JPH02160468A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH02160468A JPH02160468A JP31456888A JP31456888A JPH02160468A JP H02160468 A JPH02160468 A JP H02160468A JP 31456888 A JP31456888 A JP 31456888A JP 31456888 A JP31456888 A JP 31456888A JP H02160468 A JPH02160468 A JP H02160468A
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- JP
- Japan
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- wire
- roll
- pitch
- auxiliary
- row
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Links
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被加工物の切断に使用するワイヤソーに関す
る。
る。
本発明は、1本のワイヤを主ロール間に繞らせて形成し
たワイヤ列を走行させて被加工物を切断するワイヤソー
において、ワイヤ列の面から離れた補助ロールを設け、
ワイヤを所望のピッチ置きに補助ロールに繞らせてワイ
ヤ列のピッチを選定することによって、幅広の切断をも
可能にしたものである。
たワイヤ列を走行させて被加工物を切断するワイヤソー
において、ワイヤ列の面から離れた補助ロールを設け、
ワイヤを所望のピッチ置きに補助ロールに繞らせてワイ
ヤ列のピッチを選定することによって、幅広の切断をも
可能にしたものである。
第10図は従来のワインヤーの構成を示す。同図におい
て、(1)は切断されるべき被加工物、(2)はワイヤ
ソーの全体を示す。ワイヤソー(2)は、左右対象とな
るように配したノンスリップリール(4A)。
て、(1)は切断されるべき被加工物、(2)はワイヤ
ソーの全体を示す。ワイヤソー(2)は、左右対象とな
るように配したノンスリップリール(4A)。
(4B)、シーソー(5)、各ガイドリール(6)と、
主ロール即ちドライブシャフトに接続された第1のロー
ル(7)及びワイヤによって従動回転する第2、第3の
ロール(8)、 (9)とを有し、1本の、ワイヤ(
3)が供給側より繰出され右側の各ノンスリップリール
(4A)、シーソー〔5〕の一端のリール(5A)、ガ
イドロール(6)を経て、第1、第2、第3のロール(
7)、 (8)、 (9)を繞り、左側の各ガイド
リール(6)、シーソー(5)の他端のリール(5B)
、ノンスリップリール(4B)を経て巻取側に走行する
ようになされる。第11第2及び第3のロール(7)、
(8)、 (9)には第11図に示すように夫々
ロール軸方向に沿って所定ピッチの複数の溝(lO)が
設けられ、ワイヤ(3)はこの各ロールの溝(10)に
巻回され第2及び第3のロール(8)及び(9)間にワ
イヤ列(11)が形成される。この走行するワイヤ列(
11)によって被加工物(1)を所定幅で複数個に同時
に切断するようになされる。
主ロール即ちドライブシャフトに接続された第1のロー
ル(7)及びワイヤによって従動回転する第2、第3の
ロール(8)、 (9)とを有し、1本の、ワイヤ(
3)が供給側より繰出され右側の各ノンスリップリール
(4A)、シーソー〔5〕の一端のリール(5A)、ガ
イドロール(6)を経て、第1、第2、第3のロール(
7)、 (8)、 (9)を繞り、左側の各ガイド
リール(6)、シーソー(5)の他端のリール(5B)
、ノンスリップリール(4B)を経て巻取側に走行する
ようになされる。第11第2及び第3のロール(7)、
(8)、 (9)には第11図に示すように夫々
ロール軸方向に沿って所定ピッチの複数の溝(lO)が
設けられ、ワイヤ(3)はこの各ロールの溝(10)に
巻回され第2及び第3のロール(8)及び(9)間にワ
イヤ列(11)が形成される。この走行するワイヤ列(
11)によって被加工物(1)を所定幅で複数個に同時
に切断するようになされる。
ところで、上述した従来のワイヤソー(2)においては
、第12図に示すように例えば第1及び第3のロール(
7)及び(9)間で巻回位置を変えるために各ワイヤ(
3)が溝(10)の方向に対して角度θをもって斜めに
架張される。このため、ワイヤ列における切断ピッチ即
ち切断幅W1 は最大でも4mm程度であり、それ以
上の切断幅を得ようとしてもワイヤ(3)が溝(10)
