JPH0217047B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217047B2 JPH0217047B2 JP4672784A JP4672784A JPH0217047B2 JP H0217047 B2 JPH0217047 B2 JP H0217047B2 JP 4672784 A JP4672784 A JP 4672784A JP 4672784 A JP4672784 A JP 4672784A JP H0217047 B2 JPH0217047 B2 JP H0217047B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hologram
- measured
- light
- interferometer
- mirror
- Prior art date
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- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/021—Interferometers using holographic techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はホログラム干渉計、特に球面鏡状の
加工面の測定に使用するホログラム干渉計に関す
るものである。
加工面の測定に使用するホログラム干渉計に関す
るものである。
球面鏡は反射型望遠鏡、レーザ共振器その他に
使用されており、このような球面鏡の製作は従来
の方法に加えて最近超精密機械加工によつても広
く行なわれつつある。そのためには、その加工面
の簡単で高精度の測定技術の確立が必要である。
使用されており、このような球面鏡の製作は従来
の方法に加えて最近超精密機械加工によつても広
く行なわれつつある。そのためには、その加工面
の簡単で高精度の測定技術の確立が必要である。
球面鏡状の加工面の高精度の測定のためには従
来から各種の光学的測定技術が開発されて来てい
るが、複雑な光学系を備えなければならず、理論
的な感度は高くても、実際の精度が低くなるとい
う問題が残つており、球面鏡状の加工面の測定に
ついて、構造が簡単で高精度の測定が可能な技術
の開発が望まれている。
来から各種の光学的測定技術が開発されて来てい
るが、複雑な光学系を備えなければならず、理論
的な感度は高くても、実際の精度が低くなるとい
う問題が残つており、球面鏡状の加工面の測定に
ついて、構造が簡単で高精度の測定が可能な技術
の開発が望まれている。
この発明は上記の如き事情に鑑みてなされたも
のであつて、ホログラム技術を利用して、構造が
簡単で、高精度に、球面鏡状の加工面の測定を可
能にする技術を提供することを目的とするもので
ある。
のであつて、ホログラム技術を利用して、構造が
簡単で、高精度に、球面鏡状の加工面の測定を可
能にする技術を提供することを目的とするもので
ある。
この目的に対応して、この発明のホログラム干
渉計は、拡散光の物体光を平行光の参照光によつ
て記録したホログラムを被測定面に対向して配置
し、前記参照光を前記ホログラムに照明して再生
された再生物体光と前記再生物体光の前記被測定
面からの反射光との干渉縞を測定するように構成
したことを特徴としている。
渉計は、拡散光の物体光を平行光の参照光によつ
て記録したホログラムを被測定面に対向して配置
し、前記参照光を前記ホログラムに照明して再生
された再生物体光と前記再生物体光の前記被測定
面からの反射光との干渉縞を測定するように構成
したことを特徴としている。
以下、この発明の詳細を一実施例を示す図面に
ついて説明する。
ついて説明する。
第１図において、１はホログラム干渉計であ
る。ホログラム干渉計１は被測定面２に対向して
ホログラム３を備え、かつホログラム３を挾んで
被測定面と対向する位置に空間フイルタ１７、ス
クリーン４を備えている。一方ホログラム３の光
入射側にコリメータレンズ５、ピンホール６、対
物レンズ７を備え、またホログラム３を挾んでコ
リメータレンズ５と対向する位置にミラー８を備
えている。レーザ光源１１からのレーザビームは
ミラー１２及びミラー１４で光路変更し、対物レ
ンズ７で拡げられピンホール６を通つた後、コリ
メータレンズ５で平行光となつてホログラム３を
照明するようになつている。このコリメータレン
ズ５からの平行光はホログラム３を作成し、再生
する場合の参照光として機能するものである。
る。ホログラム干渉計１は被測定面２に対向して
ホログラム３を備え、かつホログラム３を挾んで
被測定面と対向する位置に空間フイルタ１７、ス
クリーン４を備えている。一方ホログラム３の光
入射側にコリメータレンズ５、ピンホール６、対
物レンズ７を備え、またホログラム３を挾んでコ
リメータレンズ５と対向する位置にミラー８を備
えている。レーザ光源１１からのレーザビームは
ミラー１２及びミラー１４で光路変更し、対物レ
ンズ７で拡げられピンホール６を通つた後、コリ
メータレンズ５で平行光となつてホログラム３を
照明するようになつている。このコリメータレン
ズ５からの平行光はホログラム３を作成し、再生
する場合の参照光として機能するものである。
ホログラム３を作成する場合にはスクリーン４
のかわりに、第２図に示すようなホログラム作成
用の光学系１５を配置する。
のかわりに、第２図に示すようなホログラム作成
用の光学系１５を配置する。
ホログラム作成用の光学系１５は対物レンズ１
６とミラー１９とハーフミラー１３とを有し、ハ
ーフミラー１３でビームスプリツトしたレーザビ
ームの一方を拡散光にしてホログラム３の位置に
ある写真乾板３ａに照明するように構成されてい
る。この拡散光を前記のコリメータレンズ５から
の平行光を参照光として写真乾板３ａに記録し、
写真処理したものがホログラム３である。
６とミラー１９とハーフミラー１３とを有し、ハ
ーフミラー１３でビームスプリツトしたレーザビ
ームの一方を拡散光にしてホログラム３の位置に
ある写真乾板３ａに照明するように構成されてい
る。この拡散光を前記のコリメータレンズ５から
の平行光を参照光として写真乾板３ａに記録し、
写真処理したものがホログラム３である。
再び第１図にもどつて、このように構成された
ホログラム干渉計１において、被測定面２を測定
する場合には、コリメータレンズ５からの平行光
