JPH02187086A - 放電励起型短パルスレーザ装置 - Google Patents
放電励起型短パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH02187086A JPH02187086A JP688589A JP688589A JPH02187086A JP H02187086 A JPH02187086 A JP H02187086A JP 688589 A JP688589 A JP 688589A JP 688589 A JP688589 A JP 688589A JP H02187086 A JPH02187086 A JP H02187086A
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- Japan
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- auxiliary electrode
- anode
- pulse laser
- laser device
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分母〕
この発明は、気体レーザのうちの放電励起型短パルスレ
ーザ装置に係り、特１ζそｆｆ極槽造の改善１に関する
ものである。
ーザ装置に係り、特１ζそｆｆ極槽造の改善１に関する
ものである。
レーザ発振を得るＴこめに１オ、レーぜ媒質中で空間的
に均・−な放電を行うことが必要である。とこロカ、伝
えばＴ ＥＡＯＯ２レーザやエキシマレーザなどの短パ
ルスレーザ装置においては、その６作圧力が大気圧又は
それ以上であるため、放電が収束したアークになり易い
。これを防ぐため、主放電に先立って、予め主放電領域
に均一に電子の種を蒔き散らしておく予備電離を行うこ
とが通例となっている。第２図は例えば従来の沿面子備
励起型ＴＥＡＯＯ！レーザ装置の回路因であり、図にお
いて、（１）は平板状の補助電極、（３）は補助電極（
１）に周設された誘電体、（４）は誘電体（３）に密着
して設けられＴこｗＩＪ極であり、複数の開孔部を有し
ている、（５）は陽極（４）と対同配置された陰極であ
る。なお、この陰極（５）と陽極（４）により主電極を
構成している。（６）は容量分割コンデンサ、（７）は
ピーキングコン÷゛ンサ、（８）はりアクドル、（９）
はギヤリブエイ−１チ、ｕＱはメインコンデンサ、αη
は直流高電圧電源である。
に均・−な放電を行うことが必要である。とこロカ、伝
えばＴ ＥＡＯＯ２レーザやエキシマレーザなどの短パ
ルスレーザ装置においては、その６作圧力が大気圧又は
それ以上であるため、放電が収束したアークになり易い
。これを防ぐため、主放電に先立って、予め主放電領域
に均一に電子の種を蒔き散らしておく予備電離を行うこ
とが通例となっている。第２図は例えば従来の沿面子備
励起型ＴＥＡＯＯ！レーザ装置の回路因であり、図にお
いて、（１）は平板状の補助電極、（３）は補助電極（
１）に周設された誘電体、（４）は誘電体（３）に密着
して設けられＴこｗＩＪ極であり、複数の開孔部を有し
ている、（５）は陽極（４）と対同配置された陰極であ
る。なお、この陰極（５）と陽極（４）により主電極を
構成している。（６）は容量分割コンデンサ、（７）は
ピーキングコン÷゛ンサ、（８）はりアクドル、（９）
はギヤリブエイ−１チ、ｕＱはメインコンデンサ、αη
は直流高電圧電源である。
次に動作について説明する。直流高圧″ＩＩｔｓｊαυ
から供給される電荷は、まず、メインコンデンサｕＧに
蓄積される。次いで、ギヤつブスイー・チ（９）が導通
状態になると、メインコンデンサαＯからギＪａ −ｇ
プスイーＩチ（９）、リアクトル（８）、ピーキングコ
ンデンサ（７）を経て、アースラインを通ってメインコ
ン千ンサαＯに戻るという電流ループによって、メイン
コン千ンサＱＯに蓄積されていた電荷はピーキングコン
千ンサ（７）に移行される。この迅速な電荷の移動にと
もなって、陽極（４）と陰極（５）問および陽極（４）
と補助電極（１）間の電圧が急峻に上昇する。このとき
、補助電極（１）と陽極（４）間の放電開始電圧は、陽
極（４）と陰極（５）間における主放電の開始電圧より
低いので、まず、Ｗ！Ｊ６（４）に設けられた開孔部に
おいて誘電体（３）表面に沿面放電が起こる。この沿面
放電で生成する電子の一部、及び沿面放電かち発生する
紫外光により光電離されて生成する電子が、主放電をク
ロー状の均一な放電とするための種となって主放電領域
に蒔き散らされることになる。
から供給される電荷は、まず、メインコンデンサｕＧに
蓄積される。次いで、ギヤつブスイー・チ（９）が導通
状態になると、メインコンデンサαＯからギＪａ −ｇ
プスイーＩチ（９）、リアクトル（８）、ピーキングコ
ンデンサ（７）を経て、アースラインを通ってメインコ
ン千ンサαＯに戻るという電流ループによって、メイン
コン千ンサＱＯに蓄積されていた電荷はピーキングコン
千ンサ（７）に移行される。この迅速な電荷の移動にと
もなって、陽極（４）と陰極（５）問および陽極（４）
と補助電極（１）間の電圧が急峻に上昇する。このとき
