JPH0216282U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0216282U JPH0216282U JP9544788U JP9544788U JPH0216282U JP H0216282 U JPH0216282 U JP H0216282U JP 9544788 U JP9544788 U JP 9544788U JP 9544788 U JP9544788 U JP 9544788U JP H0216282 U JPH0216282 U JP H0216282U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- sensor
- attached
- blind flange
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による真空室を示
す断面図、第２図は従来の真空室を示す断面図で
ある。 図中、１は真空室、１ａは真空室の穴、３はワ
ーク、７はセンサー、８はセンサー固定金具、９
は座板、１０は盲フランジである。なお、図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
す断面図、第２図は従来の真空室を示す断面図で
ある。 図中、１は真空室、１ａは真空室の穴、３はワ
ーク、７はセンサー、８はセンサー固定金具、９
は座板、１０は盲フランジである。なお、図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 室内にセンサーを取付ける真空室において、真
空室の壁面に数個の穴を配設し、この各穴に盲フ
ランジを装着して、その任意の盲フランジの内面
にセンサーを連結して取付けるようにしたことを
特徴とする真空室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9544788U JPH0216282U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9544788U JPH0216282U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216282U true JPH0216282U (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=31320119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9544788U Pending JPH0216282U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0216282U (ja) |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP9544788U patent/JPH0216282U/ja active Pending