JPH02180005A

JPH02180005A - アモルファス合金軟磁性粉末および磁気シールド材

Info

Publication number: JPH02180005A
Application number: JP63334197A
Authority: JP
Inventors: Masao Shigeta; 重田　政雄; Tsutomu Cho; 勤長; Hirozumi Shimizu; 清水　宏純; Kazunori Hirai; 平井　一法; Shohei Mimura; 三村　升平; Atsushi Makimura; 牧村　篤; Hiroshi Hosaka; 洋保坂
Original assignee: Tokyo Magnetic Printing Co Ltd; TDK Corp
Current assignee: TDK Corp; Toppan Infomedia Co Ltd
Priority date: 1988-12-29
Filing date: 1988-12-29
Publication date: 1990-07-12
Anticipated expiration: 2012-01-22
Also published as: JP2574174B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は水アトマイズ法により得られる軟磁性合金粉末
およびその製造方法と、この軟磁性合金粉末を粉砕して
得られるアモルファス合金軟磁性粉末と、このアモルフ
ァス合金軟磁性粉末および結合剤を含有する磁気シール
ド材とに関する。

〈従来の技術〉磁化物体その他の磁界発生源が他の物体や電気回路等に
影響を生じないようにするために、磁気シールド材が用
いられている。　磁気シールド材には高透磁率の金属板
がシールド特性からは望ましいが、金属板はその性質・
コストなどの面で用途が著しく制限される。

一方、粉末材料の場合には、これを有機結合剤に分散し
て塗料の形でシールドの必要な個所に塗布したり、ある
いは適当な可撓性支持体などに塗布してシールド板とし
たり、様々な利用が可能なので都合が良い。

高透磁率の粉末を用いた磁気シールド材には各種の提案
がなされている。　例えば特開昭５８−５９２６８号に
は高透磁率合金の扁平粉を高分子化合物結合剤中に混合
した磁気シールド塗料が、また特開昭５９−２０１４９
３号には軟磁性アモルファス合金を粉砕した扁平扮を高
分子化合物結合剤中に混合した磁気シールド塗料が示さ
れている。

これらの扁平粉を用いた磁気シールド材は厚さ方向に垂
直な平面間で等方向なシールド特性を有している。　ま
た特開昭５９−２０１４９３号に示されるような合金扁
平粉は、遷移金属−半金属（メタロイド）系の合金を高
温溶融状態から冷却ロール表面に接触させて高速急冷し
て薄帯を製造し、この薄帯を粉砕して得られるものであ
る。

しかし、アモルファス薄帯を粉砕し、磁気シールド粉に
適する扁平形状に加工することは、粉砕工程コストが高
いので、合理的工法とは言えない。　また、粉砕を助長
するため、素材自体がもろいアモルファス薄帯を用いた
り、あるいは素材自体が延性、じん性に富む場合には熱
処理し、わざわざ素材をぜい化させてから、粉砕する等
、コストアップと扁平化に逆行するようなぜい性素材を
用いる必要がある。

さらに、粉砕工程で磁気特性が大きく劣化する欠点があ
る。

このような欠点を解決するため、扁平化する一歩手前の
微粉砕粉の段階まで一工程で出来る水アトマイズ法とい
う手法が一般的に知られている。

この水アトマイズ法は冷却ロールで急冷する場合と比較
すると、急冷速度が遅い欠点があり、−数的には用いら
れていない。　しかしながら、−工程で微粉化出来、延
性素材も微粉化出来るので、扁平化し易いという大きな
利点がある。

従って、アモルファス化しに（い点を解決することによ
り、磁気シールド材として最適な扁平粉を得ることが出
来る可能性がある。

この水アトマイズ法は、粉末冶金用の合金粉末等の製造
に用いられる金属溶湯粉末化方法であり、ノズルから流
下された合金溶湯に高圧水を噴射し、冷却して粉化・凝
固させるものである。　　しかし、高圧水によって粉化
された粉末は四方へ飛散し、粉末周囲には熱伝導率の低
い水蒸気膜が形成されるため、通常の水アトマイズ法で
は１０”〜１０’に／ｓ程度の冷却速度しか得られない
。　このため、得られる合金粉末のアモルファス化の程
度は合金粉末の粒径に依存し、広範囲の粒径に亙るアモ
ルファス化は困難であった。

