JPH0218595Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0218595Y2 JPH0218595Y2 JP12480183U JP12480183U JPH0218595Y2 JP H0218595 Y2 JPH0218595 Y2 JP H0218595Y2 JP 12480183 U JP12480183 U JP 12480183U JP 12480183 U JP12480183 U JP 12480183U JP H0218595 Y2 JPH0218595 Y2 JP H0218595Y2
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- JP
- Japan
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- long
- vibrator
- diaphragm
- tip
- present
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- Expired
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は棒状の圧電振動板の長辺方向側面に励
振電極を付着してなる長辺縦振動子に関するもの
である。
振電極を付着してなる長辺縦振動子に関するもの
である。
従来この種の長辺縦振動子において、そのパツ
ケージを真空にするのと常圧にするのとでは直列
共振抵抗（以下、CIと略記する）に差が生じる
が、特にフオトリソグラフイ加工によつて形成さ
れるような超小形の高周波振動子においてはその
差が大きいものとなる。例えば、第１図に示した
振動子は、本体の振動板１１と枠状の支持体１２
とをフオトリソグラフイ加工により一体成形した
もので、振動板１１の両支持側面には対向電極１
３が付着されている。その先端部は、長手方向に
垂直な平面状で、1MHzの振動周波数の場合でd1
×d2＝0.2×0.08mm2程度の面積を有しているが、そ
のCIは真空中では300〜1000Ω程度であるのに常
圧では４〜5kΩと３〜4kΩ程度も大きくなり無
視し得ない差となる。したがつて、CIの低い振
動子を得るためには真空パツケージへの収納が不
可欠で、パツケージの自由度、組立・調整等の工
程における煩わしさなどの点でより安価な振動子
を提供するための障害となつていた。
ケージを真空にするのと常圧にするのとでは直列
共振抵抗（以下、CIと略記する）に差が生じる
が、特にフオトリソグラフイ加工によつて形成さ
れるような超小形の高周波振動子においてはその
差が大きいものとなる。例えば、第１図に示した
振動子は、本体の振動板１１と枠状の支持体１２
とをフオトリソグラフイ加工により一体成形した
もので、振動板１１の両支持側面には対向電極１
３が付着されている。その先端部は、長手方向に
垂直な平面状で、1MHzの振動周波数の場合でd1
×d2＝0.2×0.08mm2程度の面積を有しているが、そ
のCIは真空中では300〜1000Ω程度であるのに常
圧では４〜5kΩと３〜4kΩ程度も大きくなり無
視し得ない差となる。したがつて、CIの低い振
動子を得るためには真空パツケージへの収納が不
可欠で、パツケージの自由度、組立・調整等の工
程における煩わしさなどの点でより安価な振動子
を提供するための障害となつていた。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、常圧においても真空におけると
同様に低いCIを得ることが可能な長辺縦振動子
を提供することにある。
で、その目的は、常圧においても真空におけると
同様に低いCIを得ることが可能な長辺縦振動子
を提供することにある。
このような目的を達成するために、本考案は、
棒状の振動板の両先端部を尖らせたものである。
以下、図示する実施例を用いて本考案を詳細に説
明する。
棒状の振動板の両先端部を尖らせたものである。
以下、図示する実施例を用いて本考案を詳細に説
明する。
第２図は、本考案の一実施例を示す斜視図であ
る。本実施例は第１図と同様にフオトリソグラフ
イ加工により水晶の薄板から振動板２１および支
持体２２を一体に形成した例で、棒状の振動板２
１の長辺方向側面には対向電極２３が付着してあ
る。支持体２２は、この励振用電極２３が付着さ
れた側面に垂直に振動板２１を支持しており、２
２ａが支持腕、２２ｂが支持基部である。また、
２２ｃは支持体への音響リークを少なくするため
に設けた凹部である。上部励振用電極２３から
は、それぞれ支持腕２２ａを通つて引出し部２３
ａが支持基部２２ｂの表裏に引出されている。
る。本実施例は第１図と同様にフオトリソグラフ
イ加工により水晶の薄板から振動板２１および支
持体２２を一体に形成した例で、棒状の振動板２
１の長辺方向側面には対向電極２３が付着してあ
る。支持体２２は、この励振用電極２３が付着さ
れた側面に垂直に振動板２１を支持しており、２
２ａが支持腕、２２ｂが支持基部である。また、
２２ｃは支持体への音響リークを少なくするため
に設けた凹部である。上部励振用電極２３から
は、それぞれ支持腕２２ａを通つて引出し部２３
ａが支持基部２２ｂの表裏に引出されている。
ここで、振動板２１は、第１図に示した従来の
ものにおいて振動板１１はその先端が平面状であ
つたのに対し、その両先端部２１ａは長辺方向に
対して鋭角の傾きを有する傾斜面によつて突状に
尖らせてある。
ものにおいて振動板１１はその先端が平面状であ
つたのに対し、その両先端部２１ａは長辺方向に
対して鋭角の傾きを有する傾斜面によつて突状に
尖らせてある。
周知のように、長辺縦振動子は、長辺方向に伸
縮する振動姿態を有するため、その振動に際し、
先端面に対する空気抵抗がそのCIに対して特に
大きな影響を与えるものと考えられ、実際、第１
図に示したような振動子において、電極間に励振
電圧を印加して振動させた状態で振動板の先端面
に物体を近付けて行くとCIが周期的に変化する
ことから端面付近に空気振動の定在波が立つてい
ることが確認される。
縮する振動姿態を有するため、その振動に際し、
先端面に対する空気抵抗がそのCIに対して特に
大きな影響を与えるものと考えられ、実際、第１
図に示したような振動子において、電極間に励振
電圧を印加して振動させた状態で振動板の先端面
に物体を近付けて行くとCIが周期的に変化する
ことから端面付近に空気振動の定在波が立つてい
ることが確認される。
したがつて、この場合、第２図に示したように
振動板の先端面の面積を小さくすること、特に、
先端部をいわゆる流線形状に尖らせることは空気
