、圧力に対する受光面６上の光の移動
量の直線性を向上させるため、ブルドン管３の自
由端の移動量を一般的に小さくしている。そのた
め、反射板４の受光面６との距離を大きくとるこ
とが必要になるので、装置の小形化が困難であつ
た。
量の直線性を向上させるため、ブルドン管３の自
由端の移動量を一般的に小さくしている。そのた
め、反射板４の受光面６との距離を大きくとるこ
とが必要になるので、装置の小形化が困難であつ
た。
また、ブルドン管３の先端の移動量を遠隔伝送
する場合は、電気量などの遠隔伝送に適した物理
量に変換しなければならない欠点があつた。
する場合は、電気量などの遠隔伝送に適した物理
量に変換しなければならない欠点があつた。
本発明は、以上の欠点を除去するためになされ
たものであり、小形化でき、かつ、圧力を正確に
測定でき、遠隔伝送が可能である圧力測定装置を
提供することを目的とする。
たものであり、小形化でき、かつ、圧力を正確に
測定でき、遠隔伝送が可能である圧力測定装置を
提供することを目的とする。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説
明する。
明する。
まず、本発明の基本原理を第２図を参照しなが
ら説明する。届折率ｎなる媒質７中に屈折率n′、
厚さｈの平行板８が設けられている。この平行板
８に入射角θで波長λ0の単色光Ｌを入射すると、
面ａで反射角θの反射光と屈折角θ′の透過光とに
分かれる。反射光は集光レンズ９によつて収束さ
れて受光面１０上の点Ｐに焦点を結ぶ。一方透過
光は面ｂでさらに反射光と透過光とに分かれる。
透過光は面ｂで屈折されたのち集光レンズ１１に
より収束されて受光面１２上の点Ｑに焦点を結
ぶ。一方、反射光はａ面でさらに反射光と透過光
とに分かれる。透過光は面ａで屈折されたのち集
光レンズ９により収束されて受光面１０上の点Ｐ
に焦点を結ぶ。一方、反射光はｂ面でさらに反射
光と透過光とに分かれる。透過光は集光レンズ１
１により収束されて受光面１２上の点Ｑに焦点を
結ぶ。反射光はａ面でさらに反射光と透過光とに
分かれる。以下の光の処理過程は前記した過程と
同様である。その結果、第２図からも明らかなよ
うに両集光レンズ９，１１には平行光線が入射さ
れるので、点Ｐ、Ｑに干渉縞が生じる。前記した
面ａとｂとにおける反射によつて、反射波には位
相差δが生じる。位相差δは、ほぼ δ＝4π／λ0n′hcosθ′ で表わすことができる。
ら説明する。届折率ｎなる媒質７中に屈折率n′、
厚さｈの平行板８が設けられている。この平行板
８に入射角θで波長λ0の単色光Ｌを入射すると、
面ａで反射角θの反射光と屈折角θ′の透過光とに
分かれる。反射光は集光レンズ９によつて収束さ
れて受光面１０上の点Ｐに焦点を結ぶ。一方透過
光は面ｂでさらに反射光と透過光とに分かれる。
透過光は面ｂで屈折されたのち集光レンズ１１に
より収束されて受光面１２上の点Ｑに焦点を結
ぶ。一方、反射光はａ面でさらに反射光と透過光
とに分かれる。透過光は面ａで屈折されたのち集
光レンズ９により収束されて受光面１０上の点Ｐ
に焦点を結ぶ。一方、反射光はｂ面でさらに反射
光と透過光とに分かれる。透過光は集光レンズ１
１により収束されて受光面１２上の点Ｑに焦点を
結ぶ。反射光はａ面でさらに反射光と透過光とに
分かれる。以下の光の処理過程は前記した過程と
同様である。その結果、第２図からも明らかなよ
うに両集光レンズ９，１１には平行光線が入射さ
れるので、点Ｐ、Ｑに干渉縞が生じる。前記した
面ａとｂとにおける反射によつて、反射波には位
相差δが生じる。位相差δは、ほぼ δ＝4π／λ0n′hcosθ′ で表わすことができる。
ただし、λ0は入射光線の波長、n′は平行板８の
屈折率、ｈは平行板８の厚さ、θ′は透過光の法線
に対する角度である。
屈折率、ｈは平行板８の厚さ、θ′は透過光の法線
に対する角度である。
従つて、位相差δが
δ＝2mπ
ただしｍは整数
であるときは、第１の透過光と、ａ面の反射によ
る透過光との位相が一致するので点Ｑの明るさは
