JPH02175631A - 被層付着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガラス被覆方法、詳細には少なくとも２つのガ
ス状反応剤が移動する熱いガラスリボン上に被覆を作る
ために互に反応して或るガラス被覆方法に関する。

建築用に望ましい性質をもつ被層は熱いガラス面上で分
解するガス状反応剤を用いて作ることは既知である。太
陽制御被層として有用なシリコン被層は熱いガラス面上
でシラン含有ガスを熱分解して作っていたが、他の適当
なガス状反応剤から他の太陽制御、低輻射能（高赤外線
反射）被層を作るための多くの提案があった。しかし所
要厚さの十分均一な被層を商業生産することば困難であ
った。

英国特許明細書第１４５４３７７号には、少なくとも１
つの被覆反応剤を含むガス状混合物を被覆すべき基板に
対してノズル出口で少なくとも２５００のレイノルズ数
をもつノズルを通して送出する方法が記載されている。

キャリヤガス中の被覆反応剤は被覆すべき基板リボンの
幅を横切って延びる細長いノズルを通って基板面に対し
て９０°の角度で基板上へ差し向け、使用済みガスはノ
ズル両側の真空フードによって抜き取る。この方法では
被覆ガスはガラス面と平行に通過せず、熱いガラス面に
達する前に互に反応し易い反応剤混合物を使用するため
の特別の設備をもたない。

英国特許第１５０７９９６号の方法では、均一被覆は層
流状態でガラス面と平行にガスを流すことによって反応
ガスから付着させる。この場合も、熱いガラス面に達す
る前に互に反応し易い反応剤混合物を使用するための特
別の設備をもたない。

英国特許第１５１６０３２号では、液状又はガス状の１
つ以上の被覆剤を含む流体媒体を使用するガラス被覆方
法が記載されており、前記被覆剤は１つ又は複数の流れ
として熱いガラスに差し向けられ、前記流れの少なくと
も１つはリボン移動方向に或る速度成分をもちかつ６０
°以下の角度（又は平均角度）をなしてリボン面に対し
て傾いている。この方法の使用すれば、結晶配列が規則
正しい均質組織のガラス接触層を特徴とする被層を提供
すると記載している。２つ以上の成分が互に反応する場
合、これらの成分は隣接したノズルを通して分離した流
れとして供給され、各ノズルはガラス面に対して或る鋭
角をなして反応剤の流れを供給するように配列し、反応
剤がガラスの近くで互に接触するようになし、又は１個
のノズルを使用して第一反応剤の流れを供給し、その間
、第二の反応剤として働く空気流を第一流れの運動量と
傾斜によって反応域へ流すようになす。排気ダクトを被
覆域の下流側に備えて被覆域からガスを抜き取り、フー
ドを備えてガラス面と共に、ガラス上に流体流れが衝突
する領域から延びる出る流路を画成する。

英国特許明細書第１５２４３２６号では、被覆すべき基
板に沿ってガス状媒体を流し、この媒体はガラス面によ
り一部画成される流路に沿って実質上乱れ無しの層とし
て流される。流路は排気ダクトへ至り、このダクトを経
て残留ガスがガラスから引き取られる。ガス状反応剤は
英国特許明細書第１５１６０３２号に記載する如く、ガ
ラスに対して或る鋭角をなす幾つかの流れとして流路内
へ導入する。

英国特許明細書第ＧＢ２０２６４５４Ｂ号は特に熱いガ
ラス面上に酸化スズ被層を形成する方法に関する。

この方法はガス状媒体を使用し、この媒体は少なくとも
２．５　Ｘｌ０−’ａｔｍの分圧に相当する濃度の四塩
化第二スズと少なくともｌ０ＸＩＯ−’の分圧に相当す
る濃度の水蒸気を含む。好適実施例では、四塩化第二ス
ズ蒸気を含む窒素キャリヤガスの流れを被覆すべきガラ
ス面に沿って流し、水蒸気を含む空気流を前記流れに送
り込み、その送り込みの位置はそれが前記面に沿って流
れる位置とする。フッ化水素の如きドーピング剤は基板
面に個別に又は湿った空気と混ぜて供給することができ
る。ガス流は好適にはガラス面に４５°以下の鋭角で供
給し、所定の流路に沿って実質上乱れ無しの層としてガ
ラスに沿って流し、前記流路はガラス面により一部画成
されかつ残留ガスをガラスから引き取る排気ダクトへ通
じるものである。