このような事情から、日本金属学会会報第２４巻第６号
（１９８５）ｒ新技術・新製品」別冊の［アモルファス
合金粉末の製造法の開発」では、粉化点近傍に管を設置
し、その中で強制的に乱流を作り、粉末が四方へ飛散す
るのを防止すると同時に粉末の周囲に生じる水蒸気膜を
破壊し、水と粉末を強く作用させることにより水アトマ
イズ法の冷却速度の低さを改善するという提案がなされ
ている。　この方法によって得られる合金粉末は、約１
００戸前後の粒径のものまでアモルファス化しており、
アモルファス化の程度は高いものの、同文献記載のＳＥ
Ｍ写真および見掛密度から明らかなように極めて不規則
な形状であり、Ｆｅｅ。Ｐ　２ｏ−ｘｃ　Ｘの組成にお
いて１００メツシユ以下の粉末の見掛密度（嵩密度と同
義）は０．６〜１．３ｇ　／　ｃ　ｇである。

ところで、合金粉末を結合剤と混合して塗布型の磁気シ
ールド材として用いる場合、合金粉末の形状は扁平状で
あることが好ましい。　扁平状の合金粉末は、その主面
が塗布膜面内方向となるように配向するため、磁気シー
ルド材として使用する方向に扁平方向が一致し、扁平形
状に由来する反磁界の小ささから素材自体の高い透磁率
を活用できる。　このため反磁界による塗布膜面内方向
の磁気特性の低下が防止され、良好な磁気シールド特性
が得られるからである。

上記のような水アトマイズ法により得られた不規則形状
のアモルファス合金粉末を扁平（フレーク状）化するた
めに、スタンプミル、振動ミル、アトライター等の各種
粉砕機を用いる旨が、特開昭６３＝１１４９０１号公報
に記載されている。　なお、特開昭６３−１１４９０１
号公報に記載されている不規則形状のアモルファス合金
粉末の見掛密度は、１．４〜２゜Ｏｇ／ｃｄである。

しかし、本発明者らの研究によれば、上記文献および特
開昭６３＝１１４９０１号公報に記載されているような
不規則形状の合金粉末は、スタンプミル、振動ミル、ア
トライター等の粉砕手段では扁平化が困難である。

特に、本発明者らが特願昭６２−３３１２２４号等にお
いて、磁気シールド材としての磁気特性が良好となるよ
うな扁平化が行なえる粉砕手段として提案している媒体
撹拌ミルを用いて粉砕を行なった場合、不規則形状の粉
末は直ちに破断が生じ、好ましい粒度分布の粉末を得る
ことができない。

また、特開昭５４−７６４６９号公報に記載されている
合金粉末は水アトマイズ法により作製されており、この
ものは約３６μｍ以下の粒径であればほぼアモルファス
化している。　この合金粉末の形状に関する記載はない
が、本発明者らの研究によれば、この程度の粒径の合金
粉末を水アトマイズ法により製造しかつアモルファス状
態とするためには、粉末の比表面積が極めて大きい必要
がある。　すなわち、粉末の形状が不規則であることが
必要である。　従って、この合金粉末においても、上記
と同様に良好な扁平状化は困難である。

〈発明が解決しようとする課題〉本発明はこのような事情からなされたものであり、結合
剤と混合されて塗布型の磁気シールド材として用いられ
る場合に良好な磁気特性を示すアモルファス合金軟磁性
粉末と、水アトマイズ法により製造されこのアモルファ
ス合金軟磁性粉末の原料として好適な軟磁性合金粉末お
よびその製造方法と、前記アモルファス合金軟磁性粉末
および結合剤を含有する極めて磁気シールド効果の高い
磁気シールド材とを提供することを目的とする。

く課題を解決するための手段〉本発明者らは上記目的を達成するために研究を重ねた結
果、通常の水アトマイズ法で得られる結晶相の混在率が
高い合金粉末を媒体撹拌ミルにて粉砕した場合、良好な
扁平状化が行なわれ、しかも、同時に合金粉末のアモル
ファス化がなされることを知見し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、下記（１）〜（７）から構成され
る。