から外れたり、或は溝(10)の変形により正確な切断
幅が得られなかった。
、第12図に示すように例えば第1及び第3のロール(
7)及び(9)間で巻回位置を変えるために各ワイヤ(
3)が溝(10)の方向に対して角度θをもって斜めに
架張される。このため、ワイヤ列における切断ピッチ即
ち切断幅W1 は最大でも4mm程度であり、それ以
上の切断幅を得ようとしてもワイヤ(3)が溝(10)
から外れたり、或は溝(10)の変形により正確な切断
幅が得られなかった。
本発明は、上述の点に鑑み、幅広の切断をも可能にした
ワイヤソーを提供するものである。
ワイヤソーを提供するものである。
本発明は、1本のワイヤ(3)を主ロール(7)、 (
8)。
8)。
(9)間に繞らせて形成したワイヤ列(11)を有し、
このワイヤ列(11)を走行させて被加工物を切断する
ワイヤソーにおいて、ワイヤ列(11)の面から離れた
位置に補助ロール(21)を設け、ワイヤ(3)を所望
のピッチ置きに補助ロール(21)に繞らせてワイヤ列
(11)のピッチを選定するように構成する。
このワイヤ列(11)を走行させて被加工物を切断する
ワイヤソーにおいて、ワイヤ列(11)の面から離れた
位置に補助ロール(21)を設け、ワイヤ(3)を所望
のピッチ置きに補助ロール(21)に繞らせてワイヤ列
(11)のピッチを選定するように構成する。
主ロール(8)、 (9)、 (10) には夫々ロ
ール軸方向に沿ってワイヤ(3)を案内する所定ピッチ
の複数の溝(10)が形成される。
ール軸方向に沿ってワイヤ(3)を案内する所定ピッチ
の複数の溝(10)が形成される。
ワイヤ(3)は主ロール(7)、 (8)、 (9)
間を視ると共に、所望ピッチ置きにワイヤ列(11)か
ら離れた補助ロールを模るように巻回される。このため
、補助ロール(21)に巻回された分のワイヤ(3)は
ワイヤ列(11)の面から離れるので、ワイヤ列では、
主ロールの溝(10)のピッチPの整数倍の切断ピッチ
W2が得られる。即ち、ワイヤ(3)の角度θ (第1
1図参照)を大きくすることな(実質的に広い切断ピッ
チW2 が容易に得られる。
間を視ると共に、所望ピッチ置きにワイヤ列(11)か
ら離れた補助ロールを模るように巻回される。このため
、補助ロール(21)に巻回された分のワイヤ(3)は
ワイヤ列(11)の面から離れるので、ワイヤ列では、
主ロールの溝(10)のピッチPの整数倍の切断ピッチ
W2が得られる。即ち、ワイヤ(3)の角度θ (第1
1図参照)を大きくすることな(実質的に広い切断ピッ
チW2 が容易に得られる。
以下、図面を参照して本発明によるワイヤソーの実施例
を説明する。尚、実施例を示す各図においては被加工物
の切断に供するワイヤ列が形成される主ロールの部分の
みを示し、他は第9図と同様であるので省略する。
を説明する。尚、実施例を示す各図においては被加工物
の切断に供するワイヤ列が形成される主ロールの部分の
みを示し、他は第9図と同様であるので省略する。
本発明においては、例えば第1図及び第2図に示すよう
に主ロール即ちドライブシャフトに接続された第1のロ
ール(7)と、ワイヤ(3)によって従動回転する第2
のロール(8)及び第3のロール(9)が三角形の各頂
点に対応するように互いに平行して配されると共に、こ
の3つのロール(7)、 (8)及び(9)を結んで
形成される三角形の中央位置にワイヤ(3)によって従
動回転する1つの補助ロール(21)が各ロール(7)
、 (8)、 (9)に平行して配される。第1、
第2、第3の各ロール(7)、 (8)、 (9)
にはワイヤ(3)を案内するための夫々同ピツチの複数
の溝(10)がロール軸方向に沿って形成される。補助
ロール(21)では上記ロールと同様の溝(10)を有
する必要はないが、溝(10)を形成することも可能で
ある。そして、ワイヤ(3)は第2図に示すように溝(
10)に案内されながら第1のロール(7)−第2のロ
ール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に第1のロ
ール(7)−第2のロール(8)−補助ロール(21)
−第3のロール(9)を繞り、之を順次繰返して巻回さ
れる。図示の例では1溝ピツチPffiきにワイヤ(3
)が補助ロール(21)を視るようになされる。これに
より、被加工物(1)に対向して第2のロール(8)及
び第3のロール(7)間に架張されたワイヤ列(11)
の切断ピッチW2 は溝ピッチPの2倍のピッチ(W、
= 2 P) に設定される。
に主ロール即ちドライブシャフトに接続された第1のロ
ール(7)と、ワイヤ(3)によって従動回転する第2
のロール(8)及び第3のロール(9)が三角形の各頂
