JPH02159501A - 球体寸法測定装置 - Google Patents
球体寸法測定装置Info
- Publication number
- JPH02159501A JPH02159501A JP31367288A JP31367288A JPH02159501A JP H02159501 A JPH02159501 A JP H02159501A JP 31367288 A JP31367288 A JP 31367288A JP 31367288 A JP31367288 A JP 31367288A JP H02159501 A JPH02159501 A JP H02159501A
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- Japan
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- sphere
- measuring device
- holder
- spherical body
- measuring
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はベアリング用ボールなどの球体の直径、真球度
や表面粗さ測定等の形状測定を実施するための球体寸法
測定装置に係り、特に被検球体を定盤の定位置に迅速か
つ高精度に設定することが可能であり、測定作業時間を
大幅に短縮ｊることがでさる球体４法測定装置に関する
。
や表面粗さ測定等の形状測定を実施するための球体寸法
測定装置に係り、特に被検球体を定盤の定位置に迅速か
つ高精度に設定することが可能であり、測定作業時間を
大幅に短縮ｊることがでさる球体４法測定装置に関する
。
（従来の技術）
高速で回転する軸を支持するころがり軸受として、ハウ
ジング内周に多数の球体を装填し／ｊベアリングが多く
の機器に使用されている。イのベアリング用球体の形状
はベアリングの機能や寿命を決定するため、製ｎＩ程に
おい−Ｃ球体のれ径、真球度や表面粗さなどの寸法や形
状測定がなされ、測定値が許容値内にあることが確認さ
れる。４体的’Ｊ ａｌｌ定方法Ｊプよび許容Ｉｉｌ等
に′ついてはＪＩＳ（［３−１５０１−１９５３）等に
詳細に規定されている。
ジング内周に多数の球体を装填し／ｊベアリングが多く
の機器に使用されている。イのベアリング用球体の形状
はベアリングの機能や寿命を決定するため、製ｎＩ程に
おい−Ｃ球体のれ径、真球度や表面粗さなどの寸法や形
状測定がなされ、測定値が許容値内にあることが確認さ
れる。４体的’Ｊ ａｌｌ定方法Ｊプよび許容Ｉｉｌ等
に′ついてはＪＩＳ（［３−１５０１−１９５３）等に
詳細に規定されている。
従来、例えば球体の直径を測定する場合には一般に第２
図に示すような球体寸法測定装置１が使用されていた。
図に示すような球体寸法測定装置１が使用されていた。
この球体寸法測定装置１は、基台２に突設された支柱３
に昇降自在かつ水平方向に回動自在に装着された測定ヘ
ッド４と、測定ヘッド４の先端部に装着された、例えば
電気マイクロメータなどの測定子５と、測定子５に対向
して配設され、基準面が高精度に平滑に仕上げられた定
１６と、定盤６の上面に摺動自在に配設された球体保持
具７とを備えて構成される。上記球体保持具７には、定
盤６上で被検球体８を挾み込んで定位置に保持覆るＶ字
状溝９が形成され、被検球体８を定位置に案内した後に
、球体保持具７を固定するための固定用ねじ１０が設け
られている。
に昇降自在かつ水平方向に回動自在に装着された測定ヘ
ッド４と、測定ヘッド４の先端部に装着された、例えば
電気マイクロメータなどの測定子５と、測定子５に対向
して配設され、基準面が高精度に平滑に仕上げられた定
１６と、定盤６の上面に摺動自在に配設された球体保持
具７とを備えて構成される。上記球体保持具７には、定
盤６上で被検球体８を挾み込んで定位置に保持覆るＶ字
状溝９が形成され、被検球体８を定位置に案内した後に
、球体保持具７を固定するための固定用ねじ１０が設け
られている。
上記測定子５として使用される電気マイクロメータとし
ては、被検球体８に要求される寸法精度にも依るが、通
常１μｍｎ程度の測定精度を右するものが採用される。
