JPH02176438A - 力検出装置 - Google Patents

力検出装置

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JPH02176438A
JPH02176438A JP63329370A JP32937088A JPH02176438A JP H02176438 A JPH02176438 A JP H02176438A JP 63329370 A JP63329370 A JP 63329370A JP 32937088 A JP32937088 A JP 32937088A JP H02176438 A JPH02176438 A JP H02176438A
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義輝 水谷
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茂 佐久間
Nobuyuki Mori
信行 森
Tatsuyuki Amako
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、梁部材の一端面に作用せしめた外力をそれぞ
れ垂直のx、y、zの3軸方向の力にわけて検出する力
検出装置、および該検出装置の複数個を一平面上に配列
せしめて荷重分布を計測する計測装置に係り、例えば自
動車タイヤの接地面圧分布や自動車ディスクブレーキの
ロータとパッドとの間の面圧分布等の測定に利用する力
検出装置および測定装置として適するものである。
〔従来の技術〕
自動車タイヤの接地面圧分布を測定するに用いる力検出
装置として、一対の支柱の間に両支柱がら延出された梁
で支持された中央柱を一体的に形成し、該中央柱の上端
に作用する荷重により該中央柱を支持する梁に生ずる歪
を該梁の上下両面に接着した歪ゲージで検出する力検出
装置、およびこの力検出装置の複数個を並列させ、前記
中央柱の頂部をケースの頂板に形成した透孔より前記頂
板の上面より僅かに突出せしめた面圧測定装置が提案さ
れている(特開昭62−34027号公報)が、この力
検出装置は中央柱の長さ方向(上下方向)の外力しか検
出できず、また上下方向以外の外力の影響を消去するこ
とは困難である。
また、上下方向(ZN方向)の外力のほかにZ軸に垂直
な面内の直交する2軸(X軸およびY軸)方向の外力を
同時に検出するタイヤ接地圧計測装置用として、第17
図に示す力検出装置が用いられているが、この装置は円
柱状に形成した縦梁101の頂部に、該縦梁101の内
外径とほぼ同一の内外径を有する円環状の支台102に
ダイアフラム103を一体に形成し、該ダイアフラム1
03の裏面に歪ゲージ104を接着した圧力計タイプの
センサを固定して、前記縦梁101の軸方向(Z軸方向
)に作用する外力による前記ダイアフラム103の歪を
歪ケージ104により検出し、前記縦梁101の固定端
に近接した位置に縦梁101の外周面にX軸方向に垂直
な平面部105およびY軸方向に垂直な平面部106を
夫々一対形成して、縦梁101にX軸方向に作用する外
力の成分により前記平面部105に生じた歪を歪ケージ
107により検出し、縦梁101にY軸方向に作用する
外力の成分により前記平面部106に生じた歪を歪ケー
ジ108により検出するものである。この力検出装置で
は、外力を作用せしめる位置がダイアフラム103であ
ることから、作用位置の剛性が全体に均一でないために
、実際の自動車タイヤの接地現象のようしこ、偏心およ
び分布をもった面圧がZ軸方向に作用した場合には、入
力に比例した出力を正確に検出することが困難であり、
X軸およびY軸方向の外力の影響も受けやすい、またX
軸およびY軸方向の外力を円柱状の棒状体の曲げ歪で検
出しているため、X軸およびY軸回りのモーメントの影
響を受けやすい。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は小型かつ簡単な構造で、かつ外力の作用点が変
位しても、前記外力の互いに直交するX軸、Y軸および
Z軸方向の分力を、それぞれ他方向の分力の影響を受け
ることなく高精度に分離計測できる力検出装置、および
この力検出装置を用いた面圧分布を測定するに適した計
測装置を提供しようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明による力検出装置は、硬質の弾性体材料よりなる
