JPH02183446A - 光記録媒体の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、たとえば記録膜成膜後の基板に光を照射し
てその反射率および透過率を検出することにより、前記
記録膜の品質を検査する光記録媒体の検査装置に関する
。

（従来の技術） 周知のように、両面記録が可能な光ディスク（光記録媒
体）は、２枚のディスク基板を張合わせることにより構
成されるようになっている。この場合、上記ディスク基
板にはあらかじめ記録膜が成膜されており、この記録膜
は、情報の記録が行われる情報記録部（案内溝形成領域
）のみならず、それ以外の非記録部にも成膜されて鏡面
領域を形成している。

ところで、上記のような光ディスクの記録膜の品質を検
査する検査装置には、光ディスクの鏡面領域に光を照射
してその反射率を検出することにより記録膜の膜質およ
び膜厚を評価するものと、記録膜成膜後のディスク基板
の案内溝形成領域に光を照射してその反射率と透過率と
から記録膜の膜質および膜厚を評価するものとがある。

しかしながら、上記光ディスクを用いて記録膜の品質を
検査する装置では、鏡面領域の透過率を検出することが
できず、反射率のみの検出によって記録膜の膜質および
膜厚を評価するようにしている。このため、たとえば膜
質および膜厚とが同時に変化している場合、こ打を良品
と誤検査する可能性があった。

また、ディスク基板により記録膜の品質を検査する装置
では、案内溝による回折効果が大きく、同質の膜でも案
内溝の形状などによって反射率および透過率が異なるた
め、検査の結果にばらつきがあるという欠点があった。

（発明が解決しようとする課ｆｆ１） 上述したように、従来の検査装置では、不良品を良品と
誤検査する可能性があったり、検査の結果にばらつきが
あるという欠点があった。

そこで、この発明は、記録膜の膜質および膜厚を正確に
評価することが可能となり、記録膜の品質検査の精度を
向上することができる光記録媒体の検査装置を提供する
ことを目的としている。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明の光記録媒体の検査装置にあっては、光記録媒
体の記録膜の状態を検査するものにおいて、光記録媒体
を構成する基板であって、この基板上に情報記録部とは
異なる非記録部にも記録膜が成膜されることにより形成
される鏡面領域に光を照射する光照射手段と、この光照
射手段で光を照射することにより、前記基板の鏡面領域
における反射率を検出する第１の検出手段と、前記光照
射手段で光を照射することにより、前記基板の鏡面領域
における透過率を検出する第２の検出手段と、前記第１
．第２の検出手段の検出結果から膜質および膜厚を評価
することによって記録膜の品質を検査する検査手段とか
ら構成されている。

（作用） この発明は、上記した手段により、基板に成膜された記
録膜の鏡面領域を反射率および透過率の検出対象として
いるためにそれぞれの検出精度が向上されるとともに、
反射率と透過率との２つの検出結果から膜質および膜厚
を評価できるために検査の信頼性が向上される。

（実施例） 以ド、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。

第３図は、記録膜の品質検査に用いられるディスク基板
の一例を示すものである。このディスク基板１１には、
情報の記録時または再生時に記録用の光ビームまたは再
生用の光ビームを案内するトラッキング用の案内溝が設
けられた情報記録部（案内溝形成領域）１２、この情報
記録部１２の外周および内周にそれぞれ非記録部１３．
１４が形成されている。

このようなディスク基板１１に対しては、たとえばテル
ルからなる記録８１５が、情報記録部１２および非記録
部１４の一部に成膜されるようになっている。そして、
非記録部１４に成膜された記録膜によって、ディスク基
板１１上に鏡面領域１６が形成されるようになっている
。

第１図は、この発明の光記録媒体の検査装置を示すもの
である。すなわち、２１はターンテーブルで、このター
ンテーブル２１の上部に前記ディスク基板１１が載置さ
れるようになっている。ターンテーブル２１上に載置さ
れたディスク基板１１は、真空により吸着され、この状
態で図示矢印方向に回転されるようになっている。

