JPH02174175A - 圧電バイモルフ素子 - Google Patents

圧電バイモルフ素子

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JPH02174175A
JPH02174175A JP63326241A JP32624188A JPH02174175A JP H02174175 A JPH02174175 A JP H02174175A JP 63326241 A JP63326241 A JP 63326241A JP 32624188 A JP32624188 A JP 32624188A JP H02174175 A JPH02174175 A JP H02174175A
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piezoelectric ceramic
piezoelectric
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piezoelectric bimorph
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Yukio Sato
幸夫 佐藤
Yoshimichi Kimura
義道 木村
Yasuhiro Sakamoto
坂本 安弘
Katsuhiro Wakabayashi
勝裕 若林
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Coorstek KK
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Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特に物体搬送装置の振動発生の駆動源として
利用される圧電バイモルフ素子に関するものである。
従来の技術 物体搬送装置(パーツフィーダ)の駆動源として機能す
る圧電バイモルフ素子に関し、従来振動板(金属板)の
−面もしくは両面に圧電セラミック素子を接合したもの
が提案された(たとえば特開昭63−192284号公
報参照)。
発明が解決しようとする課題 しかし、駆動源として利用する変位の方向は、二次元的
なものであり、三次元的なねじれ変位を発生することは
不可能であった。
また、円筒型の物体搬送装置(ボウルフィーダ)の駆動
源として用いる場合、ねじれ変位を発生する圧電バイモ
ルフ素子が搬送性能向上のために要求されていた。
発明の目的 この発明は、三次元的なねじれ変位を発生して搬送性能
の向上が図れる圧電ノくイモルフ素子を提供することを
目的とする。
発明の−要旨 この発明は特許請求の範囲の圧電バイモルフ素子を要旨
としている。
課題を解決するための手段 第1図圧電バイモルフ素子を参照する。中間振動板1の
両面にそれぞれ圧電セラミック50が接合されている。
この圧電セラミック50は圧電セラミック素子10.1
1から構成されている。圧電バイモルフ素子1の長さ方
向に沿った圧電セラミック素子11の一方の最外縁11
aの長さbと圧電セラミック素子10の他方の最外縁1
0aの長さaとの比(b/a)が、0.4〜0.7であ
る。
作  用 圧電バイモルフ素子1は三次元的なねじれ変位を発生す
る。
実施例 第1図〜第2図はこの発明の実施例1の圧電バイモルフ
素子の構成を示している。
[中間振動板1] 圧電バイモルフ素子の中間振動板1は、金属板で、黄銅
、リン鋼、SK鋼、ステンレス、SUPなどの導電性の
薄板である。この圧電バイモルフ素子は円筒型物体搬送
装置の好ましくは振動発生源として用いられる。
中間振動板1の両端部にはネジ穴2,2゜3.3が設け
られている。第3図のように、中間振動板1の一端側の
ネジ穴3,3には、ボルト4がはめこまれて、このボル
ト4により中間振動板1の一端が第3図のベース8に固
定されている。
また、中間振動板1の他端側のネジ穴2゜2には第3図
のボルト5がはめこまれている。
このボルト5により、中間振動板1の他端が共振バネ6
の一端に固定されている。共振バネ6の他端はボルト7
により搬送台9に固定されている。
[圧電セラミック] 第1図と第2図に示すように中間振動板1の両面には、
圧電セラミック50が接合されている。圧電セラミック
50は圧電セラミック素子10.11から成る。圧電セ
ラミック素子10.11はたとえば有機系接着剤により
金属板に接合されている。
圧電セラミック素子10.11は分極処理が施されてお
り、中間振動板をはさんで一方側面の圧電セラミック素
子10.11が縮んだ時は、他方側面の圧電セラミック
素子10゜11は伸びるように分極方向がそろえである
(つまり、交流電圧を印加することにより、圧電バイモ
ルフ素子は屈曲振動を発生する。)圧電セラミック素子
10.11はたとえばPZT系の圧電材料であり、誘電
率が2000゜結合係数かに3□=30%である。
各組の圧電セラミック素子10.11は、圧電バイモル
フ素子1の長さ方向(第1図では紙面では上下方向)と
直角の方向に沿って2等分割したもので、それぞれ幅C
を有している。大きい圧電セラミック素子1oの最外縁
10aは、圧電バイモルフ素子1の長さ方向に沿った長
さaを有する。小さい圧電セラミック素子11の最外縁
11aは、圧電バイモルフ素子1の長さ方向に沿った長
さbを有する。一方の最外縁の長さbと、他方の最外縁
の長さaとの比は、0.4〜0.7の範囲、より好まし
くは0.5〜0.6の範囲にある。
圧電セラミック素子10.11の下縁は第1図のように
そろえである。幅Cと長さaの比は0.3〜0.6であ
る。幅Cと長さbの比は0.4〜1.5である。c /
 aが0.3より小さいとパーツフィーダの搬送性能に
影響するバイモルフ素子の発生力が急激に小さくなり好
ましくない。C/ aが0.6より太きいとパーツフィ
