JPH02170335A - マルチターゲットｘ線管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＸ線管の技術分野に関し、特に工業的用途に用
いられるＸ線管に関する。

（従来技術） 上記Ｘ線管は、例えばカリフォルニア州すンタクルーズ
所在のエックスレイ・チクノロシーズ・インコーボレイ
テノドから入手でき、螢光Ｘ線による物質の元素分析の
ような用途に用いられうる。

このような分析では、サンプルが一次放射源からのＸ線
で励起され、これに応答して、サンプル中に存在する元
素のエネルギ特性を有するＸ線光子を放出する。放出さ
れた光子は検出され、それらのスペクトルは表示されお
よび／またはサンプルの元素構成の分析に用いられうる
。この形式の装置の例としては、英国の会社であるリン
ク・アナリティカル・リミテッドによって製作されたＸ
Ｒ２００／３００型工ネルギ分散螢光Ｘ線分光計があり
、この分光計に関しては、会社資料ＸＲ２００／３００
１５／８７／１０Ｍに記載されており、その内容は本明
細書において引用している公報にも記載されている。

一般にこれらＸ線管は、電子が衝突する単一のターゲッ
トを備えており、Ｘ線管ハウジングの側部に設けられた
窓または端部に設けられた窓を通してハウジングから放
出されるＸ線を発生する。

Ｘ＆？ｌの特性は、ターゲットの材料および幾何学的配
置、Ｘ＆ｉ放射角度（ターゲットの面に対するＸ線ビー
ムの角度）、電子放出源の性質および幾何学的配置およ
び電子放射源とターゲットとの間の電位差のようなフィ
ルタによって決定される。それに加えて、数個のターゲ
ットを備えてはいるが、電子放出源は１つであり、さら
に１個の窓またはＸ線放射角度および異なるＸ線特性の
ための数個の窓を備えているＸ線管がある製作者達によ
り過去に製作されたことが知られている。さらに加えて
、同一平面に設けられた異なる材料（鉄およびモリブデ
ン）からなる一対のターゲットと、各ターゲットのため
の個々に配線されたフィラメントとを備えているが、２
つのターゲットから放射される電子ビームのための１個
の側部窓を備えたＸ線管のサンプルが本発明の出願臼よ
り１年以上前に可能性探究のために米国で販売されたこ
とが知られている。さらに加えて、２連ターゲツトＸ線
管がテネシー州オークリッジ所在の会社であるオーテツ
クによって米国で販売された可能性があると思われるが
、この２連ターゲツトＸ線管は、２月２２日から２６日
までルイジアナ州ニューオリーンズにおいて開催された
「分析化学および応用分光学に関するピッツバーグ会議
および博覧会」でマチレット・ラボラトリーズのアール
・パレットによって資料６３３号に発表された［２連タ
ーゲ・７トと端部窓を備えた新型ＸＲＦチェーブに関す
るＸ線管の寿命延長のためのシステム・デザイン理論」
と題する論文に記載されている。さらに加えて、単一の
ターゲット材料よりな１円錐形ターゲットを有するＸ線
管が、本願出願口より１年以上前に米国で販売されてジ
ェット排気の研究に用いられたことが知られている。こ
のＸ線管は、円錐形ターゲットと同軸な円柱状電子ビー
ムに応答して、上記円錐の軸と直角な円錐の一部分と同
一平面上にある円形の窓を通じてＸ線を放射するように
構成されている。単一の端部窓およびターゲットのため
の個々のフィラメントを用いた２連または４連ターゲツ
トＸ線管は、米国特許第４０１７７５７号公報に開示さ
れている。しかしながら、この公報には、個々のターゲ
ットから放射されるＸ線を分離させる内部コリメート手
段および分離された窓の使用について記載されていない
。

（発明の目的） これらＨ４Ｑの従来技術は所望の目的に適したＸ線を発
生するのに有用でありうるが、さらに異なる電子ビーム
間およびＸ線ビーム間のクロストークが少なく、密結合
を許容し、便利かつ効果的なコリメート手段を備えてい
て、より純粋により良好に制ｊ１されたＸ線ビームを高
能率をもって発生するＸ線管が要求されている０本発明
はかかる要求に適合したＸ線管を提供することを目的と
する。