板状の横梁をその長手方向両端に形成した固定部間に橋
架せしめ、該横梁の中央部の少くとも一面に該横梁の長
手方向に垂直に一体的に杆状の縦梁を植立せしめたセン
サを用い、前記縦梁の頂部または頂部付近に作用する外
力を互いに垂直な3軸方向に分離検出しようとするもの
であって、縦梁の長手方向の中心軸(2軸)方向の外力
またはその分力は横梁に生じる歪により、前記Z軸に垂
直で前記横梁の長手方向に平行なX軸方向の外力または
その分力および前記2軸およびX軸に垂直なY軸方向の
外力またはその分力は、それぞれ縦梁に生じた歪により
、それぞれ検出する。
このため縦梁の外周面のX軸方向に指向する面の少くと
も一面には、縦梁の長手方向の」二下2箇所にX軸に垂
直な第1の平面を形成して、この第1の平面にそれぞれ
第1の歪ゲージを構成し、この2個の第1の歪ゲージを
それぞれ隣接する辺に組み込んだハーフブリッジ回路に
より、その出力差でX軸方向の外力またはその分力を検
出する。
縦梁の外周面のY軸方向に指向する面の少くとも一面に
は、同様に縦梁の長手方向の上下2箇所にY軸に垂直な
第2の平面を、前記第1の平面と対応する箇所に形成し
て、この第2の平面にそれぞれ第2の歪ゲージを構成し
、この2個の第2の歪ゲージをそれぞれ隣接する辺に組
み込んだハーフブリッジ回路により、その出力差でY軸
方向の外力またはその分力を検出する。横梁には縦梁を
植立した上面およびその反対側の面である下面に、縦梁
の長手方向の中心軸から第1の距離だけ隔たった対称の
位置に、前記第1の平面に垂直な第3の平面を、縦梁の
両側の横梁の上下面に4箇所形成してこれらの平面にそ
れぞれ第3の歪ゲージを構成し、また縦梁の長手方向の
中心軸から前記第1の距離より小なる距離だけ隔たった
対称の位置に、前記第1の平面に垂直な平面を同様に4
箇所形成してこれらの平面にそれぞれ第4の歪ゲージを
構成する。そして横梁の一面の第3の歪ゲージを一辺に
直列に組み込むとともに上下面の第3の歪ゲージを隣接
する辺に配置し、前記横梁の一面の第4の歪ゲージを一
辺に直列に組み込むとともに上下面の第4の歪ゲージを
隣接する辺に配置したフルブリッジ回路により、Z軸方
向の外力またはその分力を出力差で検出し、X軸方向の
外力またはその分力とY軸回りのモーメントによる横梁
の弾性歪による出力を消去している。またY軸方向の外
力またはその分力とX軸回りのモーメントによる横梁の
弾性歪による影響を消去するため、横梁の長手方向に垂
直な断面を、その幅が厚さよりも十分に大であって、幅
方向の剛性を厚さ方向の剛性より十分大にしたこと、お
よび歪ゲージを横梁の幅方向の中心線を中心として構成
したものである。
〔実施例〕
第1図に本発明によるセンサの一実施例を斜面図で示し
、第2図ないし第4図には、その上面図。
正面図および側面図を示す。
センサ10は、横梁11、横梁11の中央部に一体的に
形成した縦梁基台12、該基台12に−体的に植立せし
めた縦梁13および前記横9.11の両端部に一体的に
形成した固定部14とから成り、全体を鋼、アルミニウ
ム等の硬質の弾性体材料により形成される。横梁11は
長手方向に垂直な断面において幅を厚さより十分に大と
して、幅方向の剛性を厚さ方向の剛性より十分に大とし
た板状材により形成され、その中央部および両端部に幅
を前記横梁11の幅と同一とし厚さを該横梁11の厚さ
の数倍とした立方体状の外形形状とした縦梁基台12と
固定部14を形成し、縦梁基台12と両端の固定部14
との間にそれぞれ位置する横梁11の長手方向の寸法を
同一寸法とする。
縦梁基台12には横梁11の厚さ方向に縦梁13を一体
に起立せしめて形成する。該縦梁13は、横梁11の幅
と同一寸法の辺を有する正方形断面の杆状に形成され、
その中心軸は横梁11の長手方向に垂直に、その外周面
の対向する2面は横梁11の長手方向に垂直に、他の対
向する2面は横梁11の長手方向に平行に形成される。
上記センサ10は、横梁11の両端の固定部15に縦梁
13の中心軸と平行に突設された貫通孔15を有してお
り、計測装置の基台の水平な取付座に固定部14を載置
せしめて、貫通孔15に挿入した螺子により固定すると
、横梁11はその長手方向を水平方向に、厚さ方向を垂
直方向として固定部14間に橋架され、縦梁13は垂直
に位置せしめられ、縦梁13の自由端の頂面16に垂直
方向(Z軸方向)の外力Fzが加えられたときは、横梁
11と固定部14との連結部17.17間の横梁11.