極大になる。一方、第１の反射光とｂ面の反射に
よる透過光との位相がちようどπラジアンだけ異
なり正反対の位相になるので、点Ｐの明るさは極
小になる。また、ｍが1/2、3/2、5/2…のときは、
位相関係が前記のものとはちようど逆の関係にな
るので、点Ｑの明るさが極小になり、点Ｐの明る
さが極大になる。
る透過光との位相が一致するので点Ｑの明るさは
極大になる。一方、第１の反射光とｂ面の反射に
よる透過光との位相がちようどπラジアンだけ異
なり正反対の位相になるので、点Ｐの明るさは極
小になる。また、ｍが1/2、3/2、5/2…のときは、
位相関係が前記のものとはちようど逆の関係にな
るので、点Ｑの明るさが極小になり、点Ｐの明る
さが極大になる。
特に、面ａ，ｂにおける反射率が１に近い場合
は、透過光の強度は極大の狭い範囲以外では非常
に小さくなる。そのため、点Ｑにおける干渉縞は
ほとんど真暗な背景の中に細く輝いた干渉縞とな
る。一方、反射光による点Ｐにおける干渉縞はほ
とんど均一で明るい背景の中に細く輝いた干渉縞
となる。
は、透過光の強度は極大の狭い範囲以外では非常
に小さくなる。そのため、点Ｑにおける干渉縞は
ほとんど真暗な背景の中に細く輝いた干渉縞とな
る。一方、反射光による点Ｐにおける干渉縞はほ
とんど均一で明るい背景の中に細く輝いた干渉縞
となる。
そこで、単色光線のかわりに白色光線を用いて
干渉縞を作ると、極大または極小となる波長と平
行板８の厚さｈとの関係は δ＝2mπ＝4π／λn′hcosθ′ となる。ただしλは干渉縞の波長である。従つ
て、干渉縞の波長を知ることにより、 ｈ＝mλ／2n′cosθ′ なる関係式から厚さｈを知ることができる。
干渉縞を作ると、極大または極小となる波長と平
行板８の厚さｈとの関係は δ＝2mπ＝4π／λn′hcosθ′ となる。ただしλは干渉縞の波長である。従つ
て、干渉縞の波長を知ることにより、 ｈ＝mλ／2n′cosθ′ なる関係式から厚さｈを知ることができる。
第３図は、本発明の第一実施例の構造を簡単に
示した断面図である。本実施例の差圧検出部１３
から離れた位置に白色光源１４が設けられてい
る。この光源１４からの白色光はオプテイカルフ
アイバ１５を介して平行光線を得る平行光線光学
器１６へ伝送される。この平行光線光学器１６か
らの平行光線は差圧検出部１３へ入射される。差
圧検出部１３は、入光面と対向する面に反射面１
７を設けた透明板１８と、この透明板１８からの
光を反射させる反射板１９を中央に設けた測定ダ
イヤフラム２０により高圧部２１と低圧部２２と
に仕切られた差圧室２３と、この差圧室２３の高
圧部２１へ導圧孔２４を介して高圧を加える高圧
室２５と、前記差圧室２３の低圧部２２へ導圧孔
２６を介して低圧力を加える低圧室２７とで構成
されている。なお、高圧室２５と低圧室２７と
は、共にシールダイヤフラム２８，２９によつて
圧力入力部３０，３１と封入部３２，３３とに仕
切られており、封入部３２，３３には非圧縮性の
液体３４が封入されている。この非圧縮性液体３
４は、また導圧孔２４，２６を介して差圧室２３
の高圧部２１と低圧部２２とに封入されており、
高圧室２５、低圧室２７の圧力入力部３０，３１
に加えられた圧力は非圧縮性液体３４によつて差
圧室２３へ伝えられるようになつている。差圧検
出部１３からの反射光は集光レンズ３５により集
光され、この集光レンズ３５の焦点の位置に一端
が設置されたオプテイカルフアイバ３６を介して
受光器３７へ伝送される。受光器３７は、本発明
の原理の説明で述べたように、オプテイカルフア
イバ３６から投光される光に基づいて、受光面３
８に干渉波長に対応した干渉縞を形成するもので
ある。
示した断面図である。本実施例の差圧検出部１３
から離れた位置に白色光源１４が設けられてい
る。この光源１４からの白色光はオプテイカルフ
アイバ１５を介して平行光線を得る平行光線光学
器１６へ伝送される。この平行光線光学器１６か
らの平行光線は差圧検出部１３へ入射される。差
圧検出部１３は、入光面と対向する面に反射面１