、補助電極（１）と陽極（４）間の放電開始電圧は、陽
極（４）と陰極（５）間における主放電の開始電圧より
低いので、まず、Ｗ！Ｊ６（４）に設けられた開孔部に
おいて誘電体（３）表面に沿面放電が起こる。この沿面
放電で生成する電子の一部、及び沿面放電かち発生する
紫外光により光電離されて生成する電子が、主放電をク
ロー状の均一な放電とするための種となって主放電領域
に蒔き散らされることになる。
そして、陽極（４）と陰極（５）間でパルス的に主放電
が起こ−てレーザ媒質が励起され、その結果レーザ光が
取り出される。
が起こ−てレーザ媒質が励起され、その結果レーザ光が
取り出される。
従来の放電励起型短パルスレーザ装置ｌは以上のように
構成されているので、放電の際、平板状の補助電極（１
）の工内ジ部に電界が集中し二このため主放電における
正常なグロー放電の妨げになるという問題点があつＴこ
。
構成されているので、放電の際、平板状の補助電極（１
）の工内ジ部に電界が集中し二このため主放電における
正常なグロー放電の妨げになるという問題点があつＴこ
。
また、平板状の補助電極（１）と誘電体（３）間に隙間
が生じると、この隙間に空間的静電容量が発生し、これ
によって、グロー放電の妨げとなるアーク放電が発生す
るという問題点もあつＴこ。
が生じると、この隙間に空間的静電容量が発生し、これ
によって、グロー放電の妨げとなるアーク放電が発生す
るという問題点もあつＴこ。
この発明は上記のような問題点を解消するＴこめになさ
れたもので、補助電極の電界集中を緩和するとともに、
補助電極と誘電体との隙間をなくすことにより、均一な
グロー放電が得られろ放電励起型短パルスレーザ装置を
得ることを目的とする。
れたもので、補助電極の電界集中を緩和するとともに、
補助電極と誘電体との隙間をなくすことにより、均一な
グロー放電が得られろ放電励起型短パルスレーザ装置を
得ることを目的とする。
この発明に係る放電励起型短パルスレーザ装置は、主電
極を構成するｌｌ＃Ｓ極と対向する補助電極の面を円弧
状に形成するとともに、陽極に密着して設けられｒ＝ｆ
１ｇ電体に導電性の接着剤で接着しγこものである。
極を構成するｌｌ＃Ｓ極と対向する補助電極の面を円弧
状に形成するとともに、陽極に密着して設けられｒ＝ｆ
１ｇ電体に導電性の接着剤で接着しγこものである。
この発明においては、円弧状の補助電極により電界集中
が緩和され、導電性接着剤により補助電極と誘電体間の
空間的静電容量が抑制される。
が緩和され、導電性接着剤により補助電極と誘電体間の
空間的静電容量が抑制される。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例に係る電極部分を示す断面図Ｔ
あり、図において、（ｌ ａ ） Ｇｅｔ銅９１の補助
電極であり、チ勘ン型又はロゴスキー型で代表されるよ
うに、電極表面近傍における電界がｒ１！極中心部から
遠ざかるにつれて徐々に緩和するように、ｌ１ｊｌ極（
４）と対向する面が円弧状に形成されている。（２）は
補助を極（ｌａ）七誘電体（３）を接着する、例えば銀
粉入りエポキシ系の導電性接着剤である。
図はこの発明の一実施例に係る電極部分を示す断面図Ｔ
あり、図において、（ｌ ａ ） Ｇｅｔ銅９１の補助
電極であり、チ勘ン型又はロゴスキー型で代表されるよ
うに、電極表面近傍における電界がｒ１！極中心部から
遠ざかるにつれて徐々に緩和するように、ｌ１ｊｌ極（
４）と対向する面が円弧状に形成されている。（２）は
補助を極（ｌａ）七誘電体（３）を接着する、例えば銀
粉入りエポキシ系の導電性接着剤である。
なお、上記による構成以外は、第２図に示す従来のもの
と同じであるので、説明は省略する。
と同じであるので、説明は省略する。
次に、動作について説明するが、回路系としては第２図
に示ｔ、−Ｔコ従来例と同様であり、２つのコンデンサ
間で直流高圧源αυから供給される電荷の移行が行なわ
れる。この迅速な電荷の移動にともな−て、陰極（５）
と陽極（４）およびｗＡ極（４）と補助電極口」２間の
電圧が急峻に上昇する。補助電極（１ａ）の放電開始電
圧は、主放電の放電開始電圧より低いので、まず、ｌｌ
ｌ１極（４）に設けられＴこ開孔部において誘電体（３
）表面に沿面放電が起こる。この七き、補助電極口］）
はチ勘ン型まγこはロゴスキー型となっているので、補
助型ｔＭ（１り端部への電界集中によるアークの生成は
防止されることになる。
に示ｔ、−Ｔコ従来例と同様であり、２つのコンデンサ
間で直流高圧源αυから供給される電荷の移行が行なわ
れる。この迅速な電荷の移動にともな−て、陰極（５）
と陽極（４）およびｗＡ極（４）と補助電極口」２間の
電圧が急峻に上昇する。補助電極（１ａ）の放電開始電
圧は、主放電の放電開始電圧より低いので、まず、ｌｌ
ｌ１極（４）に設けられＴこ開孔部において誘電体（３
）表面に沿面放電が起こる。この七き、補助電極口］）
はチ勘ン型まγこはロゴスキー型となっているので、補
助型ｔＭ（１り端部への電界集中によるアークの生成は
防止されることになる。
また、補助電極口」）は誘電体（３）と導電性接着剤（
２）で接着されているので、補助電極Ｃ１＆）と誘電体