英国特許明細書第ＧＢ２０４４１３７Ａ号には、被覆す
べき熱いガラス面上にガス状反応剤の流れを差し向ける
ノズルを記載している。使用する被覆ガス、例えば、四
塩化第二スズと水蒸気の早すぎる反応を阻止するため、
ノズルは３つの隣接したジェットダクトを含み、各ダク
トは直線状スロットで構成した排気開口をもつ。ジェッ
トダクトは直線状スロットと平行に並んで配置し、横壁
は３つの全ダクトに共通の１つの仮想線に向かって収斂
するダクトを画成する。使用に際して、ノズルはスロッ
トが被覆すべき熱いガラスリボンを横切って延びるよう
に配置すると共に、前記仮想線を実質上ガラス平面内に
配置する。反応剤の個別の層流はダクトから流出し、前
記仮想線に沿ってガラス上に衝突する。ノズルとガラス
間の距離は実際上は僅かに減らしてガス流がガラスに衝
突して混合を促進する比較的機しい局部的乱れを生せし
める。

残留ガラスはノズルの上流側と下流側で排気ダクトによ
って被覆域から引き取られる。

英国特許明細書第ＧＢ２１１３１２ＯＢ号には前記第Ｇ
Ｂ２０４４１３７Ａ号に記載したノズルの変更例が記載
されており、この場合にはガラスに隣接したノズル面は
ガスがノズルから圧倒的に下流方向に流れるような形状
に作られる。ジェットダクトを出るとき層状をなすガス
流はガラス移動方向にかつ実質上ガラスと平行に逸らさ
れる。従って、ガス流は前記第ＧＢ２０８４１３７Ａ号
の方法よりはずっと穏やかにガラスを打ち、乱れの度合
いは低下し、このため在来装置では時々起こっていた被
覆の不足を減らす助けとなると言われる。

前記特許明細書第ＧＢ２０４４１３７＾号と同じ発明者
の、コーロッパ特許明細書第ＥＰＯＯ６０２２１号に記
載された別の方法では、被覆ガス流は基板と接触する前
に互に合体する。これはガス流を異なった速度で移動さ
せること又はそれらを３５°より大きい角度でお互に向
かって送ること又は上記両方法の組合せによって行い、
衝撃によりもたらされる攪拌効果により殆ど瞬間的に混
合させられる。上記実施例では、反応ガスはガラス面に
密接して終端する１組の平行ノズルを通して送出し、各
ノズルは第一反応ガス用の中心パイプと第二反応ガス用
の同軸パイプからなる。パイプ内のそらせ板が第一と第
二の反応剤に逆の回転運動を与え、従って、ガス流はノ
ズル口で出会い、ガラスに接触する前に流れは実質上瞬
間的に混合する。各ノズルは更に、反応域から使用済み
反応ガスを除去するために第一の２つのパイプと同軸の
第三パイプをもつ。

英国特許出願第ＧＢ２１８４７４８Ａ号に記載した他の
方法では、先駆物質と酸化性ガスが被覆チャンバの上流
端でガラスの十分上方の混合域に導入される。

熱を混合域に供給し、被覆先駆物質と酸化性ガスは混合
域で完全に混合されると共に、その間基板に対し被層形
成が実質上均質な蒸気混合物から始まる高さでさらされ
る。次いで混合物はガラス上面と接触して被覆チャンバ
を通って連続的に流される。屋根構造は下流方向に行く
につれて高さを減らして被覆チャンバに沿う蒸気流を収
束するのが有利である。好適実施例では屋根構造はガラ
ス上の下流側屋根部分に至る曲線に従って下がる。

このようにすれば被覆チャンバ内で先駆物質含有蒸気の
円滑な通常の下流に向かう流れを促進することが分かっ
た。これは作った被層の均一性に有利である。好適には
被覆チャンバは少なくとも５ｍの長さをもち、かかる長
い被覆チャンバの使用は新しく形成したガラスリボンの
如き急速に移動する基板上に比較的厚い被層を作るとき
には被覆歩留りを増すという特別の利点がある。

上記種々の提案があったにも拘らず、移動するガラスリ
ボン上に２００　ｎｍ以上の厚さの被層を作るために商
業的に使われるガスを用いる方法には誰も気付かなかっ
た。また閉塞し易い複数のノズルを必要とせず、長い被
覆チャンバを必要とせずに熱い浮きガラスリボン上にガ
ス状反応剤の混合物から２００ｎｍ以上の厚さをもつ実
質上均一な被覆を作る簡単な方法が必要とされていた。