11が全体として外力の作用方向に撓み、縦梁13の頂
面16に横梁11の長手方向に平行に水平方向(X軸方
向)の外力Fxが加えられたときは、横梁11は該横梁
11と縦梁基台12との連接部18と前記連接部17と
の間で撓むとともに縦梁13もその中心軸に関して撓み
、縦梁13の頂面に横梁11の長手方向に直角に水平方
向(Y軸方向)の外力Fyが加えられたときは、縦梁1
3はその中心軸に関して撓むが、横梁11はその幅方向
の剛性を厚さ方向の剛性よりも十分に大にしであるので
、撓みにくい。
なお縦梁基台12は縦梁13に加えられる外力により横
梁11に生起する撓みを可及的に大とするために形成す
るものであって1図示の実施例においては横梁11の長
手方向における縦梁基台12の長さを縦梁13の断面の
一辺の寸法より若干寸法大なる寸法として示しているが
、該基台12は必ずしも形成する必要がなく、横梁11
より直接縦梁13が起立する形状としてもよい。要は縦
梁13の両側に位置する横梁11の長手方向の寸法を同
一とし、縦梁13の中心軸をその中心に位置せしめるこ
とが重要である。
上記センサ10に加えられた外力または外力の分力をX
軸、Y軸およびZ軸に沿った方向の力に分離し検出する
ために、センサ10に歪ゲージが構成される。この歪ゲ
ージは、半導体単結晶のピエゾ抵抗効果を利用した歪ゲ
ージが高性能でかつ形も小さく、適切である。この歪ゲ
ージは半導体単結晶の薄片により製作して上記センサの
表面に絶縁性接着剤で接着して構成してもよく、あるい
は上記センサの表面に絶縁層を形成した後半導体薄膜を
蒸着法あるいはスパッタリング法によって形成して構成
してもよい、歪ゲージは抵抗変化を利用するものであれ
ばよく1本実施例においては箔歪ゲージを接着せしめて
構成した。図面において各歪ゲージは誇張して大きく画
かれている。
X軸方向の外力またはその分力を検出するため、上記セ
ンサ10の縦梁13の外周面における横梁11の長手方
向に垂直な面の一面には、横梁11に近接した位置に歪
ゲージX□が、自由端の頂面16に近接した位置に歪ゲ
ージx2が、それぞれ該面における縦梁13の長手方向
に沿う幅の中心線に沿って接着される。また、Y軸方向
の外力またはその分力を検出するため、縦梁13の外周
面における横梁11の長手方向に平行な面の一面には、
横梁11に近接した位置に歪ゲージYユが、自由端の頂
面16に近接した位置に歪ゲージY2が、それぞれ該面
における縦梁13の長手方向に沿う幅の中心線に沿って
接着される。
一方Z軸方向の外力またはその分力を検出するため、上
記センサ10の横梁11には、横梁11と固定部14と
の連接部17に近接した位置において、横梁11の上面
(縦梁13を植立せしめた面)に歪ゲージZ□、z4を
、下面(その反対側の面)に歪ゲージZ6、Z6を接着
し、横梁11と縦梁基部12との連接部18に近接した
位置において、横梁11の上面に歪ゲージZ2、Z、を
、下面に歪ゲージ2いZ7を接着する。前記連接部17
に近接して接着せしめた歪ゲージ21.2.、Z、。
Zoの接着箇所は、縦梁13の中心軸から等しい第1の
距離しこにある位置とし、また連接部18に近接して接
着せしめた歪ゲージZ2、Z3、ZG、Z7の接着箇所
は縦梁13の中心軸から前記第1の距離よりは小なる第
2の距離にある位置とする。
第5図ないし第8図に基いてX軸方向の外力またはその
分力を検出する原理および回路を説明する。第5図は、
上記センサ10の横梁11.11がその端部において固
定基台50に固定して水平に橋架され、縦梁13が橋架
された横梁11゜11の中央部において垂直に配設され
ているところを示す原理図である。図において外力の作
用点である縦梁13の自由端に形成した平坦な頂面16
から距IL、だけ離れた位置に歪ゲージX工が接着構成
され、距離L2だけ離れた位置に歪ゲージX2が接着構
成されている。今頂面16に横梁11の長手方向に平行
なX軸に沿って外力Fxが作用した場合を考えると、X
軸に垂直な縦梁13の面51には第6図の右側の線図に
示すように自由端では零で下端の横梁11への固定部に
おいて最大の引張り歪分布を生ずる。そして自由端より
距離りいL2の位置にある歪ゲージxi、x2の出力ε
いε2は、縦梁13の断面係数をS、ヤング率をEとす
ると、 EL=FX−L、/SIF:、ε2=Fx−L2/S−
Eとなるから、その出力差(ε、−ε2)をハーフブリ
ッジ回路を形成して検出すれば、距離(L工りよ)は一
定値であるから、検出値は外力Fxに比例した値となる