（１）水アトマイズ法により製造された軟磁性合金粉末
であって、重量平均粒径Ｄ５０が５〜３０ＬＬｍである
ことを特徴とする軟磁性合金粉末。

（２）嵩密度が２　ｇ　／　ｃ　ｒｄ以上であり、鉄、
シリコンおよびＢを含有する上記（１）に記載の軟磁性
合金粉末。

（３）上記（１）または（２）に記載の軟磁性合金粉末
を製造するに際し、合金溶湯に高圧水を噴射して凝固・
粉末化した後、水中で冷却することを特徴とする軟磁性
合金粉末の製造方法。

（４）上記（１）または（２）に記載の軟磁性合金粉末
を媒体撹拌ミルにより扁平化して得られたことを特徴と
するアモルファス合金軟磁性粉末。

（５）ＤＢ。が５〜３０μｍ、厚さｌＬＬｍ以下である
上記（４）に記載のアモルファス合金軟磁性粉末。

（６）上記（４）または（５）に記載のアモルファス合
金軟磁性粉末と結合剤とを含有することを特徴とする磁
気シールド材。

（７）Ｄｓａが５〜３０μｍ、厚さ１μｍ以下のアモル
ファス合金軟磁性粉末と結合材とを含有し、最大透磁率
μｍが１００以上の磁気特性を有することを特徴とする
磁気シールド材。

〈作用〉本発明では、まず、水アトマイズ法により重量平均粒径
Ｄ　５ｏが５〜３０μｍであり、好ましくは嵩密度が２
ｇ／ｃｒｔ＋’以上である軟磁性合金粉末を製造する。

　この水アトマイズ法は、合金溶湯に高圧水を噴射して
凝固・粉末化した後、水中で冷却するものである。　こ
のようにして得られた軟磁性合金粉末は、へロー／ビー
り比で表わされるアモルファス化度が、５０〜１００％
程度である。

次いで、得られた軟磁性合金粉末を媒体撹拌ミルにより
粉砕する。　軟磁性合金粉末は、媒体撹拌ミルの圧延・
剪断作用により磁気シールド材用として好適な程度の粒
径および扁平状とされ、同時に、へロー／ビーク比９０
〜１００％程度までアモルファス化され、磁気シールド
材としての磁気特性が良好なアモルファス合金軟磁性粉
末が得られる。

このようにして得られたアモルファス合金軟磁性粉末を
結合剤と混合し、結合剤中にアモルファス合金軟磁性粉
末が分散された磁気シールド材を得る。

このような場合、粉末形状が不定形のものは、扁平化さ
れず粉砕されてしまう。　一方おおむね球状に近いもの
は、容易に扁平化される。

おおむね球状の水アトマイズ粉を作る条件は従来作られ
ていた水アトマイズ粉とは、全く逆に、なるべく遅い急
冷速度で水アトマイズ化すればよい。

即ち、水アトマイズされた溶湯粉末が、その表面張力に
より、球体になるまで固化されないような状態を作るも
のである。

これに対し、従来は、なるべくアモルファス化しようと
して、水アトマイズ化の際の水による冷却速度をかせぐ
ため、溶湯の比表面積を大きくし、溶湯と水との接触面
積を多（とる′ことを考えて、水アトマイズによる方法
でも、その冷却速度を大きなものとする。　しかし、そ
の結果、粉体形状は、不均一性の高い不定形にならざる
を得ない結果となり、シールドあるいはシールド原料粉
として使用できないものとなっていたのである。

〈具体的構成〉本発明の軟磁性合金粉末は、水アトマイズ法により製造
される。

第１図は本発明に用いられる水アトマイズ法を説明する
模式図である。

原料合金は誘導加熱などにより溶湯とされ、溶解炉ｌ底
部のノズルから噴霧タンク２内に流下される。　流下さ
れた合金溶湯に噴霧ノズル３から高圧水を噴射し、冷却
して凝固・粉末化する。　なお、粉末の酸化を防ぐため
、噴霧タンク２内は、不活性ガス雰囲気とすることが好
ましい。　次いで、噴霧タンク２および排水タンク５内
から粉末を回収し、乾燥して本発明の軟磁性合金粉末を
得る。