本発明者は反応ガス混合物を乱流としてガラス移動方向
と平行な通常方向に熱いガラス面に沿って流す方法によ
って比較的厚い被層（２００ｎｍプラス）を比較的短い
被覆チャンバで有利に作り得ることを見出した。

本発明によれば、互に反応する少なくとも２つのガス反
応剤から移動する熱いガラスリボン上に被層を付着する
方法において、（ａ）ガラス移動方向と実質上平行な第
一の通常方向に熱いガラス面に沿う第一反応ガスの第一
の流れを作り、（ｂ）前記第一の通常方向とガラス面に
対して或る角度をなす第二の通常方向に乱流として第二
反応ガスの第二の流れを作り、（ｃ）前記角度で前記第
一の流れ内に前記第二の流れを導入し、その間前記第一
流れ内において前記第二反応ガスの上流向きの流れを無
くなし、（ｄ）被覆域を通る乱流として前記第一の通常
方向に熱いガラス面に沿って前記結合されたガス流を差
し向けることを含むことを特徴とする被層付着方法が提
供される。

被覆域から出る使用済み被覆ガスは好適には熱いガラス
から抜き取られる。

第一と第二の流れは各々１つ以上の被覆反応剤とキャリ
ヤガス例えば、窒素又は空気を含むが、第−又は第二の
流れ内に互に反応してガラスや被覆装置上にいやな固体
付着物を作るガスを混ぜないようにするのが明らかに望
ましい。

第二の流れは乱流として与える。このことはガラスと既
に接触している第一流れと十分な混合度で混合させるの
に必要だからである。第二流れを乱流とすることにより
２つの流れは象、速に混ざり、下記の如く、短い被覆域
で十分均一な被層を付着させることができる。

本文中、パ乱流゛′は時間と空間の両者及び速度と方向
において無作為の変動を平均流れ状態に重ねた流れを意
味する。所要の乱流は十分高いレイノルズ数（一般に少
なくとも２５００　）で作動させること又は幾分低いレ
イノルズ数で作動させかつ流れに十分な上流側の動揺を
受けさせて乱れを与えることによって起こすことができ
る。２５００以下のレイノルズ数も用いてよいが、もし
流れが十分な上流側動揺を受ければ、所要の乱流を得る
ためには少なくとも１７００のレイノルズ数を一般に必
要とする。しかしもし十分な剪断を与えれば、たとえ更
に低いレイノルズ数でも乱流を作ることができる。

前記結合された流れは普通は少なくとも２５００のレイ
ノルズ数、好適には少なくとも６０００のレイノルズ数
をもつ。

レイノルズ数Ｒは無次元量である。ダクトを流れるガス
では、それは次式から計算できる。

レイノルズ数−Ｗ・σ・ ここで、Ｗ−ダクト内ガスの流速 σ−ダクト内ガスの密度 η−ダクト内を流れるガスの動速度 し−ダクトの水力直径− ４×ダクト横断面積 ダクトの濡れ縁 第一流れは乱流又は層流とする。それは好適にはガラス
移動方向と同流とし、一般にはガラス移動方向と実質上
平行な通常方向とするが、ガラスに向かって幾分収斂さ
せるか又は発散させてもよい。更に、前記結合流はガラ
スと正確に平行とする必要はなく、例えば、ガラスに沿
う平均流れはもしガラス移動方向に実質上同流か又は逆
流でありかつ被覆域でガラスと接触しておれば、ガラス
に向かって幾分収斂させるか又はガラスから幾分発散し
て離してもよい。

第一反応ガスの第一流中における第二反応ガスの上流向
き流れは実質上排除すべきである。かかる上流向き流れ
は、第二反応ガス流を第一反応ガス流に導入する場所の
上流側で被覆材料の不均一な局部的付着を起こし易い。

従って、出来る被層に著しい不均一性をもたらす被覆材
料の局部的付着を阻止するために、かかる上流向き流れ
は実質上無くする必要がある。

第二反応ガスが第一流れに入る上流向き流れを実質上無
くするために、第二流れは好適には第一流れに対して約
９０°以下の角度に形成して第一流れに導入する。実際
には、約９０°の角度を使うのが好適である。というの
は、この角度を使うと第二の流れを運ぶダクトの出口に
付着する被覆材料が最少となると共に第一の流れに入る
第二反応ガスの上流向き流れを阻止するからである。

