JPH02164085A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPH02164085A JPH02164085A JP63321239A JP32123988A JPH02164085A JP H02164085 A JPH02164085 A JP H02164085A JP 63321239 A JP63321239 A JP 63321239A JP 32123988 A JP32123988 A JP 32123988A JP H02164085 A JPH02164085 A JP H02164085A
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- Japan
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- electrostrictive
- internal electrode
- effect element
- mixture
- sheet
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- Pending
Links
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電歪縦効果を利用した積層型電歪効果素子に
関する。
関する。
（従来の技術）
従来、この種の電歪効果素子は、第３図に示すように、
片面に内部電極材料（以後内部電極と称す）１２が形成
された、電歪材料からなるシートまたは薄板（以後電歪
シートと称す）＋１を複数枚、積層して形成された積層
体と、その側面の一角に露出した内部電極２に一層おき
に形成された絶縁物１３と、その上から形成された第１
の外部電極導体（以後外部電極と称す）１４と、前述の
側面の一角にほぼ対向するもう一つの側面の一角に、絶
縁物１３を形成しなかった内部電極１２の露出部に形成
された絶縁物１３ａと、その上から形成された第２の外
部電極１４ａと、そして両側面の外部電極１４、１４ａ
に半田１６．１６ａで接続されたリード線１５、１５ａ
とから構成されていた。
片面に内部電極材料（以後内部電極と称す）１２が形成
された、電歪材料からなるシートまたは薄板（以後電歪
シートと称す）＋１を複数枚、積層して形成された積層
体と、その側面の一角に露出した内部電極２に一層おき
に形成された絶縁物１３と、その上から形成された第１
の外部電極導体（以後外部電極と称す）１４と、前述の
側面の一角にほぼ対向するもう一つの側面の一角に、絶
縁物１３を形成しなかった内部電極１２の露出部に形成
された絶縁物１３ａと、その上から形成された第２の外
部電極１４ａと、そして両側面の外部電極１４、１４ａ
に半田１６．１６ａで接続されたリード線１５、１５ａ
とから構成されていた。
（発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の電歪効果素子は、異種材料からなる電歪
シート１１と内部電極１２を積層し、これら両者を同時
に焼成しているため、収縮率の違いにより焼成時にデラ
ミネーションを起したり、あるいは焼成後に電歪シー［
１と内部電極１２の界面にマイクロクラックが発生して
いたりしていた。
シート１１と内部電極１２を積層し、これら両者を同時
に焼成しているため、収縮率の違いにより焼成時にデラ
ミネーションを起したり、あるいは焼成後に電歪シー［
１と内部電極１２の界面にマイクロクラックが発生して
いたりしていた。
また、電歪シート■と内部電極１２とは化学的結合に乏
しく、殆んどがアンカー効果等による機械的な接着であ
り、素子の引張強度が小さく、急峻な直流あるいはパル
ス立ちＦがりての電圧印加や高周波での使用に弱く、割
れたり、クラックが発生したりして問題が多かった。
しく、殆んどがアンカー効果等による機械的な接着であ
り、素子の引張強度が小さく、急峻な直流あるいはパル
ス立ちＦがりての電圧印加や高周波での使用に弱く、割
れたり、クラックが発生したりして問題が多かった。
本発明の［１的は、上述の欠点を解決した高信頼度の電
歪効果素子を提供することにある。
歪効果素子を提供することにある。
本発明の電歪効果素ｆは、電歪セラミック部材と内部電
極との間に両者の混合物の焼結層を有している。
極との間に両者の混合物の焼結層を有している。
電歪シートと内部電極との界面にこれら両者の材料から
なる混合物が被着され焼成されているため、上記混合物
を介して電歪シートおよび内部電極が接着して、接着力
が増大し、焼成時のデラミネーションがなく、引張強度
の大きな信頼性の高い電歪効果素子が得られる。
なる混合物が被着され焼成されているため、上記混合物
を介して電歪シートおよび内部電極が接着して、接着力
が増大し、焼成時のデラミネーションがなく、引張強度
の大きな信頼性の高い電歪効果素子が得られる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の電歪効果素子の第１の実施例の縦断面
図である。
図である。
本実施例は、電歪シート１と内部電極２との間に、両者
の混合物２０の焼結層を有している。
の混合物２０の焼結層を有している。
次に、本実施例の製造方法を説明する。
先ず、例えばニッケル、ニオブ酸鉛Ｐｂ （ＮｉＱＮ
