JPH02177582A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は放電管の軸方向と光軸方向を一致させ、常時一
定のレーザビームを発振できるようにしたガスレーザ発
振装置に関するものである。

従来の技術 放電空間の一端に全反射鏡、他端に部分反射鏡を固定す
ることにより光共振器を形成し、部分反射鏡からレーザ
ビームを出力し、送気管を介してレーザガスを循環させ
るガスレーザ装置において、従来レーザガスを循環させ
るためのフロア周辺は第６図に示すように構成されてい
た。

第６図において、１９はブロワ、２０はガス圧調整電磁
弁で、レーザガス系内のレーザガス圧を一定にしている
。　２１はオイルトラップで、前記ブロワ１９に設けた
ギア室２２から発生するオイルミストをトラップし液化
して、前記ギア室２２に戻す、２３はガス圧センサで、
前記レーザガス圧を検出する。

２４は自動−制御回路で、設定ガス圧と前記レーザガス
圧センサ２３からの信号とを比較して前記ガス圧調整電
磁弁２０を開閉する。又、レーザガス補給管２５より常
時一定量の新しいレーザガスが補給される。２６はガス
フィルタでレーザガス系内へのオイルミストの流入を防
止している。２７は真空ポンプで、前記レーザガス補給
管２５から補給した量のレーザガスを常時レーザガス系
外に排出する。

上記のように構成された軸流型レーザ装置において、レ
ーザガス圧を一定にする動作について説明する。

レーザガス補給管２５から新しいレーザガスを常時補給
しているので、レーザガス系内のガス圧を一定に保つに
は、その補給量の分だけ真空ポンプ２７によりレーザガ
ス系外に排出する必要がある。

この時、真空ポンプ２７の排気速度の変動等の影響を除
外するため、自動制御回路２４がガス圧センサ２３から
のレーザガス圧に関する情報と設定ガス圧とを常時比較
してレーザガス系内のガス圧を一定になるようガス圧調
整電磁弁２０を制御している。

発明が解決しようとする課題 上記のような構成及び作用を有する従来の装置は、第７
図に示すようにブロワ１９に設けたギア室２２内のガス
圧がガス圧調整電磁弁２０の開閉により変動するために
ギア室２２内のオイルミストが多量にオイルトラップ２
Ｉに流入する。その結果オイルトラップ２１では取りき
れなかったオイルミストがガス圧調整電磁弁２０に流入
し、ガス圧調整電磁弁２０を固着する等、開閉機能を損
ない、レーザガス系内のガス圧を調整することができな
くなるという問題があった。

本発明の目的は上記問題点を解決するために、ブロワに
設けたギア室から流出するオイルミストを最少限に抑制
し、信頼性の優れたガスレーザ発振装置を提供しようと
するものである。

課題を解決するための手段 上記目的達成のため本発明は、放電管を有するレーザガ
ス系内を光軸方向にレーザガスを流すためのブロワと、
前記レーザガス系内のレーザガス圧を一定にするための
ガス圧調整電磁弁と、前記ブロワのギア室から発生する
オイルミストをトラップし液化して前記ギア室にもどす
ためのオイルトラップと、前記ギア室のガス圧を一定に
するためのギア室電磁弁と、前記レーザガス系内のガス
圧を検出するためのガス圧センサと、設定ガス圧に対し
前記ガス圧センサ信号と比較して前記ガス圧調整電磁弁
及び前記ギア室電磁弁を開閉するための自動制御回路と
、常時一定量の新しいレーザガスを補給するためのレー
ザガス補給管と、レーザガス系内へのオイルミスト流入
を防止するためのガスフィルタと、前記レーザガス系内
に補給した量のレーザガスを常時前記レーザガス系外へ
排出するための真空ポンプを備えたガスレーザ発振装置
とした。

作用 本発明は上記のような構成を採ったので、自動制御回路
によって、ガス圧調整電磁弁の開閉動作に応じて、ギア
室電磁弁を開閉するよう°制御し、ブロワに設けたギア
室内のガス圧を一定にすることができ、前記ギア室内か
ら流出するオイルミスト量な最少限に抑制することがで
きる。

実施例 第１図は本発明の一実施例として示した軸流ガスレーザ
装置のブロック図である。

１はガラス等の誘電体から成る放電管で、２は全反射鏡
、３は部分反射鏡、４は放電空間で、端に全反射鏡２を
固定し、他端に部分反射鏡３を固定することにより光共
振器を形成している。５は部分反射鏡３より出力したレ
ーザビームを示している。６はレーザガスを循環させる
ブロワ、７はレーザガス循環用の送気管で、放電管１と
連通し、レーザガスは矢印Ｘで示すように循環している
。８．９は熱交換器で、ブロワ６の吸気側と送風側に設
けられ、前記放電空間４で放電により温度上昇したレー
ザガスの温度を低下させる。

