JPH02174244A - ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置 - Google Patents
ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置Info
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- JPH02174244A JPH02174244A JP63327780A JP32778088A JPH02174244A JP H02174244 A JPH02174244 A JP H02174244A JP 63327780 A JP63327780 A JP 63327780A JP 32778088 A JP32778088 A JP 32778088A JP H02174244 A JPH02174244 A JP H02174244A
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 116
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体ウェハ、水晶ウェハ等のウェハを収納
するウェハキャリア用の治具枠およびウェハキャリアに
収納されたウェハを移し換えるウェハ移換装置に関する
ものである。
するウェハキャリア用の治具枠およびウェハキャリアに
収納されたウェハを移し換えるウェハ移換装置に関する
ものである。
第７図は密閉型のウェハキャリアを示す斜視図である。
図において、２はキャリア本体、３はキャリア本体２に
設けられた開口部、１０はキャリア本体２内に設けられ
た収納溝、９はキャリア本体２に設けられた突出部、１
１はキャリア本体２の開口部３近傍に設けられた位置決
め用の円形凹部、１は蓋、４はキャリア本体２内に収納
されたウェハである。
設けられた開口部、１０はキャリア本体２内に設けられ
た収納溝、９はキャリア本体２に設けられた突出部、１
１はキャリア本体２の開口部３近傍に設けられた位置決
め用の円形凹部、１は蓋、４はキャリア本体２内に収納
されたウェハである。
この密閉型のウェハキャリアにおいては、キャリア本体
２に蓋１を被せれば、収納されたウェハ４への塵の付着
、ウェハ４の損傷を防止することができるので、密閉型
のウェハキャリアはウェハ４を輸送する場合等に使用さ
れている。
２に蓋１を被せれば、収納されたウェハ４への塵の付着
、ウェハ４の損傷を防止することができるので、密閉型
のウェハキャリアはウェハ４を輸送する場合等に使用さ
れている。
第８図は処理用のウェハキャリアを示す斜視図である。
図において、８はキャリア本体、８ａはキャリア本体８
内に設けられた収納溝で、収納溝８ａのピッチは収納溝
１０のピッチと等しい。
内に設けられた収納溝で、収納溝８ａのピッチは収納溝
１０のピッチと等しい。
この処理用のウェハキャリアは半導体製造装置等でウェ
ハ４を処理する場合に使用される。
ハ４を処理する場合に使用される。
そして、密閉型のウェハキャリアに収納されて輸送され
てきたウェハ４を半導体製造′！Ａ置等で処理する場合
には、密閉型のウェハキャリアから処理用のウェハキャ
リアにウェハ４を移し換える必要があり、このためにウ
ェハ移換装置が用いられている。
てきたウェハ４を半導体製造′！Ａ置等で処理する場合
には、密閉型のウェハキャリアから処理用のウェハキャ
リアにウェハ４を移し換える必要があり、このためにウ
ェハ移換装置が用いられている。
第９図は従来のウェハ移換装置を示す概略斜視図である
。図において、５は移換装置本体、７は移換装置本体５
に前進後退可能かつ昇降可能に設けられた可動腕で、可
動腕７は駆動装置（図示せず）により駆動される。６は
可動腕７に取付けられた複数枚の載置板で、載置板６の
ピッチは収納溝１０、収納溝８ａのピッチと等しい。２
４は移換装置本体５上に設けられた枠体である。
。図において、５は移換装置本体、７は移換装置本体５
に前進後退可能かつ昇降可能に設けられた可動腕で、可
動腕７は駆動装置（図示せず）により駆動される。６は
可動腕７に取付けられた複数枚の載置板で、載置板６の
ピッチは収納溝１０、収納溝８ａのピッチと等しい。２
４は移換装置本体５上に設けられた枠体である。
このウェハ移換装置により密閉型のウェハキャリアから
処理用のウェハキャリアにウェハ４を移し換えるには、
まず枠体２４内にキャリア本体２を位置させ、枠体２４
上にキャリア本体８を載置し、可動腕７を上昇させ、可
動腕７をキャリア本体２の方向に前進させると、載置板
６がウェハ４の間に挿入され、この状態で可動腕７をわ
ずかに上刃させたのち、可動腕７を後退させると、ウェ
ハ４がキャリア本体２内から取り出され、続いて可動腕