ては、被検球体８に要求される寸法精度にも依るが、通
常１μｍｎ程度の測定精度を右するものが採用される。
上記構成の球体寸法測定装置１を使用して被検球体８の
直径を測定Ｊる場合には、まず定盤６上に被検球体８を
載２し、定盤６の上面と球体保持具７のＶ字状溝９とで
形成される３平面によって、被検球体８を挾み込む、挾
み込んだ状態で球体保持具７を水平方向に摺動けしめ、
被検球体８の頂点が、測定子５の指針先端位置と一致す
るように位置を微調整する。
直径を測定Ｊる場合には、まず定盤６上に被検球体８を
載２し、定盤６の上面と球体保持具７のＶ字状溝９とで
形成される３平面によって、被検球体８を挾み込む、挾
み込んだ状態で球体保持具７を水平方向に摺動けしめ、
被検球体８の頂点が、測定子５の指針先端位置と一致す
るように位置を微調整する。
１なわち、前記３平面に被検球体８を押圧して接触させ
た状態で、球体保持具７を定盤６の上面に沿って手動で
微動させ、測定子５の読みが最大となる位置において固
定用ねじ１０を締着して球体保持具７を固定する。この
固定作業によって被検球体８の直径を測定する準備が整
う。
た状態で、球体保持具７を定盤６の上面に沿って手動で
微動させ、測定子５の読みが最大となる位置において固
定用ねじ１０を締着して球体保持具７を固定する。この
固定作業によって被検球体８の直径を測定する準備が整
う。
以後同一直径を有する被検球体８，８・・・は固定され
た３平而に押圧するだけで頂点出しを行・うことが可能
となり、連続して直径を測定す゛ることか可能となる。
た３平而に押圧するだけで頂点出しを行・うことが可能
となり、連続して直径を測定す゛ることか可能となる。
以後、寸法測定に必要なマスクやゲージを使用して校正
を行って測定作業に移る。
を行って測定作業に移る。
すなわち、被検球体の頂点位置を固定した状態を保持し
つつ、被検球体８を回転し、測定方向を数１０回変えて
測定子５によって各方向の直径を測定する。測定は１／
１０〜１／１００μｌｎオーダーの精度で末施され、各
測定値を集計して平均直径や直径不同がｎ出され、その
算出値が許容限度内に収まっているか否かによって合否
の判定がなされる。
つつ、被検球体８を回転し、測定方向を数１０回変えて
測定子５によって各方向の直径を測定する。測定は１／
１０〜１／１００μｌｎオーダーの精度で末施され、各
測定値を集計して平均直径や直径不同がｎ出され、その
算出値が許容限度内に収まっているか否かによって合否
の判定がなされる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら従来の球体寸法測定装置１によれば、球体
保持具の位置を微調整する作業は、検査員の手作業によ
って実施されていた。
保持具の位置を微調整する作業は、検査員の手作業によ
って実施されていた。
ところで軸受用ベアリングに使用される球体（ボール）
の寸法を１／１００μｍｎ〜１／１０μ雇オーダーの精
度で測定するためには、球体保持具を数１０μｍの位置
精度で定盤上に固定ケろ必要があり、球体の直径が小さ
くなるにつれて、球体保持具の位置精度６急激に厳格化
する。例えば直径３／８インチ（φ９．５２５繍）の球
体については、±３０μｍ程度の位置決め精１衰が必要
となり、また直径１層の球体については±１０μＩｎ程
度の位置決め精度が必要となる。
の寸法を１／１００μｍｎ〜１／１０μ雇オーダーの精
度で測定するためには、球体保持具を数１０μｍの位置
精度で定盤上に固定ケろ必要があり、球体の直径が小さ
くなるにつれて、球体保持具の位置精度６急激に厳格化
する。例えば直径３／８インチ（φ９．５２５繍）の球
体については、±３０μｍ程度の位置決め精１衰が必要
となり、また直径１層の球体については±１０μＩｎ程
度の位置決め精度が必要となる。
また球体は３次元的に連続しＣ寸法が変化する形状を有
しているため、その頂部位置を決定する、いわゆる頂点
出しを行う場合には、少くと６平面上を互いに直交する
２＠（Ｘ軸、Ｙ軸）方向から追い込んで位置決めを行う
煩雑な操作が必要となる。
しているため、その頂部位置を決定する、いわゆる頂点
出しを行う場合には、少くと６平面上を互いに直交する
２＠（Ｘ軸、Ｙ軸）方向から追い込んで位置決めを行う
煩雑な操作が必要となる。