。従って外力Fxが縦梁13の自由端に形成した平坦な
頂面16に作用した場合のみでなく、該頂面16を形成
した自由端から自由端近傍のゲージx2に至るまでの間
の縦梁13の前記面51に作用した場合も、自由端から
該作用位置までの距離に関係なく同様に外力Fxの検出
が可能である。
次に第7図によって、第5図と同様のX軸方向の外力F
xのほかに、縦梁13の中心軸52よりX軸方向に距離
eだけ偏心した位置にZ軸方向の外力Fzが作用する場
合を考える。X軸方向の外力Fxのみにより前記面51
に生ずる引張り歪分布は、第6図の場合と同一である。
X軸方向に偏心した位置に作用するZ軸方向の外力Fz
はY軸回りのモーメントMlを生ずる外力であり、縦梁
13の前記面51に引張り歪Fz−e/S−Eを生ずる
。即ち前記面51の表面の引張り歪分布は第7図の右側
に示した線図のとおりとなり、歪ゲージX工の出力ε′
□と歪ゲージX2の出力ε′2とは、それぞれ 6’ x =61 + F Z ’ e / S ’ 
E Hε′2=ε2+FZ−e/S−E であられされ、Y軸回りのモーメントMyにより前記面
51の表面に付加される引張り歪はZ軸方向に沿って一
定であるから、歪ゲージX工の出力ε′、と歪ゲージX
2の出力ε′2の出力差を検出すれば、前記モーメント
Myによる影響が消去され、X軸方向の外力Fxの大き
さが検出できる。
従って第8図の最上段に示したように歪ゲージX工と歪
ゲージX2とを隣接する辺に組みこんだハーフブリッジ
回路によりX軸方向の外力Fxを検出することができる
また第5図において縦梁13の外周面の横梁11の長手
方向に垂直な他の面53を考えると。
該面53には外力Fxにより圧縮歪が面51に生じた引
張り歪と同様の分布勾配で発生しているから1面51に
おける歪ゲージ構成位置と対応する自由端の頂面16か
ら距離L1. L、隔たった位置に歪ゲージX、、X4
を接着構成すると、前記と同様に外力Fxに比例した出
力を得るから、第8図の第2段に示したように歪ゲージ
X、と歪ゲージx4とを隣接する辺に組みこんだハーフ
ブリッジ回路にからの出力と、最上段の回路の出力とを
差動増幅すると2倍の出力を得られる。
第1図、第2図に示すように、縦梁13の中心軸52に
垂直でかつ横梁11の長手方向に平行な縦梁13の面5
4には、縦梁13の自由端の頂面16から距離L1だけ
隔たった位置に歪ゲージY工が、また距離り、、だけ隔
たった位置に歪ゲージY2が接着構成される。そして頂
面16に横梁11の長手方向および縦梁13の中心軸5
2に垂直なY軸に沿って外力Fyが作用した場合は、該
面54に第6図および第7図において外力Fxにより生
ずる引張り歪について説明したと同様の引張り歪の分布
および勾配が生ずるから、第8図の第3段に示したよう
に歪ゲージY1と歪ゲージY2とを隣接する辺に組みこ
んだハーフブリッジ回路によりY軸方向の外力FYを検
出することができる。また縦梁13の前記面54に平行
な他の面55(第2図)には外力Fyにより圧縮歪を生
ずるから、面54における歪ゲージ構成位置と対応する
自由端の頂面16から距離り、、L2だけ隔たった位置
に歪ゲージY3.Y4を接着構成し、第8図の第4段に
示したように歪ゲージY3と歪ゲージY4とを隣接する
辺に組みこんだハーフブリッジ回路からの出力と、第3
段の回路の出力とを差動増幅すると2倍の出力を得られ
る。
前記外力Fx、Fyは第1の面と第2の面とのみでも検
出できるが、本実施例のようにそれぞれ相対する2面で
求めると、前記のように出力が2倍になるほか、極性の
異なる方向の外力が作用した場合にも安定した出力が得
られるとともに、他の外力による影響を除去することが
できる。
第9図は第5図と同様の原理図であって、第9図にはZ
軸方向の外力またはその分力を検出するための歪ゲージ
21〜Z、のみが示されている。第10図はZ軸方向の
外力またはその分力を検出するための歪ゲージの結線方
法の一例を示した回路であって、横梁11の上面の固定
部14との連接部17に近接せしめて接着構成した歪ゲ
ージZ工。
Z4(第3の歪ゲージ)を直列に結線した辺と横梁11
の下面の固定部14との連接部17に近接せしめて接着
構成した歪ゲージZ、、 Z、 (第3の歪ゲージ)を
直列に結線した辺とを隣接する辺に配置し、横梁11の
上面の縦梁基部12との連接部18に近接せしめて接着
構成した歪ゲージZ2゜z3(第4の歪ゲージ)を直列
に結線した辺と横梁11の下面の縦梁基部12との連接
部18に近接せしめて接着構成した歪ゲージZs= Z
