JPH02183177A - 電気的試験用取付具 - Google Patents
電気的試験用取付具Info
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- JPH02183177A JPH02183177A JP1294086A JP29408689A JPH02183177A JP H02183177 A JPH02183177 A JP H02183177A JP 1294086 A JP1294086 A JP 1294086A JP 29408689 A JP29408689 A JP 29408689A JP H02183177 A JPH02183177 A JP H02183177A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
- G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、概しては、電気的組立体または配線板の選択
された構成部分および/または入出力関係を試験するた
めの試験器具、得には、同一でも相異る種々でもよい電
気的組立体の選択された構成部分および/または入出力
関係を、迅速かつ効果的に試験するために難なく適合す
るような汎用の電気的試験用取付具に関する。
された構成部分および/または入出力関係を試験するた
めの試験器具、得には、同一でも相異る種々でもよい電
気的組立体の選択された構成部分および/または入出力
関係を、迅速かつ効果的に試験するために難なく適合す
るような汎用の電気的試験用取付具に関する。
[従来の技術]
電気的組立体の選択された構成部分および/または入出
力関係を迅速かつ効果的に試験することを容易にするた
めに種々の方法が従来用いられて来た。そのような方法
は、普通では、品質管理、トラブルシューティング、そ
してまた解析の目的で用いられており、費用を最低限に
するために迅速に実施されねばならないのが普通である
。
力関係を迅速かつ効果的に試験することを容易にするた
めに種々の方法が従来用いられて来た。そのような方法
は、普通では、品質管理、トラブルシューティング、そ
してまた解析の目的で用いられており、費用を最低限に
するために迅速に実施されねばならないのが普通である
。
電気的組立体は普通には抵抗体、蓄電器およびその他の
電気的部品を含んでおり、それら部品のすべて、または
選択された幾つかのものが、個々にモして/または所定
の組合せにおいて試験されねばならない、それは、相異
る組立体の部品の配列は屡々相異っており、組立体の入
出力関係の試験にはいろいろあることによる。
電気的部品を含んでおり、それら部品のすべて、または
選択された幾つかのものが、個々にモして/または所定
の組合せにおいて試験されねばならない、それは、相異
る組立体の部品の配列は屡々相異っており、組立体の入
出力関係の試験にはいろいろあることによる。
電気的組立体の試験のために様々な試験器具が何年も前
から開発されて来た。それら試験器具は、概して言えば
、1つの組立体または配線板を繰返し試験するか、また
は相異る組立体を各々の個有の電気回路設計に応じて試
験するべく設計されて来た。
から開発されて来た。それら試験器具は、概して言えば
、1つの組立体または配線板を繰返し試験するか、また
は相異る組立体を各々の個有の電気回路設計に応じて試
験するべく設計されて来た。
従来技術による試験器具は多くの場合、相互間に間隔を
おいた少なくとも2枚のプラテン、すなわち、一方のプ
ラテンは電気的組立体を取付けるものであり、他方のプ
ラテンは複数の貫通孔を有してそれら孔のうちの試験さ
れるべき組立体または配線板の端子に対応してそれらに
揃うような選択された孔に導電性のプローブ部材が挿入
されるものである、という2枚のプラテンを有すること
を特徴としている。プローブ部材は、孔と相対的に往復
方向に動き得ることを特徴としており、プラテンの少な
くとも一方のものは、プローブ部材の端子に向いた方の
端が端子と電気的接触を達成することを可能にするため
に、他方のプラテンに近接も離反もするように往復方向
に(普通は真空が用いられて)動き得る。プローブ部材
の反対側端は、個々に電線によって、試験デバイスに直
接に接続されるか、または試験デバイスに接続された電
気用プラグに接続されることを特徴としている。このよ
うな方式はデバイスの汎用性を著しく低減させている。
おいた少なくとも2枚のプラテン、すなわち、一方のプ
ラテンは電気的組立体を取付けるものであり、他方のプ
ラテンは複数の貫通孔を有してそれら孔のうちの試験さ
れるべき組立体または配線板の端子に対応してそれらに
揃うような選択された孔に導電性のプローブ部材が挿入
されるものである、という2枚のプラテンを有すること
を特徴としている。プローブ部材は、孔と相対的に往復
方向に動き得ることを特徴としており、プラテンの少な
くとも一方のものは、プローブ部材の端子に向いた方の
端が端子と電気的接触を達成することを可能にするため
に、他方のプラテンに近接も離反もするように往復方向
に(普通は真空が用いられて)動き得る。プローブ部材
の反対側端は、個々に電線によって、試験デバイスに直
接に接続されるか、または試験デバイスに接続された電
気用プラグに接続されることを特徴としている。このよ
うな方式はデバイスの汎用性を著しく低減させている。
何故ならば、相異る電気的組立体を試験すべくプローブ
部材の配列を変える場合のほか、屡々あることであるが
、同一の組立体における相異る端子を試験する場合でさ
えも、そのためには電線を外さねばならず、それに費用
と作業時間を要するからである。
部材の配列を変える場合のほか、屡々あることであるが
、同一の組立体における相異る端子を試験する場合でさ
えも、そのためには電線を外さねばならず、それに費用
と作業時間を要するからである。
プローブ部材と試験デバイスの間に上記のような電気配
線をすることを特徴とする試験器具の例は、米国特許の
第3.584.300号、4,115,735号、4、
344.003号、4.496.903号、4.536
.051号、4、544.886号、および4.625
.164号の各々で開示されており、それらの開示はこ
こにおいて参考として組入れられている。
線をすることを特徴とする試験器具の例は、米国特許の
