JPH02173501A - 半導体外形測定装置 - Google Patents
半導体外形測定装置Info
- Publication number
- JPH02173501A JPH02173501A JP33176188A JP33176188A JPH02173501A JP H02173501 A JPH02173501 A JP H02173501A JP 33176188 A JP33176188 A JP 33176188A JP 33176188 A JP33176188 A JP 33176188A JP H02173501 A JPH02173501 A JP H02173501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- measuring device
- external shape
- shape measuring
- external
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体装置の外部端子形状寸法の測定装置に
関するものである。
関するものである。
従来この種の半導体装置の外部端子の形状１寸法、特に
端子の浮き上シを測定する装置は熱く、一般に目視によ
る視覚検査にたよっていた。
端子の浮き上シを測定する装置は熱く、一般に目視によ
る視覚検査にたよっていた。
半導体装置の外形測定には定量的な測定装置はなく、実
体顕微鏡等を用いて端子部を目視検査し、規格内の形状
かどうかを調べていた。
体顕微鏡等を用いて端子部を目視検査し、規格内の形状
かどうかを調べていた。
従来の半導体装置の外形検査は以上のような手順で行な
われていたので、大量の検査を行うことは困難で、また
、定量的な検査方法でないため、検査を行う人間のばら
つきが大きいなどの問題点があった。
われていたので、大量の検査を行うことは困難で、また
、定量的な検査方法でないため、検査を行う人間のばら
つきが大きいなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、定量的な検査が行なえるとともに熟練してい
ない作業者でも短時間に大量のサンプル、作業者間のば
らつきのない外形検査のできる半導体外形測定装置を得
ることを目的とする。
たもので、定量的な検査が行なえるとともに熟練してい
ない作業者でも短時間に大量のサンプル、作業者間のば
らつきのない外形検査のできる半導体外形測定装置を得
ることを目的とする。
この発明に係る半導体外形測定装置は目視によることな
く定量的に規格内−の外形かどうかを箱状のガイドに挿
入することによって判定することができるようにしたも
のである。
く定量的に規格内−の外形かどうかを箱状のガイドに挿
入することによって判定することができるようにしたも
のである。
この発明における半導体外形測定装置は箱状のガイドに
より外部端子の外幅寸法を、また内部の棒により外部端
子底部の平坦度を測定することができる。
より外部端子の外幅寸法を、また内部の棒により外部端
子底部の平坦度を測定することができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す箱状のガイドを示した斜
視図で、図において、（１）は基準面、（２）は基準面
（１）と直角に取り付けられた底面ゲージ、（８）は基
準面（１）及び底面ゲージ（２）に直角に、しかも対面
する同ゲージの間が測定する半導体の外部端子間の寸法
になるように取υ付けられた側面ゲージ、（４）は基準
面（１）から垂直に延び外形規格を満足する半導体の本
体及び外部端子に囲まれたすき間の位置に挿入するすき
間ゲージである。第２図は第１図の箱状のガイドの側面
図で１図において、（５）は測定対象の半導体本体、（
６）は半導体本体（５）から出た外部端子である。
図はこの発明の一実施例を示す箱状のガイドを示した斜
視図で、図において、（１）は基準面、（２）は基準面
（１）と直角に取り付けられた底面ゲージ、（８）は基
準面（１）及び底面ゲージ（２）に直角に、しかも対面
する同ゲージの間が測定する半導体の外部端子間の寸法
になるように取υ付けられた側面ゲージ、（４）は基準
面（１）から垂直に延び外形規格を満足する半導体の本
体及び外部端子に囲まれたすき間の位置に挿入するすき
間ゲージである。第２図は第１図の箱状のガイドの側面
図で１図において、（５）は測定対象の半導体本体、（
６）は半導体本体（５）から出た外部端子である。
次にこの半導体外形測定装置を用いて測定方法について
説明する。測定させる半導体の本体及び外部端子に囲ま
れたすき間にすき間ゲージ（４）を挿入する。このまま
この半導体（５）が−香臭の基準面（１）まで入った場
合、この半導体（５）の外部端子の形状は基準を満足す
ると判断出来る。外部端子（６）が−本でも曲って基準
を外れる場合は、底面ゲージ（２）又は側面ゲージ（８
）又はすき間ゲージ（４）に当たり、基準面（１）まで
入らない。基準面まで入らない半導体は外部端子の形状
が規格を満足しないことが判る。
説明する。測定させる半導体の本体及び外部端子に囲ま
れたすき間にすき間ゲージ（４）を挿入する。このまま
この半導体（５）が−香臭の基準面（１）まで入った場
合、この半導体（５）の外部端子の形状は基準を満足す
ると判断出来る。外部端子（６）が−本でも曲って基準
を外れる場合は、底面ゲージ（２）又は側面ゲージ（８
）又はすき間ゲージ（４）に当たり、基準面（１）まで
入らない。基準面まで入らない半導体は外部端子の形状
が規格を満足しないことが判る。
以上のようにこの発明によれば、測定ゲージを複合して
構成したので、従来目視等熟練した作業者の目視検査に
たよっていた検査を熟練の必要ないまた精度の高いゲー
ジ検査が行えるという効果がある。
構成したので、従来目視等熟練した作業者の目視検査に
たよっていた検査を熟練の必要ないまた精度の高いゲー
ジ検査が行えるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体外形測定装置
を示す斜視図、第２図は第１図の半導体の測定状態を示
す側面図である。 図において、（１）は基準面、（２）は底面ゲージ、（
８）は側面ゲージ、（４）はすき間ゲージを示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
を示す斜視図、第２図は第１図の半導体の測定状態を示
す側面図である。 図において、（１）は基準面、（２）は底面ゲージ、（
８）は側面ゲージ、（４）はすき間ゲージを示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 箱状のガイド及びその内部の一面からのびた２本の棒に
よつて構成されたことを特徴とする半導体外形測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33176188A JPH02173501A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 半導体外形測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33176188A JPH02173501A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 半導体外形測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173501A true JPH02173501A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18247325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33176188A Pending JPH02173501A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 半導体外形測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02173501A (ja) |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP33176188A patent/JPH02173501A/ja active Pending
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