ーダの搬送性能の低下をもたらすバイモルフ素子の幅方
向の不要振動が大きくなり好ましくない。c / bが
0.4より小さいとパーツフィーダの搬送性能に影響す
るバイモルフ素子の発生力が急激に小さくなり好ましく
ない。c / bが1.5より大きいとパーツフィーダ
の搬送性能の低下をもたらすバイモルフ素子の幅方向の
不要振動が大きくなり好ましくない。
両面の圧電バイモルフ素子10.’LLは長短関係をそ
のまま投影した形で接着されている。
圧電セラミック素子io、i1の両面には全面に銀電極
12,13,16.17が焼付しである。
両面の圧電セラミック素子10.11の各銀電極16.
17は、リード線20.21を介して電気的に同電位と
なっている。さらに、リード線20とつながれているリ
ード線22と、中間振動板1からとったリード線23に
は交流電源24かつながれている。この交流電源から交
流電圧を印加することにより、圧電バイモルフ素子は三
次元的な屈曲変位又は振動を起こす。
円筒型の物体搬送装置のベースに、この発明の圧電バイ
モルフ素子を固定する場合は、例えは90°間隔に4個
設置し、長い方の圧電セラミック素子10が外周側、短
い方の圧電セラミック素子11が内周側になるようにす
る。
圧電セラミック素子10.11の長さの比(b /a 
)を0〜1.0まで変えた圧電バイモルフ素子に印加電
圧250 Vrms、をかけ、搬送重量を200gかけ
たときの試験結果は、第4図のとうりである。第4図か
ら圧電セラミック素子10.11の長さの比を0.4〜
0.7とすることにより明らかに搬送速度が向上する。
搬送重量の変化に対する搬送速度の変化を印加電圧25
0 V rms、で比較した結果は第5図のとうりであ
る。圧電セラミック素子の長さの比を0,4〜0.7と
することにより、搬送速度の負荷重量(搬送重量)の依
存性を小さくする事が可能である。
圧電セラミック素子の長さの比が0.4より小さい場合
、たとえば0.3の場合は、長い方のセラミックだけを
接合した圧電バイモルフ素子とほとんど搬送速度の差が
なくなり、従来技術よりも性能は低下する。またセラミ
ックの長さの比が0.7より大きい場合、たとえば0.
9の場合は、従来技術の圧電バイモルフ素子と搬送速度
の差がなく性能向上につながらない。
第6図と第7図は実施例2を示している。
第8図と第9図は実施例3を示している。実施例2,3
において実施例1と同様の箇所には同じ符号を記して説
明を省略する。
実施例2 中間振動板1の両側に配置された圧電セラミックは一体
型の圧電セラミック素子30である。この圧電セラミッ
ク素子30は台形である。両圧電セラミック素子30.
30は投影した形に接合されている。中間振動板1の長
さ方向に沿った最外縁31と32は長さがaとbになっ
ている。この長さの(b / a )は0.4〜0.7
になっている。下縁33は最外縁31.32と直交して
いる。幅c−1と長さaの比は0.5〜1.2である。
幅C−1と長さbの比は0.9〜2.9である。
実施例3 実施例3は圧電セラミック150を5等分割にしたもの
である。中間振動板1の両側に配置された圧電セラミッ
ク素子41,42゜43.44.45は投影した形に接
合されている。圧電セラミック素子41〜45は長さが
dずつ異っている。つまり圧電セラミック素子41が最
も短く、45が最も長い。圧電セラミック素子41〜4
5はリード線46でつながれており、リード線22を介
して交流電源につながれている。最も短い圧電セラミッ
ク素子41の最外縁47は長さがbで、最も長い圧電セ
ラミック素子45の最外縁48は長さがaである。長さ
の比b / aは0.4〜0.7である。各圧電セラミ
ック素子の幅c−2と長さaの比は0.1〜0.3であ
る。
幅c−2と長さbの比は0.1〜0.7である。実施例
は5等分割であったが他の多分割でもよい。
ところでこの発明の圧電バイモルフ素子は、たとえば大
きなトルクを必要とする圧電モータの駆動源としても使
える。
発明の詳細 な説明したようにこの発明によれば、圧電セラミックの
形を全体として異形にするので、三次元的なねじれ変位
を発生することができる。これにより円筒型物体搬送装
置の駆動源として用いることができる。
従来と同じ搬送速度を得る場合に、低駆動電圧化が可能
となる。
被搬送物の重量が変化しても、搬送速度をほぼ一定に維
持することが可能となる。
これらのことより、圧電バイモルフ素子に無理がかから
ず長寿命化が図れ、物体搬送装置を使用する場合の速度
調整が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の圧電バイモルフ素子の実施例1を示
す側面図、第2図は実施例1の正面図、第3図は実施例
1を物体搬送装置に取り付けた状態を示す図、第4図は
圧電セラミック素子の長さの比に対する搬送速度の依存
性を示す図、第5図は搬送重量に対する搬送速度の依存
性を示す図、第6図と第7図は実施例2を示す図、第8
図と第9図は実施例3を示す図である。 1・・・・・・・・・中間振動板 50・・・・・・圧電セラミック 10.11・・・・・・圧電セラミック素子W!送重置 圧電セラミック素子の長さの比(b/a)Fig、6 Fig、 7

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.振動板の両面にそれぞれ圧電セラミッ クが接合された圧電バイモルフ素子において、圧電バイ
    モルフ素子の長さ方向に沿った圧電セラミックの一方の
    最外縁の長さと、この圧電セラミックの他方の最外縁の
    長さとの比が、0.4〜0.7になる圧電バイモルフ素
    子。
JP63326241A 1988-12-26 1988-12-26 圧電バイモルフ素子 Expired - Lifetime JPH0831634B2 (ja)

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