このような水アトマイズ法において、溶湯の流下量、噴
霧ノズルからの高圧水の加圧圧力、噴射量、噴射速度、
噴射方向、噴霧ノズルの形状等を適当に制御・調整する
ことにより、後述する嵩密度および寸法の軟磁性合金粉
末を得ることができる。　本発明における水アトマイズ
法のこれら各種条件の好適例を、下記に示す。

溶湯の流下量は１０〜１０００　ｇ　／　ｓ程度である
ことが好ましい。

噴霧ノズルからの高圧水の加圧圧力は１０〜１０００気
圧程度、噴射量は５０〜ｉｏ。

ＩＩ　／　ｓ　ｅ　ｃ程度であることが好ましい。

なお、本発明において好ましい冷却速度は１０２〜１０
’℃／Ｓ程度である。

また、原料合金の組成は、目的とするアモルファス合金
軟磁性粉末の組成とすればよい。

本発明の軟磁性合金粉末は、重量平均粒径Ｄ６゜が５〜
３０μｍであり、好ましくは７〜２０μｍである。　こ
の範囲未満となると扁平化しにくくなり、この範囲を超
えるとアモルファス化度が低下する。

なお、Ｄ、。は、軟磁性粉末を構成する軟磁性合金粒子
の重量な粒径の小さい方から積算し、この値が軟磁性粉
末全体の重量の５０％に達したときの軟磁性合金粒子の
粒径である。　また、この場合の粒径は、光散乱法を用
いた粒度分析計で測定した平均粒径である。　より具体
的には、光散乱法を用いた粒度分析とは、試料を例えば
循環しながらレーザー光やハロゲンランプ等を光源とし
てフランホーファ回折あるいはミイ散乱の散乱角を測定
し、粒度分布を測定するものである。　この詳細は、例
えば「粉体と工業Ｊ　ＶＯＬ、１９　Ｎｏ、７（１９８
７）に記載されている。

また、本発明の軟磁性合金粉末は、嵩密度が２　ｇ　／
　ｃ　ｒｄ以上、特に２．１〜５ｇ／ｃｎｆ、さらには
２．５〜４．５ｇ／ｃｒｒｒであることが好ましい。

嵩密度をこの範囲とすることにより、後述する媒体撹拌
ミルにより扁平化およびアモルファス化を良好に行なう
ことができる。

なお、嵩密度と粉末形状の規則性とは相関する。　具体
的には、嵩密度が小さい場合、粉末形状の不規則性が高
（、嵩密度が大きい場合、粉末形状の不規則性は低い。

　そして、水アトマイズ法により製造された場合、嵩密
度が上記範囲を超える軟磁性合金粉末はアモルファス化
度が低いため、媒体撹拌ミルにより粉砕を行なっでも、
後述するアモルファス化度を有するアモルファス合金軟
磁性粉末とすることが困難である。　また、嵩密度が上
記範囲未満である軟磁性合金粉末は形状不規則性が高い
ため、媒体撹拌ミルによって粉砕する際に粉末の不規則
な破断が生じ、後述する寸法、形状および粒度分布を有
するアモルファス合金軟磁性粉末とすることが困難であ
る。

このような嵩密度を有する本発明の軟磁性合金粉末の形
状は、おおむね球状である。

また、水アトマイズ法により得られた本発明の軟磁性合
金粉末は、へロー／ピーク比で表わされるアモルファス
化度が、５０〜１００％程度である。

このような本発明の軟磁性合金粉末は、媒体撹拌ミルに
より圧延され、扁平化されると同時によりアモルファス
化される。

媒体撹拌ミルはビン型ミル、ビーズミルあるいはアジテ
ータ−ボールミルとも称される撹拌機であり、例えば特
開昭６１−２５９７３９号公報などに記載がある。

第２図は、媒体撹拌ミルの構造を示す部分縦断面図であ
る。

媒体撹拌ミル１１は、円筒容器１２の内周側面およびこ
の円筒容器１２内に設けられた回転体］３の外周側面に
多数のロッド１４が植立されており、円筒容器１２内周
側面と回転体１３の外周側面との間には媒体としてビー
ズと、被粉砕物（軟磁性合金粉末）が充填される。

そして、円筒容器１２と回転体１３とが相対的に高速回
転されることにより、ロッド１４がビーズを撹拌し、被
粉砕物は主としてビーズにより圧延・剪断される。

軟磁性合金粉末は、このような媒体撹拌ミルが有する圧
延・剪断作用により、後述するような磁気シールド材と
して好適な扁平形状が得られ、同時にアモルファス化が
進められる。

