JPH0216393A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH0216393A JPH0216393A JP12462389A JP12462389A JPH0216393A JP H0216393 A JPH0216393 A JP H0216393A JP 12462389 A JP12462389 A JP 12462389A JP 12462389 A JP12462389 A JP 12462389A JP H0216393 A JPH0216393 A JP H0216393A
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- JP
- Japan
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- oil
- pump
- bearings
- shaft
- supply pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 claims description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 abstract description 4
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 abstract 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 abstract 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 40
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
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- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16N—LUBRICATING
- F16N29/00—Special means in lubricating arrangements or systems providing for the indication or detection of undesired conditions; Use of devices responsive to conditions in lubricating arrangements or systems
- F16N29/02—Special means in lubricating arrangements or systems providing for the indication or detection of undesired conditions; Use of devices responsive to conditions in lubricating arrangements or systems for influencing the supply of lubricant
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16N—LUBRICATING
- F16N7/00—Arrangements for supplying oil or unspecified lubricant from a stationary reservoir or the equivalent in or on the machine or member to be lubricated
- F16N7/38—Arrangements for supplying oil or unspecified lubricant from a stationary reservoir or the equivalent in or on the machine or member to be lubricated with a separate pump; Central lubrication systems
- F16N7/40—Arrangements for supplying oil or unspecified lubricant from a stationary reservoir or the equivalent in or on the machine or member to be lubricated with a separate pump; Central lubrication systems in a closed circulation system
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、軸と、この軸用の油潤滑式ころがり軸受と、
油回路と、この油回路に組み込まれた、電動機により駆
動される油供給ポンプとを持つターボ分子ポンプを作動
させる方法に関する。さらに本発明は、この作動方法に
適したターボ分子ポンプに関する。
油回路と、この油回路に組み込まれた、電動機により駆
動される油供給ポンプとを持つターボ分子ポンプを作動
させる方法に関する。さらに本発明は、この作動方法に
適したターボ分子ポンプに関する。
ここに述べられているようなターボ分子ポンプは、ター
ビンの如く動作する真空ポンプである。これらのターボ
分子ポンプは回帖子及び固定子を持っており、これらは
それぞれ回転子羽根列及び固定子羽根列を備えている。
ビンの如く動作する真空ポンプである。これらのターボ
分子ポンプは回帖子及び固定子を持っており、これらは
それぞれ回転子羽根列及び固定子羽根列を備えている。
これらの回転子は４０，０００回／分及びそれ以上の高
速で回転する。回転子軸の軸受にはいつも間顆が付価し
ている。
速で回転する。回転子軸の軸受にはいつも間顆が付価し
ている。
様々な軸受原理が周知である。磁気軸受には、潤滑剤な
しで動作する利点があるが、しかしこれらの磁気軸受は
非常に費用がかかる。グリス潤滑式ころがり軸受には、
ターボ分子ポンプが位置に左右されないという利点があ
るが、しかし高速回転する回転子軸への長時間にわたる
グリース供給はいずれにしても困難である。それに対し
て、油潤滑は比較的簡単である。しかし回転子軸の軸受
へ正確に必要とされる油量を供給しなければならないと
いう問題が、いずれにしても存在する。
しで動作する利点があるが、しかしこれらの磁気軸受は
非常に費用がかかる。グリス潤滑式ころがり軸受には、
ターボ分子ポンプが位置に左右されないという利点があ
るが、しかし高速回転する回転子軸への長時間にわたる
グリース供給はいずれにしても困難である。それに対し
て、油潤滑は比較的簡単である。しかし回転子軸の軸受
へ正確に必要とされる油量を供給しなければならないと
いう問題が、いずれにしても存在する。
高速回転するターボ分子ポンプのころがり軸受は比咬的
少ない油量、例えば２ないし３滴／分を必要とするだけ
である。このように少ない油量を連続的に供給するには
、非常に小さい直径を持つ供給管路又は非常に微細なノ
