JPH02182385A - 電子ビーム加工機におけるビーム偏向制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電子ビーム加工機のビーム偏向制御り法に
関するものである。

〔従来の技術〕

ｆｐＪ３図は、例えば特開昭６１−２９３８００号公報
に示された従来の電子ビーム加工機の概略構成図である
。図において、（１）は電子銃、（２）はこの電子銃（
１）から放出された電子ビーム、通常の電子ビーム加工
機ではパルスビーム、（３）はこの電子ビーム（２）を
細く絞るための集束コイル、（４）はＸＹテーブル、（
５）はこのＸＹテーブル（４）上に載置され、電子ビー
ム（２）により加工例えば穴あけ加工される被加工物、
（６）は電子ビーム（２）を所定の位置に偏向照射する
ための偏向コイル、（７）はこの偏向コイル（６）によ
って偏向されたビーム、（８）はＸＹテーブル（４）を
駆動するモータ、（９）は、その内部に、上述した電子
銃（１）、集束フィル（３）、ＸＹテーブル（４）オよ
びそ°の上の被加工物（５）、偏向コイル（６）、並び
にモータ（８）を収納する真空チャンバ、（１０）は入
出力端末装置、（１１）はこの入出力端末装置（１０）
に接続されたコンビエータ、（１２）は、このコンピュ
ータ（１１）に接続されたインターフェース、（１３）
はこのインター７二−入（１２）に接続された０／＾変
換器であって、各Ｄ／八へ換器（１３ａ）、（１３ｂ）
−（１３ｃ）、（１３ｄ）からそれぞれ上述した電子銃
（１）、集束コイル（３）、偏向コイル（６）、モータ
（８）へ、フンピユータ（１１）からの指令（ビーム出
力、集束フィル電流、偏向性、テーブル送り＠、）を与
えるようになっている。

従来の電子ビーム加工機は上述したようにも１成されて
おり、電子銃（１）から加速、放出された電子ビーム（
２）は集束レンズ（３）によって細く絞られるとともに
、必要に応じて偏向コイル（６）により偏向された後、
被加工物（５）上の所望の位置に照射される。なお、偏
向コイル（６）で制御できる距離ｆｆｉ囲を越えて加工
する場合にはＸＹテーブル（４）が用いられる。ここで
、入出力端米製ｆｆｆ（１０）より入力された情報をも
とにコンピュータ（１１）からの指令がインターフェー
ス（１２）を通してＤ／＾変換器（１３ａ）、（１３ｂ
）、（１３ｃ）、（１３ｄ）に伝達され、それぞれ電子
銃（１）、集束コイル（３）、偏向コイル（６）モータ
（８）に与えられる。即ち、電子ビーム（２）の発生タ
イミングや被加工物（５）へのビーム照射位置などを任
意に制御できる。

〔発明が解決しようとする課題〕

電子ビーム加工機の電子銃部分には、通常、数十キロボ
ルトの加速電圧が印加されるため、この電子銃内部では
アーキングと呼ばれる放電現象がしばしば発生し、これ
を制御するこくとは極めて困難である。また、このアー
キングによって無制御状態となった電子銃から誤って電
子ビームが放出され、被加工物を焼損してしまうことが
事大な問題となっていた６従来の電子ビーム加工機では
、このように被加工物へのビーム照射位置をビーム偏向
およびＸＹテーブル移動により任意に制御できるものの
、上述した問題点に関しては全く考慮されておらず、結
果的に被加工物の加工不良率を高める要因となっていた
。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、アーキングによる被加工物の損傷を者しく低
減できる電子ビーム加工機のビーム偏向制御方法を提供
することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る電子ビーム加工機におけるビーム偏向制
御方法は、電子ビーム発生信号と同期して電子ビームの
体重計期間中のみ電子ビーム加工機にビーム偏向動作を
させるのである。

〔作　用〕

この発明では、本来の電子ビーム照射期間以外はブラン
キング信号（ビーム偏向信号）を新たに設けたビーム偏
向手段としてのブランカ或いは既存のビーム偏向手段と
しての偏向コイルに与えておくことにより、アーキング
によって電子ビームが出ノＪされても被加工物に損傷を
与えることがな１、％１１ 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。

ｆ１１１図はこの発明のビーム偏向制御方法が実施され
る電子ビーム加工機の概略構成図、そして第２図はｆｊ
＆１図に示した電子ビーム加工機の動作説明用波形図で
ある。図において、（１）〜（１２）は第３図について
説明したものと同じであるので、その説明を省略する。

（１４）は電子ビーム（２）を所定のタイミングで偏向
させるためのブランカ、　（１５）はこのブランカ（１
４）によって偏向された電子ビーム、（１６）はこの偏
向された電子ビーム（１５）を受けるビームコレクタ、
（１３０）はＤ／＾変換器であって、Ｄ／＾変換器（１
３ａ）〜（１３ｄ）に加えてインターフェース（１２）
とブランカ（１４）の間に接続されたＤ／＾変換器（１
３ｅ）　も含む。

次に動作について説明する。従来と同様に、コンピュー
タ（１１）からの指令はインターフェース（１２）を通
してＤ／＾変換器（１３ａ）、（１３ｅ）＝（１３ｂ）
−（１３ｃ）＝’（１３ｄ）に伝ｉ！！され、それぞれ
電子銃（］）、ブランカ（１４）、集束コイル（３）、
偏向コイル（６）、そ−タ（８）に与えられることによ
り、電子ビーム（２）は被加工物（５）上の任意の息に
°集束照射される。この時、第２図に示されるように、
ブランカ（１４）には電子銃（１）に与えられる電子ビ
ーム発生信号と同期して、電子ビーム体１Ｅ期間中のみ
動作するようにブランキング信号が送出される。

なお、」ユ記実施例ではコンピュータ（１１）により予
めプログラムされた例について説明したが、電子ビーム
（２）の体１１−期間中のみブランカ（１４）を動作さ
せればよく、回路的に結合して同期をとる措成にしても
さしつがえない、また、ブランカ（１４）およびビーム
コレクタ（１６）を電子銃（１）と集束レンズ（３）の
中間に示したが、電子ビーム（２）が被加工物（５）に
照射されるまでの間に配置すればよい。つまり、ブラン
カ（１４）を省略して偏向フィル（６）に同様の動作を
行わせても結果として同じ効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明は、電子ビームの休止期間中の
み電子ビーム加工を幾にブランキング動作させるので、
電子銃内でのアーキングによる不慮の電子ビーム発生に
対しても被加工物を損傷することがなく、安定に加工が
達成できる効果を奏すを示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ビーム偏向手段を有する電子ビーム加工機において、電
   子ビーム発生信号と同期して電子ビームの休止期間中の
   み前記電子ビーム加工機にビーム偏向動作をさせること
   を特徴とした電子ビーム加工機におけるビーム偏向制御
   方法。