本発明において、媒体撹拌ミルを用いて圧延する際の好
ましい条件としては、例えば、ビーズ径１〜５ｍｍ、ビ
ーズ充填率２０〜８０％、回転体１３外周側面に設けら
れたロッド１４先端での周速１〜２０　ｍ　／　ｓ程度
である。

なお、媒体撹拌ミル以外の粉砕手段、例えば、スタンプ
ミル、振動ミル、アトライター等では、後述するような
形状の扁平粉末を得ることはできない。

媒体撹拌ミルにより粉砕されることにより、軟磁性合金
粉末のアモルファス化はへロー／ビーク比で９０〜１０
０％程度まで向上し、また、下記のような扁平形状とな
り、本発明のアモルファス合金軟磁性粉末が得られる。

本発明において、アモルファス合金軟磁性粉末の平均厚
さは１μｍ以下、特に０．０１〜１μｍであることが好
ましい。

平均厚さが０．０１μｍ未満となると、磁気シールド材
とする場合に結合剤への分散性が低下する。　また、透
磁率等の磁気特性が低下し、シールド特性が不十分とな
る。

方、１μｍを超えると、磁気シールド材の厚さを薄く形
成した場合に均一に分散した塗膜が形成できず、また、
磁気シールド材の厚さ方向の磁性粒子の存在数を太き（
することができず、シールド特性が不十分となる。　平
均厚さが０．０１〜０．６μｍであると、より好ましい
結果を得る。

なお、平均厚さは、分析型走査型電子顕微鏡で測定すれ
ばよい。

平均アスペクト比（平均粒径／′平均厚さ）は１０〜１
００００であることが好ましい。　なお、この場合の平
均粒径とは、前述したＤ５゜で表わされるものである。

平均アスペクト比が１０未満であると反磁界の影響が太
き（なり、透磁率などの磁気特性が低下し、シールド特
性が不十分となる。

方、上記した範囲内の平均厚さを有する粉末において平
均アスペクト比が１００００を超える場合、平均粒径が
太き（なりすぎるので、結合剤中に分散して磁気シール
ド材としたときの成形性が劣化する。　なお、平均アス
ペクト比が１０〜５００であると、より好ましい結果を
得る。

なお、Ｄ５ｏは５〜３０μｍであることが好ましい。

媒体撹拌ミルにより粉砕されて得られる扁平状の粉末を
主面の方向から見ると、不定形ではなくて長軸な有する
粒子形を示す。　このような扁平状粉末の主面形状にお
いて、その長軸（最大径）をａ、短軸（最小径）をｂと
したとき、軸比の平均ａ　／　ｂは、磁気シールドに方
向性が要求される場合には１．２以上のできるだけ大き
い値であることが望ましい。　シールドすべき磁界が方
向性を有する場合には、その方向へ配向磁場を作用させ
ながら磁性塗料を硬化させればその方向の透磁率の向上
ができ、磁気シールド効果を大きくすることができる。

　この場合、ａ　／　ｂが１．２〜５となるとより好ま
しい結果を得る。　そして、媒体撹拌ミルによれば、こ
のような値が容易に得られる。

なお、粒子の長軸および短軸は、分析型透過型電子顕微
鏡により測定すればよい。

本発明のアモルファス合金軟磁性粉末は、磁気シールド
特性向上のために以下のような磁気特性を有することが
好ましい。

直流磁界での最大透磁率μｍは、２０〜８０、より好ま
しくは２５〜６０であり、保磁力Ｈｃは１〜２００ｅ、
より好ましくは１〜１４０ｅである。

本発明のアモルファス合金軟磁性粉末の組成は、強磁性
遷移金属と半金属より成るもの、あるいはこれらにさら
に少量の他元素を添加したものなど任意の合金組成を使
用できる。　強磁性遷移金属としてはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ
など、特にＦｅを主体としたもの、半金属としてはＢ、
ＳＬ、Ｃ，Ｐ、Ｇｅ、特にＢ、ＳＬを主体としたもので
あり、好ましいものはＦｅ−Ｂ−３ｉ系である。　また
これらの成分に加え、必要に応じて１０ａｔ％以下のＣ
ｒ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａ１．Ｔｉ、■、Ｓｎ、Ｚｎな
どの少なくとも１種を添加したり、Ｆｅの４０ａｔ％以
下をＮｉで置換してもよい。