（発明の構成および発明の効果） 本発明によるＸ線管の実施例では、異なる平面上に異な
る材料によって設けられた多数のターゲットを備えた多
面体陽極を具備している。各ターゲットは、任意のパタ
ーンおよび／またはシーケンスでオン・オフされうるよ
うに、個別に制御される電子放射源を有している。異な
るターゲットから放射されるＸ線は高能率角度をもって
各内部コリメータおよび個々の端部窓を通じて外部に取
出される。異なる電子ビーム間および異なるＸ線ビーム
間のクロストークを抑圧し、かつＸ線ビームの純度を高
めるために、本発明によるＸ線管は、分離された電子銃
の効果的な幾何学的配置と、同一面になくかつ良好に分
離された多数のターゲットと、電子技術を用いた良好な
制御と、分離された多数の内部コリメータと、多数の窓
と、各Ｘ線ビームのターゲットに対する密結合手段とを
備えている。Ｘ線は実質的にターゲットの全域から放射
されるか、またはターゲット全域よりも小さい焦点から
のみまたは主としてターゲットがＸ線を放射するように
、１つまたはそれ以上の電子ビームが形づけられる。

本発明の実施例においては、Ｘ線管が、多面体の例えば
ほぼピラミッド状の前端部を備えたターゲット支持体を
有している。電子ビームの効果的な制御およびターゲッ
ト間の効果的な分離を通じてクロストークを低減するた
めに、上記はぼピラミッド状の前端部は、稜線が直交す
る溝と、尖端の代りの軸孔とを備えている。各切子面上
には、互いに異なる材料で形成され、したがってそれが
電子銃によって励起された場合に異なるＸ線を放射する
ターゲットが設けられている。ターゲット材料は、上記
溝の内部および上記軸孔の内部まで延びているが、ター
ゲットは互いに分離されている。クロストークをさらに
低減しかつＸ）３ビームの純度を高めるために、溝およ
び軸孔の外縁は丸められている。Ｘ線管のハウジングは
、上記ターゲットのそれぞれから放射されるＸ線ビーム
のための個々に分離された端部窓を備えている。内部コ
リメート手段は各ターゲットから放射されるＸ線ビーム
を分離してクロストークをさらに低減しかつＸ線ビーム
の純度を高める。各Ｘ線ビームは互いにかつターゲット
支持体の軸線に対し平行とされうるが、個々の異なるビ
ーム通路に沿って導かれうる。Ｘ線管は、電子銃を個々
に制御して個々のＸ線ビームの選択されたパターンおよ
び／またはシーケンスを発生する回路を備えた装置に用
いられうる。このＸｖＡ管が物質の元素分析に用いられ
る場合、その装置においては、被分析物質にとって適切
なＸ線ビームのみを選択することが可能であり、利用で
きるＸ線ビームのすべてまたはある小グループを順次用
いることも可能であり、さらにはＸ線ビームのすべてま
たは小グループのパターンあるいは小グループのパター
ンのシーケンスを用いることも可能である。そしてこれ
らはすべてＸ線管または電圧を変えることなしに行なう
ことができる。他の望ましい効果は、Ｘ線管電圧および
／または陰極電極を変更することによっても得ることが
できる。

本発明の他の実施例では、多数のターゲットを有するが
、これらターゲットは実質的に同一平面上にあって、タ
ーゲット平面に実質的に直角な電子ビームによって励起
されるようになっている。