ｂ％）０３を主成分とする電歪材料の予焼粉末に微量の
有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に分散させた
泥漿を準備し、この泥漿をスリップキャスティング成膜
法等により厚みを１００μ程度に形成した電歪シート１
を形成する。この電歪シート１の片面に、先ず銀粉末と
パラジウム粉末とを７：３の重量比で混合させた粉末に
電歪シート１と同じ電歪材料の予焼粉を３０〜７０ｗＬ
％混合した混合物２０を主成分とするペーストをスクリ
ーン印刷等で約５−の厚みに被着、形成する。
ｂ％）０３を主成分とする電歪材料の予焼粉末に微量の
有機バインダを添加し、これを有機溶媒中に分散させた
泥漿を準備し、この泥漿をスリップキャスティング成膜
法等により厚みを１００μ程度に形成した電歪シート１
を形成する。この電歪シート１の片面に、先ず銀粉末と
パラジウム粉末とを７：３の重量比で混合させた粉末に
電歪シート１と同じ電歪材料の予焼粉を３０〜７０ｗＬ
％混合した混合物２０を主成分とするペーストをスクリ
ーン印刷等で約５−の厚みに被着、形成する。
その上に同様の方法で銀：パラジウム（７： ３）のみ
から成る内部電極２を厚みがｌ〇−程度になるように形
成し、さらにその上に混合物２０を５鱗程度形成する。
から成る内部電極２を厚みがｌ〇−程度になるように形
成し、さらにその上に混合物２０を５鱗程度形成する。
次に、これらの形成面が同一方向になるように電歪シー
ト１の所定枚数を積層して熱加圧により一体化して、約
１１００℃の温度で２時間程度焼成した後、側面を切断
して内部電極２の端部が外部に露出した角柱状の積層体
１０を形成する。この積層体１０の第１の側面、すなわ
ち左側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等の
絶縁物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導電
ペーストを被着した第１の外部電極４を形成する。第１
の側面に対向する第２の側面、すなわち右側面の第１の
側面で絶縁物３を形成しなかった内部電極２に、同様に
絶縁物３ａを形成し、その上から第２の外部電極４ａを
形成する。
ト１の所定枚数を積層して熱加圧により一体化して、約
１１００℃の温度で２時間程度焼成した後、側面を切断
して内部電極２の端部が外部に露出した角柱状の積層体
１０を形成する。この積層体１０の第１の側面、すなわ
ち左側面に露出した内部電極２に一層おきにガラス等の
絶縁物３を形成し、その上に銀粉末を主成分とする導電
ペーストを被着した第１の外部電極４を形成する。第１
の側面に対向する第２の側面、すなわち右側面の第１の
側面で絶縁物３を形成しなかった内部電極２に、同様に
絶縁物３ａを形成し、その上から第２の外部電極４ａを
形成する。
本実施例では、図示省略した電圧供給部から半田６，６
ａで外部電極４．４ａにそれぞれ接続されリード線５．
５ａ間に電圧を印加すると、外部電極４．４８を介して
内部電極２間のすべての電歪シート１の両端に電圧が印
加されて、素子全体として図示した矢印のＸＹ力方向歪
が発生するものである。
ａで外部電極４．４ａにそれぞれ接続されリード線５．
５ａ間に電圧を印加すると、外部電極４．４８を介して
内部電極２間のすべての電歪シート１の両端に電圧が印
加されて、素子全体として図示した矢印のＸＹ力方向歪
が発生するものである。
第２図は本発明の電歪効果素子の第２の実施例の縦断面
図である。
図である。
本実施例は、リードレス構造であり、その製造方法は第
１の実施例と同様であるが、本構造は外部電極４，４ａ
をそれぞれ片方の端面にまで延長して形成した点が異な
る。
１の実施例と同様であるが、本構造は外部電極４，４ａ
をそれぞれ片方の端面にまで延長して形成した点が異な
る。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、内部電極と電歪セラミッ
ク部材の接するすべての面に、内部電極材と電歪セラミ
ック部材との混合物を介在して一体焼成することにより
、Ｘ、Ｙ方向に荷重を加えて本素子の引張強度を測定す
ると、混合物が介在しない場合に比べて約２〜４倍の強
度アップが確認され、また、焼成時のデラミネーション
やマイクロクラックの発生や、高周波での使用時の割れ
やクラック発生もなくすことができ、素子の信頼性およ
び生産性向上に大きな効果がある。
ク部材の接するすべての面に、内部電極材と電歪セラミ
ック部材との混合物を介在して一体焼成することにより
、Ｘ、Ｙ方向に荷重を加えて本素子の引張強度を測定す
ると、混合物が介在しない場合に比べて約２〜４倍の強
度アップが確認され、また、焼成時のデラミネーション
やマイクロクラックの発生や、高周波での使用時の割れ
やクラック発生もなくすことができ、素子の信頼性およ
び生産性向上に大きな効果がある。
第１図、第２図は本発明の電歪効果素子の一実施例を示
す縦断面図、第３図は電工効果素子の従来例を示す縦断
面図である。 １・・・電歪シート、 ２・・・内部電極、３．
３ａ−−−絶縁物、 ４，４ａ・・・外部電極、５．
５ａ−−−リード線、 ６，６ａ・−半田、１０−・
・積層体、 ２０・・・混合物。
す縦断面図、第３図は電工効果素子の従来例を示す縦断
面図である。 １・・・電歪シート、 ２・・・内部電極、３．