ロールセル又はうずの如き流れ内の大形構造特性は被層
に不均一性を与え易く、それ故、回避しなければならな
い。実際上、乱流の使用はかかる特性を緩和するようで
ある。前記特性は更に、第一反応ガス流に導入される第
二反応ガス流の速度を増すことによって、及び／又は第
二流れの速度より低い結合流の速度で作業することによ
って減らすことができ、この場合第二流れのガスは熱い
ガラス面に沿って送られるとき速度が遅くなる。

他方、小形構造特性、例えば、被層厚さの大部分が付着
する被覆域部分の長さに比して小さい（例えば、２０％
以下、好適には１０％以下）最大寸法をもつ特性は均一
度からの逸脱ががまんできない程にならずに許容範囲内
となる。従って、乱流に不可避の小形特性は許容範囲内
とすることができる。

本発明方法は例えば、第一反応ガスとして塩化第二スズ
を、第二反応ガスとして水蒸気を使う赤外線反射酸化ス
ズ被覆を作るのに特に有用である。

被覆の赤外線反射性を強めるためにアンチモン又はフッ
素の供給源の如きドーパントを反応ガスに含めることが
できる。酸化チタン又は窒化チタンの如き他の被層も本
発明方法によって付着することができる。酸化チタン被
層を付着するためには四塩化チタンを第一の反応ガスと
して使用し、水蒸気は第二の反応ガスとして使用する。

窒化チタン被層を得るためには四塩化チタンを第一反応
ガスとして使用し、アンモニアを第二反応ガスとして使
用する。

本発明を図示の実施例につき説明する。

（実施例） 図において、同じ数字は同じ部品を示し、本文中で使用
する゛′上流側゛′と″下流側′”は被覆チャンバを通
る反応ガスの流れ方向に対して用いる。

好適には、実施例の説明に見られるように前記流れ方向
はガラス移動方向と同流であるが、必ずしもこれに限定
されず、反応ガスの流れ方向はガラス移動方向に対して
逆流としても有利に実施できる。

第１図、第２図に示すように、被覆装置１はガラスリボ
ン１２の上に下げられ、ガラスリボンは左から右ヘロー
ラ（図示せず）上を進む。

該装置は水平板３を含むキャリジ２から下げられる。水
平板の上面は４で示す前部取付ブラケットと５で示す後
部取付ブラケットを溶接されている。典型的には３つの
前部取付ブラケットと３つの後部取付ブラケットを被覆
装置の幅に沿って設ける。その場合、１つのブラケット
を中心に、他の２つを該装置の側面近くに設ける。各取
付ブラケット４．５は夫々の水冷ビーム（図示せず）か
ら下げられ、前記ビームは被覆するガラスリボンの幅を
横切って延びる。

該装置の下部は幾つかの所定形状に作られたカーボンブ
ロック３２．３４．３６．３８．４０．４２を含み、前
記ブロックは被覆するガラス表面の幅に等しい長さにわ
たり横断して延びる。カーボンブロックはガラス表面と
共に段付の天井９ａ、９ｂをもつ被覆チャンバ１０を画
成し、第二人ロチヤンネルの上流側の被覆チャンバ１０
の天井９ａは第二人ロチヤンネル１５の下流側の被覆チ
ャンバの天井９ｂより高い。前記カーボンブロックは第
一反応ガスを被覆チャンバに導入するための垂直の第一
人ロチヤンネル１４と、第二の反応ガスを被覆チャンバ
に導入するための垂直の第二人ロチヤンネル１５と、前
記第一と第二の人口チャンネル間の被覆チャンバ内の流
路１６と、被覆チャンバから使用済みガスを除去するた
めの排気チャンネル１８及び前記第二人ロチヤンネル１
５と排気チャンネル１８の間の被覆チャンバ１０中の流
路により構成された被覆域１７とを画成する。

各カーボンブロックは水平板部材４４の下に下げる。ブ
ロックは冷却水の如き熱搬送流体用のダクト（図示せず
）を備え、該装置の使用に際して、カーボンブロックの
温度を前記ダクトを通過する冷却水により調整する。

被覆チャンバ１０は被覆すべきガラスリボン１２を横切
って延びる開放面をもつ。被覆チャンバの上流端にカー
ボンブロック３２．３４は前記垂直の第一人ロチヤンネ
ル１４を画成し、これを通して第一ガス反応剤を前記チ
ャンバに導入する。第一人ロチヤンネルの下流側におい
て、第二の垂直入口チャンネル１５は第二ガス反応剤を
被覆チャンバに導入するためにカーボンブロック３４と
３６の間に画成される。