ターンテーブル２１上のディスク基板１１の下方には、
前記鏡面領域１６に対応して、この鏡面領域１６の反射
率および透過率を検出するための光学系２２が配置され
ている。この光学系２２は、レーザ光を発生するレーザ
ダイオード２３、このレーザダイオード２３からの光を
平行光に変換するコリメータレンズ２４、このコリメー
タレンズ２４からの平行光を２分割するビームスプリッ
タ２５、このビームスプリッタ２５により２分割された
光の一方を前記ディスク基板１１の膜面方向に導くとと
もに、膜面方向からの光（ｆｆ１面領域１６からの反射
光）を後述する反射光検知器に導く偏光ビームスプリッ
タ２６、および上記偏光ビームスプリッタ２６からの光
をディスク基板１１の膜面側より前記鏡１Ｉｉｌｉ領域
１６に照射するとともに、この鏡面領域１６からの反射
光を上記−光ビームスブリッタ２６に導くλ／４板２７
によって構成されている。

また、上記光学系２２の近傍には、前記（−光ビームス
ブリッタ２６により導かれる光（鏡面領域１６からの反
射光）を検知する反射光検知器３２、および前記ビーム
スプリッタ２５で２分割された光の他方を検知する参照
光検知器３０がそれぞれ設けられている。

一方、上記光学系２２と対向するディスク基板１１の上
方には、光学系２２によってディスク基板１１の膜面側
より鏡面領域１６に対して照射され、その鏡面領域１６
を透過した光を検知する透過光検知器３１が設けられて
いる。

上記参照光検知器３０、透過光検知器３１、および反射
光検知器３２は、それぞれ入射される光の量に応じた電
気信号を発生するものである。これらの各検知器３０，
３１．３２は、ディスク基板１１上に成膜された記録膜
１５の品質を検査する検査部３３に接続されている。

この検査部３３は、それぞれの検知器３０゜３１．３２
からの信号によって鏡面領域１６における反射率および
透過率を検出し、この検出結果にもとづいて記録膜１５
の膜質および膜厚を計画することによって記録膜１５の
品質検査を行うようになっている。この場合、たとえば
参照光検知器３０で検知される信号強度をＩＯ１透過光
検知器３１で検知される信号強度をＩｌ、反射光検知器
３１で検知される信号強度をＩ２とすると、透過率はＩ
、／Ｉｏ、反射率は１２／Ｉｏでそれぞれ求められる。

なお、上記実施例の場合、すべての検知器３０゜３１．
３２について、入射光量と検知信号強度とのりニアリテ
ィが確保されるように、前記レーザダイオード２３の出
力があらかじめ調節されている。また、透過については
、ディスク基板１１をセットしない場合の検出値が１０
０％、透過光検知器３１に入射する光を完全にカットし
た場合の検出値が０９６となるように装置の回路定数が
設定されている。

さらに、反射については、反射光検知器３２に入射され
る光を完全にカットした場合の検出値が０％となり、反
射率があらかじめ分っているサンプル、たとえば反射率
が８５％とされているアルミニウム（１りミラーなどの
サンプルをセットしたときの検出値が８５％となるよう
に回路定数が設定されている。

第２図は、ディスク基板１１°に・成膜される記録膜１
５を構成する物質（たとえば、テルル）の光学定数によ
って決定される、膜厚に対する反射率Ｒと透過率Ｔとの
関係を示すものである。

この図からも明らかなように、ディスク基板１１上への
記録膜１５の成膜が、一定速度により膜厚が一定で、膜
質が変化されずに均一に行われた場合、鏡面領域１６に
おける反射率Ｒおよび透過率Ｔは物質の光学定数に応じ
て一様の値を取ることが分る。すなわち、鏡面領域１６
の反射率Ｒまたは透過率Ｔは、記録膜１５の膜質および
膜厚によって変化する。これにより、膜質の変化および
膜厚の変化（成膜速度の変化）が生、している記録膜１
５では、その反射率Ｒまたは透過率Ｔが、ある膜厚ａに
対する反射率Ｒまたは透過率Ｔの所定範囲すから外れる
ことになる。また、鏡面領域１６では、その反射光Ｒお
よび透過光Ｔが案、内溝などによる回折効果を受は難い
ものとなっている。

したがって、膜質の変化と膜厚の変化とが同時に生じて
いる場合でも、その記録膜１５の品質が粗悪であり、デ
ィスク基板１１が不良品であることを確実に検査できる
。

次に、上記した構成における動作について説明する。

たとえば今、記録膜１５が成膜されたディスク基板１１
が検査装置にセットされ、記録ｐｆＡ１５の品質検査が
開始されたとする。すると、レーザダイオード２３から
め光がコリメータレンズ２４およびビームスプリッタ２
５を介して参照光検知器３０に入射される。