７を上昇させ、キャリア本体８の方向に前進させると、
ウェハ４が収納溝８ａ内に挿入され、この状態で可動腕
７をわずかに下降させたのち、可動腕７を後退させると
、ウェハ４がキャリア本体８内に収納される。
処理用のウェハキャリアにウェハ４を移し換えるには、
まず枠体２４内にキャリア本体２を位置させ、枠体２４
上にキャリア本体８を載置し、可動腕７を上昇させ、可
動腕７をキャリア本体２の方向に前進させると、載置板
６がウェハ４の間に挿入され、この状態で可動腕７をわ
ずかに上刃させたのち、可動腕７を後退させると、ウェ
ハ４がキャリア本体２内から取り出され、続いて可動腕
７を上昇させ、キャリア本体８の方向に前進させると、
ウェハ４が収納溝８ａ内に挿入され、この状態で可動腕
７をわずかに下降させたのち、可動腕７を後退させると
、ウェハ４がキャリア本体８内に収納される。
しかし、このようなウェハ移換装置によってウェハ４を
移し換えるときには、突出部９の剛性が小さいので、突
出部９が輸送中の外部応力等によって変形することがあ
り、この場合には突出部９が変形しないときと比較して
移換装置本体５とウェハ４との相対位置が変化するから
、可動腕７をキャリア本体２の方向に前進したときに、
載置板６の先端がウェハ４に衝突するので、ウェハ４を
確実に移し換えることができず、またウェハ４が損傷す
るおそれがある。さらに、載置板６がウェハ４の間に挿
入された状態で、可動腕７をわずかに上昇させたときに
は、ウェハ４の周縁部が収納溝１０の内面に接触するこ
とがあり、しかもウェハ４の下面と載置板６の上面との
間には空気層が介在するから、可動腕７を後退すると、
ウェハ４の周縁部と収納溝１０の内面との摩擦により、
ウェハ４が載置板６上で回転し、ウェハ４がキャリア本
体２内に残ることがあるので、ウェハ４を確実に移し換
えることができず、またウェハ４が載置板６から落下す
ることがあるので、ウェハ４が損傷するおそれがある。
移し換えるときには、突出部９の剛性が小さいので、突
出部９が輸送中の外部応力等によって変形することがあ
り、この場合には突出部９が変形しないときと比較して
移換装置本体５とウェハ４との相対位置が変化するから
、可動腕７をキャリア本体２の方向に前進したときに、
載置板６の先端がウェハ４に衝突するので、ウェハ４を
確実に移し換えることができず、またウェハ４が損傷す
るおそれがある。さらに、載置板６がウェハ４の間に挿
入された状態で、可動腕７をわずかに上昇させたときに
は、ウェハ４の周縁部が収納溝１０の内面に接触するこ
とがあり、しかもウェハ４の下面と載置板６の上面との
間には空気層が介在するから、可動腕７を後退すると、
ウェハ４の周縁部と収納溝１０の内面との摩擦により、
ウェハ４が載置板６上で回転し、ウェハ４がキャリア本
体２内に残ることがあるので、ウェハ４を確実に移し換
えることができず、またウェハ４が載置板６から落下す
ることがあるので、ウェハ４が損傷するおそれがある。
この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、ウェハを確実に移し換えることができ、またウェハが
損傷するおそれがないウェハキャリア用治具枠およびウ
ェハ移換装置を提供することを目的とする。
、ウェハを確実に移し換えることができ、またウェハが
損傷するおそれがないウェハキャリア用治具枠およびウ
ェハ移換装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明においては。
ほぼ水平な状態でウェハキャリアに収納されたウェハを
他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置に使用
するウェハキャリア用治具枠において、底板と、上記底
板とほぼ直角に設けられた前板と、前板に設けられた開
口部と、上記前板に設けられかつ上記ウェハキャリアの
キャリア本体の開口部近傍に設けられた第１の嵌合手段
と嵌合すべき第２の嵌合手段とを設ける。
他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置に使用
するウェハキャリア用治具枠において、底板と、上記底
板とほぼ直角に設けられた前板と、前板に設けられた開
口部と、上記前板に設けられかつ上記ウェハキャリアの
キャリア本体の開口部近傍に設けられた第１の嵌合手段
と嵌合すべき第２の嵌合手段とを設ける。
また、上記目的を達成するため、この発明においては、
ほぼ水平な状態でウェハキャリアに収納されたウェハを
他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置におい
て、可動腕にロッドからなる複数の載置具を設ける。