一方、近年機鼎装置の小型化、集約化が進展し、その構
成部品となる球体も微小で高精度ならのが要求されてい
る。
成部品となる球体も微小で高精度ならのが要求されてい
る。
しかし微小な球体の寸法測定を行う場合に、球体を所定
位置に数１０μｍの精度で微調整する作業を手作業で行
うことは非常に困難である。手作業で実施するには熟練
した高度の技仙が必要とされ、また長い検査時間を費す
欠点があり、検査工数の増大化を沼いていた。らなみに
直径１〜２ＩＩＩ＃１程度の微小な球体の寸法測定を行
う場合には、球体保持具の位置調整に要する時間が寸法
測定完了までに要する全検査ｌｒ￥聞の半分以上に６達
する場合があり、著しく検査効率が低下するという問題
点があった。
位置に数１０μｍの精度で微調整する作業を手作業で行
うことは非常に困難である。手作業で実施するには熟練
した高度の技仙が必要とされ、また長い検査時間を費す
欠点があり、検査工数の増大化を沼いていた。らなみに
直径１〜２ＩＩＩ＃１程度の微小な球体の寸法測定を行
う場合には、球体保持具の位置調整に要する時間が寸法
測定完了までに要する全検査ｌｒ￥聞の半分以上に６達
する場合があり、著しく検査効率が低下するという問題
点があった。
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
あり、被検球体を高精度かつ迅速に定盤１−に固定する
ことが可能であり、検査作業時間を大幅に短縮しうる球
体寸法測定装置を提供することを目的とする。
あり、被検球体を高精度かつ迅速に定盤１−に固定する
ことが可能であり、検査作業時間を大幅に短縮しうる球
体寸法測定装置を提供することを目的とする。
（課題を解決りるための：Ｆ段）
上記目的を達成するため本発明に係る球体寸法測定装置
は、球体に当接して球体の−ｑ法を測定する測定子Ｊ３
よび測定子に対向した水平面上に球体を載置する定盤を
備えた測定装置本体を設ける一方、水平面上においてη
いに直交４る２軸（Ｘ−Ｙ）方向に移動自在に構成され
たＸ−Ｙテーブルを有し、測定誤差が０．０１ｍｗ以下
の寸法粘度をもって移動後の座標を測定りるＸ−Ｙ座標
測定装置を上記測定装置本体に付設づるとともに、球体
を定盤の所定位置に案内し保持固定する球体保持具を上
記Ｘ−Ｙデープルに一体的に４！着したことを特徴とす
る。
は、球体に当接して球体の−ｑ法を測定する測定子Ｊ３
よび測定子に対向した水平面上に球体を載置する定盤を
備えた測定装置本体を設ける一方、水平面上においてη
いに直交４る２軸（Ｘ−Ｙ）方向に移動自在に構成され
たＸ−Ｙテーブルを有し、測定誤差が０．０１ｍｗ以下
の寸法粘度をもって移動後の座標を測定りるＸ−Ｙ座標
測定装置を上記測定装置本体に付設づるとともに、球体
を定盤の所定位置に案内し保持固定する球体保持具を上
記Ｘ−Ｙデープルに一体的に４！着したことを特徴とす
る。
また定盤、球体保持具および測定子はセラミックスの焼
結体で形成するとよい。
結体で形成するとよい。
（作用）
上記構成に係る球体寸法測定装ぎによれば、被検球体を
保持する球体保持具が、Ｘ−Ｙ座標測定装置のＸ−Ｙテ
ーブルに一体的に装着きれているため、少くとも１０μ
Ｉｎオーダーの高い位置精度で、球体保持具を定盤上の
所定位置に固定することができる。すなわちＸ−Ｙ座４
！！測定装置にＸ軸方向またはＹ軸方向への移動伍を数
値的に入力することによってＸ−Ｙテーブルは指定され
た方面に迅速に移動し、Ｘ−Ｙテーブルに一体的に装着
した球体保持具を球体の頂点位置に迅速に移動すること
ができる。
保持する球体保持具が、Ｘ−Ｙ座標測定装置のＸ−Ｙテ
ーブルに一体的に装着きれているため、少くとも１０μ
Ｉｎオーダーの高い位置精度で、球体保持具を定盤上の
所定位置に固定することができる。すなわちＸ−Ｙ座４
！！測定装置にＸ軸方向またはＹ軸方向への移動伍を数
値的に入力することによってＸ−Ｙテーブルは指定され
た方面に迅速に移動し、Ｘ−Ｙテーブルに一体的に装着
した球体保持具を球体の頂点位置に迅速に移動すること
ができる。
したがって頂点出し操作が極めて高粘度で容易かつ迅速
に実施することが可能となり、測定作業時間が大幅に短
縮される。
に実施することが可能となり、測定作業時間が大幅に短
縮される。
また定盤、球体保持具および測定子をセラミツ・クスの
