JPH02189916A - 荷電ビーム装置 - Google Patents
荷電ビーム装置Info
- Publication number
- JPH02189916A JPH02189916A JP1010588A JP1058889A JPH02189916A JP H02189916 A JPH02189916 A JP H02189916A JP 1010588 A JP1010588 A JP 1010588A JP 1058889 A JP1058889 A JP 1058889A JP H02189916 A JPH02189916 A JP H02189916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged beam
- angle
- column
- stage
- charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はステージ位置測長器を備えた荷電ビーム装置に
関する。
関する。
従来、荷電ビーム装置ではステージ位置測長器を備え、
振動などの外乱によるステージ位置ずれを監視している
。この測長結果をもとに、荷電ビームをポジションディ
フレクタで曲げることによってステージ上の所望の位置
に収束させていた。
振動などの外乱によるステージ位置ずれを監視している
。この測長結果をもとに、荷電ビームをポジションディ
フレクタで曲げることによってステージ上の所望の位置
に収束させていた。
この際、カラムはステージに垂直であることを前提にし
てポジションディフレクタによる収束位置制御を行って
いた。
てポジションディフレクタによる収束位置制御を行って
いた。
（発明が解決しようとする課題〕
上述のような装置では、ステージの駆動反力等によって
カラムが倒れ込み振動を起こした際に生じる荷電ビーム
ずれ角を検出できず、収束位置ずれを生じるといった問
題があった。
カラムが倒れ込み振動を起こした際に生じる荷電ビーム
ずれ角を検出できず、収束位置ずれを生じるといった問
題があった。
本発明の目的は上記問題点を解消した荷電ビーム装置を
提供することにある。
提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の荷電ビーム装置は、
ステージ位置測長器を備えた荷電ビーム装置において、
荷電ビームの変位又は荷電ビームの角度を検知する手段
と、該検知手段に得られた信号をもって荷電ビームのず
れ角を演算する手段と、荷電ビームのずれ角に応じてス
テージ位置測長結果を補正する手段とを有するものであ
る。
ステージ位置測長器を備えた荷電ビーム装置において、
荷電ビームの変位又は荷電ビームの角度を検知する手段
と、該検知手段に得られた信号をもって荷電ビームのず
れ角を演算する手段と、荷電ビームのずれ角に応じてス
テージ位置測長結果を補正する手段とを有するものであ
る。
荷電ビームの変位を検知し、又は荷電ビームの角度を検
知する手段を備えることによってカラムが倒れ込み振動
を起こした際の角度を測定し、測長器によるステージ位
Ｗ測長結果を補正することによって、荷電ビームの収束
位置すれを解消することができる。
知する手段を備えることによってカラムが倒れ込み振動
を起こした際の角度を測定し、測長器によるステージ位
Ｗ測長結果を補正することによって、荷電ビームの収束
位置すれを解消することができる。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明を用いた荷電ビーム描画装置の断面図で
ある。図において、荷電ビーム１は荷電ビーム銃２から
カラム３内に発射されたのち、投影レンズ４で収束され
、ポジションディフレクタ５でステージ６」二での収束
位置が制御される。この際、ステージ６のベース７に対
する駆動反力によりチャンバ８」二部にひずみが生し、
カラム３が倒れ込み振動を起こすことによって荷電ビー
ムずれ角９が生し、描画位置にずれが生じる原因となる
。このような描画位置ずれはステージ６の変位を伴わな
いため、ステージ６とチャンバ８間の距離を測長するレ
ーザ測長器１４では検出できず、描画位置補正ができな
い。
ある。図において、荷電ビーム１は荷電ビーム銃２から
カラム３内に発射されたのち、投影レンズ４で収束され
、ポジションディフレクタ５でステージ６」二での収束
位置が制御される。この際、ステージ６のベース７に対
する駆動反力によりチャンバ８」二部にひずみが生し、
カラム３が倒れ込み振動を起こすことによって荷電ビー
ムずれ角９が生し、描画位置にずれが生じる原因となる
。このような描画位置ずれはステージ６の変位を伴わな
いため、ステージ６とチャンバ８間の距離を測長するレ
ーザ測長器１４では検出できず、描画位置補正ができな
い。
本発明ではカラム３の頂部に加速度センサ］、１＆設置
し、カラム３の頂部の移動加速度を常時検出している。
し、カラム３の頂部の移動加速度を常時検出している。
この加速度信号をもとに角度算出部１２でカラム３のチ
ャンバ８に対する傾角を算出し、補正量算出部１３で荷
電ビーム１を所望の位置に収束させるための測長量補正
量１０を算出する。この補正量をレーザ測長部１５に送
り、ステージ位置測長結果を補正し、荷電ビームずれ角
９による描画位置ずれを相殺する。本実施例では装置全
体の倒れ込み振動の固有振動数は１．３０ Ｈｚである
ことが事前の測定によって判明していたため、角度算出
部１２では加速度信号の１．３０Ｔ（ｚ成分をフィルタ
によって取り出し、２回積分することによって変位を算
出し、加速度センサ１１とチャンバ８間の距離で割るこ
とによって角度を算出している。また、補正量算出部］
３では算出された角度にチャンバ８とステージ６間の距
離を掛けることによってステージ位置補正量１０を算出
している。なお、カラム３の倒れ込み角度を直接検知す
る手段を備えた場合には角度算出部１２は省略すること
ができる。また、本実施例ではステージ位置測長にレー
ザ測長器１４を用いているが、ステージ位置測長器の方
式は任意のものでもよい。
ャンバ８に対する傾角を算出し、補正量算出部１３で荷
電ビーム１を所望の位置に収束させるための測長量補正
量１０を算出する。この補正量をレーザ測長部１５に送
り、ステージ位置測長結果を補正し、荷電ビームずれ角
９による描画位置ずれを相殺する。本実施例では装置全
体の倒れ込み振動の固有振動数は１．３０ Ｈｚである
ことが事前の測定によって判明していたため、角度算出
部１２では加速度信号の１．３０Ｔ（ｚ成分をフィルタ
によって取り出し、２回積分することによって変位を算
出し、加速度センサ１１とチャンバ８間の距離で割るこ
とによって角度を算出している。また、補正量算出部］
３では算出された角度にチャンバ８とステージ６間の距
離を掛けることによってステージ位置補正量１０を算出
している。なお、カラム３の倒れ込み角度を直接検知す
