JPH02168683A - 外部ミラー形ガスレーザ発振器 - Google Patents
外部ミラー形ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH02168683A JPH02168683A JP32420088A JP32420088A JPH02168683A JP H02168683 A JPH02168683 A JP H02168683A JP 32420088 A JP32420088 A JP 32420088A JP 32420088 A JP32420088 A JP 32420088A JP H02168683 A JPH02168683 A JP H02168683A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- laser tube
- ladder structure
- spherical
- spherical bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ラダーストラクチァを有する外部ミラー形ガ
スレーザ発振器に関し、特にラダーストラクチァのハウ
ジングに対する支持構造に関する。
スレーザ発振器に関し、特にラダーストラクチァのハウ
ジングに対する支持構造に関する。
従来、この種のラダーストラクチァのハウジングに対す
る支持構造は、第７図に示すようにラダーストラクチァ
１３の一端が球面の直径方向に摺動できる自由度のない
単なる球面軸受６で支持され、ラダーストラクチァ１３
の他端は前後に弾性変形可能な板バネ１４を介し支持さ
れる構造であった。
る支持構造は、第７図に示すようにラダーストラクチァ
１３の一端が球面の直径方向に摺動できる自由度のない
単なる球面軸受６で支持され、ラダーストラクチァ１３
の他端は前後に弾性変形可能な板バネ１４を介し支持さ
れる構造であった。
上述した従来のラダーストラクチァのハウジングに対す
る支持方法は、ハウジングの伸縮又はハウジングに加わ
る曲げモーメントに対し、一端の板バネに弾性曲げ変形
を起すと共に他端の球面軸受で回転自在に保持すること
によりこれを吸収し、ラダーストラクチァの曲がりを抑
制するようになっている。しかし、第８図、第９図に示
した動作を説明するための概念図で明らかな様に、他端
の板バネ１４の曲げ変形はラダーストラクチァ１３に反
力としての曲げモーメントを生じさせるためラダースト
ラクチァひいてはレーザ管を曲げ、出力変動やビーム位
置変動が大きくなる欠点がある。しかも、曲げモーメン
トを抑えるため板バネの弾性定数を低くしようとして板
厚を減らすと座屈や破損など耐振・耐衝撃性が悪化する
欠点もある。
る支持方法は、ハウジングの伸縮又はハウジングに加わ
る曲げモーメントに対し、一端の板バネに弾性曲げ変形
を起すと共に他端の球面軸受で回転自在に保持すること
によりこれを吸収し、ラダーストラクチァの曲がりを抑
制するようになっている。しかし、第８図、第９図に示
した動作を説明するための概念図で明らかな様に、他端
の板バネ１４の曲げ変形はラダーストラクチァ１３に反
力としての曲げモーメントを生じさせるためラダースト
ラクチァひいてはレーザ管を曲げ、出力変動やビーム位
置変動が大きくなる欠点がある。しかも、曲げモーメン
トを抑えるため板バネの弾性定数を低くしようとして板
厚を減らすと座屈や破損など耐振・耐衝撃性が悪化する
欠点もある。
本発明はガスレーザ管を収容し共振器長を一定に保持す
るためのラダーストラクチァを有する外部ミラー形ガス
レーザ発振器において、ラダーストラクチァの片側に球
面の直径方向に摺動すると同時にＸ、Ｙ、Ｚの各軸のま
わりに回転する球面軸受を有し、反対側はレーザ管軸を
挟んで互いに対向する位置にそれぞれｘ、ｙ、ｚの各軸
のまわりに回転する球面軸受を有している。
るためのラダーストラクチァを有する外部ミラー形ガス
レーザ発振器において、ラダーストラクチァの片側に球
面の直径方向に摺動すると同時にＸ、Ｙ、Ｚの各軸のま
わりに回転する球面軸受を有し、反対側はレーザ管軸を
挟んで互いに対向する位置にそれぞれｘ、ｙ、ｚの各軸
のまわりに回転する球面軸受を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は、本発明の一実施例を示す外部ミラー形ガスレーザ発
振器のラダーストラクチァ支持構造の縦断面図である。
は、本発明の一実施例を示す外部ミラー形ガスレーザ発
振器のラダーストラクチァ支持構造の縦断面図である。
第２図及び第３図はそれぞれ第１図のＰ−Ｐ矢視図及び
Ｑ−Ｑ矢視図である。レーザ管１は、複数のプレート２
に外径を保持され、インバー等の低熱膨張率を有する複
数のロッド３で相互に連絡され、両端にはエンドブレー
−トＡ４及びエンドプレートＢ５が固定されることによ
り、梯子型のレーザ管収容構造、いわゆるラダーストラ
クチァ１３が構成されている。
Ｑ−Ｑ矢視図である。レーザ管１は、複数のプレート２
に外径を保持され、インバー等の低熱膨張率を有する複
数のロッド３で相互に連絡され、両端にはエンドブレー
−トＡ４及びエンドプレートＢ５が固定されることによ
り、梯子型のレーザ管収容構造、いわゆるラダーストラ
クチァ１３が構成されている。
このラダーストラクチァ１３の一端をエンドプレートＡ
４に２つの球面軸受６の外輪が固定され、各内輪はブラ
ケットＡ７を介しハウジング８に固定される。また他端
をなすエンドプレートＢ５には一つの球面軸受９の外輪
が固定される。
４に２つの球面軸受６の外輪が固定され、各内輪はブラ
ケットＡ７を介しハウジング８に固定される。また他端
をなすエンドプレートＢ５には一つの球面軸受９の外輪
が固定される。
球面軸受９の内輪は、第４図に示すようにスリーブ１０
を介してシャフト１１と摺動自在に嵌合され、シャフト
１１はブラケットＢ１２を介してハウジング８に固定さ
れる。
を介してシャフト１１と摺動自在に嵌合され、シャフト
１１はブラケットＢ１２を介してハウジング８に固定さ
れる。
第５図、第６図は、第１図の動作を説明するための概念
図であり、ハウジングに外力が加わったりハウジングの
伸縮がある場合、第６図の様にハウジング８は曲げ変形
を生ずるが、この上に支持されたラダーストラクチァ１
３は、球面軸受６及びスリーブ１０を有する球面軸受９
により反力として生ずる曲げモーメントが打消されると
共に、スリーブ１０及びシャフト１１の摺動により軸方
向の伸縮が打消されるため、光軸位置が安定に保持され
且つ出力変動が向上する。更に球面軸受だけを用いてい