７を設けた透明板１８と、この透明板１８からの
光を反射させる反射板１９を中央に設けた測定ダ
イヤフラム２０により高圧部２１と低圧部２２と
に仕切られた差圧室２３と、この差圧室２３の高
圧部２１へ導圧孔２４を介して高圧を加える高圧
室２５と、前記差圧室２３の低圧部２２へ導圧孔
２６を介して低圧力を加える低圧室２７とで構成
されている。なお、高圧室２５と低圧室２７と
は、共にシールダイヤフラム２８，２９によつて
圧力入力部３０，３１と封入部３２，３３とに仕
切られており、封入部３２，３３には非圧縮性の
液体３４が封入されている。この非圧縮性液体３
４は、また導圧孔２４，２６を介して差圧室２３
の高圧部２１と低圧部２２とに封入されており、
高圧室２５、低圧室２７の圧力入力部３０，３１
に加えられた圧力は非圧縮性液体３４によつて差
圧室２３へ伝えられるようになつている。差圧検
出部１３からの反射光は集光レンズ３５により集
光され、この集光レンズ３５の焦点の位置に一端
が設置されたオプテイカルフアイバ３６を介して
受光器３７へ伝送される。受光器３７は、本発明
の原理の説明で述べたように、オプテイカルフア
イバ３６から投光される光に基づいて、受光面３
８に干渉波長に対応した干渉縞を形成するもので
ある。
このような構成において、光源１４から白色光
を投光すると、オプテイカルフアイバ１５によつ
て平行光線光学器１６へ導かれた白色光は平行光
線となり差圧検出部１３の透明板１７へ入射す
る。この入射光は透明板１８の反射面１７によつ
て反射光と透過光に分かれ、反射光は集光レンズ
３５によつて集光される。一方透過光は反射板１
９により反射され前記反射面１７へ至る。そうし
て、この反射面１７において、さらに透過光と反
射光とに分かれ、透過光は集光レンズ３５によつ
て集光される。一方、反射光は反射板１９により
反射され再び前記反射面１７へ至る。
を投光すると、オプテイカルフアイバ１５によつ
て平行光線光学器１６へ導かれた白色光は平行光
線となり差圧検出部１３の透明板１７へ入射す
る。この入射光は透明板１８の反射面１７によつ
て反射光と透過光に分かれ、反射光は集光レンズ
３５によつて集光される。一方透過光は反射板１
９により反射され前記反射面１７へ至る。そうし
て、この反射面１７において、さらに透過光と反
射光とに分かれ、透過光は集光レンズ３５によつ
て集光される。一方、反射光は反射板１９により
反射され再び前記反射面１７へ至る。
以下、同様に反射を繰返し、集光レンズ３５で
集光された光線はオプテイカルフアイバ３６によ
り受光器３７へ伝送され、この受光器３７の受光
面３８上に前記反射面１７と反射板１９との距離
に応じた波長の干渉縞を形成する。
集光された光線はオプテイカルフアイバ３６によ
り受光器３７へ伝送され、この受光器３７の受光
面３８上に前記反射面１７と反射板１９との距離
に応じた波長の干渉縞を形成する。
そこで、高圧室２５と低圧室２７との入力圧力
が変化し、圧力入力部３０，３１の圧力が変化す
ると、この圧力変化によりシールダイヤフラム２
８，２９が変動する。このシールダイヤフラム２
８，２９の変動は封入部３１，３２に満たされた
非圧縮性液体３４により差圧室２３の高圧部２１
と低圧部とへ伝えられる。その結果生じる高圧部
２１と低圧部２２との圧力差に応じて測定ダイヤ
フラム２０は上方または下方へ運動をする。この
測定はダイヤフラム２０には反射板１９が設けら
れているので、この上下運動により前記反射面１
９と透明板１８の反射面１７との距離は差圧に応
じて変化することになる。その結果、受光面３８
上に干渉縞をつくる波長が変化する。この干渉縞
を形成している波長は、干渉縞を分析することに
よつてあらかじめ得ることができる。従つて、こ
のようにして得られる干渉縞の波長と差圧との関
係をあらかじめ得ておけば、受光面３８上に得ら
れた干渉縞のパターンから逆に差圧を一義的に決
定することができる。
が変化し、圧力入力部３０，３１の圧力が変化す
ると、この圧力変化によりシールダイヤフラム２
