JPH02188255A - 吐出口板の製造方法 - Google Patents
吐出口板の製造方法Info
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- JPH02188255A JPH02188255A JP918189A JP918189A JPH02188255A JP H02188255 A JPH02188255 A JP H02188255A JP 918189 A JP918189 A JP 918189A JP 918189 A JP918189 A JP 918189A JP H02188255 A JPH02188255 A JP H02188255A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インクジェット記録ヘッドを構成する吐出口
板の製造方法に関し、特に吐出［Ｊ而に撥水処理が施さ
れた吐出口板の製造方法に関する。
板の製造方法に関し、特に吐出［Ｊ而に撥水処理が施さ
れた吐出口板の製造方法に関する。
［従来の技術］
板材に貫通孔を設けて形成した吐出口板を有するインク
ジェット記録ヘッドは例えば第２図に示されるような代
表的構成を有する。
ジェット記録ヘッドは例えば第２図に示されるような代
表的構成を有する。
すなわち、インク吐出のためのエネルギーを発生する吐
出エネルギー発生体６をインクの液路２内に設けた基板
と天板３とを接合した接合体の流路２開口面に液路２に
連通する吐出［１５を有する吐出口板４を接合した構造
を有する。
出エネルギー発生体６をインクの液路２内に設けた基板
と天板３とを接合した接合体の流路２開口面に液路２に
連通する吐出［１５を有する吐出口板４を接合した構造
を有する。
［発明が解決しようとする課題］
吐出し１板の構造やそのインクに対する特性は、インク
の吐出方向や吐出インク液酌量等のインクジェット記録
ヘッドの記録特性に与える影響が大きく、従来より吐出
口板の形成に用いる材料やその構造について種々の検討
がなされてきた。
の吐出方向や吐出インク液酌量等のインクジェット記録
ヘッドの記録特性に与える影響が大きく、従来より吐出
口板の形成に用いる材料やその構造について種々の検討
がなされてきた。
吐出口板の特性において改善されるべき問題として、吐
出［」仮性壁面４ａの吐出口周辺部にインクの液溜りが
生じるとインクの吐出方向に乱れが生じ易くなり、安定
したインク吐出が得られず、良好な記録が行なえないと
いう問題がある［第３図（Ｂ）参照］。
出［」仮性壁面４ａの吐出口周辺部にインクの液溜りが
生じるとインクの吐出方向に乱れが生じ易くなり、安定
したインク吐出が得られず、良好な記録が行なえないと
いう問題がある［第３図（Ｂ）参照］。
その上、吐出口回り全面にインク付着膜が形成されると
、インク吐出時におけるインクの散乱（スプラッシュ現
象）が生じて安定した記録が行なえなくなり、吐出口回
りのインク付着量が更に多くなりインク溜りが発達して
大きくなる。このインク溜りが大きくなり通ると吐出口
からのインク吐出が不＝１能なとなる場合も生じる。
、インク吐出時におけるインクの散乱（スプラッシュ現
象）が生じて安定した記録が行なえなくなり、吐出口回
りのインク付着量が更に多くなりインク溜りが発達して
大きくなる。このインク溜りが大きくなり通ると吐出口
からのインク吐出が不＝１能なとなる場合も生じる。
そこで、吐出「１板の外壁面に撥水処理を施して、Ｌ述
のようなインク液溜りの吐出口外壁面への形成を防止す
る方法が知られている。
のようなインク液溜りの吐出口外壁面への形成を防止す
る方法が知られている。
吐出［１外壁面の撥水処理においては、親インク性が要
求される吐出口内面に撥水処理が及ばないように行なう
必要がある。
求される吐出口内面に撥水処理が及ばないように行なう
必要がある。
従来技術における吐出［１外壁面の撥水処理は、転写体
の表面に溌インク液性の表面処理剤の薄層を形成し、そ
の薄層をインクジェット記録ヘッドの吐出口を有する面
へ転写することにより行なわれていた。
の表面に溌インク液性の表面処理剤の薄層を形成し、そ
の薄層をインクジェット記録ヘッドの吐出口を有する面
へ転写することにより行なわれていた。
ところが、従来の方法では処理作業が煩雑であり、また
、吐出口の内部にまで撥水剤が進入したり、転写体の劣
化により、充分に転写されないなどの欠点かあった。
、吐出口の内部にまで撥水剤が進入したり、転写体の劣
化により、充分に転写されないなどの欠点かあった。
本発明の［１的は、吐出口板の吐出口外壁面のみに効果
的な撥水処理を行なうのに好適な方法を提供することに
ある。
的な撥水処理を行なうのに好適な方法を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］
本発明の吐出口の製造方法は、
ａ）吐出口を形成する貫通孔に対応する形状の樹脂層が