第3.584.300号、4,115,735号、4、
344.003号、4.496.903号、4.536
.051号、4、544.886号、および4.625
.164号の各々で開示されており、それらの開示はこ
こにおいて参考として組入れられている。
プローブ部材が直接に試験デバイスに配線されるのでは
ない汎用の試験器具の例が米国特許の第4、443.7
56号で開示されており、その開示はここにおいて参考
として組入れられている。この試験器具は、上側、中間
、および下側のプラテンを有することを特徴とし、下側
プラテンには、試験されるはずの電気的組立体または配
線板の端子に応じて種々のパターンで試験デバイスに接
続され得るような導電性パッドのマトリックスが設けら
れている。試験されるべき組立体または配線板が上側プ
ラテンの上に取付けられ、中間プラテンにある貫通孔の
うちの、下側プラテン上の特定のパッドと上側プラテン
上に取付けられた試験されるはずの端子の両者に揃うよ
うな予め選択された貫通孔にプローブ部材がそれら孔を
通して往復方向に動き得るように取付けられる。しかし
、作動の際には、中間プラテンが真空または他の手段に
よって下側プラテンに接合され、上側プラテンだけが中
間プラテンに近接も離反もするように往復方向に動き得
るので、下側プラテンの上側プラテンに対しての運動の
自由度をなくしており、したがって、機械器具の汎用性
を減殺している。
ない汎用の試験器具の例が米国特許の第4、443.7
56号で開示されており、その開示はここにおいて参考
として組入れられている。この試験器具は、上側、中間
、および下側のプラテンを有することを特徴とし、下側
プラテンには、試験されるはずの電気的組立体または配
線板の端子に応じて種々のパターンで試験デバイスに接
続され得るような導電性パッドのマトリックスが設けら
れている。試験されるべき組立体または配線板が上側プ
ラテンの上に取付けられ、中間プラテンにある貫通孔の
うちの、下側プラテン上の特定のパッドと上側プラテン
上に取付けられた試験されるはずの端子の両者に揃うよ
うな予め選択された貫通孔にプローブ部材がそれら孔を
通して往復方向に動き得るように取付けられる。しかし
、作動の際には、中間プラテンが真空または他の手段に
よって下側プラテンに接合され、上側プラテンだけが中
間プラテンに近接も離反もするように往復方向に動き得
るので、下側プラテンの上側プラテンに対しての運動の
自由度をなくしており、したがって、機械器具の汎用性
を減殺している。
前述したような試験器具に用いられるための別のタイプ
のプローブ部材が何年も前から開発されて来ている。そ
の中の幾つかの例は、米国特許第4、397.519号
、4.633.176号、および4.659.987号
で開示されたものがあり、それらの開示はここにおいて
参考として組入れられている。
のプローブ部材が何年も前から開発されて来ている。そ
の中の幾つかの例は、米国特許第4、397.519号
、4.633.176号、および4.659.987号
で開示されたものがあり、それらの開示はここにおいて
参考として組入れられている。
さらに別の汎用の配線板試験器具の例が米国特許第4.
357. (162号で開示されていて、その開示はこ
こにおいて参考として組入れられている。この試験器具
においては、プローブ部材が試験デバイスに配線される
ことはないが、プローブ部材と、接触されるべき端子と
の間において中間剛性ビンが用いられており、そのため
に、組立ての複雑さ、そしてそれに伴う作業時間と出費
が大きく増大している。
357. (162号で開示されていて、その開示はこ
こにおいて参考として組入れられている。この試験器具
においては、プローブ部材が試験デバイスに配線される
ことはないが、プローブ部材と、接触されるべき端子と
の間において中間剛性ビンが用いられており、そのため
に、組立ての複雑さ、そしてそれに伴う作業時間と出費
が大きく増大している。
[発明が解決しようとする課題]
本発明は、上記の方式とは対照的に、同一でも相異る種
々でもよい電気組立体の、選択された部分を試験するた
めにも入出力関係を解析するためにも容易に適合され得
るように、それぞれの場合の試験要件に応じて選択的に
用いられるような配列されたプローブ部材を簡単で経済
的な方式で含んでいる汎用の試験器具を提供する。
々でもよい電気組立体の、選択された部分を試験するた
めにも入出力関係を解析するためにも容易に適合され得
るように、それぞれの場合の試験要件に応じて選択的に
用いられるような配列されたプローブ部材を簡単で経済
的な方式で含んでいる汎用の試験器具を提供する。
したがって、本発明の1つの目的は、1つの電気的組立
体の選択された部分および/または入出力関係を試験す
るための汎用の試験器具を提供することである。
体の選択された部分および/または入出力関係を試験す
るための汎用の試験器具を提供することである。
本発明の他の目的は、相異る電気的組立体の選択された
部分および/または入出力関係を迅速かつ経済的方式で
試験し得るような汎用の試験器具を提供することである
。
部分および/または入出力関係を迅速かつ経済的方式で
試験し得るような汎用の試験器具を提供することである
。
本発明のさらに別の目的は、同一でも相異る種々でもよ
い試験用の電気組立体の選択された部分および/または
入出力関係を迅速かつ経済的な方式で試験することに難
なく適合させられ得るような汎用の試験器具を提供する
ことである。
い試験用の電気組立体の選択された部分および/または
入出力関係を迅速かつ経済的な方式で試験することに難
なく適合させられ得るような汎用の試験器具を提供する
ことである。
[課題を解決するための手段]
以降の実施例で説明する。
[実施例]
第1図において、通常は電気絶縁性材料で作られていて
商取引では普通にブレッドボード(breadboar
d)と呼ばれるベース板12上に取付けられた電気的部
品8に関する所望の情報を試験デバイス28が受信のう
えで出力することを可能にするように、本発明による試
験器具が用いられている。部品8は、それぞれの場合に
所望の試験が行われるために、試験デバイス28に電気
的に接続されるべき端子lOを有している。第1図では
電気的部品を1つしか示していないが、本発明による試
験器具は、試験されるべき電気的組立体または配線体の