８，２９が変動する。このシールダイヤフラム２
８，２９の変動は封入部３１，３２に満たされた
非圧縮性液体３４により差圧室２３の高圧部２１
と低圧部とへ伝えられる。その結果生じる高圧部
２１と低圧部２２との圧力差に応じて測定ダイヤ
フラム２０は上方または下方へ運動をする。この
測定はダイヤフラム２０には反射板１９が設けら
れているので、この上下運動により前記反射面１
９と透明板１８の反射面１７との距離は差圧に応
じて変化することになる。その結果、受光面３８
上に干渉縞をつくる波長が変化する。この干渉縞
を形成している波長は、干渉縞を分析することに
よつてあらかじめ得ることができる。従つて、こ
のようにして得られる干渉縞の波長と差圧との関
係をあらかじめ得ておけば、受光面３８上に得ら
れた干渉縞のパターンから逆に差圧を一義的に決
定することができる。
以上説明したように、本実施例では、光の干渉
現象を利用し、差圧を光信号に変えて、オプテイ
カルフアイバにより遠隔地へ伝送し、遠隔地にお
いて再び光学的に圧力情報に変換するようにした
ので、従来装置と比べて小型化できかつ圧力情報
を遠隔伝送できる。
現象を利用し、差圧を光信号に変えて、オプテイ
カルフアイバにより遠隔地へ伝送し、遠隔地にお
いて再び光学的に圧力情報に変換するようにした
ので、従来装置と比べて小型化できかつ圧力情報
を遠隔伝送できる。
第４図は、本発明の第二実施例の構成を簡単に
示した断面図である。第一実施例では反射光によ
る干渉縞を用いたが、本実施例では透過光による
干渉縞を用いる。なお、第３図と同一の箇所には
同一の符号を付して説明は省略する。
示した断面図である。第一実施例では反射光によ
る干渉縞を用いたが、本実施例では透過光による
干渉縞を用いる。なお、第３図と同一の箇所には
同一の符号を付して説明は省略する。
第二実施例の差圧室３９は、下面を反射面４０
とした透明板４１を中央に設けた測定ダイヤフラ
ム４２によつて高圧部２１と低圧部２２とに仕切
られている。また差圧室３９の上面の中央部は透
明板１８により形成され光を入光できるようにな
つており、下面の中央部は上面を反射面４３とし
た透明板４４により形成され光を反射かつ透過で
きるようになつている。差圧室３９の下面を形成
する透明板４４を透過した光は集光レンズ３５に
より集光され、オプテイカルフアイバ３６により
受光器３７へ伝送される。
とした透明板４１を中央に設けた測定ダイヤフラ
ム４２によつて高圧部２１と低圧部２２とに仕切
られている。また差圧室３９の上面の中央部は透
明板１８により形成され光を入光できるようにな
つており、下面の中央部は上面を反射面４３とし
た透明板４４により形成され光を反射かつ透過で
きるようになつている。差圧室３９の下面を形成
する透明板４４を透過した光は集光レンズ３５に
より集光され、オプテイカルフアイバ３６により
受光器３７へ伝送される。
このような構成なので、第一実施例の反射光を
透過光に置換えた点が違なり、その他の動作は同
一である。従つて、第一実施例と同一の効果を奏
することができる。
透過光に置換えた点が違なり、その他の動作は同
一である。従つて、第一実施例と同一の効果を奏
することができる。
第５図は、本発明の第三実施例の構成を簡単に
示した断面図である。
示した断面図である。
高静圧用差圧伝送器においては透明板が厚くな
るため、シヤープな干渉縞を得るには光線の平行
性、すなわち散乱光でないこと、や透明板と反射
板との平行度に極めて厳しい条件が要求される。
第三実施例はこのような場合に適するもので、オ
プテイカルフアイバや光学器などを封入液中に設
置するようにしたものである。第１図と同一の箇
所には同一の符号を付して説明は省略する。本実
施例の差圧検出部１３は入光面と対向する面を反
対面４５とした透明板４６を中央に設けた測定ダ
イアフラム４７により高圧部４８と低圧部４９と
に仕切られている。高圧部４８はさらにシールダ
イアフラム５０により圧力入力部５４と封入部５
２とに仕切られている。封入部５２には非圧縮性