該ｄ通孔の配置に応じて配された導電性基体表面に電鋳
により吐出口板となる金属層を形成する過程と、 ｂ）該金属層表面を撥水処理する過程と。
該ｄ通孔の配置に応じて配された導電性基体表面に電鋳
により吐出口板となる金属層を形成する過程と、 ｂ）該金属層表面を撥水処理する過程と。
Ｃ）該導電性基体表面上から前記樹脂層を除去してＶ１
通孔を形成する過程とを含む。
通孔を形成する過程とを含む。
本発明によれば、吐出口板の製造段階で吐出口外壁面と
なる部分にのみ撥水処理が行なわれ、しかも該撥水処理
時には吐出［１を形成する貫通孔内に樹脂か充填されて
いるので、吐出口内面に及ばないので、簡単にかつ効率
良く、しかも正確な吐出口外壁面の撥水処理が行なえる
。
なる部分にのみ撥水処理が行なわれ、しかも該撥水処理
時には吐出［１を形成する貫通孔内に樹脂か充填されて
いるので、吐出口内面に及ばないので、簡単にかつ効率
良く、しかも正確な吐出口外壁面の撥水処理が行なえる
。
以下図面により本発明の詳細な説明する。
本発明の方法においては、第１図（Ａ）〜（Ｃ）に示す
ように、金属板、その表面に金属等からなる導電層を設
けたＳｉ、ガラス板などからなり、導電性を有し、かつ
後に形成される金属層（９）が剥離可能な基体７の表面
上に吐出［１の所望の配置状態に対応した樹脂層８ａの
パターンが形成される。
ように、金属板、その表面に金属等からなる導電層を設
けたＳｉ、ガラス板などからなり、導電性を有し、かつ
後に形成される金属層（９）が剥離可能な基体７の表面
上に吐出［１の所望の配置状態に対応した樹脂層８ａの
パターンが形成される。
なお、後述の金属層（９）に、より高度な均質性や平滑
性等が要求される場合には、ガラス、Ｓｉ等の平面性、
平滑性がより良好な基体上にアルミニウム、金、チタン
等の金属膜をスパッタリング等の方法により形成した基
板を用いると良い。
性等が要求される場合には、ガラス、Ｓｉ等の平面性、
平滑性がより良好な基体上にアルミニウム、金、チタン
等の金属膜をスパッタリング等の方法により形成した基
板を用いると良い。
この樹脂層パターン８ａの形成は、第１図（Ｂ）に示す
ように感光性樹脂層８を基体７の表面上に積層した後、
感光性樹脂層８を所望のパターンのマスクを介して露光
、あるいは感光性樹脂層８に所望のパターン状にスポッ
ト照射し、露光後の感光＋Ｉ［樹脂層８を現像処理して
樹脂層８ａのパターンを基体表面上に残すことにより形
成できる。
ように感光性樹脂層８を基体７の表面上に積層した後、
感光性樹脂層８を所望のパターンのマスクを介して露光
、あるいは感光性樹脂層８に所望のパターン状にスポッ
ト照射し、露光後の感光＋Ｉ［樹脂層８を現像処理して
樹脂層８ａのパターンを基体表面上に残すことにより形
成できる。
なお、樹脂層８ａのパターンは上述のフォトリソグラフ
ィーを利用した方法に限定されず他の種々の方法を用い
得る。
ィーを利用した方法に限定されず他の種々の方法を用い
得る。
次に、第１図（Ｄ）に示すように、基体の樹脂層８ａが
設けられた面に吐出口板の構成材料である金属層９を電
鋳により形成した後、第１図（Ｅ）に示すように金属層
９表面に撥水処理を施す。
設けられた面に吐出口板の構成材料である金属層９を電
鋳により形成した後、第１図（Ｅ）に示すように金属層
９表面に撥水処理を施す。
なお、金属層９の形成には吐出口板に必要な剛性やイン
クに対する特性を満足できる材料を適宜選択した用いれ
ば良く、例えばニッケル等を利用できる。
クに対する特性を満足できる材料を適宜選択した用いれ
ば良く、例えばニッケル等を利用できる。
また、金属層９の撥水処理には、通常金属表面の撥水処
理に用いられている＆Ｍｉ撥水処理削から金属層９の材
質等を考慮して適宜選択したものを用い、良好な撥水処
理効果が得られる条件を設定して行なえば良い。
理に用いられている＆Ｍｉ撥水処理削から金属層９の材
質等を考慮して適宜選択したものを用い、良好な撥水処
理効果が得られる条件を設定して行なえば良い。
撥水処理終了後、基体７の表面上から金属層９を剥離し
て金属プレートとする［第１図（Ｆ）］。次に、金属プ
レート９の下面に接着層１１を設け［第１図（Ｇ）］
、更に該接着層１１を適当なフィルム（不図示）で保護
してから、樹脂８ａを溶解・除去する適当な液での処理
を行なって、樹脂８ａを金属プレート・９から除去し、
樹脂８ａか抜けた吐出口を形成する空隙部（貫通孔）を
形成し、吐出口板を得る［第１図（Ｈ）］。
て金属プレートとする［第１図（Ｆ）］。次に、金属プ
レート９の下面に接着層１１を設け［第１図（Ｇ）］
、更に該接着層１１を適当なフィルム（不図示）で保護
してから、樹脂８ａを溶解・除去する適当な液での処理
を行なって、樹脂８ａを金属プレート・９から除去し、
樹脂８ａか抜けた吐出口を形成する空隙部（貫通孔）を
形成し、吐出口板を得る［第１図（Ｈ）］。
なお、溌撥水処理の金属層９表面への適用及び接着剤層
１１を形成する方法としては、上記の塗布方法の他に、