被覆チャンバの下流端において、カーボンブロック４０
．４２は使用済みガスを被覆チャンバから除去するため
の排気チャンネル１８を画成する。

第一反応ガスは扇尾形分配装置１９とガス流収束装置２
２を通してガス供給ダクト（図示せず）から第−人口チ
ャンネル１４へ送られる。雇用形分配装置は逆層形に前
壁２０と後壁２１の間に画成され、前壁と後壁は下方向
にお互いの方に向かって収斂し、被覆すべきガラスリボ
ンの幅を横切って延びる狭いスロット４８を雇用形部分
の底に作る。

雇用形部分１９の基底部のスロットから出る第一反応ガ
スは雇用形部分の下に設けたガス流収束装置２２を通過
する。

ガス流収束装置２２は第３図に詳細に示され、これは一
対の対向した細長い壁１２０．１２２及び１２１゜１２
３を含み、前記壁は細長いチャンバを画成する。

細長い壁１２０．１２２及び１２Ｌ　１２３は被覆する
ガラスリボンを横断して延び、壁１２０．１２１は上流
側壁であり、壁１２２．１２３は下流側壁である。対向
した端壁１２６は細長い壁１２４の各端に備え、各端壁
１２６はガラスリボンの移動方向と平行に配置される。

ガス流収束装置２２の入口端にある人口収束部１２７は
チャンバ１２４を横切って延びる細長い入口板部材１２
８を含む。入口板部材１２８は対向する水平板の対１３
０．１３２の間に密封固定する。各板の対１３０、１３
２は例えば、溶接により夫々の細長い壁１２０、１２２
へまた雇用形分配装置１９へ取付けられる。

各対の板１３０．１３２はねじ山付連結具１３４により
しっかり連結される。ガスケット（図示せず）は各対の
板１３０．１３２と入口板部材１２８の間に配置する。

穴１３６の列を入口板部材１２８の縦に沿って設け、前
記穴１３６はガス流収束装置の人口端をチャンバ１２４
の残部に連絡させる。前記穴１３６は円形孔であり、好
適には２〜１０ｍｍの直径をもつ。好適実施例では、穴
１３６は４　＋ｎｎ＋の直径をもち、中心間隔は２０ｍ
ｍとする。穴１３６の列は細長いチャンバ１２４の上流
側に配置し、即ち、穴１３６の列はチャンバ１２４の下
流側壁よりも上流側壁１２０に近い。

ガス流収束装置２２の出口１１０に隣接して出口収束装
置１３８を配置する。出口収束装置１３８は入口収束装
置１２７と実質上同じ構造をもち、出口の細長い板部材
１４０を含み、これは２つの対向する板１４２、１４４
の対の間に密封固定し、前記板１４２．１４４の対の各
々の上部板は例えば、溶接に゛より夫々の細長い壁１２
Ｌ　１２３に連結される。板１４２．１４４はガスケッ
ト（図示せず）により出口板部材１４０から分離する。

板１４２．１４４はねし山付連結具１４６によりしっか
り連結し、前記連結具は板１４２．１４４を、従ってガ
ス流収束装置２２を板４４にしっかり取付け、この板か
らガスケットブロック３２．３４を下げる。

出口板部材１４０は孔１５２の列を備え、前記孔は好適
には２〜１０　ｍｍの直径をもち、好適実施例では４ｍ
ｍ直径と１０ｍｍの中心間隔をもつ。孔１５２の列は細
長いチャンバ１２４の上流側に配置する。

ガス流そらせ装置１５４を出口板部材１４０の下でガス
流収束装置２２の出口１１０に取付ける。ガス流そらせ
装置１５４は細長いＬ形部材１５６を含み、この部材は
フランジ１４２の１つと一体をなすと共に孔１５２に隣
接配置する。Ｌ形部材１５６は出口板部材１４０に向か
って上方へ延びてそれらの間に間隙１６０を作り、孔１
５２からきた反応ガスがＬ形部材１５６の水平アーム１
６２によりそらされた後前記間隙を通過しなければなら
ないようになす。

ガス流そらせ装置１５４の目的は起こるかもしれないガ
ス流の局部的増大を防止することにある。

ガス流は板部材１４０の下において出口板部材１４０中
の名札１５２の直ぐ近くで激しくなる傾向となる。

ガス流そらせ装置１５４の存在により局部的に増大する
これらの流れの強さが平等にされる。場合によっては、
本発明のガス流収束装置からガス流そらせ装Ｗ１５４を
省いてもよい。