液体３４が封入されている。また封入部５２に
は、光源１４から投光される白色光を伝送するオ
プテイカルフアイバ１５の一部と、このフアイバ
１５からの光を平行光線に変換し測定ダイアフラ
ム４７の投明板４６へ投光する平行光線光学器１
６とが設置されている。一方、低圧部４９はさら
にシールダイアフラム５３により、圧力入力部５
４と封入部５５とに仕切られている。封入部５５
には、前記測定ダイアフラム４７の透明板４６と
所定の距離を置いて平行に透明板５６が設けられ
ている。この透明板５６の測定ダイアフラム４７
側の面は反射面５７を形成している。また、この
透明板５６の両端側に連通孔５８が設けられてお
り、封入部５５に満たされた非圧縮性液体３４が
測定ダイアフラム４７と前記透明板５６との平行
間隙にも満ちるようになつている。また封入部５
５のシールダイアフラム５３側には前記透明板５
６からの透過光を集光する集光レンズ３５と、こ
のレンズ３５からの光を遠隔地の受光器３７へ伝
送するオプテイカルフアイバ３６の一部が設置さ
れている。
るため、シヤープな干渉縞を得るには光線の平行
性、すなわち散乱光でないこと、や透明板と反射
板との平行度に極めて厳しい条件が要求される。
第三実施例はこのような場合に適するもので、オ
プテイカルフアイバや光学器などを封入液中に設
置するようにしたものである。第１図と同一の箇
所には同一の符号を付して説明は省略する。本実
施例の差圧検出部１３は入光面と対向する面を反
対面４５とした透明板４６を中央に設けた測定ダ
イアフラム４７により高圧部４８と低圧部４９と
に仕切られている。高圧部４８はさらにシールダ
イアフラム５０により圧力入力部５４と封入部５
２とに仕切られている。封入部５２には非圧縮性
液体３４が封入されている。また封入部５２に
は、光源１４から投光される白色光を伝送するオ
プテイカルフアイバ１５の一部と、このフアイバ
１５からの光を平行光線に変換し測定ダイアフラ
ム４７の投明板４６へ投光する平行光線光学器１
６とが設置されている。一方、低圧部４９はさら
にシールダイアフラム５３により、圧力入力部５
４と封入部５５とに仕切られている。封入部５５
には、前記測定ダイアフラム４７の透明板４６と
所定の距離を置いて平行に透明板５６が設けられ
ている。この透明板５６の測定ダイアフラム４７
側の面は反射面５７を形成している。また、この
透明板５６の両端側に連通孔５８が設けられてお
り、封入部５５に満たされた非圧縮性液体３４が
測定ダイアフラム４７と前記透明板５６との平行
間隙にも満ちるようになつている。また封入部５
５のシールダイアフラム５３側には前記透明板５
６からの透過光を集光する集光レンズ３５と、こ
のレンズ３５からの光を遠隔地の受光器３７へ伝
送するオプテイカルフアイバ３６の一部が設置さ
れている。
このような構成なので、第一および第二実施例
のないように光線が厚い透明板を透過する必要が
ないので、シヤープな干渉縞を得ることができ
る。その他の効果は第一実施例と同様である。
のないように光線が厚い透明板を透過する必要が
ないので、シヤープな干渉縞を得ることができ
る。その他の効果は第一実施例と同様である。
なお、本発明は前記第一ないし三の実施例に限
られるものではない。たとえば前記第一ないし三
の実施例では、白色光源を用いたが、この場合は
干渉縞の数が極めて多くなり、干渉を起した波長
を知ることが困難である。そこで、光源の波長領
域を次のように限定すると干渉を起した波長を知
ることが容易になる。すなわち、第一ないし三の
反射面間の距離ｈがh0からh0＋Δhに変化すると
きは、 λminおよびλmaxは λmin＝2π／2mπn′h0cosθ′ λmax＝2π／2mπn′（h0＋Δh）cosθ′ であるので、光源の波長λをλminλλmax
に限定すればよい。なお、λminとλmaxとの比
は前記した２式よりλmax／λmin＝１＋Δh／h0
の関係になる。
られるものではない。たとえば前記第一ないし三
の実施例では、白色光源を用いたが、この場合は