撥水処理を行なう而に基板から金属層を剥離してプレー
トとして取り出し、該プレートの一方の面に撥水処理剤
を、また他方の面に接着剤（１１）を時差をおいて、あ
るいは同時にスプレーする方法、該プレートの一方の面
にマイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処
理剤層を重ね合せてローラ等でプレスし、更に他方の面
にマイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処
理剤層を重ね合せてローラ等でプレスする方法、該プレ
ートの一方の面にマイラーフィルム等の適当な基材−ヒ
に形成した撥水処理剤層を重ね合せて、かつ他方の面に
マイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処理
剤層を重ね合せてローラ等で一括してプレスする方法な
どが利用できる。
１１を形成する方法としては、上記の塗布方法の他に、
撥水処理を行なう而に基板から金属層を剥離してプレー
トとして取り出し、該プレートの一方の面に撥水処理剤
を、また他方の面に接着剤（１１）を時差をおいて、あ
るいは同時にスプレーする方法、該プレートの一方の面
にマイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処
理剤層を重ね合せてローラ等でプレスし、更に他方の面
にマイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処
理剤層を重ね合せてローラ等でプレスする方法、該プレ
ートの一方の面にマイラーフィルム等の適当な基材−ヒ
に形成した撥水処理剤層を重ね合せて、かつ他方の面に
マイラーフィルム等の適当な基材上に形成した撥水処理
剤層を重ね合せてローラ等で一括してプレスする方法な
どが利用できる。
こうして得られた吐出口板は、一方の面が撥水処理され
、他方の面にインクジェット記録ヘッド形成用のインク
の通路となる液路等が形成された接合体との接合に利用
できる接着層を有するものとなる。
、他方の面にインクジェット記録ヘッド形成用のインク
の通路となる液路等が形成された接合体との接合に利用
できる接着層を有するものとなる。
なお、上述の方法においては、撥水処理時に金属プレー
トのオリフィスとなる部分には樹脂８が充填されている
ので、オリフィス内面となる部分にまで撥水処理が及ぶ
ことがない。
トのオリフィスとなる部分には樹脂８が充填されている
ので、オリフィス内面となる部分にまで撥水処理が及ぶ
ことがない。
しかも、樹脂８の存在により接着層１１の形成も容易と
なる。
なる。
［実施例］
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
実施例１
導電性基体であるステンレス製（５１１ｓ３０４ ）板
材（厚み、０．５ｍｍ ）の所定面にドライフィルム（
ラミネートＨＧ、ダイナヶム社製）をラミネートし、該
ラミネート膜（厚み２５μ）にパターン露光及び現像処
理を施して、吐出口の配置に対応して配置されたスポッ
ト状樹脂層を形成した。
材（厚み、０．５ｍｍ ）の所定面にドライフィルム（
ラミネートＨＧ、ダイナヶム社製）をラミネートし、該
ラミネート膜（厚み２５μ）にパターン露光及び現像処
理を施して、吐出口の配置に対応して配置されたスポッ
ト状樹脂層を形成した。
次に、導電性基体のスポット状樹脂層形成面にニッケル
メッキを行ない二ケルメツキ層（Ｎみ２゜鱗）を形成し
た。
メッキを行ない二ケルメツキ層（Ｎみ２゜鱗）を形成し
た。
更に、撥水処理剤として信越化学社製のフロロシリコン
系のにＰ−８０１（商品名）を０．旧型量％の割合でダ
イフロンＳ３（商品名、ダイキン工業社製）に溶解させ
た溶液を調整し、これを導電性ＪＪＡＬＩ−，（Ｄ二’
ｒルメッキ層表面にスピンコード法ニより塗布し、１５
０℃ ２時間の条件で加熱処理して塗布層（厚み１μ以
下）を乾燥させて撥水処理を行なった。
系のにＰ−８０１（商品名）を０．旧型量％の割合でダ
イフロンＳ３（商品名、ダイキン工業社製）に溶解させ
た溶液を調整し、これを導電性ＪＪＡＬＩ−，（Ｄ二’
ｒルメッキ層表面にスピンコード法ニより塗布し、１５
０℃ ２時間の条件で加熱処理して塗布層（厚み１μ以
下）を乾燥させて撥水処理を行なった。
撥水処理終了後、導電性基体とニッケルメッキ層を剥離
し、ニッケルプレートを得た。
し、ニッケルプレートを得た。
次に、ニッケルプレートの導電性基体との剥離面に接着
剤（タケライトｘ Ｐ −４０５／ ｘ Ｈ−８９０１
ｂ。
剤（タケライトｘ Ｐ −４０５／ ｘ Ｈ−８９０１
ｂ。
式日１製薬社製）を塗布して接着剤層（厚み２ ＪＬＩ
Ｉ ）を形成し、更に該接着剤層上にマイラーフィルム
を積層した後、３〜４％の水酸化ナトリウム水溶液で処
理して、ニッケルプレートからドライフィルムを除去し
て吐出口板を得た。