点に対応するように互いに平行して配されると共に、こ
の3つのロール(7)、 (8)及び(9)を結んで
形成される三角形の中央位置にワイヤ(3)によって従
動回転する1つの補助ロール(21)が各ロール(7)
、 (8)、 (9)に平行して配される。第1、
第2、第3の各ロール(7)、 (8)、 (9)
にはワイヤ(3)を案内するための夫々同ピツチの複数
の溝(10)がロール軸方向に沿って形成される。補助
ロール(21)では上記ロールと同様の溝(10)を有
する必要はないが、溝(10)を形成することも可能で
ある。そして、ワイヤ(3)は第2図に示すように溝(
10)に案内されながら第1のロール(7)−第2のロ
ール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に第1のロ
ール(7)−第2のロール(8)−補助ロール(21)
−第3のロール(9)を繞り、之を順次繰返して巻回さ
れる。図示の例では1溝ピツチPffiきにワイヤ(3
)が補助ロール(21)を視るようになされる。これに
より、被加工物(1)に対向して第2のロール(8)及
び第3のロール(7)間に架張されたワイヤ列(11)
の切断ピッチW2 は溝ピッチPの2倍のピッチ(W、
= 2 P) に設定される。
この構成では補助ロール(21)を通す巻回数を選ぶこ
とによって、ワイヤ列(11)の切断ピッチW2 を溝
ピッチPの整数倍に選定することができる。第3図は切
断ピッチW2=3Pとした場合の例である。第2図、第
3図のいずれの場合でも、ワイヤ(3)の角度θは同じ
になる。
とによって、ワイヤ列(11)の切断ピッチW2 を溝
ピッチPの整数倍に選定することができる。第3図は切
断ピッチW2=3Pとした場合の例である。第2図、第
3図のいずれの場合でも、ワイヤ(3)の角度θは同じ
になる。
第4図及び第5図の実施例は、第1、第2、第3のロー
ル(7)、 (8)、 (9)及び補助ロール(21)
の配置関係を第1図と同じにしてワイヤ(3)の巻き方
を異ならした場合である。ワイヤ(3)は第1のロール
(7)−第2のロール(8)−第3のロール(9)を繞
り、次に第1のロール(7)−補助ロールク21)を模
り、これを順次繰返して巻回される。
ル(7)、 (8)、 (9)及び補助ロール(21)
の配置関係を第1図と同じにしてワイヤ(3)の巻き方
を異ならした場合である。ワイヤ(3)は第1のロール
(7)−第2のロール(8)−第3のロール(9)を繞
り、次に第1のロール(7)−補助ロールク21)を模
り、これを順次繰返して巻回される。
第6図及び第7図の実施例は、第1、第2、第3のロー
ル(7)、 (8)、 (9)及び補助ロール(21)
の配置関係を第1図と同じにして、さらにワイヤ(3)
の巻き方を異ならした場合である。この例では、ワイヤ
(3)は第1のロール(7)−補助ロール(21)−第
2のロール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に補
助ロール(21)−第1のロール(7)を繞り、これを
順次繰返えして巻回される。
ル(7)、 (8)、 (9)及び補助ロール(21)
の配置関係を第1図と同じにして、さらにワイヤ(3)
の巻き方を異ならした場合である。この例では、ワイヤ
(3)は第1のロール(7)−補助ロール(21)−第
2のロール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に補
助ロール(21)−第1のロール(7)を繞り、これを
順次繰返えして巻回される。
第8図の実施例は、補助ロール(21)をワイヤ列(1
1)を挟んで第1のロール(7)と対向する位置に配し
た場合である。ワイヤ(3)は第1のロール(7)−第
2のロール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に第
1のロール(7)−第2のロール(8)−補助ロール(
21)−第3のロール(9)を繞り、これを順次繰返し
て巻回される。
1)を挟んで第1のロール(7)と対向する位置に配し
た場合である。ワイヤ(3)は第1のロール(7)−第
2のロール(8)−第3のロール(9)を繞り、次に第
1のロール(7)−第2のロール(8)−補助ロール(
21)−第3のロール(9)を繞り、これを順次繰返し
て巻回される。
上側では1つの補助ロール(21)を設けた場合である
が、補助ロール(21)を複数設けることも可能である
。第9図の実施例は2つの補助ロール(21A)。
が、補助ロール(21)を複数設けることも可能である
。第9図の実施例は2つの補助ロール(21A)。
(21B) を設けた場合であり、ワイヤ(3)は第
1のロール(7)−第2のロール(8)−第3のロール