選択された複数の部分および/または入出力関係を試験
することが可能なように働く。
商取引では普通にブレッドボード(breadboar
d)と呼ばれるベース板12上に取付けられた電気的部
品8に関する所望の情報を試験デバイス28が受信のう
えで出力することを可能にするように、本発明による試
験器具が用いられている。部品8は、それぞれの場合に
所望の試験が行われるために、試験デバイス28に電気
的に接続されるべき端子lOを有している。第1図では
電気的部品を1つしか示していないが、本発明による試
験器具は、試験されるべき電気的組立体または配線体の
選択された複数の部分および/または入出力関係を試験
することが可能なように働く。
本発明による試験器具は、相互間に間隔をおいた位置関
係にある上側プラテン2と、中間プラテン4と、下側プ
ラテン6とを含んでいる。プラテン6は2つまたはより
多くの別個の部分6.6゜で成っていてよく、それにつ
いては以降で述べる。
係にある上側プラテン2と、中間プラテン4と、下側プ
ラテン6とを含んでいる。プラテン6は2つまたはより
多くの別個の部分6.6゜で成っていてよく、それにつ
いては以降で述べる。
試験されるべき電気的組立体または配線板は、端子lO
が中間プラテン4の方に向って伸びるような形で上側プ
ラテン2に固定される。
が中間プラテン4の方に向って伸びるような形で上側プ
ラテン2に固定される。
プラテン2.4および6は、垂直方向のビンつまりシャ
フトのような適当な手段によって相互に揃うように保持
され、 a)下側プラテン6が上側プラテン2と中間プラテン4
に対して動きを制約されて上側プラテン2と中間プラテ
ン4が同時におよび/または個別に下側プラテン6に近
接も離反もするように動かされるか、 b)上側プラテン2と中間プラテン4が下側プラテン6
に対して同時に動きを制約されてプラテン6が上側プラ
テン2と中間プラテン4に近接も離反もするように動か
されるか、 C)中間プラテン4が上側プラテン2と下側プラテン6
に対して動きを制約されて上側プラテン2と下側プラテ
ン6が同時におよび/または個別に中間プラテンに近接
も離反もするように動かされるか、 のうちの選択された動きが可能なようになっている。
フトのような適当な手段によって相互に揃うように保持
され、 a)下側プラテン6が上側プラテン2と中間プラテン4
に対して動きを制約されて上側プラテン2と中間プラテ
ン4が同時におよび/または個別に下側プラテン6に近
接も離反もするように動かされるか、 b)上側プラテン2と中間プラテン4が下側プラテン6
に対して同時に動きを制約されてプラテン6が上側プラ
テン2と中間プラテン4に近接も離反もするように動か
されるか、 C)中間プラテン4が上側プラテン2と下側プラテン6
に対して動きを制約されて上側プラテン2と下側プラテ
ン6が同時におよび/または個別に中間プラテンに近接
も離反もするように動かされるか、 のうちの選択された動きが可能なようになっている。
中間プラテン4には、それを貫通する複数の配列された
孔14が、それら孔のうちの幾つかを予め選択するなら
ばこの試験器具によって、1つまたは予め選択された相
異る種々の電気的組立体の選択された構成部分を試験す
ることを可能にするように設けられている。
孔14が、それら孔のうちの幾つかを予め選択するなら
ばこの試験器具によって、1つまたは予め選択された相
異る種々の電気的組立体の選択された構成部分を試験す
ることを可能にするように設けられている。
本発明による試験器具は、少なくともそれぞれの場合の
組立体構成部分または構成部分の組合せを試験するため
に予め選定された孔14の中に入れられる導電性プロー
ブ部材(全体として参照番号30で示す)を含んでいる
。
組立体構成部分または構成部分の組合せを試験するため
に予め選定された孔14の中に入れられる導電性プロー
ブ部材(全体として参照番号30で示す)を含んでいる
。
それにならって下側プラテン6は、そこから中間プラテ
ン4の方へと、接触されるべき組立体の端子の各々ため
に伸びている予め選択された電気的接触片24を含んで
いる。接触片24は、プラテン6にある配列された貫通
孔13の中に選択的に取付けられるのが望ましい、各接
触片24は、それに電気的に接続されるべきそれぞれの
場合の電気的組立体の端子と実質的に揃っており、その
場合それらの間に位置している孔14は、端子とも接触
片とも実質的に揃う、下側プラテン6は、電気絶縁性材
料で作られているのが望ましいが、接触片24が接触す
る場所においてそれら接触片の回りに電気絶縁体が設け
られる場合には金属で作られていてよい、各接触片24
は、配線26のような適当な電気導通手段によって試験
デバイス28に直接に、または参照番号27で示してい
るような適当な電気用プラグや類似のものが用いられて
接続されている。
ン4の方へと、接触されるべき組立体の端子の各々ため
に伸びている予め選択された電気的接触片24を含んで
いる。接触片24は、プラテン6にある配列された貫通
孔13の中に選択的に取付けられるのが望ましい、各接
触片24は、それに電気的に接続されるべきそれぞれの
場合の電気的組立体の端子と実質的に揃っており、その
場合それらの間に位置している孔14は、端子とも接触
片とも実質的に揃う、下側プラテン6は、電気絶縁性材
料で作られているのが望ましいが、接触片24が接触す
る場所においてそれら接触片の回りに電気絶縁体が設け
られる場合には金属で作られていてよい、各接触片24
は、配線26のような適当な電気導通手段によって試験
デバイス28に直接に、または参照番号27で示してい
るような適当な電気用プラグや類似のものが用いられて
接続されている。
第1図において、プローブ部材30の各々は、上側プラ
テン2の方に向いた導電性の第1の端部18と、接触片
24の方に向いていてそれに揃い、それと電気的接続を
達成するに適している導電性の反対側端部22を有して
いる。
テン2の方に向いた導電性の第1の端部18と、接触片
24の方に向いていてそれに揃い、それと電気的接続を
達成するに適している導電性の反対側端部22を有して
いる。
プローブ部材30は、第1図に示しであるように一体構
造の導電性ボディ部分20を有していてもよいが、第2
図によって以降に説明するように、別個になった複数の
ボディ部分を含んでいてもよい。