第２図は前記ブロワ６周辺の拡大ブロック図である。１
０はガス圧調整電磁弁で、レーザガス系内のレーザガス
圧を一定にする。■はオイルトラップで、ブロワ６のギ
ア室１２から発生するオイルミストをトラップし液化し
て、前記ギア室！２に戻す、１３はギア室電磁弁で、前
記オイルトラップＩＩの出口に設け、ギア室１２内のガ
ス圧を一定にする。　１４はガス圧センサでレーザガス
系内のガス圧を検出する。　＋５は自動制御回路で、レ
ーザガス系内の設定ガス圧と前記レーザガス圧センサ１
４からの信号とを比較して、前記ガス圧調整電磁弁１ｏ
とギア室電磁弁暑３との開閉を制御している。１６はレ
ーザガス補給管で、常時一定量の新しいレーザガスを補
給している。１７は真空ポンプで、前記レーザガス補給
管１６から補給した量のレーザガスを常時レーザガス系
外に排出する。　１８はガスフィルタで、レーザガス系
内へのオイルミストの流入を防止している。

上記実施例において、ガス圧調整電磁弁！０とギア室電
磁弁１３とは第３図に示すように、自動制御回路１５に
よって一方が開状態のとき、他方が閉状態に制御される
ことにより、第４図に実線で示すようにブロワのギア室
ｌｚ内のガス圧を一定に保つことができ、従来例（点Ｍ
）のようにギア室１２内のガス圧に変動がない。従って
ギア室１２内のオイルミストの発生量も第５図に示すよ
うに従来例にくらべて著しく少なく、且つ時間が経過し
ても少ないオイルミスト発生量を維持している。

上記のような構成及び作用を有するので、オイルトラッ
プに流通能力以上にオイルミストが流れるおそれがなく
、オイルミストにより、ガス圧調整電磁弁を損傷するお
それがなく、安定したレーザ加工を行なうことができる
。

発明の効果 本発明は上記のような構成及び作用を有するので、ブロ
ワに設けたギア室でのオイルミストの発生量を最小限に
することができ、オイルトラップの能力以上に流れるこ
とがなく、ガス圧調整電磁弁まで流出することがない、
従って、ガス圧調整電磁弁はオイルミストによって固着
させられる等、その開閉機能を損なうこともなく、装置
の信頼性が高く優れたレーザ加工を行なうことができる
等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるガスレーザ装置の一実施例を示す
ブロック図、第２図は第１図のブロワ周辺の拡大ブロッ
ク図、第３図は本発明装置のギア室電磁弁とガス圧調整
電磁弁との開閉関係を示した説明図、第４図はブロワに
設けたギア室のガス圧の状態を示したもので、本発明装
置と従来例とを比較した説明図、第５図は従来例と本発
明とのオイルミスト発生量の違いを示した説明図、第６
図は従来のガスレーザ発振器のブロワ周辺の拡大ブロッ
ク図、第７図は従来のガス圧調整電磁弁の開閉動作とブ
ロワに設けたギア室のガス圧との関連を示した説明図で
ある。 １・・・放電管　　６・・・ブロワ ０・・・ガス圧調整電磁弁　　１１・・・オイルトラッ
プ２・・・ギア室　　１３・・・ギア室電磁弁４・・・
ガス圧センサ　　１５・・・自動制御回路６・・・レー
ザガス補給管　　１７・・・真空ポンプ８・・・ガスフ
ィルタ 第１図 １：放電管 ６：ブロワ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）放電管を有するレーザガス系内を光軸方向にレー
   ザガスを流すためのブロワと、前記レーザガス系内のレ
   ーザガス圧を一定にするためのガス圧調整電磁弁と、前
   記ブロワのギア室から発生するオイルミストをトラップ
   し液化して前記ギア室にもどすためのオイルトラップと
   、前記ギア室のガス圧を一定にするためのギア室電磁弁
   と、前記レーザガス系内のガス圧を検出するためのガス
   圧センサと、設定ガス圧に対し前記ガス圧センサ信号と
   比較して前記ガス圧調整電磁弁及び前記ギア室電磁弁を
   開閉するための自動制御回路と、常時一定量の新しいレ
   ーザガスを補給するためのレーザガス補給管と、レーザ
   ガス系内へのオイルミスト流入を防止するためのガスフ
   ィルタと、前記レーザガス系内に補給した量のレーザガ
   スを常時前記レーザガス系外へ排出するための真空ポン
   プを備えたことを特徴とするガスレーザ発振装置。