る手段を備えた場合には角度算出部１２は省略すること
ができる。また、本実施例ではステージ位置測長にレー
ザ測長器１４を用いているが、ステージ位置測長器の方
式は任意のものでもよい。
以上説明したように本発明によれば、カラムが倒れ込み
振動を起こした際にその角度を検知し、該角度によって
ステージ位置測長量を補正することによって荷電ビーム
の収束位置ずれを解消することができる。
振動を起こした際にその角度を検知し、該角度によって
ステージ位置測長量を補正することによって荷電ビーム
の収束位置ずれを解消することができる。
第１図は本発明を用いた荷電ビーム描画装置の断面図で
ある。 １・・荷電ビーム ２・・・荷電ビーム銃３・・
・カラム ４・・・投影レンズ５・ポジショ
ンディフレクタ ６ ・ステージ７・・・ベース
８ ・チャンバ９ 荷電ビームずれ角 １０・・
測長量補正量１１・加速度センサ １２・・角度算
出部１３・・補正量算出部 １５・・レーザ測長部 】４・ レーザ測長器
ある。 １・・荷電ビーム ２・・・荷電ビーム銃３・・
・カラム ４・・・投影レンズ５・ポジショ
ンディフレクタ ６ ・ステージ７・・・ベース
８ ・チャンバ９ 荷電ビームずれ角 １０・・
測長量補正量１１・加速度センサ １２・・角度算
出部１３・・補正量算出部 １５・・レーザ測長部 】４・ レーザ測長器
Claims (1)
- （１）ステージ位置測長器を備えた荷電ビーム装置にお
いて、荷電ビームの変位又は荷電ビームの角度を検知す
る手段と、該検知手段に得られた信号をもって荷電ビー
ムのずれ角を演算する手段と、荷電ビームのずれ角に応
じてステージ位置測長結果を補正する手段とを有するこ
とを特徴とする荷電ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010588A JP2897236B2 (ja) | 1989-01-18 | 1989-01-18 | 荷電ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010588A JP2897236B2 (ja) | 1989-01-18 | 1989-01-18 | 荷電ビーム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02189916A true JPH02189916A (ja) | 1990-07-25 |
| JP2897236B2 JP2897236B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=11754406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1010588A Expired - Lifetime JP2897236B2 (ja) | 1989-01-18 | 1989-01-18 | 荷電ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2897236B2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-18 JP JP1010588A patent/JP2897236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2897236B2 (ja) | 1999-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6626412B1 (en) | Mountings for optical apparatus | |
| DE69616353D1 (de) | Messsystem hoher bandbreite und dynamischer rigidität zum messen und kontrollieren von intelligenten industriellen verfahren | |
| JP2001510573A (ja) | 回転体をバランスさせるための方法 | |
| SE448576B (sv) | Forfarande och anordning for reducering av bakatspridning i vibrerande ringlasrar | |
| EP0634629A4 (en) | ANGULAR SPEED SENSOR. | |
| JP3115307B2 (ja) | 座標入力装置及び座標検出方法 | |
| KR100237151B1 (ko) | 현수하중 스윙 변위검출기 | |
| JP2897236B2 (ja) | 荷電ビーム装置 | |
| US20060065039A1 (en) | Methods and apparatus for reducing vibration rectification errors in closed-loop accelerometers | |
| JPH0735646A (ja) | リーフスプリングの特性測定装置 | |
| JP2897237B2 (ja) | 荷電ビーム装置のビーム位置制御方法 | |
| JPS60188809A (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
| JPS63108218A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP2888215B2 (ja) | 露光装置及び測定方法 | |
| JPH02310414A (ja) | 測距装置 | |
| RU2221991C1 (ru) | Способ определения местоположения подвижных наземных объектов и устройство для его реализации | |
| JPH01238604A (ja) | 鏡面能動支持装置 | |
| JPH10239012A (ja) | 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機 | |
| JPS63117211A (ja) | 傾斜計 | |
| JPS6457110A (en) | Measuring apparatus of linear motion | |
| JPH0648191B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP3371478B2 (ja) | 振動光学要素の振幅制御装置 | |
| JPH0227635A (ja) | 電子銃組立装置 | |
| JPH06347854A (ja) | 駆動装置 | |
| SU1296836A1 (ru) | Способ измерени смещений светового п тна |