ほぼ水平な状態でウェハキャリアに収納されたウェハを
他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置におい
て、可動腕にロッドからなる複数の載置具を設ける。
上記のウェハキャリア用治具枠においては、第１の嵌合
手段と第２の嵌合手段とを嵌合すれば。
手段と第２の嵌合手段とを嵌合すれば。
キャリア本体が変形したとしても、移換装置本体とウェ
ハとの相対位置が変化することはない。
ハとの相対位置が変化することはない。
また、上記のウェハ移換装置においては、可動腕にロッ
ドからなる複数の載置具を設けているから、ウェハの下
面と載置具との間に空気層が介在することはない。
ドからなる複数の載置具を設けているから、ウェハの下
面と載置具との間に空気層が介在することはない。
第１図はこの発明に係るウェハキャリア用治具枠を示す
斜視図、第２図は第１図に示したウェハキャリア用治具
枠に密閉型のウェハキャリアのキャリア本体を取り付け
た状態を示す斜視図、第３図はこの発明に係るウェハ移
換装置を示す概略斜視図、第４図は第３図に示したウェ
ハ移換装置の一部を示す斜視図である。図において、１
５はウェハキャリア用治具枠の底板、１３は底板１５と
ほぼ直角に設けられた前板、１４は前板１３に設けられ
た開口部、２５は前板１３の上部に設けられたネジ、１
２は前板１３に設けられた円柱突起で、円柱突起１２は
円形凹部１１と嵌合すべき位置に設けられている。２０
は移換装置本体、１６は移換装置本体２０に前進後退可
能かつ昇降可能に設けられた可動腕で、可動腕１６は開
動装置（図示せず）により駆動される。１７．１８は可
動腕１６に取り付けられた複数本の載置ロッドで、載置
ロッド１７．１８は断面形状が円形でありかつテフロン
等を被覆した直線ロッドからなる。
斜視図、第２図は第１図に示したウェハキャリア用治具
枠に密閉型のウェハキャリアのキャリア本体を取り付け
た状態を示す斜視図、第３図はこの発明に係るウェハ移
換装置を示す概略斜視図、第４図は第３図に示したウェ
ハ移換装置の一部を示す斜視図である。図において、１
５はウェハキャリア用治具枠の底板、１３は底板１５と
ほぼ直角に設けられた前板、１４は前板１３に設けられ
た開口部、２５は前板１３の上部に設けられたネジ、１
２は前板１３に設けられた円柱突起で、円柱突起１２は
円形凹部１１と嵌合すべき位置に設けられている。２０
は移換装置本体、１６は移換装置本体２０に前進後退可
能かつ昇降可能に設けられた可動腕で、可動腕１６は開
動装置（図示せず）により駆動される。１７．１８は可
動腕１６に取り付けられた複数本の載置ロッドで、載置
ロッド１７．１８は断面形状が円形でありかつテフロン
等を被覆した直線ロッドからなる。
■９は載置ロッド１７．１８の先端部に固定された橋渡
ロットで、橋渡ロッド１９は断面形状が円形でありかつ
テフロン等を被覆した直線ロッドからなる。そして、載
置ロッド１７．１８、橋渡ロッド１９で載置具２６を構
成しており、載置具２６のピッチは収納溝１ｏ、収納１
ｆ１８ａのピッチと等しい。２３は移換装置本体２０上
に設けられた枠体、２１は枠体２３の底板に設けられた
位置決め枠、２２は枠体２３の上板に設けられた位置決
め枠である。
ロットで、橋渡ロッド１９は断面形状が円形でありかつ
テフロン等を被覆した直線ロッドからなる。そして、載
置ロッド１７．１８、橋渡ロッド１９で載置具２６を構
成しており、載置具２６のピッチは収納溝１ｏ、収納１
ｆ１８ａのピッチと等しい。２３は移換装置本体２０上
に設けられた枠体、２１は枠体２３の底板に設けられた
位置決め枠、２２は枠体２３の上板に設けられた位置決
め枠である。
つぎに、このウェハキャリア用治具枠、ウェハ移換装置
を用いてウェハを移し換える場合について説明する。ま
ず、円柱突起１２を円形凹部１１に嵌合することにより
、ウェハキャリア用治具枠にキャリア本体２を取り付け
る。つぎに、キャリア本体２を取り付けたウェハキャリ
ア用治具枠を位置決め枠２１に合わせて位置決めする。
を用いてウェハを移し換える場合について説明する。ま
ず、円柱突起１２を円形凹部１１に嵌合することにより
、ウェハキャリア用治具枠にキャリア本体２を取り付け
る。つぎに、キャリア本体２を取り付けたウェハキャリ
ア用治具枠を位置決め枠２１に合わせて位置決めする。
つぎに、キャリア本体８を位置決め枠２２に合わせて位
置決めする。つぎに、可動腕１６を上昇させ、可動腕１
６をキャリア本体２の方向に前進させると。
置決めする。つぎに、可動腕１６を上昇させ、可動腕１
６をキャリア本体２の方向に前進させると。
第５図、第６図に示すように、載置具２６がウェハ４の
間に挿入され、この状態で可動腕１６をわずかに上昇さ
せたのち、可動腕１６を後退させると、ウェハ４がキャ
リア本体２内から取り出され。
間に挿入され、この状態で可動腕１６をわずかに上昇さ
せたのち、可動腕１６を後退させると、ウェハ４がキャ
リア本体２内から取り出され。
続いて可動腕１６を上昇させ、キャリア本体８の方向に
前進すると、ウェハ４が収納溝８ａ内に挿入され、この
状態で可動腕１６をわずかに下降させたのち、可動腕１
６を後退させると、ウェハ４がキャリア本体８内に収納
される。
前進すると、ウェハ４が収納溝８ａ内に挿入され、この
状態で可動腕１６をわずかに下降させたのち、可動腕１
６を後退させると、ウェハ４がキャリア本体８内に収納
される。
このように、円柱突起１２を円形凹部１１に嵌合するこ
とにより、ウェハキャリア用治具枠にキャリア本体２を
取り付ければ、キャリア本体２の突出部９が変形したと
しても、移換装置本体２゜とウェハ４との相対位置が変
化することはないから、可動腕１６をキャリア本体２の
方向に前進したときに、載置具２６の先端がウェハ４に
衝突することはないので５ウエハ４を確実に移し換える
ことができ、またウェハ４が損傷するおそれはない。ま
た、ウェハ移換装置においては、可動腕１６に載置ロッ
ド１７．１８、橋渡ロッド１９からなる複数の載置具２
６を設けているから、ウェハ４の下面と載置具２６との
間に空気層が介在することはない。したがって、可動腕
１６を後退させたときに、ウェハ４の周縁部と収納溝１
０の内面とが接触したとしても、ウェハ４が載置具２６
上で回転することがなく、ウェハ４がキャリア本体２内
に残ることはないから、ウェハ４を確実に移し換えるこ
とができ、またウェハ４が載置具２６から落下すること
がないので、ウェハ４が損傷するおそれはなく、しかも
可動腕１６に載置具２６を精度良く取り付けることがで
きる。さらに、載置具２６に橋渡ロッド１９を設けてい
るから、ウェハ４がキャリア本体２内に残るのを確実に
防止することができ、またウェハ４が載置具２６から落
下するのを確実に防止することができる。また、載置ロ
ッド１７．１８、橋渡ロッド１９が直線ロットからなる
から、可動腕１６に載置具２６を極めて精度良く取り付
けることができる。
とにより、ウェハキャリア用治具枠にキャリア本体２を
取り付ければ、キャリア本体２の突出部９が変形したと
しても、移換装置本体２゜とウェハ４との相対位置が変
化することはないから、可動腕１６をキャリア本体２の
方向に前進したときに、載置具２６の先端がウェハ４に
衝突することはないので５ウエハ４を確実に移し換える
ことができ、またウェハ４が損傷するおそれはない。ま
た、ウェハ移換装置においては、可動腕１６に載置ロッ
ド１７．１８、橋渡ロッド１９からなる複数の載置具２
６を設けているから、ウェハ４の下面と載置具２６との
間に空気層が介在することはない。したがって、可動腕
１６を後退させたときに、ウェハ４の周縁部と収納溝１
０の内面とが接触したとしても、ウェハ４が載置具２６
上で回転することがなく、ウェハ４がキャリア本体２内
に残ることはないから、ウェハ４を確実に移し換えるこ
とができ、またウェハ４が載置具２６から落下すること
がないので、ウェハ４が損傷するおそれはなく、しかも
可動腕１６に載置具２６を精度良く取り付けることがで
きる。さらに、載置具２６に橋渡ロッド１９を設けてい
るから、ウェハ４がキャリア本体２内に残るのを確実に
防止することができ、またウェハ４が載置具２６から落
下するのを確実に防止することができる。また、載置ロ
ッド１７．１８、橋渡ロッド１９が直線ロットからなる
から、可動腕１６に載置具２６を極めて精度良く取り付
けることができる。
なお、上述実施例においては、第１の嵌合手段を円形凹
部１１とし、第２の嵌合手段を円柱突起１２としたが、
第１の嵌合手段を突起とし、第２の嵌合手段を凹部とし
てもよい。また、上述実施例においては、載置ロッド１
７．１８、橋渡ロッド１９からなる複数の載置具２６を
用いたが、１本のロットをＵ字形に曲げた載置具を用い
てもよい。さらに、上述実施例においては、断面形状が
円形である直線ロッドからなる載置ロッド１７゜１８、
橋渡ロッド１９を用いたが、断面形状が矩形である直線
ロッドからなる載置ロッド、橋渡ロットを用いてもよい
。また、載置板６の上面に溝を設けること、載置板６に
複数の穴を設けることが考えられる。
部１１とし、第２の嵌合手段を円柱突起１２としたが、
第１の嵌合手段を突起とし、第２の嵌合手段を凹部とし
てもよい。また、上述実施例においては、載置ロッド１
７．１８、橋渡ロッド１９からなる複数の載置具２６を
用いたが、１本のロットをＵ字形に曲げた載置具を用い
てもよい。さらに、上述実施例においては、断面形状が
円形である直線ロッドからなる載置ロッド１７゜１８、
橋渡ロッド１９を用いたが、断面形状が矩形である直線
ロッドからなる載置ロッド、橋渡ロットを用いてもよい
。また、載置板６の上面に溝を設けること、載置板６に
複数の穴を設けることが考えられる。
以上説明したように、この発明に係るウェハキャリア用
治具枠においては、第１の嵌合手段と第２の嵌合手段と
を嵌合すれば、キャリア本体が変形したとしても、移換
装置本体とウェハとの相対位置が変化することはないか
ら、可動腕をキャリア本体の方向に前進したときに、載
置具の先端がウェハに衝突することはないので、ウェハ
を確実に移し換えることができ、またウェハが損傷する
おそれはない。
治具枠においては、第１の嵌合手段と第２の嵌合手段と
を嵌合すれば、キャリア本体が変形したとしても、移換
装置本体とウェハとの相対位置が変化することはないか
ら、可動腕をキャリア本体の方向に前進したときに、載
置具の先端がウェハに衝突することはないので、ウェハ
を確実に移し換えることができ、またウェハが損傷する
おそれはない。
また、この発明に係るウェハ移換装置においては、可動
腕にロッドからなる複数の載置具を設けているから、ウ
ェハの下面と載置具との間に空気層が介在することはな
いので、可動腕を後退させたときに、ウェハの周縁部と
キャリア本体の内面とが接触したとしても、ウェハが載
置具上で回転することがなく、ウェハがキャリア本体内
に残ることはないから、ウェハを確実に移し換えること
ができ、またウェハが載置具から落下することがないの
で、ウェハが損傷するおそれはない。
腕にロッドからなる複数の載置具を設けているから、ウ
ェハの下面と載置具との間に空気層が介在することはな
いので、可動腕を後退させたときに、ウェハの周縁部と
キャリア本体の内面とが接触したとしても、ウェハが載
置具上で回転することがなく、ウェハがキャリア本体内
に残ることはないから、ウェハを確実に移し換えること
ができ、またウェハが載置具から落下することがないの
で、ウェハが損傷するおそれはない。
このように、この発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明に係るウェハキャリア用治具枠を示す
斜視図、第２図は第１図に示したウェハキャリア用治具
枠に密閉型のウェハキャリアのキャリア本体を取り付け
た状態を示す斜視図、第３図はこの発明に係るウェハ移
換装置を示す概略斜視図、第４図は第３図に示したウェ
ハ移換装置の一部を示す斜視図、第５図、第６図は第３
図に示したウェハ移換装置の動作説明図、第７図は密閉
型のウェハキャリアを示す斜視図、第８図は処理用のウ
ェハキャリアを示す斜視図、第９図は従来のウェハ移換
装置を示す概略斜視図である。 ２・・・キャリア本体 ３・開口部４・・ウェハ
１１・・・円形凹部１２・・・円柱突起
１３・・・前板１４・・開口部 １５・・・
底板１６・・可動腕 １７．１８・・・載置ロ
ッド１９・・橋渡ロッド ２６・・・載置具第１図 第２図 代理人 弁理士 中 村 純之助 １１−−−日形凹部 ＋５−−−一底板 第３ 図 第５ 図 第６ 図 第４ 図
斜視図、第２図は第１図に示したウェハキャリア用治具
枠に密閉型のウェハキャリアのキャリア本体を取り付け
た状態を示す斜視図、第３図はこの発明に係るウェハ移
換装置を示す概略斜視図、第４図は第３図に示したウェ
ハ移換装置の一部を示す斜視図、第５図、第６図は第３
図に示したウェハ移換装置の動作説明図、第７図は密閉
型のウェハキャリアを示す斜視図、第８図は処理用のウ
ェハキャリアを示す斜視図、第９図は従来のウェハ移換
装置を示す概略斜視図である。 ２・・・キャリア本体 ３・開口部４・・ウェハ
１１・・・円形凹部１２・・・円柱突起
１３・・・前板１４・・開口部 １５・・・
底板１６・・可動腕 １７．１８・・・載置ロ
ッド１９・・橋渡ロッド ２６・・・載置具第１図 第２図 代理人 弁理士 中 村 純之助 １１−−−日形凹部 ＋５−−−一底板 第３ 図 第５ 図 第６ 図 第４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ほぼ水平な状態でウェハキャリアに収納されたウェ
ハを他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置に
使用するウェハキャリア用治具枠において、底板と、上
記底板とほぼ直角に設けられた前板と、前板に設けられ
た開口部と、上記前板に設けられかつ上記ウェハキャリ
アのキャリア本体の開口部近傍に設けられた第１の嵌合
手段と嵌合すべき第２の嵌合手段とを具備することを特
徴とするウェハキャリア用治具枠。 ２、ほぼ水平な状態でウェハキャリアに収納されたウェ
ハを他のウェハキャリアに移し換えるウェハ移換装置に
おいて、可動腕にロッドからなる複数の載置具を設けた