焼結体で構成することにより、従来の金属製のものと比
較して耐摩耗性および耐食性が高くなり、しかも熱膨張
係数が小さく、ざらに軽量化を図りつつ剛性を高めるこ
とができるので、測定精度の向上が図られる上に、測定
精度を長期に渡って維持づることが可能となり検査の信
頼性を大幅に向上さ「ることができる。
焼結体で構成することにより、従来の金属製のものと比
較して耐摩耗性および耐食性が高くなり、しかも熱膨張
係数が小さく、ざらに軽量化を図りつつ剛性を高めるこ
とができるので、測定精度の向上が図られる上に、測定
精度を長期に渡って維持づることが可能となり検査の信
頼性を大幅に向上さ「ることができる。
（実施例）
次に本発明の一実施例について添付図面を参照して説明
する。第１図は本発明に係る球体寸法測定装置の一実施
例を承り斜視図であり、第２図に承り従来装置と同一要
素には同一符号を付して、その詳細説明は省略する。
する。第１図は本発明に係る球体寸法測定装置の一実施
例を承り斜視図であり、第２図に承り従来装置と同一要
素には同一符号を付して、その詳細説明は省略する。
本実施例に係る球体寸法測定装置１１は、被検球体８に
当接して被検球体の寸法を測定する測定子５としての電
気マイクロメータＪ３よび測定子５に対向した水平面上
に被検球体８を載置する定盤６を備えた測定装置本体１
２を設ける一方、水平面上において互いに直交する２軸
（Ｘ−Ｙ）方向に移りＪ自在に構成されたＸ−Ｙテーブ
ル１３を右し、０．００１ｍの寸法精度をもって移動後
の座標を測定するＸ−Ｙ座標測定装置１４を上記測定装
置本体１２に付設するとともに、被検球体８を８を定盤
６の所定位置に案内し保持固定する球１体保持貝１５を
上記Ｘ−Ｙテーブル１３に一体的に装着して構成される
。
当接して被検球体の寸法を測定する測定子５としての電
気マイクロメータＪ３よび測定子５に対向した水平面上
に被検球体８を載置する定盤６を備えた測定装置本体１
２を設ける一方、水平面上において互いに直交する２軸
（Ｘ−Ｙ）方向に移りＪ自在に構成されたＸ−Ｙテーブ
ル１３を右し、０．００１ｍの寸法精度をもって移動後
の座標を測定するＸ−Ｙ座標測定装置１４を上記測定装
置本体１２に付設するとともに、被検球体８を８を定盤
６の所定位置に案内し保持固定する球１体保持貝１５を
上記Ｘ−Ｙテーブル１３に一体的に装着して構成される
。
また定盤６、球体保持具１５および測定子５は、セラミ
ックスの焼結体で形成されている。
ックスの焼結体で形成されている。
ここでＸ−Ｙ座標測定装置１４は位置制御設備として一
般に市販されており、本体上部に載置してＸ−Ｙテーブ
ル１３を水平面内において互いに直交覆る２軸（Ｘ軸、
Ｙ軸）方向に移動させるサーボ機構を内蔵しており、１
μｍの位置精度でそれぞれの軸方向に動作自在に構成さ
れている。
般に市販されており、本体上部に載置してＸ−Ｙテーブ
ル１３を水平面内において互いに直交覆る２軸（Ｘ軸、
Ｙ軸）方向に移動させるサーボ機構を内蔵しており、１
μｍの位置精度でそれぞれの軸方向に動作自在に構成さ
れている。
各方向に対する移動距離はデジタル表示窓１６Ｘ、１６
Ｙによって数値的に表示される。また各マイクロメータ
ヘッド１７Ｘ、１７Ｙに装備された調節ハンドル１８Ｘ
、１８Ｙを手動で回転することによっても各方向にＸ−
Ｙテーブル１３を微小寸法で移動できるように構成され
ている。
Ｙによって数値的に表示される。また各マイクロメータ
ヘッド１７Ｘ、１７Ｙに装備された調節ハンドル１８Ｘ
、１８Ｙを手動で回転することによっても各方向にＸ−
Ｙテーブル１３を微小寸法で移動できるように構成され
ている。
Ｘ−Ｙ座標測定装置１４の寸法測定精度が少くとも０．
０１ｍであれば、直径１ａｍ前後の微小球体でも容易迅
速に、かつ＾精１立に位置決めすることが可能であるが
、本実施例のように０．００１厘程度の精度を有するも
のを使用することが望ましい。
０１ｍであれば、直径１ａｍ前後の微小球体でも容易迅
速に、かつ＾精１立に位置決めすることが可能であるが
、本実施例のように０．００１厘程度の精度を有するも
のを使用することが望ましい。
本実施例に係る球体寸法測定装置１１を使用して球体の
末法測定を行う場合は、まず定盤６と球体保持具１５の
Ｖ字状溝９とで形成される３平面部に被検球体８を押圧