ズル断面を持つ絞りが必要である。このような直径又は
断面では、これらが油の汚れのためにふさがる危険が大
きい。従って不十分な給油による軸受損傷が何度も何度
も発生している。
少ない油量、例えば２ないし３滴／分を必要とするだけ
である。このように少ない油量を連続的に供給するには
、非常に小さい直径を持つ供給管路又は非常に微細なノ
ズル断面を持つ絞りが必要である。このような直径又は
断面では、これらが油の汚れのためにふさがる危険が大
きい。従って不十分な給油による軸受損傷が何度も何度
も発生している。
〔発明が解決しようとする課題Ｊ
本発明の基礎になっている護国は、上述の欠点がもはや
生じない、冒頭に挙げたような方法を提供することであ
る。
生じない、冒頭に挙げたような方法を提供することであ
る。
本発明によればこの課題は、油回路にある油供給ポンプ
の駆動電動Ｉ幾が周期的に作動開始及び停止されること
によって解決される。驚くべきことに、高速回転する回
転子軸の軸受に油を連続的に供給することは必要でない
ことが分かった。軸受周囲及び軸受自体がいわば貯蔵庫
を形成し、この貯蔵庫から比較的長時間にわたって軸受
への十分な油供給が行なわれる。油供給の比較的長い中
断にも向らず給油は保証されているので、軸受損傷は発
生しない。
の駆動電動Ｉ幾が周期的に作動開始及び停止されること
によって解決される。驚くべきことに、高速回転する回
転子軸の軸受に油を連続的に供給することは必要でない
ことが分かった。軸受周囲及び軸受自体がいわば貯蔵庫
を形成し、この貯蔵庫から比較的長時間にわたって軸受
への十分な油供給が行なわれる。油供給の比較的長い中
断にも向らず給油は保証されているので、軸受損傷は発
生しない。
好ましいのは、作動停止時間が作動停止時間の３ないし
１０倍、なるべく５倍の大きさであり、この場合、作動
停止時間は約１分程度であるのが好ましい、しかし一般
的には作動停止時間は講義による。作動停止時間は、軸
受への油供給が行なわれる時間に女右されるのみならず
、油ポンプの作動開始後に油が軸受に達するために必要
な時間にも左右される。
１０倍、なるべく５倍の大きさであり、この場合、作動
停止時間は約１分程度であるのが好ましい、しかし一般
的には作動停止時間は講義による。作動停止時間は、軸
受への油供給が行なわれる時間に女右されるのみならず
、油ポンプの作動開始後に油が軸受に達するために必要
な時間にも左右される。
本発明のそれ以外の利点及び詳細を、図面に示されてい
る実施例によって説明する。
る実施例によって説明する。
図面はハウジングｌと、固定子羽根２を備えた固定子３
と、回転子羽根５付きの回転子４とを持つターボ分子ポ
ンプの一部だけを示している。回転子４の１つの構成要
素が、軸線７を持つ軸６である。この軸６に回転子羽根
５が取り付けられている０回転子４及び固定子３は一部
しか示されていない。固定子羽根２及び回転子羽根５は
、気体供給が、図示してない入口から出口８へ行なわれ
るようゐ、設けられている。
と、回転子羽根５付きの回転子４とを持つターボ分子ポ
ンプの一部だけを示している。回転子４の１つの構成要
素が、軸線７を持つ軸６である。この軸６に回転子羽根
５が取り付けられている０回転子４及び固定子３は一部
しか示されていない。固定子羽根２及び回転子羽根５は
、気体供給が、図示してない入口から出口８へ行なわれ
るようゐ、設けられている。
回転子軸６はターボ分子ポンプのハウジングＩ内にころ
がり軸受１１及び１２によって回転可能に支持されてい
る。これらのころがり軸受１１゜１２の間に駆動電動機
１３がある。
がり軸受１１及び１２によって回転可能に支持されてい
る。これらのころがり軸受１１゜１２の間に駆動電動機
１３がある。
油側？骨式ころがり軸受＋１及び１２に油回路が付−し
ており、この油回路は油供給ポンプＩ４を含んでいる。
ており、この油回路は油供給ポンプＩ４を含んでいる。
油供給ポンプ１４から油は主管路１５に入り、この主管
路は一部、ターボ分子ポンプのハウジングｌにある孔に
より形成される。主管路１５は管路１６及び１７に分岐
し、これらの管路は軸受１１又は１２へ至る。これらの
軸受から放出された油は、重力により下方へ油集収空間
に流入し、この油集収空間は油戻り管路１９を介して油
槽２１とつながっている。この油渠収空間１８は同時に
油槽２１を形成するのが好ましく、この油槽から油供給
ポンプ１４は、循環する油を収容する。
路は一部、ターボ分子ポンプのハウジングｌにある孔に
より形成される。主管路１５は管路１６及び１７に分岐
し、これらの管路は軸受１１又は１２へ至る。これらの
軸受から放出された油は、重力により下方へ油集収空間
に流入し、この油集収空間は油戻り管路１９を介して油
槽２１とつながっている。この油渠収空間１８は同時に
油槽２１を形成するのが好ましく、この油槽から油供給
ポンプ１４は、循環する油を収容する。
油供給ポンプ１４の電動機は２２で示されている。この
電動機は制御装置２３によって作動開始及び停止され、
この制御装置は制御導線２４及び２５を介してＳ＠機２
２と接続されている。
電動機は制御装置２３によって作動開始及び停止され、
この制御装置は制御導線２４及び２５を介してＳ＠機２
２と接続されている。
図示されている実施例は、油供給ポンプ１４の周期的作
動を可能にする。制御装置２３によつて電動機２２は作
励聞始又は停止される。油を軸受１１及び１２へ短時間
にたくさん供給することができる。その場合は、管路１
５，１６及び１７に小さい直径又はノズルを備えること
はもはや必要でない。１分間当たり数滴しか必要としな
い軸受では、数分間の必要油量を短時間、例えば１分間
、以内供給しかつ油供給ポンプ１４を作動停止できる可
能性がある。作動停止時間は作動停止時間の３ないし１
０倍、なるべく５倍になることができる。この場合作動
停止時間にとって必要なことは、油が軸受１１，１２に
達する前に先ず油管路１５．１６及び１７が満たされな
ければならないことである。従って軸受１２及び１２へ
の油供給が実際に行なわれる時間は、本来の作動停止時
間より少し短い。油供給ポンプ１４は永続的には作動さ
れる必要がなくかつノズルにより生ぜしめられる比較的
高い圧力に抗して動作する必要もないから、この油供給
ポンプの寿命は延びる。
動を可能にする。制御装置２３によつて電動機２２は作
励聞始又は停止される。油を軸受１１及び１２へ短時間
にたくさん供給することができる。その場合は、管路１
５，１６及び１７に小さい直径又はノズルを備えること
はもはや必要でない。１分間当たり数滴しか必要としな
い軸受では、数分間の必要油量を短時間、例えば１分間
、以内供給しかつ油供給ポンプ１４を作動停止できる可
能性がある。作動停止時間は作動停止時間の３ないし１
０倍、なるべく５倍になることができる。この場合作動
停止時間にとって必要なことは、油が軸受１１，１２に
達する前に先ず油管路１５．１６及び１７が満たされな
ければならないことである。従って軸受１２及び１２へ
の油供給が実際に行なわれる時間は、本来の作動停止時
間より少し短い。油供給ポンプ１４は永続的には作動さ
れる必要がなくかつノズルにより生ぜしめられる比較的
高い圧力に抗して動作する必要もないから、この油供給
ポンプの寿命は延びる。