をホログラム３に照明する。ホログラム３に照明
された光のうち、一部はホログラム３で回折され
て被測定面２に達し、被測定面２に反射、変調さ
れてスクリーン４に達する。またホログラム３に
照明された光のうちの残部はホログラム３を透過
しミラー８で反射されて再びホログラム３に入射
し、回折されてスクリーンに達する。これは基準
波面となるものである。こうしてスクリーン４上
に基準波面と変調波面の干渉縞が形成される。
ホログラム干渉計１において、被測定面２を測定
する場合には、コリメータレンズ５からの平行光
をホログラム３に照明する。ホログラム３に照明
された光のうち、一部はホログラム３で回折され
て被測定面２に達し、被測定面２に反射、変調さ
れてスクリーン４に達する。またホログラム３に
照明された光のうちの残部はホログラム３を透過
しミラー８で反射されて再びホログラム３に入射
し、回折されてスクリーンに達する。これは基準
波面となるものである。こうしてスクリーン４上
に基準波面と変調波面の干渉縞が形成される。
この干渉縞は、例えば第３図に示すように、被
測定面２の状態に応じて高さｄの凹凸を呈するか
ら、 縞間隔をＤ、波長をλとし、干渉縞を測定して Δh＝（ｄ／Ｄ）×（λ／２） から、被測定面の表面状態を検出することができ
る。
測定面２の状態に応じて高さｄの凹凸を呈するか
ら、 縞間隔をＤ、波長をλとし、干渉縞を測定して Δh＝（ｄ／Ｄ）×（λ／２） から、被測定面の表面状態を検出することができ
る。
なお、以上の説明では凹面鏡が被測定面である
場合を例にとつたが、凸面鏡が被測定面である場
合も、第４図のような光学系で測定が可能であ
る。第４図及び第１図では同じ構成部材は同じ符
号で示してある。
場合を例にとつたが、凸面鏡が被測定面である場
合も、第４図のような光学系で測定が可能であ
る。第４図及び第１図では同じ構成部材は同じ符
号で示してある。
以上の説明から明らかな通り、この発明によれ
ば、構造が簡単で、高精度に球面鏡状の加工面の
測定を可能にするホログラム干渉計を得ることが
できる。また、第１図のように基準波面と被測定
波面はホログラムガラス基板の中を同一の光路で
透過するのでホログラムガラス基板の不均一性や
歪の影響をうけない。そのためトワイマングリー
ン干渉計におけるコンペンセータが不要である。
ば、構造が簡単で、高精度に球面鏡状の加工面の
測定を可能にするホログラム干渉計を得ることが
できる。また、第１図のように基準波面と被測定
波面はホログラムガラス基板の中を同一の光路で
透過するのでホログラムガラス基板の不均一性や
歪の影響をうけない。そのためトワイマングリー
ン干渉計におけるコンペンセータが不要である。
第１図及び第４図はこの発明の一実施例に係る
ホログラム干渉計の構成説明図、第２図はホログ
ラム作成用の光学系を示す構成説明図、第３図は
干渉縞の例を示す説明図、及び第４図はこの発明
の他の実施例に係るホログラム干渉計の構成説明
図である。 １……ホログラム干渉計、２……被測定面、３
……ホログラム、４……スクリーン、５……コリ
メータレンズ、６……ピンホール、７……対物レ
ンズ、８……ミラー、１１……レーザ光源、１６
……対物レンズ、１７……空間フイルタ。
ホログラム干渉計の構成説明図、第２図はホログ
ラム作成用の光学系を示す構成説明図、第３図は
干渉縞の例を示す説明図、及び第４図はこの発明
の他の実施例に係るホログラム干渉計の構成説明
図である。 １……ホログラム干渉計、２……被測定面、３
……ホログラム、４……スクリーン、５……コリ
メータレンズ、６……ピンホール、７……対物レ
ンズ、８……ミラー、１１……レーザ光源、１６
……対物レンズ、１７……空間フイルタ。
Claims (1)
- １ 拡散光の物体光を平行光の参照光によつて記
録したホログラムを被測定面に対向して配置し、
前記参照光を前記ホログラムに照明して再生され
た再生物体光と前記再生物体光の前記被測定面か
らの反射光との干渉縞を測定するように構成した
ことを特徴とするホログラム干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4672784A JPS60190805A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | ホログラム干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4672784A JPS60190805A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | ホログラム干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60190805A JPS60190805A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0217047B2 true JPH0217047B2 (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=12755367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4672784A Granted JPS60190805A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | ホログラム干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60190805A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6421303A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-24 | Agency Ind Science Techn | Hologram interferometer |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP4672784A patent/JPS60190805A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60190805A (ja) | 1985-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |