JPH0217554U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0217554U JPH0217554U JP9480688U JP9480688U JPH0217554U JP H0217554 U JPH0217554 U JP H0217554U JP 9480688 U JP9480688 U JP 9480688U JP 9480688 U JP9480688 U JP 9480688U JP H0217554 U JPH0217554 U JP H0217554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- tray body
- longitudinal direction
- reinforcing plate
- end surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案のＣＶＤトレーの一実施例を
示す側面図、第２図ないし第７図は従来のＣＶＤ
トレーの一例を示すものであり、第２図はＣＶＤ
トレーの平面図、第３図は第２図における−
線視図、第４図は第２図における矢視図、第５
図は第２図における−線視断面図、第６図は
第２図における−線視断面図、第７図は第２
図における−線視断面図である。 １……トレー本体、７……載置面、１０……補
強板、２０，２１，２２……切欠部。
示す側面図、第２図ないし第７図は従来のＣＶＤ
トレーの一例を示すものであり、第２図はＣＶＤ
トレーの平面図、第３図は第２図における−
線視図、第４図は第２図における矢視図、第５
図は第２図における−線視断面図、第６図は
第２図における−線視断面図、第７図は第２
図における−線視断面図である。 １……トレー本体、７……載置面、１０……補
強板、２０，２１，２２……切欠部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面にウエハが載置される載置面を有する略長
方形薄板状をなすトレー本体の長手方向に沿う縁
部に、上記トレー本体の下面から突出しかつトレ
ー本体の長手方向に沿つて延びる補強板が形成さ
れたＣＶＤトレーにおいて、 上記補強板の下端面に、この下端面を切り欠い
てなる切欠部を形成したことを特徴とするＣＶＤ
トレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9480688U JPH065417Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Ｃｖｄトレー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9480688U JPH065417Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Ｃｖｄトレー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217554U true JPH0217554U (ja) | 1990-02-05 |
| JPH065417Y2 JPH065417Y2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=31319387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9480688U Expired - Lifetime JPH065417Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Ｃｖｄトレー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065417Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-18 JP JP9480688U patent/JPH065417Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH065417Y2 (ja) | 1994-02-09 |