３ａ−−−絶縁物、 ４，４ａ・・・外部電極、５．
５ａ−−−リード線、 ６，６ａ・−半田、１０−・
・積層体、 ２０・・・混合物。
Claims (1)
- １．シート状の電歪セラミック部材と内部電極導体とが
交互に重ね合わされた積層焼結体と、前記積層焼結体の
対向する側面にそれぞれ露出する内部電極導体の一方の
端面を各側面において１層おきに絶縁するガラス絶縁層
と、内部電極導体の露出する他方の端面を電気的に接続
して２つのくし歯形電極を構成せしめる１対の外部電極
を含む電歪効果素子において、 前記電歪セラミック部材と前記内部電極導体との間に、
両者の混合物の焼結層を有することを特徴とする電歪効
果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321239A JPH02164085A (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321239A JPH02164085A (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02164085A true JPH02164085A (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=18130364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63321239A Pending JPH02164085A (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02164085A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108546A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電セラミックス素子およびその製造方法 |
| WO2009116548A1 (ja) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪素子及びその製造方法 |
| JP2012204423A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Ngk Insulators Ltd | グリーン積層体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159777A (ja) * | 1985-01-07 | 1986-07-19 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS61272984A (ja) * | 1985-05-28 | 1986-12-03 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
-
1988
- 1988-12-19 JP JP63321239A patent/JPH02164085A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159777A (ja) * | 1985-01-07 | 1986-07-19 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS61272984A (ja) * | 1985-05-28 | 1986-12-03 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108546A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電セラミックス素子およびその製造方法 |
| WO2009116548A1 (ja) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪素子及びその製造方法 |
| CN101978518A (zh) * | 2008-03-21 | 2011-02-16 | 日本碍子株式会社 | 压电/电致伸缩元件及其制造方法 |
| US7982367B2 (en) | 2008-03-21 | 2011-07-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive element having a multilayer external electrode structure and method for manufacturing thereof |
| JP5646989B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2014-12-24 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪素子及びその製造方法 |
| JP2012204423A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Ngk Insulators Ltd | グリーン積層体 |
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