るため、従来見られた板バネの座屈や破損などが解消さ
れ、耐振・耐衝撃性が向上する。
図であり、ハウジングに外力が加わったりハウジングの
伸縮がある場合、第６図の様にハウジング８は曲げ変形
を生ずるが、この上に支持されたラダーストラクチァ１
３は、球面軸受６及びスリーブ１０を有する球面軸受９
により反力として生ずる曲げモーメントが打消されると
共に、スリーブ１０及びシャフト１１の摺動により軸方
向の伸縮が打消されるため、光軸位置が安定に保持され
且つ出力変動が向上する。更に球面軸受だけを用いてい
るため、従来見られた板バネの座屈や破損などが解消さ
れ、耐振・耐衝撃性が向上する。
以上説明したように本発明は、レーザ管を収容するラダ
ーストラクチァの一端をレーザ管軸方向に摺動できる自
由度を有する一つの球面軸受で支持すると共に、他端を
レーザ管軸を挟んで互いに対向する２つの球面軸受で支
持することにより、光軸位置及び出力が極めて安定にな
り、耐振性及び耐衝撃性にも優れる効果がある。
ーストラクチァの一端をレーザ管軸方向に摺動できる自
由度を有する一つの球面軸受で支持すると共に、他端を
レーザ管軸を挟んで互いに対向する２つの球面軸受で支
持することにより、光軸位置及び出力が極めて安定にな
り、耐振性及び耐衝撃性にも優れる効果がある。
ガスレーザ発振器のラダーストラクチァ支持構造の縦断
面図、第２図は第１図のＰ−Ｐ矢視図、第３図は第１図
のＱ−Ｑ矢視図、第４図は第１図の球面軸受９周辺の詳
細図、第５図及び第６図は第１図における動作を示す概
念図、第７図は従来例を示す外部ミラー型ガスレーザ発
振器のラダーストラクチァ支持構造の縦断面図、第８図
及び第９図は第７図の動作を示す概念図である。
面図、第２図は第１図のＰ−Ｐ矢視図、第３図は第１図
のＱ−Ｑ矢視図、第４図は第１図の球面軸受９周辺の詳
細図、第５図及び第６図は第１図における動作を示す概
念図、第７図は従来例を示す外部ミラー型ガスレーザ発
振器のラダーストラクチァ支持構造の縦断面図、第８図
及び第９図は第７図の動作を示す概念図である。
１・・・レーザ管、２・・・プレート、３・・・ロッド
、４・・・エンドプレートＡ、５・・・エンドプレート
Ｂ、６・・・球面軸受、７・・・ブラケットＡ、８・・
・ハウジング、９・・・スリーブ付球面軸受、１０・・
・スリーブ、１１・・・シャフト、１２・・・ブラケッ
トＢ、１３・・・ラダーストラクチァ、１４・・・板バ
ネ。
、４・・・エンドプレートＡ、５・・・エンドプレート
Ｂ、６・・・球面軸受、７・・・ブラケットＡ、８・・
・ハウジング、９・・・スリーブ付球面軸受、１０・・
・スリーブ、１１・・・シャフト、１２・・・ブラケッ
トＢ、１３・・・ラダーストラクチァ、１４・・・板バ
ネ。
Claims (1)
- ガスレーザ管を収容し、共振器長を一定に保持するため
のラダーストラクチァを有する外部ミラー形ガスレーザ
発振器において、ラダーストラクチァの一端をレーザ管
軸方向に摺動できる自由度を有する一つの球面軸受で支
持すると共に、他端をレーザ管軸をはさんで互いに対向
する二つの球面軸受で支持することを特徴とする外部ミ
ラー形ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32420088A JPH02168683A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32420088A JPH02168683A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02168683A true JPH02168683A (ja) | 1990-06-28 |
Family
ID=18163180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32420088A Pending JPH02168683A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02168683A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5596597A (en) * | 1994-05-16 | 1997-01-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| EP1248332A4 (en) * | 2000-05-30 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | LASER OSCILLATION DEVICE |
| JP2008244181A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Cyber Laser Kk | レーザ装置 |
-
1988
- 1988-12-21 JP JP32420088A patent/JPH02168683A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5596597A (en) * | 1994-05-16 | 1997-01-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator with stabilized pointing |
| EP1248332A4 (en) * | 2000-05-30 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | LASER OSCILLATION DEVICE |
| US6895030B1 (en) | 2000-05-30 | 2005-05-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser oscillating device |
| US6944200B2 (en) | 2000-05-30 | 2005-09-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser oscillator |
| JP2008244181A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Cyber Laser Kk | レーザ装置 |
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