造の導電性ボディ部分20を有していてもよいが、第2
図によって以降に説明するように、別個になった複数の
ボディ部分を含んでいてもよい。
プローブ部材30は導電性であるので、試験器具は、プ
ラテン4が導電性材料で作られているときには、少なく
とも予め選択された孔14に固定された電気絶縁性で中
空間端形の第1のスリーブ16を含んでいる。プラテン
4が電気絶縁性材料で作られている場合にはスリーブ1
6はなくてよい、プローブ部材のボディ部分20は、オ
プショナルとしては、導電性材料で作られたプラテン4
に電気的に接触することを防ぎ、しかしながら端子lO
と接触片24の間の電気的接触が達成されることは可能
にするために必要な限度まで電気絶縁性材料で被覆され
ていてもよい。
ラテン4が導電性材料で作られているときには、少なく
とも予め選択された孔14に固定された電気絶縁性で中
空間端形の第1のスリーブ16を含んでいる。プラテン
4が電気絶縁性材料で作られている場合にはスリーブ1
6はなくてよい、プローブ部材のボディ部分20は、オ
プショナルとしては、導電性材料で作られたプラテン4
に電気的に接触することを防ぎ、しかしながら端子lO
と接触片24の間の電気的接触が達成されることは可能
にするために必要な限度まで電気絶縁性材料で被覆され
ていてもよい。
プローブ部材30は、孔14および(用いられているな
らば)スリーブ16に対して、軸方向での両方向に動き
得る。
らば)スリーブ16に対して、軸方向での両方向に動き
得る。
第1図において、プラテン2.4.および6は、プラテ
ン6の動きを制約してプラテン2と4を同時におよび/
または個別にプラテン6に近接も離反もするように動か
すか、プラテン2と4の動きを同時に制約してプラテン
6をプラテン2と4に近接も離反もするように動かすか
、プラテン4のプラテン2と6に対する動きを制約して
プラテン2と6を同時におよび/または個別にプラテン
4に離反も近接もするように動かすか、によって選択的
に動かし得る。いずれの動き方であっても、接触片24
が、プローブ部材30を孔14を通して端子10の方へ
と、端子10と接触片24の間で電気的接触が達成され
るまで動かす、ということが容易に知られる。
ン6の動きを制約してプラテン2と4を同時におよび/
または個別にプラテン6に近接も離反もするように動か
すか、プラテン2と4の動きを同時に制約してプラテン
6をプラテン2と4に近接も離反もするように動かすか
、プラテン4のプラテン2と6に対する動きを制約して
プラテン2と6を同時におよび/または個別にプラテン
4に離反も近接もするように動かすか、によって選択的
に動かし得る。いずれの動き方であっても、接触片24
が、プローブ部材30を孔14を通して端子10の方へ
と、端子10と接触片24の間で電気的接触が達成され
るまで動かす、ということが容易に知られる。
前述したように、プラテン6は図で参照番号6と6°で
示された個別になった複数の部分で成っていてよく、そ
れら部分6.6°は、独立的、選択的にプラテン2と4
に近接も離反もするように動き得るので、試験されてい
る電気的組立体の別々のセクションについて、接触片2
4と端子lOの間で電気的接触を選択的にプログラミン
グすることができる。
示された個別になった複数の部分で成っていてよく、そ
れら部分6.6°は、独立的、選択的にプラテン2と4
に近接も離反もするように動き得るので、試験されてい
る電気的組立体の別々のセクションについて、接触片2
4と端子lOの間で電気的接触を選択的にプログラミン
グすることができる。
また、第1図においては、1つのプローブ部材30が他
の図中のプローブ部材30のボディ部分20よりも軸方
向長さが長いボディ部分20゛を有していることが示さ
れている。それはつまり、用いられるプローブ部材の長
さは必ずしもすべて同じでなくともよいこと、そして、
プローブ部材のうちの選択されたものが、他のものより
も前に、接触片24と電気的組立体または配線板の端子
10の間の電気的接触を達成するようにして逐次的試験
を行いたい場合に、このようにすることが用いられ得る
、ということを示している。このようにすることは、プ
ローブ部材が、第2図に示す試験器具について以降にお
いて説明するように弾力性あるバイアス手段を含むとき
に効果的に用いられ得る6ついでに述べておくが、本発
明による試験器具の逐次的試験の能力をさらに高めるた
めに、プローブ部材30と接触片24の両方において、
選択されたものが相異る長さを有するようにできる。
の図中のプローブ部材30のボディ部分20よりも軸方
向長さが長いボディ部分20゛を有していることが示さ
れている。それはつまり、用いられるプローブ部材の長
さは必ずしもすべて同じでなくともよいこと、そして、
プローブ部材のうちの選択されたものが、他のものより
も前に、接触片24と電気的組立体または配線板の端子
10の間の電気的接触を達成するようにして逐次的試験
を行いたい場合に、このようにすることが用いられ得る
、ということを示している。このようにすることは、プ
ローブ部材が、第2図に示す試験器具について以降にお
いて説明するように弾力性あるバイアス手段を含むとき
に効果的に用いられ得る6ついでに述べておくが、本発
明による試験器具の逐次的試験の能力をさらに高めるた
めに、プローブ部材30と接触片24の両方において、
選択されたものが相異る長さを有するようにできる。
第2図の試験器具におけるプラテンは、第1図の場合と
本質的には同様であるが、異ることとして、端子lOの
近くの、それがベース板12を通して伸びる領域におい
て、導電性金属面(被覆)32を有する孔が含まれてい
る。
本質的には同様であるが、異ることとして、端子lOの
近くの、それがベース板12を通して伸びる領域におい
て、導電性金属面(被覆)32を有する孔が含まれてい
る。
プラテン2,4.および6はさきに説明したように働く
、また、簡単のため、導電性材料と電気絶縁性材料の使
い分けは説明されていない、何故ならば、そのようなこ
とは、プラテン4が導電性材料で作られているときにプ
ローブ部材30とプラテン4の間の電気的な接触を防止
する技術について知識ある当業者にはよく知られている
からである。
、また、簡単のため、導電性材料と電気絶縁性材料の使
い分けは説明されていない、何故ならば、そのようなこ