中間収束部１６４は入口収束装Ｗ１２７と出口収束部１
３８の間に配置する。中間収束部１６４は入口収束装置
１２７と同じ構造をもち、かつ孔１６８の列をもつ中間
の細長い板部材１６６を含む。中間板部材１６６は対向
する対の水平板１７０．１７２の間に密封固定する。こ
れらの板は例えば、溶接により細長い壁１２０；　１２
１及び１２２．１２３に夫々の取付ける。ガスケット（
図示せず）は板１７０．１７２と中間板部材１６６の間
に配置し、板１７０．１７２はねじ山付連結具１７４に
よりしっかり連結する。中間板部材１６６の孔１６８の
列は入口及び出口板部材１２８．１４０とは異なり、細
長いチャンバ１２４の下流側に配置される。

即ち、孔１６８の列はチャンバ１２４の上流側壁１２０
１２１よりも下流側壁１２２．１２３へ近い。この配列
の結果、隣接した細長い板部材の孔列は互いに整列しな
くなる。

第二の反応ガスは鳥屋形分配装置１９と同じ構造の第二
の鳥屋形分配装置２４を経て、次いでガス流収束装置２
２と同じ構造のガス流収束装置２５を経て第二のガス供
給ダクト（図示せず）から第二の入口チャンネル１５へ
供給される。

排出チャンバ１８から出る排気ガスはスペーサユニット
５２中のチャンネルを通り、次いで逆扇形の前壁２７と
後壁２８を含む排気扇尾形部分２６へ入る。

排気扇尾形部分は排気ガス、不反応ガス及びキャリヤガ
スを排気ダクト（図示せず）へ運ぶ。

第一人ロチヤンネル１４と第二人ロチヤンネル１５を画
成するカーボンブロック３２．３４．３６の夫々の高さ
は適切に選択して、被覆チャンバ１０の天井９ａ、９ｂ
が第二人ロチヤンネル１５と被覆チャンバの接合部に段
付配列をもつようになし、第二人ロチヤンネル１５の上
流側のチャンバ１０の天井９ａは第二人ロチヤンネル１
５の下流側の被覆チャンバの天井９ｂより高いレベルに
あり、第１図に示すように、天井を通る縦断面の描く線
は不連続で、段付配列をなす。従って、ブロック３６の
底はブロック３４の底よりｉｏａｍ低く選択する。この
結果、第二人ロチヤンネルの上流側壁５４の基底部は第
二人ロチヤンネル１５の下流側壁５６の基底部より１０
ｍｍ高くなり、段付輪郭をもつ入口スロット５８が出来
る。

この段付人口スロット５８は入口スロット５８の付近で
第二人ロチヤンネル１５の側壁に付着される固体の被覆
材料の量を最少となすことが分かる。カーボンブロック
３６の上流側の下部かとは凸状曲線状（図示せず）に作
られ、例えば、１０ｍｍ高さの段部をもつ段付人口スロ
ット５８では１０ｍｍの曲率半径をもつ。

使用に際して、本発明の被覆装置は左から右ヘローラ上
を進むガラスリボン１２の上方に下げられる。被覆装置
はガラスリボンの上方の所定高さに下げられ、該装置の
下流側端のカーボンブロック４２が被覆すべきガラスリ
ボン表面の上方的１０ｍｍ程度の高さに保たれるように
なす。一般にキャリヤガスに希釈される第一反応ガスは
鳥屋形分配装置１９とガス分配装置２２へ送られ、前記
ガス分配装置は被覆すべきガラスの幅を横切ってガスを
均一に分配する。ガス収束装置２２から出るガスは第一
人ロチヤンネル１４を通り、被覆チャンバ１０に入り、
チャンバ１０中の流路６に沿ってガラスと平行な第一の
通常方向に進み第二人ロチヤンネル１５の基底部へ向か
う。通常はキャリヤガス中に希釈される第二反応ガスは
鳥屋形分配装置２４とガス流収束装置２５へ送られ、ガ
ラスの幅全体にわたり第二反応剤を均一に分配するよう
になす。

キャリヤガスを含む第二反応ガスは十分な速度で鳥屋形
分配装置２４へ送られ、反応ガスの乱流を第二人ロチヤ
ンネル１５から被覆チャンバ中の第一反応ガス流へ入れ
、第一の流れ中に第二反応ガスの上流向き流れを無くす
ように第一と第二の流れの相対的速度を選択する。この
結合したガス流は乱流として被覆域１７を通ってガラス
表面上へ向けられ、そこで２つの反応ガスが反応して熱
いガラス面上に被層を付着させる。反応しなかった反応
ガスと反応により生じる廃ガスは排出層尾形部分２６に
より与えられる減圧（例えば、図示していない排出ファ
ンからの吸引力）により排出ダクト１８を通って熱いガ
ラスを離れてて被覆域から去って行く。前記雇用形部分
は上方へ末広の逆扇形の前壁２７と後壁２８からなる。