干渉縞の数が極めて多くなり、干渉を起した波長
を知ることが困難である。そこで、光源の波長領
域を次のように限定すると干渉を起した波長を知
ることが容易になる。すなわち、第一ないし三の
反射面間の距離ｈがh0からh0＋Δhに変化すると
きは、 λminおよびλmaxは λmin＝2π／2mπn′h0cosθ′ λmax＝2π／2mπn′（h0＋Δh）cosθ′ であるので、光源の波長λをλminλλmax
に限定すればよい。なお、λminとλmaxとの比
は前記した２式よりλmax／λmin＝１＋Δh／h0
の関係になる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形できることは勿論である。
変形できることは勿論である。
以上説明したように、本発明は所定の距離を置
いて対向して平行に設けられ圧力差に応じてその
対向距離を変化する２つの反射面に平行光線を入
射して干渉光を得、この干渉光を集光レンズで集
光した後光フアイバで遠隔地へ伝送し、この遠隔
地の受光面に形成する干渉縞の波長に基づいて圧
力を得るようにしたので、従来全く実施不可能で
あつた光信号を用いてプロセス圧力を正確に測定
でき、かつ、遠隔地から圧力を確実に測定可能で
あり、種々の外的要因に影響されずに圧力を測定
できる圧力測定装置を提供できる。
いて対向して平行に設けられ圧力差に応じてその
対向距離を変化する２つの反射面に平行光線を入
射して干渉光を得、この干渉光を集光レンズで集
光した後光フアイバで遠隔地へ伝送し、この遠隔
地の受光面に形成する干渉縞の波長に基づいて圧
力を得るようにしたので、従来全く実施不可能で
あつた光信号を用いてプロセス圧力を正確に測定
でき、かつ、遠隔地から圧力を確実に測定可能で
あり、種々の外的要因に影響されずに圧力を測定
できる圧力測定装置を提供できる。
第１図は従来装置の簡単な構成図、第２図は本
発明の原理の説明図、第３図は本発明の第一実施
例の構成を示す簡単な断面図、第４図は本発明の
第二実施例の構成を示す簡単な断面図、第５図は
本発明の第三実施例の構成を示す簡単な断面図で
ある。 １４……光源、１５……オプテイカルフアイ
バ、１６……平行光線光学器、１７……反射面、
１８……透明板、１９……反射板、２０……測定
ダイアフラム、２３……差圧室、２４……導圧
孔、２５……高圧室、２６……導圧孔、２７……
低圧孔、２８，２９……シールダイアフラム、３
４……非圧縮性封入液体、３５……集光レンズ、
３６……オプテイカルフアイバ、３７……受光
器、４０……反射面、４１……透明板、４２……
測定ダイアフラム、４３……反射面、４４……透
明板、４５……反射面、４６……透明板、４７…
…測定ダイアフラム、５６……透明板、５７……
反射面、５８……連通孔。
発明の原理の説明図、第３図は本発明の第一実施
例の構成を示す簡単な断面図、第４図は本発明の
第二実施例の構成を示す簡単な断面図、第５図は
本発明の第三実施例の構成を示す簡単な断面図で
ある。 １４……光源、１５……オプテイカルフアイ
バ、１６……平行光線光学器、１７……反射面、
１８……透明板、１９……反射板、２０……測定
ダイアフラム、２３……差圧室、２４……導圧
孔、２５……高圧室、２６……導圧孔、２７……
低圧孔、２８，２９……シールダイアフラム、３
４……非圧縮性封入液体、３５……集光レンズ、
３６……オプテイカルフアイバ、３７……受光
器、４０……反射面、４１……透明板、４２……
測定ダイアフラム、４３……反射面、４４……透
明板、４５……反射面、４６……透明板、４７…
…測定ダイアフラム、５６……透明板、５７……
反射面、５８……連通孔。
Claims (1)
- １ 平行光線投光器と、この平行光線投光器から
の平行光線の入射側に第１の反射板を固定配置
し、かつ、この第１の反射板に対して所定の距離
を有して平行に対向されてなる圧力差に応じて位
置変化する部材に第２の反射板を取付け、前記平
行光線投光器からの平行光線の入射を受け、圧力
の変化に伴つて変化する前記第１、第２の反射板