図面はターボ分子ポンプの部分断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 軸と、この軸用の油潤滑式ころがり軸受と、油回路
と、この油回路に組み込まれた、電動機により駆動され
る油供給ポンプとを持つターボ分子ポンプを作動させる
方法において、油供給ポンプの駆動電動機が周期的に作
動開始及び停止されることを特徴とする、ターボ分子ポ
ンプを作動させる方法。 ２ 作動停止時間が作動開始時間より長いことを特徴と
する、請求項１に記載の方法。 ３ 作動停止時間が作動開始時間の２倍ないし１０倍、
なるべく５倍の、長さであることを特徴とする、請求項
２に記載の方法。 ４ 作動開始時間が約１分であることを特徴とする、請
求項３に記載の方法。 ５ 軸と、この軸用の油潤滑式ころがり軸受と、油回路
と、この油回路に組み込まれた、電動機により駆動され
る油供給ポンプとを持つターボ分子ポンプにおいて、油
ポンプ（１４）の駆動電機（２２）に、周期的に作動開
始及び停止させるための電気回路（２３）が付属してい
ることを特徴とするターボ分子ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19883817290 DE3817290A1 (de) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | Turbomolekularpumpe |
| DE3817290,9 | 1988-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216393A true JPH0216393A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=6354835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12462389A Pending JPH0216393A (ja) | 1988-05-20 | 1989-05-19 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0342515A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0216393A (ja) |
| DE (1) | DE3817290A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121467A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0508013D0 (en) * | 2005-04-20 | 2005-05-25 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| GB2474155B (en) * | 2008-06-24 | 2012-03-21 | Magna Powertrain Ag & Co Kg | Method and device for lubricating a transmission of a motor vehicle |
| DE102008029880A1 (de) | 2008-06-24 | 2009-12-31 | Magna Powertrain Ag & Co Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Schmieren eines Getriebes eines Kraftfahrzeugs |
| JP5533318B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2014-06-25 | 株式会社Ｉｈｉ | ターボ機械 |
| DE102012220040A1 (de) * | 2012-11-02 | 2014-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| DE102013210109A1 (de) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| CN104454626B (zh) * | 2014-11-28 | 2017-04-05 | 南阳防爆集团股份有限公司 | 一种矿用对旋轴流主通风机的稀油润滑系统 |
| JP6269728B2 (ja) * | 2016-05-23 | 2018-01-31 | 株式会社豊田自動織機 | 電動式ターボ機械 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2718433A1 (de) * | 1977-04-26 | 1978-11-02 | Otfried Ing Grad Hergt | Geschwindigkeitsabhaengiges, elektrisches schmiermittelsteuergeraet fuer schmiereinrichtungen |
| DE2853742A1 (de) * | 1978-12-13 | 1980-10-02 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Turbomolekularvakuumpumpe |
| IT1131230B (it) * | 1979-07-06 | 1986-06-18 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Dispositivo di lubrificazione per i cuscinetti di una pompa per vuoto |
| CA1240302A (en) * | 1983-10-07 | 1988-08-09 | Gordon E. Osterstrom | Turbomolecular pump with improved bearing system |
-
1988
- 1988-05-20 DE DE19883817290 patent/DE3817290A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-05-11 EP EP89108448A patent/EP0342515A3/de not_active Withdrawn
- 1989-05-19 JP JP12462389A patent/JPH0216393A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121467A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0342515A3 (de) | 1990-03-21 |
| EP0342515A2 (de) | 1989-11-23 |
| DE3817290A1 (de) | 1989-11-30 |
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