(9)を繞り、次いで第1のロール(7)−第1補助ロ
ール(21A)第2の補助ロール(21B) を繞り
、これを順次繰返えして巻回される。
1のロール(7)−第2のロール(8)−第3のロール
(9)を繞り、次いで第1のロール(7)−第1補助ロ
ール(21A)第2の補助ロール(21B) を繞り
、これを順次繰返えして巻回される。
第4図乃至第9図のいずれの例においても、補助ロール
(21)への巻回数を選ぶことによって被加工物(1)
に対向して第2及び第3のロール(8)及び(9)間に
架張されるワイヤ列(11)の切断ピッチW2は溝ピッ
チPの整数倍とすることができる。
(21)への巻回数を選ぶことによって被加工物(1)
に対向して第2及び第3のロール(8)及び(9)間に
架張されるワイヤ列(11)の切断ピッチW2は溝ピッ
チPの整数倍とすることができる。
上述の構成によれば、主たる第1、第2、第3のロール
(7)、 (8)、 (9)の他に補助ロール(21)
を設け、ワイヤ〔3)を所望のピッチ置きに補助ロール
(21)に繞らせて巻回することにより、ワイヤ列(1
1)において溝ピッチPの整数倍の切断ピッチW2 が
得られ、被加工物に対する切断幅に応じて適宜切断ピッ
チW2を可変ならしめることができる。
(7)、 (8)、 (9)の他に補助ロール(21)
を設け、ワイヤ〔3)を所望のピッチ置きに補助ロール
(21)に繞らせて巻回することにより、ワイヤ列(1
1)において溝ピッチPの整数倍の切断ピッチW2 が
得られ、被加工物に対する切断幅に応じて適宜切断ピッ
チW2を可変ならしめることができる。
そして、補助ロール(21)を設けたことによりワイヤ
〔3〕の角度θは適正角度に維持できるので、切断ピッ
チW2 が大きくなってもワイヤ(3)が溝(10)か
ら外れたり、或は溝(10)を変形させることがなく、
正確な切断ピッチW2 が得られる。
〔3〕の角度θは適正角度に維持できるので、切断ピッ
チW2 が大きくなってもワイヤ(3)が溝(10)か
ら外れたり、或は溝(10)を変形させることがなく、
正確な切断ピッチW2 が得られる。
尚、上側では切断ピッチを可変としたが、固定の切断ピ
ッチとなるように構成することもできる。
ッチとなるように構成することもできる。
一方、上述の本発明によるワイヤソーでは、被加工物(
1)を切断する際に、切断に用いられるワイヤ列(11
)には被加工物(1)からの荷重Fがかかるので、補助
ロール(21)に巻回したワイヤ(3)にもこれと同等
の荷重をかけ、ワイヤ張力を均一にする必要がある。従
って、第1図を例にとると、例えば補助ロール(21)
を溝なしロールで形成する。このようにすると、被加工
物の切断時に荷重Fを受けてワイヤ列(11)のワイヤ
(3)の張力T1 が補助ロール(21〉に巻回された
ワイヤ(3)の張力T2 より大になった場合(T+
> 第2)、補助ロール(21)に巻回されたワイヤ(
3)はその張力差に応じて溝なしの補助ロール(21)
上をロール軸方向にスライドし、張力T、及び第2 が
バランスする。他の方法としては、荷重Fと同程度の荷
重F′を補助ロール(21)にかけるようにしてもよい
。即ちスプリングを介して補助ロール(21)をF′方
向に変位せしめ、張力T、 と張力T2をバランスさ
せる。第4図、第6図、第8図、第9図の例においても
同様の構成をとりうる。但し、第6図の場合は第1のロ
ール(7)に荷重F′をかけるようになす。
1)を切断する際に、切断に用いられるワイヤ列(11
)には被加工物(1)からの荷重Fがかかるので、補助
ロール(21)に巻回したワイヤ(3)にもこれと同等
の荷重をかけ、ワイヤ張力を均一にする必要がある。従
って、第1図を例にとると、例えば補助ロール(21)
を溝なしロールで形成する。このようにすると、被加工
物の切断時に荷重Fを受けてワイヤ列(11)のワイヤ
(3)の張力T1 が補助ロール(21〉に巻回された
ワイヤ(3)の張力T2 より大になった場合(T+
> 第2)、補助ロール(21)に巻回されたワイヤ(
3)はその張力差に応じて溝なしの補助ロール(21)
上をロール軸方向にスライドし、張力T、及び第2 が
バランスする。他の方法としては、荷重Fと同程度の荷
重F′を補助ロール(21)にかけるようにしてもよい
。即ちスプリングを介して補助ロール(21)をF′方
向に変位せしめ、張力T、 と張力T2をバランスさ
せる。第4図、第6図、第8図、第9図の例においても
同様の構成をとりうる。但し、第6図の場合は第1のロ
ール(7)に荷重F′をかけるようになす。
又、切断時のワイヤ列(11)に受ける荷重Fに連動し
て補助ロール(21)に荷重F′をかける(即ち変位さ
せる〉ようになすことも可能である。
て補助ロール(21)に荷重F′をかける(即ち変位さ