t (第4の歪ゲージ)を直列に結線した辺とを隣接す
る辺に配置したフルブリッジ回路を構成し、前記連結部
17に近接せしめて配置した歪ゲージを連結した辺間お
よび前記連接部18に近接せしめて配置した上下の歪ゲ
ージを連結した辺間から取り出した出力を検出出力とす
る回路を示している。
前記センサ10の縦梁13に2軸方向の外力Fzが作用
すると、第11a図に示すように横梁11が撓み、歪ゲ
ージZ、、 Z、、 Z、、 Ztは引張り歪を検出し
、歪ゲージz、、 z3. z、、 z、は圧縮歪を検
出し、歪ゲージの出力は、図に「+」、「−」で表示し
たような極性となって、フルブリッジ回路の各辺の歪ゲ
ージの極性は第11b図に示すように各辺ごとに同一の
極性を示すことになる。そこで歪ゲージを接着した個所
の横梁11の表面に生じた歪みがすべて等しい歪み(絶
対値で)であるとすれば、フルブリッジ回路の出力は1
枚の歪ゲージの出力の4倍となる。
また前記センサ1oの縦梁13にX軸方向の外力Fxが
作用すると、第12a図に示すように横梁11が撓み、
歪ゲージz、、 z、、 z、、 z、は弓張り歪を検
出し、歪ゲージz2. z4. z、、 z、は圧縮歪
を検出して、歪ゲージの出力は、図に「+」「−」で表
示したような極性となって、外力Fxによる歪はフルブ
リッジ回路により電気的に相殺され、検出されないこと
となる。
さらにY軸方向の外力Fyについては、前述したように
横梁11の幅方向の剛性を厚さ方向の剛性より十分に大
としたこと、および歪ゲージZ1〜2.を横梁11の中
心軸上に接着構成したことで抑えることができる。
なおZ軸方向の外力またはその分力を検出するための歪
ゲージの結線方法は、前記8個の歪ゲージz1〜z1の
うちZ軸方向の外力Fzが加わったとき横梁11の歪が
同極性となる位置の歪ゲージを各辺に直列に組みこむと
ともに、反対の極性となる対称な位置の歪ゲージを組み
こんだ辺と隣合わせにフルブリッジ回路を構成するもの
であるから、第10図に示したフルブリッジ回路のほか
に。
第13a図または第13b図に示す回路を構成すること
ができる。また歪ゲージは必ずしも8個を構成する必要
がなく、Z軸方向の外力Fzが加わったとき横梁11の
歪が同極性となる対称な位置の歪ゲージ2個と横梁11
の歪が反対の極性となる対称な位置の歪ゲージ2個との
4個を構成し、これにより第14a図、第14b図また
は第14C図に示すようにフルブリッジ回路を構成する
ことも可能である。しかしながら、第10図、第13a
図または第13b図に示したように8個の歪ゲージでフ
ルブリッジ回路を構成することは、極性の異なる外力F
zが作用した場合の出力の安定化や、他の外力Fx、F
yまたはその分力に対する影響の除去には極めて効果が
ある。
第15図および第16図は、上記センサを備えた力検出
装置を自動車タイヤの接地圧分布計測装置に適用した実
施例を示す。
タイヤの転勤時に、接地面にはX軸、Y軸およびZ軸方
向の力Fx 、Fy 、Fzと、X軸回りのモーメント
Mx 、Y軸回りのモーメントMy 、 Z軸回りのモ
ーメントMzの6分力が発生する。前記3軸方向の力は
、接地面内における単位面積あたりに発生する接地圧力
Fzと摩擦力Fx 、 Fyを総計したものであり、こ
れらの力が各軸回りにつくるモーメントを総計したもの
が、タイヤに作用するモーメントとなる。従ってこの6
分力を評価するには、単位面積あたりに発生する力Fx
 。
Fy 、Fzの3成分を接地面全体にわたって求めれば
よい。
第15図に示す計測装置は平板式タイヤ試験機などとの
併用による台上試験に用いる計測装置であり、タイヤ2
1は固定部分22に回転自在に支承された軸23に取付
けられて計測装置24の測定板25の頂面26上に接地
せしめられ、計測装置24はローラ26によりタイヤ接
地面の表面速度で接地要分だけ直線方向に移動せしめら
れ、これにより計測装置24に配設したセンサ1oの縦
梁13の頂面16にタイヤからの力が伝達される。
センサ10は横梁11の長手方向を平行せしめて複数個
が計測装置24の測定板25の内部に配設され、縦梁1
3の長手方向の中心軸を一線上に整列せしめて取付けら
れる。例えばsiのセンサで容量が5 kgf/ aJ
の場合、センサ10の横梁11の幅および縦梁13の断
面の一辺の幅は4閣に形成され、このセンサ10が51
11程度の間隔で軸23の軸方向にタイヤ21の全幅に
わたる接地圧分布が計測できるように配列される。
第16図は計測装置の断面図を示し、測定板25を支承