これらターゲットは電子ビームと同じ方向にＸ線を放射
する。この実施例は、より制御が容易でより用途が広い
放射能発生源の代替として特に有用であると思われる。

（実　施　例） 以下、凹面を参照して本発明の実施例について説明する
。

第１図〜第６図は本発明によるマルチターゲットＸ線管
の実施例を示し、マルチターゲットＸ線管１０は、性質
の異なるかつクロストークの少ない４本の平行な良好に
コリメートされたビームを発生する。４本のＸ線ビーム
は、任意のシーケンスまたはパターンでオン・オフする
ことが可能である。Ｘ線管１０には、ターゲット１４ａ
−１４ｄを備えた多面体よりなる前端部を有する円柱状
のターゲット支持体１２が設けられている０本実施例に
おけるターゲット支持体１２の前端部はほぼピラミッド
型に形成されているが、このピラミッド状部のほぼ三角
形の側面の基部は曲面をなしている。また、上記ピラミ
ッド状部の突端は軸孔に代えられており、かつ上記ピラ
ミッド状部にはその側面を隔離する溝が設けられている
。ターゲット支持体１２は熱的および電気的良導体であ
る銅のような材料で形成されている。ターゲット１４ａ
〜１４ｄのそれぞれは、異なる方向に向けられたＸ線放
射面を備えており、互いに異なるＸ線放射材料で形成さ
れうる。本実施例では、４個のターゲット１４ａ〜１４
ｄはそれぞれチタニウム、パラジウム、白金および銅に
より形成されている。

ターゲット１４ａ−１４ｄは、それぞれ個々に制御され
る電子銃１６ａ−１６ｄよりなる電子発生源を有してお
り、各電子銃１６ａ〜１６ｄはそれぞれフィラメント１
８ａ−１８ｄを備えている。

電子銃１６ａ〜１６ｄのそれぞれは、それが励起される
と個別に電子ビーム２０ａ〜２０ｄを発生し、これら電
子ビーム２０ａ〜２０ｄは、電子銃とターゲットとの間
の電位差およびＸ線管の幾何学的配置にもとづいて、そ
れぞれターゲット１４３〜１４ｄの１つに衝突してそこ
からＸ線を放射する。フロントハウジング２２はターゲ
ット支持体１２の前端部および電子銃１６ａ〜１６ｄを
取り囲んでおり、かつより大きいメインハウジング２４
に接続されている。メインハウジング２４は、上述した
部材を周知の態様で機械的に支持し、かつヒートシンク
として機能しており（非循環または循環オイルバスを備
えてもよい）、高電圧コネクタ２６およびフィラメント
・コネクタをその後端に備えている。高電圧コネクタ２
６はターゲット支持体１２に（したがってターゲラ）１
４ａ〜１４ｄに対し）および電子銃１６ａ〜１６ｄに高
電圧を供給して、各フィラメン）１８ａ−１８ｄが励起
されたときに電子ビーム２０ａ〜２０ｄを発生するのに
充分な電位差を各電子銃とそのターゲットとの間におい
て周知の態様で確保する。フィラメント・コネクタ２８
はフィラメント１８ａ〜１８ｄに作動電流を供給する。

この場合、フィラメント１８ａ〜１８ｄのうちの任意の
１つまたはそれ以上が何時でもオン・オフされうるよう
に、各フィラメントに対し独立した個々に制御された電
流供給がなされることが重要である。ターゲット１４ａ
−１４ｄのそれぞれが電子ビーム２０ａ〜２０ｄによっ
てそれぞれ励起された場合、ターゲット１４８〜１４ｄ
はそれぞれＸ線１ビーム３０ａ〜３０ｄを放射し、これ
らＸ線ビーム３０ａ〜３０ｄは、フロントハウジング２
２の端部に設けられた窓３２ａ〜３２ｄをそれぞれ通じ
て外部に放出される。Ｘ線ビーム３０ａ〜３０ｄが窓３
２ａ〜３２ｄに達する途中に、Ｘ線ビーム３０ａ〜３０
ｄを通過させる管状の内部コリメータ３４ａ〜３４ｄが
設けられていることによって、クロストークが低減され
る０本実施例においては、Ｘ線ビーム３０３〜３０ｄが
互いにかつターゲット支持体１２の軸線１２ａに対し平
行となるように、ターゲット１４ａ−１４ｄとコリメー
タ３４ａ〜３４ｄと窓３２ａ〜３２ｄとの幾何学的配置
が決定されている。ターゲット支持体１２の前端部にお
ける上記ピラミッド状部の４つの側面は、溝３６ａ〜３
６ｄによって互いに隔離されており、かつ上記ピラミッ
ド状部の前端に、上記溝３６ａ〜３６ｄよりも深い軸孔
３８が形成されている。