とは、プラテン4が導電性材料で作られているときにプ
ローブ部材30とプラテン4の間の電気的な接触を防止
する技術について知識ある当業者にはよく知られている
からである。
第2図において、プローブ部材30は、プラテン4を貫
通している配列された孔14のうちの少なくとも予め選
択されたものを通して伸びている。しかし、この第2図
の場合には、プローブ部材30は、一部品である導電性
の上側ボディ部分19と、それとは別個であって、互い
に別個の導電性のセクション22と34に分れている下
側ボディ部分を有している。ボディ部分19の端18は
、試験デバイス28で試験されるはずの部品8の谷lO
の方を向いていてそれに係合するように働く、ボディ部
分21の接触片24に向いた端22は、その接触片と電
気的接触をするように働く。
通している配列された孔14のうちの少なくとも予め選
択されたものを通して伸びている。しかし、この第2図
の場合には、プローブ部材30は、一部品である導電性
の上側ボディ部分19と、それとは別個であって、互い
に別個の導電性のセクション22と34に分れている下
側ボディ部分を有している。ボディ部分19の端18は
、試験デバイス28で試験されるはずの部品8の谷lO
の方を向いていてそれに係合するように働く、ボディ部
分21の接触片24に向いた端22は、その接触片と電
気的接触をするように働く。
第2図においては、プラテン4の孔14を通して伸びて
いる第1のスリーブ16の中に、中空開端形の第2のス
リーブ36が摺動可能に収容されている。スリーブ36
は、局部絞り(crimping)または他の適当な手
段によってボディ部分19の下端部に係合させられてい
て、その下端部はそこを第2のボディ部分22の方に向
けて貫通した端部31を有しており、第2のボディ部分
は、互に別個の導電性の上側セクション34と導電性の
下側セクション21で成っていて、この下側セクション
21がさきに述べた反対側端部22を含んでいる。
いる第1のスリーブ16の中に、中空開端形の第2のス
リーブ36が摺動可能に収容されている。スリーブ36
は、局部絞り(crimping)または他の適当な手
段によってボディ部分19の下端部に係合させられてい
て、その下端部はそこを第2のボディ部分22の方に向
けて貫通した端部31を有しており、第2のボディ部分
は、互に別個の導電性の上側セクション34と導電性の
下側セクション21で成っていて、この下側セクション
21がさきに述べた反対側端部22を含んでいる。
セクション34はスリーブ36の中に、ボディ部分19
とセクション21の間で動き得るように収容されており
、スリーブ36は、セクション21に局部絞りまたは他
の適当な手段によって固定されている。
とセクション21の間で動き得るように収容されており
、スリーブ36は、セクション21に局部絞りまたは他
の適当な手段によって固定されている。
セクション34は例えばボールベアリングの金属球であ
ってよい。
ってよい。
金属製コイルばね40のような導電性の第1のバイアス
手段が、スリーブ36の中のセクション34とセクショ
ン21の間に収容されていて、弾力をもってセクション
34をボディ部分19の端部31に押し付け、端部18
とセクション21の間の電気的接触を達成させる働きを
する。
手段が、スリーブ36の中のセクション34とセクショ
ン21の間に収容されていて、弾力をもってセクション
34をボディ部分19の端部31に押し付け、端部18
とセクション21の間の電気的接触を達成させる働きを
する。
スリーブ36の回りには、コイルばね42のような弾力
性ある第2のバイアス手段が取付けられている。ばね4
2は、それの上端9はスリーブ16に係合し1反対側の
端11はセクション21の近くでスリーブ36に係合し
てるのが望ましいが、プローブ部材30を孔14の中に
支持すると共に、弾力をもってボディ部分21の端部2
2を接触片24に押し付ける働きをする。
性ある第2のバイアス手段が取付けられている。ばね4
2は、それの上端9はスリーブ16に係合し1反対側の
端11はセクション21の近くでスリーブ36に係合し
てるのが望ましいが、プローブ部材30を孔14の中に
支持すると共に、弾力をもってボディ部分21の端部2
2を接触片24に押し付ける働きをする。
また、第2図においては、接触片24よりも軸方向長さ
が短い接触片24°が示されている。接触片24°は、
電線26によって中間の電気用プラグ27を経て電気的
試験デバイス28に電気的に接続され得るものであるが
、このものは、接触片24がプローブ部材30を経て端
子lOとの電気的接触を達成した後で、プローブ部材3
0を経て端子10”との電気的接触を達成するように働
く。プラテン6上に取付けられた選択された電気的接触
片の軸方向長さを一様でなくすることと、プラテン6を
第1図についてさきに説明したように別個の複数部分に
分割することとを組合わせるならば、電気的組立体の種
々の端子が試験器具と電気的接触を達成するに至る順序
を選択的にプログラミングすることにおいての大きな多
芸性が得られる。このようにすることは、電気的組立体
の種々の端子の間での、電気的接触のプログラミングに
おいて大きな利点となる。
が短い接触片24°が示されている。接触片24°は、
電線26によって中間の電気用プラグ27を経て電気的
試験デバイス28に電気的に接続され得るものであるが
、このものは、接触片24がプローブ部材30を経て端
子lOとの電気的接触を達成した後で、プローブ部材3
0を経て端子10”との電気的接触を達成するように働
く。プラテン6上に取付けられた選択された電気的接触
片の軸方向長さを一様でなくすることと、プラテン6を
第1図についてさきに説明したように別個の複数部分に
分割することとを組合わせるならば、電気的組立体の種
々の端子が試験器具と電気的接触を達成するに至る順序
を選択的にプログラミングすることにおいての大きな多
芸性が得られる。このようにすることは、電気的組立体
の種々の端子の間での、電気的接触のプログラミングに
おいて大きな利点となる。
ついでに述べておくが、端子10’と接触片24′とに
揃っている選択されたプローブ部材30は、第2図で示
されたような、短かくされたボディ部分19゛を有する
といったことにより軸方向長さが短かくなっていてよい
、このようにすれば、さきに述べたようなプラテン2.