抵抗を減少させ、常圧下でのCIの減少にきわめ
て効果的であり、これにより真空パツケージを用
いたと同等の性能を得ることができた。
振動板の先端面の面積を小さくすること、特に、
先端部をいわゆる流線形状に尖らせることは空気
抵抗を減少させ、常圧下でのCIの減少にきわめ
て効果的であり、これにより真空パツケージを用
いたと同等の性能を得ることができた。
以上、「空気」抵抗という言葉を使つて説明し
たが、圧電振動子において、真空パツケージを用
いない場合には、いわゆる空気というより窒素ガ
スなど不活性ガスを充填したパツケージを用いる
ことがむしろ多く、上述した説明はそのようなガ
スを充填した場合についても同様に行なえるもの
であることも言うまでもない。
たが、圧電振動子において、真空パツケージを用
いない場合には、いわゆる空気というより窒素ガ
スなど不活性ガスを充填したパツケージを用いる
ことがむしろ多く、上述した説明はそのようなガ
スを充填した場合についても同様に行なえるもの
であることも言うまでもない。
また、フオトリソグラフイ加工により支持体と
一体に形成した振動子を例にして説明したが、こ
れは、フオトリソグラフイ加工によつてのみ形成
されるような超小形の振動子について、特に上述
したようなガスを含む「空気」抵抗によるCIの
増加の問題が顕著であるためであり、本考案の適
用範囲がそのようなものに限定されることを示す
ものではない。
一体に形成した振動子を例にして説明したが、こ
れは、フオトリソグラフイ加工によつてのみ形成
されるような超小形の振動子について、特に上述
したようなガスを含む「空気」抵抗によるCIの
増加の問題が顕著であるためであり、本考案の適
用範囲がそのようなものに限定されることを示す
ものではない。
なお、上述した実施例ではフオトリソグラフイ
加工により形成しやすいということもあつて、振
動板２１は、先端部２１ａにおいて電極を付した
主面のみ傾斜を設け、先端が線状となる構成をと
つたが、例えば第３図に示すように４面をそれぞ
れ傾斜面として先端が点状となるようにしてもよ
いことは言うまでもない。
加工により形成しやすいということもあつて、振
動板２１は、先端部２１ａにおいて電極を付した
主面のみ傾斜を設け、先端が線状となる構成をと
つたが、例えば第３図に示すように４面をそれぞ
れ傾斜面として先端が点状となるようにしてもよ
いことは言うまでもない。
また、水晶振動子を例に説明したが、本考案
は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等か
らなる振動子、その他同様の長辺縦振動姿態を有
する棒状の圧電振動子には一般的に適用できるこ
とも言うまでもない。
は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等か
らなる振動子、その他同様の長辺縦振動姿態を有
する棒状の圧電振動子には一般的に適用できるこ
とも言うまでもない。
以上説明したように、本考案によれば、棒状の
長辺縦振動子の先端部を尖らせたことにより、常
圧においても真空におけると同程度までCIを低
減できるため、必ずしも真空パツケージを用いる
必要がなくなり、パツケージ選択の自由度、組
立・調整工程の簡略化などの点で有利となつて、
より安価な振動子を提供することができ、特に超
小形の振動子においてはきわめて有用である。
長辺縦振動子の先端部を尖らせたことにより、常
圧においても真空におけると同程度までCIを低
減できるため、必ずしも真空パツケージを用いる
必要がなくなり、パツケージ選択の自由度、組
立・調整工程の簡略化などの点で有利となつて、
より安価な振動子を提供することができ、特に超
小形の振動子においてはきわめて有用である。
第１図は従来の長辺縦振動子の構成例を示す斜
視図、第２図は本考案の一実施例を示す斜視図、
第３図は本考案の他の実施例を示す斜視図であ
る。 ２１……圧電振動板、２１ａ……先端部、２２
……支持体、２３……励振用電極。
視図、第２図は本考案の一実施例を示す斜視図、
第３図は本考案の他の実施例を示す斜視図であ
る。 ２１……圧電振動板、２１ａ……先端部、２２
……支持体、２３……励振用電極。
Claims (1)
- 棒状の圧電振動板の長辺方向側面に長辺振動励
振用の電極を付着してなる長辺縦振動子におい
て、上記圧電振動板の両先端を、長辺方向に対し
て鋭角の傾きをもつた傾斜面で突状に構成したこ
とを特徴とする長辺縦振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12480183U JPS6032827U (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 長辺縦振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12480183U JPS6032827U (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 長辺縦振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6032827U JPS6032827U (ja) | 1985-03-06 |
| JPH0218595Y2 true JPH0218595Y2 (ja) | 1990-05-24 |
Family
ID=30284366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12480183U Granted JPS6032827U (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 長辺縦振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032827U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4704822B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2011-06-22 | 京セラキンセキ株式会社 | 水晶振動子の電極構造 |
-
1983
- 1983-08-11 JP JP12480183U patent/JPS6032827U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6032827U (ja) | 1985-03-06 |
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