Ｉ ）を形成し、更に該接着剤層上にマイラーフィルム
を積層した後、３〜４％の水酸化ナトリウム水溶液で処
理して、ニッケルプレートからドライフィルムを除去し
て吐出口板を得た。
得られた吐出口板のマイラーフィルムを剥離して接着剤
層を露出させ、第２図に示すような基板トにインク吐出
のためのエネルギー発生体、エネルギー発生体への吐出
イ８号印加手段、インク液路等を構成した記録ヘッド本
体部分に接合してインク、ジェット記録ヘッドを作製し
、インク吐出試験を行なったところ、所定の吐出方向か
らのずれ角は、最大で１°であるとともに、吐出口の内
部への撥水剤の進入がないため、不吐出はない。また、
長時間吐出しても、表面に不要なインク溜りがなく、安
定した吐出が持続できた。
層を露出させ、第２図に示すような基板トにインク吐出
のためのエネルギー発生体、エネルギー発生体への吐出
イ８号印加手段、インク液路等を構成した記録ヘッド本
体部分に接合してインク、ジェット記録ヘッドを作製し
、インク吐出試験を行なったところ、所定の吐出方向か
らのずれ角は、最大で１°であるとともに、吐出口の内
部への撥水剤の進入がないため、不吐出はない。また、
長時間吐出しても、表面に不要なインク溜りがなく、安
定した吐出が持続できた。
実施例２
吐出口板形成用の基板として、Ｓｉ板表面にアルミニウ
ム被膜層をスパッタリングして得たものを用いる以外は
実施例１と同様にして吐出口板を得た後、インクジェッ
ト記録ヘッドを作製した。
ム被膜層をスパッタリングして得たものを用いる以外は
実施例１と同様にして吐出口板を得た後、インクジェッ
ト記録ヘッドを作製した。
得られたインクジェット記録ヘッドにおける記録試験で
は、インク滴の所定の着弾点からのずれは、２５〜３０
−であり、よって、その印字は従来のものに比べ向上し
ていた。
は、インク滴の所定の着弾点からのずれは、２５〜３０
−であり、よって、その印字は従来のものに比べ向上し
ていた。
［発明の効果コ
本発明の方法によれば、吐出口板の製造過程に撥水処理
剤の適用過程を付加するという簡単な方法により、確実
かつ効果的吐出口板外壁面の撥水処理が可能となり、品
質の良好な撥水処理吐出口板を低コストで提供できる。
剤の適用過程を付加するという簡単な方法により、確実
かつ効果的吐出口板外壁面の撥水処理が可能となり、品
質の良好な撥水処理吐出口板を低コストで提供できる。
第１図（Ａ）〜（Ｈ）は本発明の方法の主要道程を説明
するための工程図、第２図は吐出口板を用いたインクジ
ェット記録ヘッドの主要部を示す展開斜視図、第３図（
Ａ）及び（Ｂ）は、インクの吐出状態を説明するための
記録ヘッドの部分断面図である。 １：記録ヘッド用基板 ２：液路壁 ３：天板 ４：吐出口板 ４ａＨ吐出口板外壁面 ５：吐出口 ６：吐出エネルギー発生体 ７：吐出口板形成用基体 ８．８ａ：樹脂層 ９：金属層（金属吐出口板） １０：撥水処理剤層 ＩＩ：接着剤層
するための工程図、第２図は吐出口板を用いたインクジ
ェット記録ヘッドの主要部を示す展開斜視図、第３図（
Ａ）及び（Ｂ）は、インクの吐出状態を説明するための
記録ヘッドの部分断面図である。 １：記録ヘッド用基板 ２：液路壁 ３：天板 ４：吐出口板 ４ａＨ吐出口板外壁面 ５：吐出口 ６：吐出エネルギー発生体 ７：吐出口板形成用基体 ８．８ａ：樹脂層 ９：金属層（金属吐出口板） １０：撥水処理剤層 ＩＩ：接着剤層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）インクジェット記録ヘッドの吐出口を形成する貫通
孔を有する吐出口板を製造する方法において、 ａ）前記貫通孔に対応する形状の樹脂層が該貫通孔の配
置に応じて配された導電性基体表面に電鋳により前記吐
出口板となる金属層を形成する過程と、 ｂ）該金属層表面を撥水処理する過程と、 ｃ）該導電性基体表面から前記樹脂層を除去して前記貫
通孔を形成する過程と、 とを含むことを特徴とする吐出口板の製造方法。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP918189A JPH02188255A (ja) | 1989-01-18 | 1989-01-18 | 吐出口板の製造方法 |
| DE1989618663 DE68918663T2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes. |
| ES89311199T ES2060789T3 (es) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Metodo de fabricacion de un cabezal de impresion por chorros de tinta. |
| EP19890311199 EP0367541B1 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Method of manufacturing an ink jet head |