4.および6の間のいずれの動き方の場合でも、電気的
組立体の端子と試験器具との間の電気的接触が達成され
る順序を選択的に決めることを可能にするが、下側プラ
テン6上に取付けられる電気的接触片24,24°の軸
方向長さを選択的に違えることと、下側プラテンをさき
に述べたように個別にプラテン2と4に近接も離反もす
るような2つまたはより多くの部分6.6°に分割する
こと、の一方または両方と組合せるならば、本発明によ
る試験器具の汎用性がさらに拡大されろことになる。
揃っている選択されたプローブ部材30は、第2図で示
されたような、短かくされたボディ部分19゛を有する
といったことにより軸方向長さが短かくなっていてよい
、このようにすれば、さきに述べたようなプラテン2.
4.および6の間のいずれの動き方の場合でも、電気的
組立体の端子と試験器具との間の電気的接触が達成され
る順序を選択的に決めることを可能にするが、下側プラ
テン6上に取付けられる電気的接触片24,24°の軸
方向長さを選択的に違えることと、下側プラテンをさき
に述べたように個別にプラテン2と4に近接も離反もす
るような2つまたはより多くの部分6.6°に分割する
こと、の一方または両方と組合せるならば、本発明によ
る試験器具の汎用性がさらに拡大されろことになる。
第1図は本発明による試験器具の1つの実施例の部分的
断面図、 第2図は本発明による試験器具の他の実施例の部分的断
面図である。 2・・・・上側プラテン、 4・・・・中側プラテン、
6・・・・下側プラテン、 8・・・・電気的組立体(部品)、 lO・・・・端子、 14・・・・孔、1B
・・・・第1の端部(30の)、 22・・・・反射側端部(30の)、 24・・・・電気的接触片、 28・・・・試験デバイ
ス、30・・・・プローブ部材、 4042・・・・バイアス手段(コイルばね)。
断面図、 第2図は本発明による試験器具の他の実施例の部分的断
面図である。 2・・・・上側プラテン、 4・・・・中側プラテン、
6・・・・下側プラテン、 8・・・・電気的組立体(部品)、 lO・・・・端子、 14・・・・孔、1B
・・・・第1の端部(30の)、 22・・・・反射側端部(30の)、 24・・・・電気的接触片、 28・・・・試験デバイ
ス、30・・・・プローブ部材、 4042・・・・バイアス手段(コイルばね)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電気的組立体に含まれる選択された端子(10、1
0′)に接触させるための取付具であって、相互間に間
隔をおいた下側(6)、中間(4)および上側(2)の
3枚のプラテンと、 それぞれに、少なくとも中間プラテンの選択された孔(
14)を貫通して延びそこを通して往復運動可能の導電
性プローブ部材(30)を含んで成り、 前記3枚のプラテンは、a)下側プラテン (6)が上側および中間のプラテン(2、4)に対して
動かないように固定され、上側および中間のプラテン(
2、4)は同時にかつ個別に、または同時にまたは個別
に下側プラテン(6)に近接しおよび離反するように動
かされるか、b)中間および上側のプラテン(4、2)
が下側プラテンに対して動かないように固定され、下側
プラテン(6)が中間および上側のプラテン(4、2)
に近接しおよび離反するように動かされるか、c)中間
プラテン(4)が上側および下側のプラテン(2、6)
に対して動かないように上側および下側のプラテン(2
、6)が同時にかつ個別に、または同時にまたは個別に
中間プラテン(4)と相対的に動かされるか、のうちの
いずれかで、選択された動きが可能なようにされていて
、 前記の上側プラテン(2)は、中間プラテン(4)の方
へと伸びていてそれぞれ接触されるべき選択された端子
(10、10′)を少なくとも備えている電気的組立体
を固定するように構成され、前記の下側プラテン(6)
は、それぞれに電気的組立体(8)の接触されるべき端
子(10、10′)に対応してそれらに揃うように、下
側プラテン(6)から中間プラテン(4)の方へ伸びて
いて、電気的組立体の選択された構成部分に関する所望
の情報を提供する働きをする試験デバイス(28)に電
気的に接続される、所定の配列になつた電気的接触片(
24、24′)を有し、 前記の中間プラテン(4)は、それを厚さ方向に貫通す
る配列された複数の孔(14)を有していて、それら孔
のうちの選択されたものが、接触されるべき端子(10
、10′)の各々およびそれらと揃うそれぞれの電気的
接触片(24、24′)に対応し、実質的にそれらに揃
い、 前記導電性プローブ部材(30)は、複数の部材であっ
て、それぞれが、揃う相手の端子(10、10′)と電
気的に接触するに適した第1の端部(18)と、揃う相
手の電気的接触片(24、24′)と電気的に係合する
に適した反対側端部(22)とを有し、 前記取付具は、前記a)、b)、c)のいずれかの動き
によって、電気的接触片(24、24′)が、揃う相手
のそれぞれの電導性プローブ部材(30)の反対側端部
(22)に係合し、それによりプローブ部材(30)を
上側プラテンの方へと、第1の端部(18)がそれと揃
う端子(10、10′)と電気的接触を達成するに十分
な距離だけ押し進めるように働く電気的試験用取付具。 2、中間プラテンに取付けられていて、それぞれに、選
択された孔(14)の中でプローブ部材(30)を支持
すると共に、それの反対側端部(22)が弾力性をもっ
て電気的接触片(24、24′)に係合することを可能
にする働きをする弾力性あるバイアス手段(40)を含
んでいる、請求項1に記載の取付具。 3、前記接触片(24、24′)の少なくとも1つが残
りの接触片とは異った軸方向長さを有している、請求項
1に記載の取付具。 4、前記プローブ部材(30)の少なくとも1本が残り
のプローブ部材とは異った軸方向長さを有している、請
求項1または3に記載の取付具。 5、下側プラテン(6)が、それぞれに中間および上側
のプラテン(4、2)に近接も離反もするように別個に
動き得るような、少なくとも2つの部分(6、6′)か
ら成っている、請求項1に記載の取付具。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US270,866 | 1988-11-14 | ||
| US07/270,866 US4904935A (en) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | Electrical circuit board text fixture having movable platens |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02183177A true JPH02183177A (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=23033141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1294086A Pending JPH02183177A (ja) | 1988-11-14 | 1989-11-14 | 電気的試験用取付具 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4904935A (ja) |
| EP (1) | EP0374434A1 (ja) |
| JP (1) | JPH02183177A (ja) |
| CA (1) | CA1322388C (ja) |
| MX (1) | MX166742B (ja) |
Families Citing this family (80)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5225771A (en) * | 1988-05-16 | 1993-07-06 | Dri Technology Corp. | Making and testing an integrated circuit using high density probe points |
| US5003255A (en) * | 1989-06-15 | 1991-03-26 | Nhk Spring Co., Ltd. | Electric contact probe |
| US5084673A (en) * | 1989-06-15 | 1992-01-28 | Nhk Spring Co., Ltd. | Electric contact probe |
| US5576631A (en) * | 1992-03-10 | 1996-11-19 | Virginia Panel Corporation | Coaxial double-headed spring contact probe assembly |
| US5345170A (en) | 1992-06-11 | 1994-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems |
| US6380751B2 (en) * | 1992-06-11 | 2002-04-30 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
| DE4226069C2 (de) * | 1992-08-06 | 1994-08-04 | Test Plus Electronic Gmbh | Adaptereinrichtung für eine Prüfeinrichtung für Schaltungsplatinen |
| JPH0677467B2 (ja) * | 1992-12-25 | 1994-09-28 | 山一電機株式会社 | Icソケット |
| US5311120A (en) * | 1993-01-06 | 1994-05-10 | Bartholomew Mark R | Test fixture with test function feature |
| GB2278965B (en) * | 1993-06-07 | 1997-08-27 | Centalic Tech Dev Ltd | Testing Apparatus |
| US5942906A (en) * | 1994-11-18 | 1999-08-24 | Virginia Panel Corporation | Interface system utilizing engagement mechanism |
| US5557213A (en) * | 1994-12-01 | 1996-09-17 | Everett Charles Technologies, Inc. | Spring-loaded electrical contact probe |
| DE19507127A1 (de) * | 1995-03-01 | 1996-09-12 | Test Plus Electronic Gmbh | Adaptersystem für Baugruppen-Platinen, zu verwenden in einer Prüfeinrichtung |
| US6232789B1 (en) | 1997-05-28 | 2001-05-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probe holder for low current measurements |