する基板27には、その表面にセンサ10の固定部14
間の寸法に等しい幅の凹条28が刻設され、前記基板2
7の凹条28との境界部を共通の基台29として、セン
サ10の固定部14の貫通孔15に挿入した螺子30に
より、複数個のセンサ10を整列固定せしめている。
計測袋M24の計測板25には開口部31が形成され、
各センサ10の縦梁13の自由端を該開口部31に臨ま
せ、その自由端の頂面16を計測板25の表面とほぼ同
一平面上にあらしめている。
このように構成したことにより、少なくともタイヤ接地
要分だけ計測装置24を移動させることにより、接地面
全体にわたる接地圧分布と摩擦力分布を計測することが
できる。
また第16図に示した計測装置は計測板25の表面を自
動車の走行用路面と同一平面となるように路面に設置す
ることにより、実車走行状態での計測が可能である。
なお本発明においては、歪ゲージX1〜x4の群、Yi
〜Y、の群およびZ工〜Z、の群はそれぞれ同一特性の
歪ゲージを用いることが好ましい、また縦梁13は横梁
11の幅を一辺とする正方形断面の杆状体に限られるも
のではなく、正8角形断面、正16角形断面の杆状体で
もよく、また任意の直径の円形断面の杆状体であっても
よく、この場合筒1の平面および第2の平面を外周面に
形成すればよい。
[発明の作用および効果] 本発明の力検出装置は、長手方向に垂直な断面において
幅を厚さより十分に大とした板状の横梁を、その長手方
向両端に形成した固定部間に前記断面における幅を上下
面として橋架せしめ、前記横梁の中央部の少くとも一面
に該横梁に垂直に杆状の縦梁を一体的に植立せしめると
ともに、横梁および縦梁を硬質の弾性体材料により形成
してセンサを構成したから、縦梁の自由端の頂面に縦梁
の長手方向(Z軸方向)に外力が作用したときは横梁に
外力の作用方向への撓みが生じ、縦梁の自由端の頂面に
横梁の長手方向に平行な方向(X軸方向)に外力が作用
したときは、縦梁に曲げおよび横梁に厚さ方向の撓みが
生じ、縦梁の自由端に横梁の幅方向に平行な方向(Y軸
方向)に外力が作用したときは、縦梁に曲げが生ずるが
、横梁は幅方向の剛性を厚さ方向の剛性より十分に大に
構成しているから、はとんど撓みを生じない。
本発明は上記センサの縦梁および横梁に生じた曲げ歪み
を検出することにより、縦梁の自由端に作用した外力を
X軸方向の分力、Y軸方向の分力、Z軸方向の分力に分
離して検出しようとするものであって、縦梁にはその横
梁の長手方向(X軸方向)に垂直な第1の平面をその少
くとも外周面の一面の上下2個所に形成して、この第1
の平面にそれぞれ第1の歪ゲージを構成し、該第1の歪
ゲージをそれぞれ隣接する辺に組み込んだハーフブリッ
ジ回路を設けて2個の歪ゲージの出力差を検出するよう
にしたから、X軸方向の外力が縦梁の自由端から自由端
側の第1の歪ゲージの間で縦梁の長手方向または幅方向
に偏心して作用したり、あるいはZ軸方向の外力Fzが
X軸およびY軸に関して偏心して作用しても、外力の作
用点による影響は消去され、外力またはその分力に比例
した出力を得られるので、予め既知のX軸方向の外力を
加えてその出力によりキャリブレーションを行うことに
より、正確に外力のX軸方向成分を検出することができ
る。またY軸方向の外力成分についても、前記第1の平
面に直交し横梁の長手方向に平行な第2の平面を前記縦
梁の他の少くとも一面の上下2個所に形成して、この第
2の平面にそれぞれ第2の歪ゲージをそれぞれ構成し、
この第2の歪みゲージをそれぞれ隣接する辺に組み込ん
だハーフブリッジ回路を設けて2個の歪ゲージの出力差
を検出するようにしたから、X軸方向の外力成分の検出
と同一理由によりY軸方向成分を正確に検出することが
できる。
さらに横梁には、その上下面の幅方向の中心線に沿って
、横梁の上下面に、縦梁の長手方向の中心線より第1の
距離だけ隔った対称の位置に前記第1の平面および第2
の平面にともに垂直な第3の平面を4個所形成して、該
第3の平面にそれぞれ第3の歪ゲージを構成し、かつ縦
梁の長手方向の中心軸より前記第1の距離より小なる第
2の距離だけ隔った対称の位置に前記第1の平面および
第2の平面にともに垂直な第4の平面を4個所形成して
、該第4の平面にそれぞれ第4の歪ゲージを構成すると
ともに、前記横梁の一面の第3の歪ゲージの2個を一辺
に直列に組み込むとともに上下面のそれぞれ2個の第3
の歪ゲージを隣接する辺に配置し、前記横梁の一面の第
4の歪ゲージの2個を一辺に直列に組み込むとともに上