（３）間に隙間が形成されず、シＴこがって、空間的う
に、誘電体（３）表面に起こる沿面放電で生成する電子
の一部、及び沿面放電から発生する紫外光により光電畷
されて生成する電子が、主放電をグロー状の均一な放電
とするＴこめの種となって主放電微減に蒔き散へされる
ことになる。これによって、陽極（４）と陰極（５）で
形成される主放電空間においてパルス的に主放電が発生
する。このときの王放電は、アーク放電が生成されない
ので高繰返し時でもきれいなグロー放電が得られ、この
結果、安定しＴこレーザ光を取り出すことができるので
ある。
２）で接着されているので、補助電極Ｃ１＆）と誘電体
（３）間に隙間が形成されず、シＴこがって、空間的う
に、誘電体（３）表面に起こる沿面放電で生成する電子
の一部、及び沿面放電から発生する紫外光により光電畷
されて生成する電子が、主放電をグロー状の均一な放電
とするＴこめの種となって主放電微減に蒔き散へされる
ことになる。これによって、陽極（４）と陰極（５）で
形成される主放電空間においてパルス的に主放電が発生
する。このときの王放電は、アーク放電が生成されない
ので高繰返し時でもきれいなグロー放電が得られ、この
結果、安定しＴこレーザ光を取り出すことができるので
ある。
以上のようにこの発明によれは、ｗＪ極と対向する補助
１ｑｒｔ！Ｍの面を円弧状に形成するとともに、鴎印体
と導電性接着剤で接着するように構成しＴコので、アー
ク放電がなく均一で、かつ信頼性の高いクロー放電が得
られる効果がある。
１ｑｒｔ！Ｍの面を円弧状に形成するとともに、鴎印体
と導電性接着剤で接着するように構成しＴコので、アー
ク放電がなく均一で、かつ信頼性の高いクロー放電が得
られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による放電励起型短パルス
レーｎ’装置の要部断面因、第２因は従来の放ｔぎ励起
型短パルスレーぜ装置の概略回路図である。 図において、（１ａ）は補助ＩＩ！倫、（２）は導電性
接着剤、（３）は誘電体、（４）は陽極、（５）は陰極
である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
レーｎ’装置の要部断面因、第２因は従来の放ｔぎ励起
型短パルスレーぜ装置の概略回路図である。 図において、（１ａ）は補助ＩＩ！倫、（２）は導電性
接着剤、（３）は誘電体、（４）は陽極、（５）は陰極
である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 対向配置された陰極と陽極とから構成される主電極と
、上記陽極の一方の面に密着された誘電体を介して上記
陽極と対向する補助電極とを備えて成る放電励起型短パ
ルスレーザ装置において、上記補助電極の陽極と対向す
る面を円弧状に形成するとともに、補助電極を導電性の
接着剤で誘電体に接着したことを特徴とする放電励起型
短パルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP688589A JPH02187086A (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP688589A JPH02187086A (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02187086A true JPH02187086A (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=11650689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP688589A Pending JPH02187086A (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02187086A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991014302A1 (en) * | 1990-03-05 | 1991-09-19 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Discharge excitation excimer laser device |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP688589A patent/JPH02187086A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991014302A1 (en) * | 1990-03-05 | 1991-09-19 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Discharge excitation excimer laser device |
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