| US5561377A (en) * | 1995-04-14 | 1996-10-01 | Cascade Microtech, Inc. | System for evaluating probing networks |
| US5949238A (en) * | 1995-12-20 | 1999-09-07 | Siemens Medical Systems, Inc. | Method and apparatus for probing large pin count integrated circuits |
| US5764071A (en) * | 1996-01-05 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Method and system for testing an electronic module mounted on a printed circuit board |
| US5914613A (en) * | 1996-08-08 | 1999-06-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
| US6181149B1 (en) * | 1996-09-26 | 2001-01-30 | Delaware Capital Formation, Inc. | Grid array package test contactor |
| US5801544A (en) * | 1997-01-16 | 1998-09-01 | Delaware Capital Formation, Inc. | Spring probe and method for biasing |
| US6002263A (en) * | 1997-06-06 | 1999-12-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having inner and outer shielding |
| US6194908B1 (en) * | 1997-06-26 | 2001-02-27 | Delaware Capital Formation, Inc. | Test fixture for testing backplanes or populated circuit boards |
| JP4060919B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2008-03-12 | 富士通株式会社 | 電気的接続装置、接触子製造方法、及び半導体試験方法 |
| GB2336948A (en) * | 1998-04-30 | 1999-11-03 | 3Com Technologies Ltd | BNC test connector |
| US6193337B1 (en) | 1998-06-15 | 2001-02-27 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive sheet dispenser |
| US6256882B1 (en) | 1998-07-14 | 2001-07-10 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US6433562B1 (en) * | 1998-08-28 | 2002-08-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus of interconnecting with a system board |
| US6578264B1 (en) | 1999-06-04 | 2003-06-17 | Cascade Microtech, Inc. | Method for constructing a membrane probe using a depression |
| US6445202B1 (en) | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
| US6838890B2 (en) | 2000-02-25 | 2005-01-04 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US6691195B1 (en) * | 2000-03-06 | 2004-02-10 | International Business Machines Corporation | Compact diagnostic connector for a motherboard of data processing system |
| US6914423B2 (en) * | 2000-09-05 | 2005-07-05 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| US6965226B2 (en) * | 2000-09-05 | 2005-11-15 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| DE10143173A1 (de) | 2000-12-04 | 2002-06-06 | Cascade Microtech Inc | Wafersonde |
| US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| EP1432546A4 (en) * | 2001-08-31 | 2006-06-07 | Cascade Microtech Inc | OPTICAL TESTING APPARATUS |
| US6777964B2 (en) * | 2002-01-25 | 2004-08-17 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| US7352258B2 (en) * | 2002-03-28 | 2008-04-01 | Cascade Microtech, Inc. | Waveguide adapter for probe assembly having a detachable bias tee |
| EP1509776A4 (en) | 2002-05-23 | 2010-08-18 | Cascade Microtech Inc | PROBE TO TEST ANY TESTING EQUIPMENT |
| US7059046B2 (en) * | 2002-06-24 | 2006-06-13 | Delaware Capital Formation, Inc. | Method for producing a captive wired test fixture and fixture therefor |
| US6847219B1 (en) * | 2002-11-08 | 2005-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low noise characteristics |
| US6724205B1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-04-20 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| US7250779B2 (en) | 2002-11-25 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
| US6861856B2 (en) | 2002-12-13 | 2005-03-01 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
| US7221172B2 (en) * | 2003-05-06 | 2007-05-22 | Cascade Microtech, Inc. | Switched suspended conductor and connection |
| US7492172B2 (en) * | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7057404B2 (en) | 2003-05-23 | 2006-06-06 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| JP4197659B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2008-12-17 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 電子部品用コンタクタ及びこれを用いた試験方法 |
| US7371128B2 (en) * | 2003-10-14 | 2008-05-13 | Precision Interconnect, Inc. | Cable terminal with air-enhanced contact pins |
| US7364474B2 (en) * | 2003-10-14 | 2008-04-29 | Precision Interconnect, Inc. | Cable terminal with contact pins including electrical component |
| US7250626B2 (en) * | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
| US7137827B2 (en) * | 2003-11-17 | 2006-11-21 | International Business Machines Corporation | Interposer with electrical contact button and method |
| WO2005065258A2 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-21 | Cascade Microtech, Inc. | Active wafer probe |
| US7187188B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-03-06 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
| US20050253602A1 (en) * | 2004-04-28 | 2005-11-17 | Cram Daniel P | Resilient contact probe apparatus, methods of using and making, and resilient contact probes |
| DE202005021434U1 (de) | 2004-06-07 | 2008-03-20 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton | Thermooptische Einspannvorrichtung |