減圧は被覆域からガスを抜き取るのみならず、被覆装置
の上流端と下流端（２９，３０）の下に外部大気の流れ
を生ぜしめる。

第一人ロチヤンネル１４を通って入る第一反応ガスの第
一の流れは乱流或いは層流とすることができる。

第二人ロチヤンネルが通じる段付配列をなす天井をもつ
被覆チャンバを使用すると、該装置は入口チャンネルに
被覆材料が付着する結果化じる第二人ロチヤンネルの望
ましくない閉塞を起こすことなく長期間運転することが
できる。上記方法と装置を用いて、フッ素ドーピングし
た酸化スズ被層を熱いガラスリボンに付着する例を説明
する。

例１ ４　ｍｍの浮きガラスのリボンを毎時５４０ｍのリボン
速度で第１〜３図に示す被覆装置の下で前進させた。被
覆装置は焼きなまし徐冷がまの入口前に置き、被覆装置
の下のガラス温度は５８０　’Ｃであった。キャリヤガ
スとして３５４”Ｃの予熱乾燥空気中の四塩化第二スズ
からなる第一反応ガスを雇用形部分１９の入口に供給し
た。前記塩化第二スズは毎時８４キログラムの割合で供
給し、乾燥空気は毎時１０５立方メートル（ＮＴＰで測
定）の割合で供給した。第一反応ガスは鳥屋形分配装置
１９とガス流収束装置２２を通過し、これらは被覆チャ
ンバ１０の幅全体にわたりガスを分配し、被覆チャンバ
の幅を横切る第一反応ガスの実質上均一な流れを生ぜし
める。入口チャンネル１４から出るガスは上流側前端２
９の下に生じた空気流と結合し、第二人ロチヤンネル１
５と被覆域１７に向かつて流路１６に沿ってガラスと平
行な第一の通常の方向に流れる。入口チャンネル１４か
ら出るガスのレイノルズ数は１３００と計算された。

４０２°Ｃの温度の予熱した空気中の２０％フッ化水素
酸からなる第二反応ガスを雇用形部分２４に供給した。

フン化水素酸は毎時３４ｋｇの割合で供給し、空気を毎
時６２０立方メートル（ＮＴＰで測定）の割合で供給し
た。第二反応ガスは鳥屋形分配装置２４とガス流収束装
置２５を通り、被覆装置の幅全体にわたりガスを分配し
て、被覆装置の幅を横切る第二反応ガスの実質上均一な
流れを与えた。ガスは乱流として第二人ロチヤンネルか
ら出て、ガラス面上に生じた第一反応ガスの第一の流れ
と結合した。入口チャンネル１５から出るガスのレイノ
ルズ数は４７５０と計算された。

第二ガス流を入口チャンネル１５から流路１６に沿って
人口チャンネル１４からきた流れに導入すると、反応ガ
スは象、速に混合して被覆チャンバ１０を通る結合流を
生じた。上流側前端２９の下に生じるガス流効果に備え
て、被覆チャンバを通る前記結合流のレイノルズ数は７
６００と計算された。第一反応ガスの第一流れ中におけ
る第二反応ガスの上流向き流れは入口チャンネル１５を
通る第二流れの速度を制限しかつ排気チャンネル１８を
通る抽出速度を十分高く維持することによって無くなす
ことができた。

使用済み被覆ガスは雇用形部分２６の頭部に減圧（大気
圧以下７．５　ミリバール）を与えることによって排気
チャンネル１８と雇用形部分２６を通して熱いガラスか
ら抜き取った。

上記プロセスは入口チャンネル１５と排気チャンネル１
８の間に約７５ｃｍの比較的短い被覆域１７を用いて平
均厚さ２７０　ｍｍ、厚さ範囲２５０　ｎｍ〜２７５ｎ
ｍ　　（縁を除き）の合理的均一なフッ素ドーピングし
た酸化スズ被覆を作った。被覆されたガラスは虹色の反
射色を示し、これは狭い被覆厚さ変動範囲（±５％）に
鑑みて、英国特許明細書ＧＢ２１９９８４８８Ａに記載
の色抑制下層を用いて容易に抑制することができた。