ことを特徴とするウェハ移換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327780A JPH02174244A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327780A JPH02174244A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02174244A true JPH02174244A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18202898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63327780A Pending JPH02174244A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02174244A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5725101A (en) * | 1995-06-26 | 1998-03-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
| US5782361A (en) * | 1995-06-26 | 1998-07-21 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
| KR100365475B1 (ko) * | 2000-07-18 | 2002-12-18 | 메카텍스 (주) | 반도체 디바이스 이송장치 |
| US8297319B2 (en) | 2006-09-14 | 2012-10-30 | Brooks Automation, Inc. | Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport |
| JP2012528479A (ja) * | 2009-05-29 | 2012-11-12 | シュミット テクノロジー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 複数の平坦基板の積み重ね、または輸送装置および方法 |
| US9105673B2 (en) | 2007-05-09 | 2015-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP63327780A patent/JPH02174244A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5725101A (en) * | 1995-06-26 | 1998-03-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
| US5782361A (en) * | 1995-06-26 | 1998-07-21 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
| KR100365475B1 (ko) * | 2000-07-18 | 2002-12-18 | 메카텍스 (주) | 반도체 디바이스 이송장치 |
| US8297319B2 (en) | 2006-09-14 | 2012-10-30 | Brooks Automation, Inc. | Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport |
| US9105673B2 (en) | 2007-05-09 | 2015-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
| US9978623B2 (en) | 2007-05-09 | 2018-05-22 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
| US11201070B2 (en) | 2007-05-17 | 2021-12-14 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
| JP2012528479A (ja) * | 2009-05-29 | 2012-11-12 | シュミット テクノロジー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 複数の平坦基板の積み重ね、または輸送装置および方法 |
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