し、ざらに被検球体８表面に測定子５としての電気マイ
ク［１メータの先端部を当接させる。
末法測定を行う場合は、まず定盤６と球体保持具１５の
Ｖ字状溝９とで形成される３平面部に被検球体８を押圧
し、ざらに被検球体８表面に測定子５としての電気マイ
ク［１メータの先端部を当接させる。
次に被検球体８の頂点が測定子５の先端に一致するよう
にＸ−Ｙテーブル１３をＸ軸またはＹ軸り向に微小距離
ずつ移動させる。この移動操作は、予め入力された移動
距離の数１（５〜１５μｍ）によって＆制御されるサー
ボｖＡ構によって自動的に実行する方式が良いが、調整
ハンドル１８Ｘ、１８Ｙを手動で所定角度だ番ノ回転さ
せることによっても実行することができる。
にＸ−Ｙテーブル１３をＸ軸またはＹ軸り向に微小距離
ずつ移動させる。この移動操作は、予め入力された移動
距離の数１（５〜１５μｍ）によって＆制御されるサー
ボｖＡ構によって自動的に実行する方式が良いが、調整
ハンドル１８Ｘ、１８Ｙを手動で所定角度だ番ノ回転さ
せることによっても実行することができる。
このようにＸ−Ｙテーブル１３をＸ軸およびＹ軸方向に
微小ずつ移動させて、測定子５の読みが最大となった位
置が固定位置となる。以後常法通りに直径を順次測定す
ることとなる。
微小ずつ移動させて、測定子５の読みが最大となった位
置が固定位置となる。以後常法通りに直径を順次測定す
ることとなる。
本実施例装置によれば、高ＴＲ度かつ迅速に移動距離を
１１ｗし１りるＸ−Ｙテーブル１３に、球体保持具１５
が一体的に装着されているため、被検球体８の定盤６土
における頂点出し作業を極めて迅速かつ高精度で実施す
ることが可能であり、その結束検査測定作業時間が大幅
に短縮され、さらに測定精度を向上さぼることができる
。
１１ｗし１りるＸ−Ｙテーブル１３に、球体保持具１５
が一体的に装着されているため、被検球体８の定盤６土
における頂点出し作業を極めて迅速かつ高精度で実施す
ることが可能であり、その結束検査測定作業時間が大幅
に短縮され、さらに測定精度を向上さぼることができる
。
次に本発明装置と従来装置とを使用して実際に微小な球
体の直径を測定した場合の効果の相違について、より具
体的に説明する。
体の直径を測定した場合の効果の相違について、より具
体的に説明する。
直径１．５ｍで直径精度が±０．０３μＴｎの高精度標
準球体を被検球体８として本発明装置Ｊ３よび従来装置
を使用して１０回にわたり頂点出し作業と直径測定作業
を繰り返し、測定値の変動幅と頂点出しのための作業ｉ
問を含めた全検査時間を測定したところ、下記第１表に
示すような値を得た。
準球体を被検球体８として本発明装置Ｊ３よび従来装置
を使用して１０回にわたり頂点出し作業と直径測定作業
を繰り返し、測定値の変動幅と頂点出しのための作業ｉ
問を含めた全検査時間を測定したところ、下記第１表に
示すような値を得た。
第 １ 表
第１表の結果から明らかなように本実施例装置によれば
、球体保持具１５による被検球体８の位置決め操作が高
精度かつ迅速になされるため、全検査時間は従来の１７
３〜１／４に短縮される。
、球体保持具１５による被検球体８の位置決め操作が高
精度かつ迅速になされるため、全検査時間は従来の１７
３〜１／４に短縮される。
従って検査測定作業に際して、＾度な技仙も必要なくな
り、検査測定作業の効率および信頼性を大幅に向上させ
ることが可能となる。
り、検査測定作業の効率および信頼性を大幅に向上させ
ることが可能となる。
ところで定１１６の基準面、球体保持具１５および測定
子５の先端部は、常に＾硬度の被検球体８と接触してい
るために、経時的に摩耗や損傷が発生し易く、しかも！
ｉ度による熱膨張の影響を受けて、測定精度を低下させ
るおそれが高い。
子５の先端部は、常に＾硬度の被検球体８と接触してい
るために、経時的に摩耗や損傷が発生し易く、しかも！
ｉ度による熱膨張の影響を受けて、測定精度を低下させ
るおそれが高い。
その対策として上記定盤６などの構成部品をセラミック
スの焼結体で構成することにより、従来の金属製のもの
と比較して、耐摩耗性および耐食性が改善され、しかも
熱膨張係数が小さくなり、ざらに軽石化を図りつつ剛性
を高めることができる。
スの焼結体で構成することにより、従来の金属製のもの