特にＦｅ−Ｂ−３ｉ系合金の場合には、第３図にＯで示
したものはアモルファス軟磁性合金となるもので、これ
らを含む領域にある組成を用いることが好ましい。

なお、第３図は、（Ｆｅ＋Ｍ）−３１−Ｂ３３元組成で
あり、Ｍについては後述する。

この場合の合金組成は、下記式で表わされるものである
ことが好ましい。

式　　（Ｆｅ＋−ｙ　　Ｎ　ｉｙ）、ＭＸ　　（Ｓｉ、
　　Ｂ）Ｗただし、上記式において、ａｔ％で表わして
、Ｘ＝Ｏ〜１０、好ましくはｘ＝２〜８、ｗ＝１５〜３
７、好ましくはｗ＝１８〜３０、ｕ＝１００−　（ｘ＋
ｗ）、ｙ＝ｏ〜０．４である。

そして、Ｍは、ＴｉｌＶ％Ｎｂ、Ｔａ。

Ｚｒ％Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、ＭｎおよびＣｏから選択される
少なくとも１種であることが好ましく、これらのうち耐
食性の点でＣｒおよび／またはＮｂ、特にＣｒあるいは
これらを必須とし他の１種以上を含むものであることが
好ましい。

Ｍは、合金の耐食性や脆さを向上させるために添加され
るが、Ｍの含有量、すなわちＸが１０を超えると飽和磁
束密度が低下する。

さらに詳述すると、Ｃｒおよび／またはＮｂが添加され
る場合、これらの添加量の合計は２〜１０ａｔ％が好ま
しく、さらに、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ、■、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｂ
の１種以上が添加される場合、その添加量は１０ａｔ％
以下、特に１〜１０ａｔ％であることが好ましい。

このような範囲の添加量とすることにより、耐食性と脆
さが向上し、しかも飽和磁束密度は低下しない。

また、ｗ＝１５〜３７は、非晶質形成域である。　より
、具体的には、この領域は点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｊ、
１．Ｈを結んだ線内の領域である。

このような組成範囲のうち、第３図に示す点Ｅ、Ｆ、Ｇ
、Ｈ１工、Ｊを順に結んだ線内の領域は、高速急冷法に
より機械的に強靭なアモルファス合金が生成される領域
であり、延性が大きく扁平化しやすい。

また、点Ａ、Ｂ、Ｃ％Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈを結ぶ線内の
領域のアモルファス合金は、比較的脆いので、平均粒径
の制御がしやすい。

これを数値で示すと、第３図の３元組成図のＦｅ＋Ｍ％
Ｂ％Ｓｉの座標点（Ｆｅ＋Ｍ、Ｂ、ＳＬ）で表わして好
ましい範囲はＡ（６３，３２，５）、Ｂ（６２，２３，１５）、Ｃ（６３，１５，２２）、Ｄ（６８，５，２７）、Ｅ（８０，５，１５）、Ｆ（７７，７，１６）、Ｇ（７５，１３，１２）、Ｈ（７７，１８，５）、Ｉ　（８５，１５、Ｏ）、Ｊ（８５，７，５，７，５）を順に結んだ範囲内となる。　ただし数値はａｔ％であ
る。　この領域から得た合金の磁気シールド特性は申し
分のないことが分った。

本発明のアモルファス合金軟磁性粉末には、磁気特性向
上のために熱処理を施すことが好ましい。　これにより
、後述の磁気特性を有する磁気シールド材が得られるも
のである。

熱処理条件は、通常、３５０〜５００℃にて１０分〜５
時間程度である。　また、熱処理は、Ｎ２．Ａｒ等の不
活性ガス雰囲気にて行なうことが好ましいが、空気中あ
るいはＮ２を用いない還元性雰囲気にて行なうこともで
きる。

本発明の磁気シールド材は、このようなアモルファス合
金軟磁性粉末と結合剤とを含有し、結合剤中にアモルフ
ァス合金軟磁性粉末が分散されているものである。

本発明の磁気シールド材は、直流磁界での最大透磁率μ
ｍが１００以上、特に１５０〜４００、さらには１８０
〜３５０であり、保磁力Ｈｃが２〜２００ｅ、特に２〜
１５０ｅであることが好ましい。