下面のそれぞれ2個の第4の歪ゲージを隣接する辺に配
置したフルブリッジ回路によりZ軸方向の外力またはそ
の分力を検出するようにしたことから、縦梁の長手方向
に平行な外力またはその成分により横梁が撓んだときは
、フルブリッジ回路の対向する2辺に組み込まれた4個
の歪ゲージは共に横梁表面の引っ張り歪による出力を出
力し、他の対向する2辺に組み込まれた4個の歪ゲージ
は共に横梁表面の圧縮歪による出力を出力するから、フ
ルブリッジ回路は外力のZ軸方向成分に比例する値を出
力し、予め既知のZ軸方向の外力を加えてその出力によ
りキャリブレーションを行うことにより、正確に外力の
2軸方向酸分を検出することができる。そして外力のX
軸方向成分が大であって横梁に撓みを生ずる場合は、Z
軸方向の外力が作用する場合の撓みと異るが、X軸方向
の外力により横梁に発生する歪は前記フルブリッジ回路
において電気的に相殺されるためZ軸方向の外力のみに
比例した出力を検出することができる。また横梁が幅方
向の剛性を厚さ方向の剛性より十分大に形成したことと
、横梁に形成した歪ゲージを横梁の幅方向の中心線上に
構成したことにより、その出力に対する影響を解消せし
めている。
このように本発明による力検出装置は、X軸。
Y軸、Z軸の3軸方向の外力成分を各々が相互に影響さ
れることなく精度よく計測でき、構造が簡単で各外力成
分による変形量や歪量が容易に算出でき、装置の定格容
量の設定や、収納スペースの制約から生ずる設計変更に
も、時間を要することなく対応できるものである。
さらに上記出力装置のセンサを、横梁の長手方向を平行
せしめるとともに縦梁の長手方向の中心軸を一線上に整
列せしめて複数個配設し、横梁の両端に形成した固定部
をそれぞれ共通の基台に固定せしめ、前記縦梁の頂部を
前記基台を覆う測定板の開口部に臨ませ、縦梁の自由端
の頂面を前記測定板の表面とほぼ同一表面にあらしめて
圧力分布計測装置を構成せしめることにより、並列せし
めたセンサの縦梁の頂面に当接した物体の縦梁の整列方
向に沿う圧力分布がX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向
に分離して検出測定でき、連続して前記物体を前記セン
サに転接せしめることにより、該物体の計測面への転接
面における圧力分布を精度よく検出測定できる有用な効
果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の力検出装置におけるセンサの一実施例
の斜面図、第2図はその上面図、第3図はその正面図、
第4図はその側面図、第5図は本発明のX軸方向の外力
成分を計測する原理を示す原理図、第6図および第7図
はそれぞれ外力により縦梁に生ずる歪み応力の発生およ
び勾配を示す原理図、第8図はX軸方向およびY軸方向
外力成分を検出するハーフブリッジ回路を示す回路図、
第9図はZ軸方向の外力成分を計測する原理を示す原理
図、第10図は前記Z軸方向外力成分を検出する8個の
歪ゲージを用いたフルブリッジ回路の一例を示す回路図
5第11a図および第11b図はそれぞれZ軸方向の外
力による横梁の歪みを示す図および回路の極性を示す図
、第12a図および第12b図はそれぞれX軸方向の外
力による横梁の撓みを示す図および回路の極性を示す図
、第13a図および第13b図はそれぞれ前記Z軸方向
外力成分を検出するフルブリッジ回路の他の例を示す回
路図、第14a図、第14b図および第14c図はそれ
ぞれ歪ゲージ4個を用いたフルブリッジ回路の例を示す
回路図、第15図は本発明による圧力分布計測装置の一
例を示す斜面図、第16図はその要部断面図、第17図
は従来装置の一部欠截側面図を示す。 なお図中法の符号は次の部分を示すものである。 10・・・センサ、     11・・・横梁。 12・・・縦梁基部、    13・・・縦梁。 14・・・固定部、     X工〜X4・・・歪ゲー
ジ。 Y工〜Y4・・・歪ゲージ、  Z□〜Z8・・・歪ゲ
ージ。 24・・・計測装置、    25・・・計謂板。 27・・・基板、      29・・・基台。 31・・・開口部。 第  1 図 第  2 図 第 図 第 図 筐 図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)硬質の弾性体材料より成り、長手方向に垂直な断
    面において幅を厚さより十分に大とした板状の横梁を、
    その長手方向両端に形成した固定部間に前記断面におけ
    る幅を上下面として橋架せしめ、前記横梁の中央部の少