| EP94200483A EP0602021A2 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| EP99200740A EP0937579B1 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| ES99200740T ES2207908T3 (es) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Cabezal para chorros de tinta y metodo para la fabricacion del mismo, placa con oberturas de descarga para el cabezal y su metodo de fabricacion y aparato para chorros de tinta con cabezal para chorros de tinta. |
| DE1989629489 DE68929489T2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Tintenstrahlkopf und sein Herstellungsverfahren, Aufflussöffnungsplatte für diesen Kopf und sein Herstellungsverfahren, und Tintenstrahlgerät damit versehen |
| US07/752,909 US5208604A (en) | 1988-10-31 | 1991-08-26 | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| US08/741,529 US5682187A (en) | 1988-10-31 | 1996-10-31 | Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP918189A JPH02188255A (ja) | 1989-01-18 | 1989-01-18 | 吐出口板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02188255A true JPH02188255A (ja) | 1990-07-24 |
Family
ID=11713385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP918189A Pending JPH02188255A (ja) | 1988-10-31 | 1989-01-18 | 吐出口板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02188255A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6397466B1 (en) | 1998-06-30 | 2002-06-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing orifice plate and liquid discharge head |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633963A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-08 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトノズルの製造方法 |
-
1989
- 1989-01-18 JP JP918189A patent/JPH02188255A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633963A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-08 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトノズルの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6397466B1 (en) | 1998-06-30 | 2002-06-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing orifice plate and liquid discharge head |
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