ターゲット１４３〜１４ｄは上記ピラミッド状部の切子
面を覆っており、各ターゲソ）１４ａ〜１４ｄは溝３６
ａ〜３６ｄのうちの隣接する２つの溝の途中にまでおよ
び軸孔３８の途中にまで延びているが、ターゲット１４
８〜１４ｄは互いに分離されている。第６図に示されて
いるように、ターゲット１４ａ〜１４ｄのそれぞれは、
例えばろう付けによってターゲット支持体１２の前端部
のピラミッド状側面にそれぞれ固着された薄板となしう
る。各ターゲット１４ａ〜１４ｄは、隣接する２つの溝
の途中まで、例えば溝の底まで曲げこまれており、溝３
６ａについて３６ａｌおよび３６ａ２で示されているよ
うに、善導３６ａ〜３６ｄの各外縁が丸められているこ
とに注目されたい。また、軸孔３８の外縁と溝３６３〜
３６ｄの外縁とが接するコーナも含めて軸孔３８の外縁
も丸められていることに注目されたい。さらに、軸孔３
８の外縁は連続していないが、隣接する溝の外縁間を覆
う弧を形成していることに注目されたい。本実施例にお
いて第２図〜第４図に示されているターゲット支持体１
２およびその各面、溝３６ａ〜３６ｄおよび軸孔３８の
寸法は下記の通りである。すなわち、ターゲット支持体
１２は約１９１１（０，７５インチ）の外径を有する円
柱よりなり、その前端部の軸線方向の大きさは約２．５
鶴（０，１インチ）、溝３６ａ　〜３６ｄの深さおよび
幅は約２．５−■（０，１インチ）、軸孔３８は約６．
４Ｍ（０，２５インチ）の深さと約６．４ｍｍ　（０，
２５インチ）の内径とを有する。ターゲット材料は、約
２．５１１あるいはそれより若干少ない距離だけ溝３６
ａ〜３６ｄ内および軸孔３８内に延びている。

第６図においてはクーゲット１４ａおよび１４ｂの厚さ
が誇張されていることに注目されたい。実際はターゲッ
ト１４２〜１４ｄの厚さは２５０ミクロン（１０ミル）
程度であり、−船釣なターゲット材料に要求される厚さ
の最小値は約５０μ（２ミル）である。ターゲット１４
ａ〜１４ｄがターゲット支持体１２と同じ材料からなる
場合には、ターゲットプレートをろう付けしてもよいし
、あるいはターゲット支持体の前端の適当な切子面をそ
の面がターゲットとして動作するように仕上げてもよい
、下記の材料、すなわちＴＩ％　Ｃｒｓ　Ｆｅ、Ｃｏ、
ＮｉＸＣｕ、Ｍｏ、Ｒｈｓ　Ａｇ、Ｔａ５Ｗ、Ｒｅ。

ｒ＞ｔおよびＡｕがターゲットに用いるのに適している
と思われる。特定のＸ線管のためにこれら材料のうちの
いずれを選択し、ターゲット支持体の切子面上にいかな
る順序で配列するかは、ＸｙＡ管の使用意図によって一
義的に決定される。

本発明によるＸ線管は、例えばリンク・アナリティカル
社製の螢光Ｘ線分光計のような機器に現在用いられてい
るＸ線管の代りに用いることができる。第７図を参照す
ると、適当な分光計のような装置が概略的に描かれてお
り、第１図〜第６図について説明したＸ線管１０は、ハ
ウジング４２内の回転可能なサンプルトレイ４０上に置
かれた被分析材料サンプルにＸ線ビームを当てるように
向けられている。Ｘ線管１０からのＸ線の照射に応答し
てサンプルから放射されるＸ線は、ディテクタ４４によ
って検出され、このディテクタ４４の出力が分析されて
その結果が分析・表示ユニット４６に表示される。Ｘ線
ビーム３０ａ〜３０ｄのそれぞれのオン・オフ状態が個
々に制御されうるように、電源・制御ユニット４８から
高電圧コネクタ２６およびフィラメント・コネクタ２８
を介してＸ線管１０に電力が供給される。Ｘ線ビームの
シーケンスおよび／またはパターンのセレクタユニット
５０は、セレクタ・ノブまたはキーボードのような手操
作手段によって作動されて、任意のときにＸ線ビーム３
０ａ〜３０ｄのうちのいずれをオンにし、いずれをオフ
にするかを決定する制御信号を電源・制御ユニット４８
に供給する。