    くとも一面に該横梁に垂直に硬質の弾性体材料より成る
    杆状の縦梁を一体的に植立せしめ、該縦梁には前記横梁
    の長手方向に垂直な第1の平面を前記縦梁の少くとも一
    面の上下2個所に形成して、該第1の平面に第1の歪ゲ
    ージをそれぞれ構成するとともに、前記第1平面に直交
    する第2の平面を前記縦梁の他の少くとも一面に前記第
    1の平面と対応する箇所に上下2個所に形成して、該第
    2の平面に第2の歪ゲージをそれぞれ構成し、かつ前記
    横梁の上下面には該横梁の幅方向の中心線に沿つて、前
    記縦梁の長手方向の中心軸より第1の距離隔つた対称の
    位置に前記第1の平面に垂直な第3の平面をそれぞれ4
    箇所形成して、該第3の平面にそれぞれ第3の歪ゲージ
    を構成し、さらに前記縦梁の長手方向の中心軸より前記
    第1の距離より小なる第2の距離隔つた対称の位置に前
    記第1の平面に垂直な第4の平面をそれぞれ4箇所形成
    して、該第4の平面にそれぞれ第4の歪ゲージを構成し
    たセンサと、前記第1の歪ゲージをそれぞれ一辺に組み
    込んだハーフブリッジ回路、前記第2の歪ゲージをそれ
    ぞれ一辺に組み込んだハーフブリッジ回路および前記横
    梁の第3の歪ゲージおよび第4歪のゲージのうちの少く
    とも1個を各辺に組みこむとともに、これらの歪ゲージ
    のうち、縦梁の中心軸上に該縦梁の長手方向の力が加わ
    つたときに前記横梁の歪が同極性となる位置の歪ゲージ
    を互いに対向する辺に配置したフルブリッジ回路とを設
    けたことを特徴とする力検出装置。
  2. (2)硬質の弾性体材料より成り、長手方向に垂直な断
    面において幅を厚さより十分に大とした板状の横梁を、
    その長手方向両端に形成した固定部間に前記断面におけ
    る幅を上下面として橋架せしめ、前記横梁の中央部の少
    くとも一面に該横梁に垂直に硬質の弾性体材料より成る
    杆状の縦梁を一体的に植立せしめ、該縦梁には前記横梁
    の長手方向に垂直な第1の平面を前記縦梁の少くとも一
    面の上下2個所に形成して、該第1の平面に第1の歪ゲ
    ージをそれぞれ構成するとともに、前記第1平面に直交
    する第2の平面を前記縦梁の他の少くとも一面に前記第
    1の平面と対応する箇所に上下2個所に形成して、該第
    2の平面に第2の歪ゲージをそれぞれ構成し、かつ前記
    横梁の上下面には該横梁の幅方向の中心線に沿つて、前
    記縦梁の長手方向の中心軸より第1の距離隔つた対称の
    位置に前記第1の平面に垂直な第3の平面をそれぞれ4
    箇所形成して、該第3の平面にそれぞれ第3の歪ゲージ
    を構成し、さらに前記縦梁の長手方向の中心軸より前記
    第1の距離より小なる第2の距離隔つた対称の位置に前
    記第1の平面に垂直な第4の平面をそれぞれ4箇所形成
    して、該第4の平面にそれぞれ第4の歪ゲージを構成し
    たセンサと、前記第1の歪ゲージをそれぞれ一辺に組み
    込んだハーフブリッジ回路、前記第2の歪ゲージをそれ
    ぞれ一辺に組み込んだハーフブリッジ回路および前記横
    梁の一面の第3の歪ゲージを一辺に直列に組み込むとと
    もに上下面の第3の歪ゲージを隣接する辺に配置し、前
    記横梁の一面の第4の歪ゲージを一辺に直列に組み込む
    とともに上下面の第4の歪ゲージを隣接する辺に配置し
    たフルブリッジ回路とを設けたことを特徴とする力検出
    装置。
  3. (3)請求項1または請求項2に記載のセンサの複数個
    を、前記横梁の長手方向を平行せしめるとともに、縦梁
    の長手方向の中心軸を一線上に整列せしめて、前記横梁
    の両端に形成した固定部をそれぞれ共通の基台に固定せ
    しめ、前記縦梁の頂部を前記基台を覆う測定板の開口部
    に臨ませ、前記縦梁の頂面を前記測定板の表面とほぼ同
    一表面にあらしめたことを特徴とする圧力分布計測装置
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CN121540324A (zh) * 2026-01-09 2026-02-17 瑞声光电科技(常州)有限公司 力传感器

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