JPH02161788A - ガスレーザ装置の伝送路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、風洞内への外気の侵入を防いだガスレーザ装
置の伝送路に関する。

（従来の技術） 従来のガスレーザ装置の伝送路の一例を示す第２図にお
いて、図示しない共振器が内蔵されレーザガスが減圧封
入された風洞１の左側壁のレーザ光の出射部には、左側
に反射鏡２ａを収納した窓ダクト２の右端が取付られ、
この窓ダクト２の上部は上方に設けられた窓ダクト３の
右端に接続されている。

そして、この窓ダクト３の右端には凹面鏡３ａが、左端
には凹面鏡３ｂがそれぞれ収納され、窓ダクト３の左端
には図示しないレーザ加工ヘッドに接続される伝送路４
の基端が接続されており、更に窓ダクト３の中間やや左
寄りの下部には、下端に排気ポンプ６が接続された排気
ダクト５が接続され、窓ダクト３内の排気ダクト５の接
続部のすぐ左側には、オリフス板４ａが、やや有余りに
はオリフス板４ｂがそれぞれ設けられている。

この結果、風洞１から出射されたレーザ光は、反射鏡２
ａで上方に直角に反射され、凹面鏡３ａに入射後左力に
反射されて窓ダクト３の中央で集光後、拡大されて左端
の凹面鏡３ｂに入射する。すると、このレーザ光は、下
方に直角に反射されて伝送路４を経て図示しない加工ヘ
ッドから図示しないワークに照射される。

（発明が解決しようとする課題） ところが、このように構成されたガスレーザ装置の伝送
路では、図示しない伝送路から侵入した外気がもし窓ダ
クト２，３を経て風洞１内に入ると、風洞１内のレーザ
ガスの濃度が下って発振器の出力が下がるおそれがある
。

そのため、伝送路内の圧力を更に下げることも考えられ
るが、すると排気ポンプの容量が増える。

そこで本発明の目的は、排気ポンプの容量を増やすこと
なく、風洞１内への外気の侵入を防ぐことのできるガス
レーザ装置の伝送路を得ることである。〔発明の構成〕 （課題を解決するための手段と作用） 本発明は、レーザ発振器から出射されたレーザ光を伝送
する伝送路の出射口近くに、レーザ光を反射して伝送す
る一対の凹面反射鏡を設け、この凹面反射鏡の焦点とそ
の前後にオリフス板を設け、前方と中間のオリフス板間
に排気ダクトを、中間と後方のオリフス板間にガス供給
ダクトを接続し酸素検出器を挿入し、酸素検出器の検出
信号でガス供給ダクトからのレーザガスの供給量を制御
することで、排気ダクトに接続された排気ポンプの容量
を上げることなく、レーザ風洞内への外気の侵入を防い
だガスレーザ装置の伝送路である。

（実施例） 以下、本発明のガスレーザ装置の伝送路の一実施例を図
面を参照して説明する。但し、第２図と重複する部分は
省く。

第１図において、窓ダクト３の中央部内側のほぼレーザ
光の集束部には、環状のオリフス板４ｃが設けられ、窓
ダクト３の下面には、オリフス板４ｃとその右側のオリ
フス板４ｂ間にガス供給ダクト７が接続され、このガス
供給ダクト７の下部には、電磁弁７を介してレーザガス
ボンベ９が接続されている。そして、窓ダクト３のオリ
フス４ｂと４ｃ間には、酸素検出器ＩＯが取付られ、こ
の酸素検出器ＩＯの検出信号線１０ａは電磁弁８を駆動
する電磁弁駆動装置１１の入力端に接続され、この電磁
弁駆動装置１１の出力側は電磁弁８に接続されている。

このような構成のガスレーザ装置の伝送路において、今
、レーザガスボンベ９から少量のレーザガスを出しなが
ら真空ポンプ６を起動すると、窓ダクト３内の圧力は排
気ダクト５の接続部が最低となって、図示しない加工ヘ
ッドの方から侵入した外気がオリフス板４ｃより中に入
ることはない。

更に、レーザガスボンベ９内の圧力の低下で、もし、外
気がオリフス板４ｃよりも内部に入っても、酸素検出器
１０の検出信号により電磁弁駆動装置１１で電磁弁１１
の開き角度を拡げることで対応することができる。

この結果、排気ポンプ６の容量を減らすことができるだ
けでなく、レーザガスボンベ９からのレーザガスの供給
量もボンベ内の圧力の変化に対応して必要最小限に抑え
ることができる。

なお上記実施例において、オリフス板４ａ、４ｂ、４ｃ
は内径も同径となっているが、中央のオリフス板４ｃの
内径はレーザ光の集束径に会わせて最小限にしてもよい
。そのときは窓ダクト３内の排気ダクト５の結合部とガ
ス供給ダクト７の結合部との圧力比を上げることができ
るので更に効果がある。

更に上記実施例では、酸素検出器１０はオリフス板４ｂ
、４ｃの中央部に設けであるが、なるべくオリフス板４
ｃに近づけてもよい。このときは検出ガスである外部か
らの空気の通路が狭いので、検出がより容易になる利点
がある。

〔発明の効果〕 以上、本発明によれば、ガスレーザ発振器から出射され
たレーザ光を伝送する伝送路の出射口寄りに、レーザ光
を反射して伝送する一対の凹面反射鏡を設け、この凹面
反射鏡の焦点と焦点の前後にオリフス板を設け、前方の
オリフス板間に排気ダクトを接続し、後方のオリフス板
間にレーザガスボンベからレーザガスを供給するガス供
給ダクトの接続部と酸素検出器を設けて、この酸素検出
器の信号でガス供給ダクトからのレーザガス量を制御し
たので、排気ポンプの容量を増やすことなく、レーザ風
洞内への伝送路からの外気の侵入を防ぐことのできるガ
スレーザ装置の伝送路を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のガスレーザ装置の伝送路の一実施例を
示す部分断面図、第２図は従来のガスレーザ装置の伝送
路を示す部分断面図である。 ３・・・レーザ光伝送路としての窓ダクト４ａ、４ｂ、
４Ｇ・・・オリフス板 ５゛・・・排気ダクト ７・・・ガス供給ダクト ８・・・電磁弁 ｌＯ・・・酸素検出器 （８７３３）　　代理人　弁理士　猪　股　祥　晃（ほ
か１名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光の伝送路の基
   端近傍に前記レーザ光を反射して前記伝送路の先端へ伝
   送する一対の凹面反射鏡が設けられ、この凹面反射鏡間
   の前記レーザ光の焦点の前後にオリフス板が設けられ、
   前記レーザ光の焦点と前記前方のオリフス板間に排気ダ
   クトが接続されたガスレーザ装置の伝送路において、 前記伝送路の前記レーザ光の焦点に第３のオリフス板を
   設け、この第３のオリフス板と前記後方のオリフス板間
   にレーザガス供給ダクトの供給口と出力側が前記レーザ
   ガス供給ダクトの電磁弁に接続された酸素検出器を設け
   たことを特徴とするガスレーザ装置の伝送路。