このように、本発明に従い、磁気特性が向上する。　こ
れは、粉砕等の加工工数が少な（、導入される加工歪が
減少するからである。

このため、大きなμ。かえられ、十分な磁気シールド効
果かえられる。

また、Ｈｃは１０００以下となり、この点でも十分な磁
気シールド効果かえられる。

また、本発明では、アモルファス合金軟磁性粉末の磁気
シールド材中で充填率が、６０〜９５ｗｔ％であること
が好ましい。

充填率が６０ｗｔ％未満であると磁気シールド効果が急
激に減少し、９５ｗｔ％を超えると軟磁性粉末が結合剤
によって強固に結び付くことができず、磁気シールド材
の強度が低下する。

充填率が７０〜９０ｗｔ％であると、特に良好な磁気シ
ールド効果が得られ、シールド材の強度も十分である。

本発明に用いる結合剤に特に制限はなく、公知の熱可塑
性樹脂、熱硬化性樹脂、放射線硬化性樹脂等から適当に
選択することができる。

なお、磁気シールド材は、軟磁性粉末および結合剤の他
、硬化剤、分散剤、安定剤、カップリング剤等を含有し
てもよい。

このような磁気シールド材は、通常、所望の形状に成形
され、あるいは必要な溶媒を用いて塗布用組成物とされ
た後に塗布され、次いで、必要に応じて加熱硬化されて
用いられる。

なお、硬化は、一般に、加熱オーブン中で５０〜８０℃
にて６〜１００時間程度加熱すればよい。

本発明の磁気シールド材を、膜状あるいは薄板状に成形
して磁気シールド用に用いる場合、磁気シールド材の厚
さは５〜２００μｍであることが好ましい。

このような厚さ範囲とするのは、本発明の磁気シールド
材は前記したような磁気特性を有するため、５μｍの厚
さでも高い磁気シールド効果を示し、また、シールド材
が磁気飽和しない程度の強度を有する磁界のシールドを
する場合、２００μｍを超える厚さに形成しても磁気シ
ールド効果は顕著には向上せず、２００μｍ以下とすれ
ばコスト的にも有利だからである。

なお、本発明の磁気シールド材を所要の形状に成形ある
いは塗布する際に、配向磁界をかけたりあるいは機械的
に配向することにより、方向性の高い磁気シールド材と
することができ、特に、磁気シールド材を板状あるいは
膜状としたときには、膜面と平行な方向の磁界に対して
高い磁気シールド効果を示し、上記のような厚さ範囲に
て十分な効果を示すものである。

なお、磁気シールド材に適用するに際し、アモルファス
合金軟磁性粉には、Ｃｕ、Ｎｉ等の導電性被膜を形成し
てもよい。

〈実施例〉以下、具体的実施例を挙げて、本発明をさらに詳細に説
明する。

［実施例１］下記表１に示す組成の軟磁性合金を用い、第１図に示す
ような水アトマイズ装置を用いて軟磁性合金粉末サンプ
ルを得た。

軟磁性合金粉末サンプルのり、。、嵩密度、α−Ｆｅの
へロー／ビーク比を表１に示す。

次いで、軟磁性合金粉末サンプルを、表２に示す種々の
条件にて媒体撹拌ミルで粉砕し、アモルファス合金軟磁
性粉末サンプルを得た。

アモルファス合金軟磁性粉末サンプルのＤ５゜、アスペ
クト比、平均厚さ、へロー／ビーク比と、用いた軟磁性
合金粉末のサンプルＮｏ、を表２に示す。

なお、平均厚さは分析型走査型電子顕微鏡により測定し
、Ｄ５゜は光散乱を利用した粒度分析計により測定した
。

また、アモルファス合金軟磁性粉末サンプルの磁気特性
として、直流磁界での最大透磁率（μｍ）および保磁力
（Ｈｃ）を表２に示す。

これらのアモルファス合金軟磁性粉末サンプルを下記の
結合剤、硬化剤および溶剤と混合し、磁気シールド材サ
ンプルを作製した。

（結合剤）塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体［エスレックＡ（積木化学社製）］１１００重量部リウレタン［ニラポラン２３０４　（日本ポリウレタ
ン社製）］　　　　　　　１１００重量部固型分換算）（硬化剤）ポリイソシアネート［コロネートＨＬ（日本ポリウレタ
ン社製）］　　　　　ｌｏ重量部（溶　剤）ＭＥＫ　　　　　　　　　　　８５０重量部磁気シール
ド材サンプル中のアモルファス合全軟磁性粉末の充填率
は、８０ｗｔ％とした。