せる〉ようになすことも可能である。
本発明のワイヤソーによれば、切断用のワイヤ列を形成
する主ロールの他に補助ロールを設け、ワイヤを所望の
ピッチ置きに補助ロールに繞らせることにより、ワイヤ
の角度θを適正に維持した状態でワイヤ列の切断ピッチ
を所定ピッチに選定することができる。特に従来のワイ
ヤソーでは不可能であった4mm以上の切断幅を容易に
且つ正確に得ることができる。
する主ロールの他に補助ロールを設け、ワイヤを所望の
ピッチ置きに補助ロールに繞らせることにより、ワイヤ
の角度θを適正に維持した状態でワイヤ列の切断ピッチ
を所定ピッチに選定することができる。特に従来のワイ
ヤソーでは不可能であった4mm以上の切断幅を容易に
且つ正確に得ることができる。
第1図及び第2図は本発明のワイヤソーの一例を示す要
部の構成図及びその斜視図、第3図は本発明の他の例を
示す要部の斜視図、第4図及び第5図は本発明の他の例
を示す要部の構成図及びその斜視図、第6図及び第7図
は本発明のさらに他の例を示す要部の構成図及びその斜
視図、第8図及び第9図は夫々さらに本発明の他の例を
示す構成図、第10図は従来のワイヤソーの例を示す構
成図、第11図はその要部の斜視図、第12図はその要
部の平面図である。 (1)は被加工物、(3〕はワイヤ、(7ン、 (8)
、 (9)は主たるロール、(10)は溝、(11)は
ワイヤ列、(21)。 (21A)、 (21B) は補助ロールである。 代 理 人 伊 藤 真向
松 隈 秀 盛第3 図 第2図 介F 本発明のワイヤソーの車部の鎮圧図 第4図 第8図 従来のワイヤソー0橿成図 第10図
部の構成図及びその斜視図、第3図は本発明の他の例を
示す要部の斜視図、第4図及び第5図は本発明の他の例
を示す要部の構成図及びその斜視図、第6図及び第7図
は本発明のさらに他の例を示す要部の構成図及びその斜
視図、第8図及び第9図は夫々さらに本発明の他の例を
示す構成図、第10図は従来のワイヤソーの例を示す構
成図、第11図はその要部の斜視図、第12図はその要
部の平面図である。 (1)は被加工物、(3〕はワイヤ、(7ン、 (8)
、 (9)は主たるロール、(10)は溝、(11)は
ワイヤ列、(21)。 (21A)、 (21B) は補助ロールである。 代 理 人 伊 藤 真向
松 隈 秀 盛第3 図 第2図 介F 本発明のワイヤソーの車部の鎮圧図 第4図 第8図 従来のワイヤソー0橿成図 第10図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1本のワイヤを主ロール間に繞らせて形成したワイヤ列
を有し、該ワイヤ列を走行させて被加工物を切断するワ
イヤソーにおいて、 上記ワイヤ列の面から離れた補助ロールを設け、上記ワ
イヤを所望のピッチ置きに上記補助ローラに繞らせて上
記ワイヤ列のピッチを選定するようにして成るワイヤソ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31456888A JPH02160468A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31456888A JPH02160468A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02160468A true JPH02160468A (ja) | 1990-06-20 |
Family
ID=18054847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31456888A Pending JPH02160468A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02160468A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0743140A3 (en) * | 1995-04-14 | 1997-04-23 | Shinetsu Handotai Kk | Wire saw device |
| JP2007237348A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤ放電加工装置 |
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- 1988-12-13 JP JP31456888A patent/JPH02160468A/ja active Pending
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