の対向距離に応じて変化する波長の干渉縞を得る
圧力−光変換器と、この圧力−光変換器からの干
渉縞の光信号を集光する集光レンズと、この集光
レンズからの光信号を光フアイバを通して受光し
この受光面に形成される干渉縞の波長に基づいて
圧力を測定する圧力測定手段とを備えたことを特
徴とする圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1530080A JPS56111998A (en) | 1980-02-11 | 1980-02-11 | Pressure signal transmitter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1530080A JPS56111998A (en) | 1980-02-11 | 1980-02-11 | Pressure signal transmitter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56111998A JPS56111998A (en) | 1981-09-04 |
| JPH0215808B2 true JPH0215808B2 (ja) | 1990-04-13 |
Family
ID=11884956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1530080A Granted JPS56111998A (en) | 1980-02-11 | 1980-02-11 | Pressure signal transmitter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56111998A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4600836A (en) * | 1984-04-03 | 1986-07-15 | The Babcock & Wilcox Company | Diaphragm deflection sensor for fused silica diaphragm module |
| JPS61235731A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-21 | Sharp Corp | 感圧素子 |
| DE602004032354D1 (de) | 2003-06-18 | 2011-06-01 | Framatome Connectors Int | Elektrischer verbinder |
| NL2003266A1 (nl) | 2008-08-11 | 2010-02-15 | Asml Holding Nv | Multi nozzle proximity sensor employing common sensing and nozzle shaping. |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158971A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-22 | Nippon Naitoronikusu Kk | Atsumikei |
| JPS53119076A (en) * | 1977-03-26 | 1978-10-18 | Ritsuo Hasumi | Optical thicknessmeter for transparent film |
-
1980
- 1980-02-11 JP JP1530080A patent/JPS56111998A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56111998A (en) | 1981-09-04 |
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