あるいは、これら制御信号は上述の分光計が通常内蔵し
ているコンピュータで制御されたプログラムにもとづい
て得るようにしてもよい。

動作に際しては、適当な回転可能なサンプルトレイ４０
によってサンプルが位置決めされ、Ｘ線管１０はユニッ
ト４８．５０の制御下に励起されて、それの異なるター
ゲットから異なる特性のＸ線ビームを、選択されたパタ
ーンおよび／またはシーケンスで発生する。コリメート
されたＸ′ｇＡビーム３０ａ〜３０ｄがサンプルに照射
されると、これに応答してサンプルからは、照射された
Ｘ線の性質およびサンプル材料に依有する特性を有する
Ｘ線が放射される。サンプルから発せられたＸ線は、周
知の態様で分析され、その結果は表示されるか、あるい
は周知の態様で利用される。Ｘ線管１０から発せられる
４本のＸ線ビーム３０３〜３０ｄは、ある場合にはすべ
てが同時にオンとされ、ある場合にはそのうちの１つの
ビームが任意のシーケンスで一時的にオンとされ、また
ある場合には４本より少ない数のビームが任意のパター
ンでオンとされ、さらにある場合には、任意のパターン
のシーケンスで、あるいは単ビームのパターンのシーケ
ンスでオンとされる。４本のビーム３０ａ〜３０ｄは互
いに平行であり、かつターゲット支持体の軸Ｈｌ　２　
ａにも平行である。あるいは、４本のビームが被分析サ
ンプルに収斂するようにこれらビームが互いにおよび／
またはターゲット支持体軸線１２ａに対しある角度をな
すような配置に変更することも可能である。第８ａ図お
よび第８ｂ図には本発明の他の実施例が示されており、
このＸ線管はある種の機器における放射能物質輻射源の
代替として特に適している。Ｘ線ターゲッ）６１〜６４
は適当な真空ハウジング６８の内部に面したＸ線窓６６
の内表面に設けられている。窓６６はハウジング６８の
前端に取付けられたターゲット支持体７０の中央部に支
持されている。ターゲット６１〜６４は、可能ではある
が異なる材料で作成される必要はなく、スパッタリング
のような方法によって窓６６の内表面に形成されうる。

互いに隔離された個々に制御される電子発生源がターゲ
ラ）６１〜６４のそれぞれについて設けられている（第
８ａ図ではターゲット６１および６４のための電子発生
ａＥｓｘおよびＥＳ２のみが示されている）。各電子発
生源はそれぞれ電子ビームを放射し、各電子ビームは、
例えば第８３ＵｊＪにターゲット６１および６２に至る
電子ビームが示されているように、ターゲットの面に対
して実質的に直角な方向に沿って各ターゲットに達する
。各電子ビームはターゲットからＸ線束を放射させ、例
えば第８ａ図にターゲット６１および６２から放射され
るＸ線で示されているように、上記Ｘ線束は電子ビーム
が衝突した方向に窓６６の外表面を通過することによっ
てハウジング６８の外部へ放出される。クロストークを
低減するために、Ｘ線管には各ターゲット毎にコリメー
タが設けられている。第８ａ図にクーゲット６１および
６２のそれぞれのためのコリメータ７２および７４が示
されているように、各コリメータはターゲットを取囲む
管状体よりなり、ターゲットからハウジング６８の内部
に向って突出している。希望により、外部コリメータを
同様に設けることも可能であり、これら外部コリメータ
は、窓６６の外表面においてターゲットの突起を取囲む
Ｘ線減衰材料よりなる円筒となしうる。そして外部コリ
メータはハウジング６８から延長してクロストークを低
減し、および／または各ターゲットからのＸ線を周知の
態様で形づくる。第８ａ図および第８ｂ図には単一のＸ
線窓６６が用いられる場合が示されているが、その代り
に２つまたはそれ以上の互いに分離かつ隔離された窓を
用いることもでき、その場合、１つのターゲットについ
て１つの窓が、あるいは２つまたはそれ以上のターゲッ
トの小グループについて１つの窓が用いられ、ターゲッ
トの数は４より多い場合も少ない場合もありうることに
注目されたい。第８ａ図および第８ｂ図に示されている
Ｘ線管は、すべてのターゲットがまたは任意の小グルー
プのターゲットが同時に励起されることによって、ある
いはターゲットが任意のシーケンスまたはパターンで励
起されることによって作動されうる。