と比較して、耐摩耗性および耐食性が改善され、しかも
熱膨張係数が小さくなり、ざらに軽石化を図りつつ剛性
を高めることができる。
従って測定精度の向上が図られ、長期にわたって検査の
信頼性を維持できる。
信頼性を維持できる。
（Ｒ明の効果〕
以上説明の通り、本発明に係る球体寸法測定装置によれ
ば、被検球体を保持する球体保持具が、Ｘ−Ｙ座標測定
装置のＸ−Ｙテーブルに一体的に装着されているため、
少くとも１０μｍオーダーの＾い位置精度で、球体保持
具を定盤上の所定位置に固定することができる。すなわ
ちＸ−Ｙ座標測定装置にＸ軸方向またはＹ軸方向への移
動量を数値的に入力することによってＸ−Ｙテーブルは
指定された方向に迅速に移動し、Ｘ−Ｙテーブルに一体
的に装着した球体保持具を球体の頂点位置に迅速に移動
することができる。
ば、被検球体を保持する球体保持具が、Ｘ−Ｙ座標測定
装置のＸ−Ｙテーブルに一体的に装着されているため、
少くとも１０μｍオーダーの＾い位置精度で、球体保持
具を定盤上の所定位置に固定することができる。すなわ
ちＸ−Ｙ座標測定装置にＸ軸方向またはＹ軸方向への移
動量を数値的に入力することによってＸ−Ｙテーブルは
指定された方向に迅速に移動し、Ｘ−Ｙテーブルに一体
的に装着した球体保持具を球体の頂点位置に迅速に移動
することができる。
したがって頂点出し操作が極めＣ高精度で容易かつ迅速
に実施することが可能となり、測定作業時間が大幅に短
縮される。
に実施することが可能となり、測定作業時間が大幅に短
縮される。
また定盤、球体保持具および測定子をセラミックスの焼
結体で構成することにより、従来の金属製のちのと比較
して耐摩耗性および耐食性が高くなり、しかも、熱膨張
係数が小さく、さらに軽量化を図りつつ剛性を高めるこ
とがぐきるので、測定Ｍ度の向上が図られる上に、測定
精度を長１ｎに渡ってＨ持することが可能となり検査の
信頼性を大幅に向上させることができる。
結体で構成することにより、従来の金属製のちのと比較
して耐摩耗性および耐食性が高くなり、しかも、熱膨張
係数が小さく、さらに軽量化を図りつつ剛性を高めるこ
とがぐきるので、測定Ｍ度の向上が図られる上に、測定
精度を長１ｎに渡ってＨ持することが可能となり検査の
信頼性を大幅に向上させることができる。
第１図は本発明に係る球体寸法測定装置の一実施例を示
す斜視図、第２図は従来装置の構成例を示す斜視図であ
る。 １・・・球体寸法測定装置、２・・・基台、３・・・支
＋１．４・・・測定ヘッド、５・・・測定子、６・・・
定盤、７・・・球体保持具、８・・・被検球体、９・・
・Ｖ字状溝、１０・・・固定用ねじ、１１・・・球体寸
法測定装置、１２・・・測定装置本体、１３・・・Ｘ−
Ｙデープル、１４・・・×−Ｙ座標測定Ｓ装置、１５・
・・球体保持具、１６Ｘ、１６Ｙ・・・デジタル表示窓
、１７Ｘ、１７Ｙ・・・マイクロメータヘッド、１８Ｘ
、１８Ｙ・・・調節ハンドル。 出願人代理人 波 多 野 久ｆ 某 １ 図 某 ２ 副
す斜視図、第２図は従来装置の構成例を示す斜視図であ
る。 １・・・球体寸法測定装置、２・・・基台、３・・・支
＋１．４・・・測定ヘッド、５・・・測定子、６・・・
定盤、７・・・球体保持具、８・・・被検球体、９・・
・Ｖ字状溝、１０・・・固定用ねじ、１１・・・球体寸
法測定装置、１２・・・測定装置本体、１３・・・Ｘ−
Ｙデープル、１４・・・×−Ｙ座標測定Ｓ装置、１５・
・・球体保持具、１６Ｘ、１６Ｙ・・・デジタル表示窓
、１７Ｘ、１７Ｙ・・・マイクロメータヘッド、１８Ｘ
、１８Ｙ・・・調節ハンドル。 出願人代理人 波 多 野 久ｆ 某 １ 図 某 ２ 副
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、球体に当接して球体の寸法を測定する測定子および
測定子に対向した水平面上に球体を載置する定盤を備え
た測定装置本体を設ける一方、水平面上において互いに
直交する２軸（Ｘ−Ｙ）方向に移動自在に構成されたＸ
−Ｙテーブルを有し、測定誤差が０．０１ｍｍ以下の寸
法精度をもつて移動後の座標を測定するＸ−Ｙ座標測定
装置を上記測定装置本体に付設するとともに、球体を定
盤の所定位置に案内し保持固定する球体保持具を上記Ｘ
−Ｙテーブルに一体的に装着したことを特徴とする球体