例２ 例１の方法を下記のように変更して繰り返した。

第一の反応ガスには、四塩化第二スズを毎時７４ｋｇの
割合で供給し、３００°Ｃの予熱した乾燥空気を毎時１
８０立方メートル（ＮＴＰで測定）の割合で供給した。

入口チャンネル１４から出るガスのレイノルズ数は１９
００と計算された。第二反応ガスは２０％フッ化水素酸
と２５００’Ｃの温度の予熱空気に加えて蒸気を含んだ
。蒸気は毎時１２０　ｋｇの割合で、フッ化水素酸は毎
時３５ｋｇの割合で、空気は毎時５７６立方メートル（
ＨＴＰで測定）の割合で供給した。

入口チャンネル１５から出るガスのレイノルズ数は６１
００と計算され、被覆チャンバを通る結合された流れの
レイノルズ数は８４００と計算された。ガラス面から使
用済み被覆ガスを抜き取るために使う減圧は大気圧以下
５ミリバールであった。

上記プロセスの結果、３０３　ｎｍ−３２０ｎｍの範囲
の厚さをもつ合理的に均一なフッ素ドーピングした酸化
スズが作られた。被覆されたガラスは緑虹色の反射色を
示し、これは被覆厚さ変動範囲が狭いことに鑑み、英国
特許出願ＧＢ　２１９９８４８Ａ記載の色抑制下層を用
いて容易に抑制出来た。

本発明は比較的厚い（２００ｎｍプラス）被覆を長さが
２メートル以下、好適には１メートル以下の被覆域に十
分な均一度で付着することができることが分かる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法により被層を付着するための装置
の断面側面図； 第２図は第１図の装置を第１図の矢印２の方向でみた端
面立面図； 第３図は第１図の装置に備えたガス流収束装置の詳細を
示す断面側面図である。 １・・・被覆装置　　　　　２・・・キャリジ１０・・
・被覆チャンバ　　　１２・・・ガラスリボン１４・・
・第一人ロチヤンネル １５・・・第二人ロチヤンネル １６・・・流路　　　　　　　１８・・・排気チャンネ
ル１９・・・鳥屋形分配装置　　２２・・・ガス流収束
装置３２、３４．３６．３Ｂ、、　４０．４２・・・カ
ーボンブロック４８・・・スロット５４・・・上流側壁
５６・・・下流側壁　　　　　５８・・・入口スロット
１２０、１２１．１２２．１２３・・・細長い壁１２４
・・・チャンバ　　　　１２７・・・入口収束装置１２
８・・・入口板部材　　　１３６・・・穴１３８・・・
出口収束装置　　１４０・・・出口板部材１５４・・・
ガス流そらせ装置 １６４・・・中間収束部　　　１６８ １７０、１７２・・・水平板 ・・・孔

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、互に反応する少なくとも２つのガス反応剤から移動
   する熱いガラスリボン上に被層を付着する方法において
   、 （ａ）ガラス移動方向と実質上平行な第一の通常方向に
   熱いガラス面に沿う第一反応ガスの第一の流れを作り、 （ｂ）前記第一の通常方向とガラス面に対して或る角度
   をなす第二の通常方向に乱流として第二反応ガスの第二
   の流れを作り、 （ｃ）前記角度で前記第一の流れ内に前記第二の流れを
   導入し、その間前記第一流れ内において前記第二反応ガ
   スの上流向きの流れを無くなし、 （ｄ）被覆域を通る乱流として前記第一の通常方向に熱
   いガラス面に沿って前記結合されたガス流を差し向ける
   ことを含むことを特徴とする被層付着方法。 ２、使用済み被覆ガスを熱いガラスから離して被覆域か
   ら取り出す工程を含む、請求項１に記載の方法。 ３、第二の通常方向は前記第一の通常方向とガラス面に
   対して約９０゜の角度をなす、請求項１又は３に記載の
   方法。 ４、前記結合流は少なくとも６０００のレイノルズ数を
   もつ、請求項１から３の何れか１項に記載の方法。 ５、第一の反応ガスは塩化第二スズからなる、請求項１
   から４の何れか１項に記載の方法。 ６、第二反応ガスは水蒸気からなる、請求項１から５の
   何れか１項に記載の方法。 ７、フッ化水素は第二反応ガス中に混合物として使用す
   る、請求項６に記載の方法。 ８、前記結合流は被覆域の下流側端の減圧作用を受けて
   被覆域を通して差し向けられる、請求項１から７の何れ
   か１項に記載の方法。