また、上記ビームスプリッタ２５からの光が、偏光ビー
ムスプリッタ２６、およびλ／４板２板金７して、ディ
スク基板１１の膜面側より鏡面領域１６に照射される。

この鏡面領域１６に照射され、この鏡面領域１６を透過
した光は透過光検知ｒＡ３１に入射される。また、上記
鏡面領域１６によって反射された光は、λ／４板２板金
７び偏光ビームスプリッタ２６を介して反射光検知器３
２に入射される。

ここで、たとえば上記ディスク媒体１１として、成膜さ
れている記録膜１５の膜厚および膜質が変化されていな
い場合、検査部３３は、参照光検知Ｊ３０からの検知信
号１．％透過光検知器３１からの検知信号！ｌ、および
反射光検知器３２からの検知信号Ｉ２にもとづいて前記
記録膜１５の品質を評価し、良品である旨の検査結果を
出力する。

すなわち、検査部３３では、各検知器３０゜３１．３２
からの検知信号Ｉ。ｒ　　ＩＩｎ　　１２により、鏡面
領域１６における反射率（１２／　Ｉ　ｕ　）Ｒおよび
透過率（１１／　１　ｏ　）　Ｔ、が検出される。

この場合、記録１１１１１５の鏡面領域１６を反射率Ｒ
および透過率Ｔの検出対象としているためにそれぞれの
検出精度が向上されるとともに、高精度により検出され
た反射率Ｒと透過率Ｔとの２つの検出結果から膜質およ
び膜厚を評価している。したがって、上記検出結果から
は、記録膜１５の膜質および膜厚のいずれにも変化がな
いことを正確に評価できる。このため、記録膜１５の品
質には問題がない、つまり良品である旨の検査結果が検
査部３３より出力される。

また、たとえば上記ディスク媒体１１として、成膜され
ている記録膜１５の膜厚および膜厚が変化されている場
合、またはどちらか一方が変化されている場合、検査部
３３はこれを評価して、不良品である旨の検査結果を出
力する。すなわち、検査部３３では、各検知器３０．３
１．３２からの検知信号■。＋　　１１＋　　！２によ
り、鏡面領域１６における反射率（１２／１０）Ｒおよ
び透過率（Ｉｌ／ｌ０）Ｔが検出される。この場合、上
記検出結果からは、記録膜１５の膜質および膜厚の両方
、またはいずれかが変化されていることを正確に評価で
きる。このため、記録膜１５の品質に問題がある、つま
り不良品である旨の検査結果が検査部３３より出力され
る。

上記したように、ディスク基板に成膜された記録膜の鏡
面領域を反射率および透過率の検出対象としているため
にそれぞれの検出精度が向上されるとともに、高精度で
検出された反射率と透過率との２つの検出結果から膜質
および膜厚を評価できるために検査の信頼性が向上され
るものである。

すなわち、トラッキング用の案内溝などによる影響を受
けることなく、記録膜の反射率と透過率とを高精度にて
測定することができる。これにより、膜質および膜厚の
評価をより正確なものとすることが可能となる。したが
って、記録膜の品質検査を高い信頼性で行うことができ
るものである。

その他、この発明は上記実施例に限定されるものではな
く、発明の要旨を変えない範囲において、種々変形実施
可能なことは勿論である。

［発明の効果］ 以上、詳述したようにこの発明によれば、記録膜の膜質
および膜厚を正確に評価することが可能となり、記録膜
の品質検査の精度を向上することができる光記録媒体の
検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は検査
装置を概略的に示す構成図、第２図は物質の光学定数に
より決定される反射率と透過率との変化を示す図、第３
図は検査に用いられるディスク基板を示す構成図である
。 １１・・・ディスク基板、１２・・・情報記録部、１４
・・・非記録部、１５・・・記録膜、１６・・・鏡面領
域、２２・・・光学系、３０・・・参照光検知器、３１
・・・透過光検知器、３２・・・反射光検知器、３３・
・・検査部。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦ａ 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 光記録媒体の記録膜の状態を検査する光記録媒体の検査
   装置において、 光記録媒体を構成する基板であって、この基板上に情報
   記録部とは異なる非記録部にも記録膜が成膜されること
   により形成される鏡面領域に光を照射する光照射手段と
   、 この光照射手段で光を照射することにより、前記基板の
   鏡面領域における反射率を検出する第１の検出手段と、 前記光照射手段で光を照射することにより、前記基板の
   鏡面領域における透過率を検出する第２の検出手段と、 前記第１、第２の検出手段の検出結果から膜質および膜
   厚を評価することによって記録膜の品質を検査する検査
   手段と を具備したことを特徴とする光記録媒体の検査装置。