| US7330041B2 (en) * | 2004-06-14 | 2008-02-12 | Cascade Microtech, Inc. | Localizing a temperature of a device for testing |
| KR101157449B1 (ko) | 2004-07-07 | 2012-06-22 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 멤브레인 서스펜디드 프로브를 구비한 프로브 헤드 |
| KR20070058522A (ko) * | 2004-09-13 | 2007-06-08 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 양측 프루빙 구조 |
| US7656172B2 (en) * | 2005-01-31 | 2010-02-02 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
| US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
| US20060169897A1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-08-03 | Cascade Microtech, Inc. | Microscope system for testing semiconductors |
| US7449899B2 (en) * | 2005-06-08 | 2008-11-11 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for high frequency signals |
| EP1932003A2 (en) * | 2005-06-13 | 2008-06-18 | Cascade Microtech, Inc. | Wideband active-passive differential signal probe |
| US20070018666A1 (en) * | 2005-07-22 | 2007-01-25 | Nasser Barabi | Spring contact pin for an IC chip tester |
| US7609077B2 (en) | 2006-06-09 | 2009-10-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probe with integral balun |
| US7723999B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-05-25 | Cascade Microtech, Inc. | Calibration structures for differential signal probing |
| US7443186B2 (en) * | 2006-06-12 | 2008-10-28 | Cascade Microtech, Inc. | On-wafer test structures for differential signals |
| US7403028B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
| US7764072B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-07-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probing system |
| US7876114B2 (en) | 2007-08-08 | 2011-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Differential waveguide probe |
| JP2009281886A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | プローブカード |
| US7888957B2 (en) * | 2008-10-06 | 2011-02-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probing apparatus with impedance optimized interface |
| US8410806B2 (en) | 2008-11-21 | 2013-04-02 | Cascade Microtech, Inc. | Replaceable coupon for a probing apparatus |
| US8319503B2 (en) * | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
| TWI435083B (zh) * | 2010-07-27 | 2014-04-21 | Mpi Corp | Combination probe head for vertical probe card and its assembly alignment method |
| US9887478B2 (en) * | 2015-04-21 | 2018-02-06 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Thermally insulating electrical contact probe |
| US9899193B1 (en) | 2016-11-02 | 2018-02-20 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | RF ion source with dynamic volume control |
| CN109343510A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-02-15 | 苏州源源机械设备有限公司 | 一种小型风力发电机控制器测试台 |
| CN120761830B (zh) * | 2025-09-09 | 2025-11-11 | 宁波协生照明工业有限公司 | 一种手电电路测试工装 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3584300A (en) * | 1968-07-31 | 1971-06-08 | Bendix Corp | Platen-patch board assembly with spring biased electrical contact means to effect electrical test on an electrical circuit card |
| US4115735A (en) * | 1976-10-14 | 1978-09-19 | Faultfinders, Inc. | Test fixture employing plural platens for advancing some or all of the probes of the test fixture |
| US4322682A (en) * | 1979-05-21 | 1982-03-30 | Everett/Charles Inc. | Vacuum actuated test head having programming plate |
| US4357062A (en) * | 1979-12-10 | 1982-11-02 | John Fluke Mfg. Co., Inc. | Universal circuit board test fixture |
| US4344033A (en) * | 1980-09-12 | 1982-08-10 | Virginia Panel Corporation | Vacuum-actuated test fixture for printed circuit boards |
| US4528500A (en) * | 1980-11-25 | 1985-07-09 | Lightbody James D | Apparatus and method for testing circuit boards |
| US4496903A (en) * | 1981-05-11 | 1985-01-29 | Burroughs Corporation | Circuit board test fixture |
| US4397519A (en) * | 1981-05-12 | 1983-08-09 | Pylon Company, Inc. | Electrical contact construction |
| GB2108774B (en) * | 1981-10-21 | 1985-01-09 | Marconi Instruments Ltd | Electrical interface arrangements |
| US4544886A (en) * | 1982-09-30 | 1985-10-01 | M-Rel, Inc. | Circuit board test fixture |
| US4625164A (en) * | 1984-03-05 | 1986-11-25 | Pylon Company | Vacuum actuated bi-level test fixture |
| US4633176A (en) * | 1984-06-20 | 1986-12-30 | Gte Communication Systems Corp. | Test fixture including deflectable probes |
| DE3524229A1 (de) * | 1984-07-10 | 1986-01-16 | Ingun Prüfmittelbau GmbH & Co KG Elektronik, 7750 Konstanz | Vorrichtung zum pruefen von pruefpunkten einer elektronischen leiterplatte od. dgl. als pruefling mittels kontaktstiften |
| US4659987A (en) * | 1985-03-25 | 1987-04-21 | Qa Technology Company | Electrical circuit test probe and connector |
| DE3529207C1 (en) * | 1985-08-14 | 1987-03-26 | Genrad Gmbh | Test device for electrical circuit boards |
| US4667155A (en) * | 1986-01-07 | 1987-05-19 | Virginia Panel Corporation | Modular molded vacuum test fixture |
-
1988
- 1988-11-14 US US07/270,866 patent/US4904935A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
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