また本発明は、ターゲット支持体の前端に４つ以上の面
を有する多面Ｘ線管にも適用できること明らかである０
例えば、本発明によるＸ線管は、そのターゲット支持体
の前端に５．６．７．８個の切子面とそれに等しいかま
たはそれより少ない数のターゲットを備えうる。これら
ターゲットはそれらのすべてを異なる材料で形成しうる
が、そのうちのいくつかを同じ材料で形成してもよい。

上記切子面は、ターゲット支持体軸線に対し対称または
非対称とすることができ、またそれらを同じ大きさまた
は異なる大きさに形成しうる０例えば上記切子面が向い
ている方向および内部コリメータと窓の位置を変えるこ
とによって、Ｘ線ビームのうちのいくつかまたはすべて
が互いに平行でなく、またいずれか１つまたはそれ以上
のビームの方向が他のビームに対し集合または離散する
関係になるような幾何学的配置に変更することも可能で
ある。各フィラメントがそのターゲットの中心に配置さ
れ、かつ電子ビームがほぼターゲ・ノド全面に当たるよ
うに構成された上述の電子銃は、電子銃とターゲットと
の幾何学的配置によって、およびターゲットと電子銃と
の間の電位差によってパターンが一義的に決定される。

またその代りに、フィラメント１８ａから放射される電
子のための板５２と電界集束電位発生源Ｅ（ｆ）とが第
３図に概略的に示されているように、付加的電界を周知
の態様で用いて、各ターゲット上に電子ビームを集束さ
せることも可能である。上述のものでは電子発生源とし
てフィラメントが用いられているが、他の適当な熱陰極
または冷陰極も使用できる。本発明によるＸ、％Ｉ管の
１つの用途は螢光Ｘ＆Ｉ分光計であるが、このＸ線管は
、Ｘ線透過測定による厚さゲージ用、工程管理および材
料仕様管理用、およびラジオグラフィーおよび濃度検査
計用のような他の用途に、あるいは同位体交換のような
用途に、限定を設けることなく用いることが可能である
。その信奉発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るＸ線管の一部を断面と
した側面図、第２図は第１図の実施例に用いられる多面
体Ｘ線ターゲット支持体の側面図、第３図は上記ターゲ
ット支持体をターゲット励起用電子銃とともに示す正面
図、第４図は第１回の実施例に用いられる窓の正面図、
第５図は第４図の５−５線に沿った断面図、第６図は２
つの隣接したターゲットのターゲラ１支持体の軸線と平
行な面に沿った拡大断面図、第７図は本発明の実施例に
係るＸ線管を用いた螢光Ｘ線分光計のブロック図、第８
ａ図は本発明の他の実施例に係るＸ線管の前端部の部分
内断、面図、第８ｂ図はその正面図である。 ｔ　Ｏ−Ｘ線管 １２−ターゲット支持体 １４ａ〜１４ｄ−ターゲット １５ａ”１６ｄ−一電子銃 １８ａ−１８ｄ−一・フィラメント ２０ａ　〜２０ｄ−電子ビーム ２２−フロントハウジング ２４−メインハウジング ２６−高電圧コネクタ ２８−フィラメント・コネクタ ３０　ａ　〜３０　ｄ−−Ｘ線ビーム ３２ａ　〜３２ｄ−窓 ３４　ａ　〜３４　ｄ−ｌリメータ ３６　ａ　〜３６６−？ｌｉ　　　　３８−軸孔４０−
サンプルトレイ　　４４・−ディテクタ化 理 人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ターゲット支持体と、 それぞれが異なる方向に向けられたＸ線放射面を有し、
   かつ異なるＸ線放射材料で形成されて、上記ターゲット
   支持体上に設けられた多数のターゲットと、 上記ターゲットのそれぞれについて設けられており、上
   記ターゲットに衝突してそのターゲットからＸ線を放射
   させるための電子を放射する個々に制御された電子銃と
   、 少なくとも上記多数のターゲットを収容し、かつ上記タ
   ーゲットのそれぞれから放射されるＸ線ビームのための