寸法測定装置。 ２、定盤、球体保持具および測定子は、セラミツクスの
焼結体で形成したことを特徴とする請求項１記載の球体
寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63313672A JPH0654204B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 球体寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63313672A JPH0654204B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 球体寸法測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02159501A true JPH02159501A (ja) | 1990-06-19 |
| JPH0654204B2 JPH0654204B2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=18044121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63313672A Expired - Lifetime JPH0654204B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 球体寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0654204B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6247241B1 (en) | 1998-02-04 | 2001-06-19 | Nsk Ltd. | Ball diameter automatic measurement device and method |
| CN108007384A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-05-08 | 合肥工业大学 | 一种齿轮齿廓微观形貌测量装置 |
| CN116214581A (zh) * | 2023-02-15 | 2023-06-06 | 王少义 | 工业机器人性能检测装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150102A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-04 | Toshiba Corp | 球体の寸法測定方法 |
-
1988
- 1988-12-14 JP JP63313672A patent/JPH0654204B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150102A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-04 | Toshiba Corp | 球体の寸法測定方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6247241B1 (en) | 1998-02-04 | 2001-06-19 | Nsk Ltd. | Ball diameter automatic measurement device and method |
| CN108007384A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-05-08 | 合肥工业大学 | 一种齿轮齿廓微观形貌测量装置 |
| CN116214581A (zh) * | 2023-02-15 | 2023-06-06 | 王少义 | 工业机器人性能检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0654204B2 (ja) | 1994-07-20 |
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