これらの磁気シールド材を、厚さ７５μｍのＰＥＴ基板
に１００４ｃｍ厚に塗布し、６０℃にて６０分間加熱し
て硬化し、シールド板サンプルとした。

これらのシールド板サンプルについて、シールド比を測
定した。

結果を表２に示す。

なお、シールド比は、シールド板サンプルを磁石上に設
置し、シールド板サンプルから０．５ｃｍの位置での漏
れ磁束φを測定し、これとシールド板がない場合の磁束
φ。とを比較した比φ／φ。である。

また、シールド板サンプルの磁気特性として、直流磁界
での最大透磁率（μ、）および保磁力（Ｈｃ）を表２に
示す。

以上の実施例から本発明の効果が明らかである。

ＣＲＴ等の磁気シールドの他、極めて適用範囲が広く、
また、コストも低くできる。

〈発明の効果〉本発明の軟磁性合金粉末は、水アトマイズ法により製造
されるため、製造工数が少なく低コストにて得られる。

　そして、この軟磁性合金粉末は所定範囲のＤ　５０で
あり、また、形状不規則性が低いので、媒体撹拌ミルに
より粉砕する際に破断が生じることがな（望ましい扁平
形状および寸法とすることができる。

また、このような軟磁性合金粉末には一部結晶相が存在
し、磁気特性が不十分であるが、媒体撹拌ミルにより粉
砕することによりアモルファス化することができるので
、本発明によれば望ましい形状および寸法のアモルファ
ス合金軟磁性粉末を得ることができる。

そして、本発明のアモルファス合金軟磁性粉末を含有す
る磁気シールド材は、スピーカ、

【図面の簡単な説明】

第１図は、水アトマイズ法を説明するための模式図であ
る。第２図は、媒体撹拌ミルの構造を示す部分縦断面図であ
る。第３図は、アモルファス合金組成を示す３元図である。符号の説明１・・・溶解炉２・・・噴霧タンク３・・・噴霧ノズル４・・・水５・・・排水タンク１１・・・媒体撹拌ミル１２・・・円筒容器１３・・・回転体１４・・・ロッド特許出願人　ティーデイ−ケイ株式会社同　　東京磁気
印刷株式会社代　　理　　人　　弁理士　　　石　　井　　陽Ｆ　Ｉ
　Ｇ、　２Ｆ　Ｉ　Ｇ、　３Ｆｅ＋ＭＢ（ａｔ％）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）水アトマイズ法により製造された軟磁性合金粉末
であって、重量平均粒径Ｄ＿５＿０が５〜３０μｍであ
ることを特徴とする軟磁性合金粉末。
（２）嵩密度が２ｇ／ｃｍ＾３以上であり、鉄、シリコ
ンおよびＢを含有する請求項１に記載の軟磁性合金粉末
。
（３）請求項１または２に記載の軟磁性合金粉末を製造
するに際し、合金溶湯に高圧水を噴射して凝固・粉末化
した後、水中で冷却することを特徴とする軟磁性合金粉
末の製造方法。
（４）請求項１または２に記載の軟磁性合金粉末を媒体
撹拌ミルにより扁平化して得られたことを特徴とするア
モルファス合金軟磁性粉末。
（５）Ｄ＿５＿０が５〜３０μｍ、厚さ１μｍ以下であ
る請求項４に記載のアモルファス合金軟磁性粉末。
（６）請求項４または５に記載のアモルファス合金軟磁
性粉末と結合剤とを含有するごとを特徴とする磁気シー
ルド材。
（７）Ｄ＿５＿０が５〜３０μｍ、厚さ１μｍ以下のア
モルファス合金軟磁性粉末と結合材とを含有し、最大透
磁率μｍが１００以上の磁気特性を有することを特徴と
する磁気シールド材。