   互いに分離された窓を備えたハウジングと を具備していることを特徴とするマルチターゲットＸ線
   管。 ２、上記ハウジングの内部に設けられて前記Ｘ線ビーム
   を分離させるコリメート手段を含んでいる請求項１記載
   のマルチターゲットＸ線管。 ３、上記ターゲット支持体は、隣接するターゲットを互
   いに分離してクロストークを低減させるための溝を備え
   ている請求項２記載のＸ線管。 ４、上記ターゲット支持体は、多面体よりなる前端部を
   備え、上記ターゲットのそれぞれが上記前端部の各切子
   面上に設けられ、上記前端部は、クロストークをさらに
   低減させるために上記溝よりも深い軸孔を備えている請
   求項３記載のＸ線管。 ５、上記溝および上記軸孔の外縁が丸められてクロスト
   ークを低減している請求項４記載のＸ線管。 ６、上記ターゲット支持体は、約１９ｍｍの外径を有す
   る円柱体よりなり、その前端部の軸線方向の寸法が約２
   ．５ｍｍ、上記溝の深さおよび幅は約２．５ｍｍ、上記
   軸孔は深さが約６．４ｍｍ、内径が約６．４ｍｍである
   請求項５記載のＸ線管。 ７、上記ハウジングは真空容器よりなり、上記コリメー
   ト手段は上記Ｘ線ビームのための個々の管状コリメータ
   よりなり、これらコリメータは、上記ハウジング内に設
   けられて、このハウジング内で上記Ｘ線ビームを互いに
   隔離して、これらＸ線ビームを、上記ターゲット支持体
   のピラミッド状前端部の軸線に実質的に平行な方向に導
   くように構成されている請求項６記載のＸ線管。 ８、上記電子銃を個々に制御して、上記電子ビームの選
   択されたパターンおよびシーケンスのうちの少なくとも
   一方を発生させる回路を含んでいる請求項７記載のＸ線
   管。 ９、上記ターゲット支持体は、隣接するターゲットを互
   いに分離してクロストークを低減させる溝を備えている
   請求項１記載のマルチターゲットＸ線管。 １０、上記ターゲット支持体は多面体よりなる前端部を
   備え、上記ターゲットのそれぞれが上記前端部の各切子
   面上に設けられ、上記前端部は、クロストークをさらに
   低減させるために上記溝よりも深い軸孔を備えている請
   求項９記載のマルチターゲットＸ線管。 １１、上記溝および上記軸孔の外縁が丸められてクロス
   トークを低減している請求項１０記載のＸ線管。 １２、上記ターゲット支持体は多面体よりなる前端部を
   備え、上記ターゲットのそれぞれが上記前端部の各切子
   面上に設けられ、上記前端部は、上記ターゲットの前面
   部分を互いに隔離してクロストークを低減させる軸孔を
   備えている請求項１記載のマルチターゲットＸ線管。 １３、上記コリメート手段は上記Ｘ線ビームのための個
   々の管状コリメータよりなり、これらコリメータは、上
   記ハウジング内に設けられて、このハウジング内で上記
   Ｘ線ビームを互いに隔離して、これらＸ線ビームを個々
   のビーム通路に導くように構成されている請求項１記載
   のＸ線線。 １４、上記ターゲットの材料は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃ
   ｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ａｇ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、
   ＰｔおよびＡｕからなるグループの中から選ばれる請求
   項１記載のＸ線線。 １５、上記電子銃を個々に制御して、上記電子ビームの
   選択されたパターンおよびシーケンスのうちの少なくと
   も一方を発生させる回路を含んでいる請求項１記載のＸ
   線線。