JPH02190774A - 集積回路の試験装置 - Google Patents
集積回路の試験装置Info
- Publication number
- JPH02190774A JPH02190774A JP1011301A JP1130189A JPH02190774A JP H02190774 A JPH02190774 A JP H02190774A JP 1011301 A JP1011301 A JP 1011301A JP 1130189 A JP1130189 A JP 1130189A JP H02190774 A JPH02190774 A JP H02190774A
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- Japan
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- board
- printed board
- test
- leads
- socket
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路の試験装置に関し、特に信頼性試験に
用いるバーンインボードを有する集積回路の試験装置に
関する。
用いるバーンインボードを有する集積回路の試験装置に
関する。
集積回路は長期間にわたり使用されるので、その使用期
間中に発生する故障が非常に小さいものが要求されてお
り、常用故障率が一定値以下であるかどうかを出荷する
前に事前に判定するために信頼性試験が実施される。
間中に発生する故障が非常に小さいものが要求されてお
り、常用故障率が一定値以下であるかどうかを出荷する
前に事前に判定するために信頼性試験が実施される。
この信頼性試験の項目としてPCT (プレッシャーク
ツカーテスト)、HT(高温保管試験)。
ツカーテスト)、HT(高温保管試験)。
BT(バイアス印加試験)、HHBT(高温高温バイア
ス印加試験)及びTC(温度サイクル試験)等があるが
、このうちBT及びHHBTは集積回路にバイアス電源
を接続した状態で信頼性試験を行うので、一般にバーン
インボードを用いる。
ス印加試験)及びTC(温度サイクル試験)等があるが
、このうちBT及びHHBTは集積回路にバイアス電源
を接続した状態で信頼性試験を行うので、一般にバーン
インボードを用いる。
第5図(a)及び(b)は従来の集積回路の試験装置の
一例のバーンインボードの側面図及び平面図、第6図は
テストボードに実装した第5図のプリント板の側面図で
ある。
一例のバーンインボードの側面図及び平面図、第6図は
テストボードに実装した第5図のプリント板の側面図で
ある。
なお、作用を簡単に説明するために、ソケットを二個と
しプリント板内の配線パターンについては省略している
。
しプリント板内の配線パターンについては省略している
。
第5図に示すように従来のバーンインボードは、被試験
IC100を装着・固定するソケット11を2個実装し
、ソケットのリード12−は信頼性試験の回路構成を介
して外部のバイアス電源及び信号源のコネクタに挿入す
るプリント板接木全26に接続されているプリント板1
.で構成されている。
IC100を装着・固定するソケット11を2個実装し
、ソケットのリード12−は信頼性試験の回路構成を介
して外部のバイアス電源及び信号源のコネクタに挿入す
るプリント板接木全26に接続されているプリント板1
.で構成されている。
従来のバーンインボードを用いた時の信頼性試験は以下
のようにする。
のようにする。
まず被試験IC100を第6図に示すソケット11、に
挿入し電気特性の初期値をテスタを用いて測定する。
挿入し電気特性の初期値をテスタを用いて測定する。
その後IC100を第5図(a>のソケット11に装着
・固定し、それをBTあるいはHHBT用の試験炉に入
れバイアス電源のコネクタをプリント板接木全26に接
続する。
・固定し、それをBTあるいはHHBT用の試験炉に入
れバイアス電源のコネクタをプリント板接木全26に接
続する。
測定後、再びソケット11にIC100を装着・固定し
、炉に投入する。
、炉に投入する。
これを何回か繰り返し、通常1000時間経過後の電気
特性を測定で信頼性試験が終了するが、途中でIC10
0の特性上に不具合が発生するとそこで信頼性試験を一
時中断し、処置検討後再度試験を行なうことになる。
特性を測定で信頼性試験が終了するが、途中でIC10
0の特性上に不具合が発生するとそこで信頼性試験を一
時中断し、処置検討後再度試験を行なうことになる。
上述した従来の集積回路の試験装置は、バーンインボー
ドを用いた信頼性試験においては、指定時間毎に被試験
ICの電気特性を測定するために、バーンインボード及
びテストボードのソケットにICを度々着脱するので、
これに非常に多くの工数を費やし、さらに被試験ICの
リードの足囲がり等が発生しそれにより接触不良が起こ
りやすいという欠点があった。
ドを用いた信頼性試験においては、指定時間毎に被試験
ICの電気特性を測定するために、バーンインボード及
びテストボードのソケットにICを度々着脱するので、
これに非常に多くの工数を費やし、さらに被試験ICの
リードの足囲がり等が発生しそれにより接触不良が起こ
りやすいという欠点があった。
本発明は、被試験ICのリードを傷めず容易にバーンイ
ン試験の行える集積回路の試験装置を提供することにあ
る。
ン試験の行える集積回路の試験装置を提供することにあ
る。
本発明の集積回路の試験装置は、被試験集積回路を装着
する複数のソケットを表面に設け該ソケットのリードを
裏面に突出したIC実装プリント板と、前記リードに対
応して接続する複数の接触子を表面に設けかつ該接触子
に試験回路を介して接続するコネクタを端部に設けたア
ダプタプリント板とを、一体化機構で電気的に接続した
複合バーンインボードを有して構成されている。
する複数のソケットを表面に設け該ソケットのリードを
裏面に突出したIC実装プリント板と、前記リードに対
応して接続する複数の接触子を表面に設けかつ該接触子
に試験回路を介して接続するコネクタを端部に設けたア
ダプタプリント板とを、一体化機構で電気的に接続した
複合バーンインボードを有して構成されている。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)〜(C)は本発明の第1の実施例のバーン
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の平面図である。
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の平面図である。
バーンインボードは、被試験IC100を装着する複数
のソケット11を表面に設けその長いり−ド12を裏面
に出すIC実装プリント板1と、ソケットのリード12
を受けるリード接触端子21を表面に設けて試験回路を
介して接続するプリント板接木全26を端部に設けたア
ダプタプリント板2とよりなり、この二つのプリント板
1及び2は、アダプタプリント板2に設けられた四つの
円筒形支柱23及び三つの止め具24でIC実装プリン
ト板1を重ねて組み合せ、ソケットのリード12とリー
ド接触端子21とを電気的に接続して複合体を構成して
いる。
のソケット11を表面に設けその長いり−ド12を裏面
に出すIC実装プリント板1と、ソケットのリード12
を受けるリード接触端子21を表面に設けて試験回路を
介して接続するプリント板接木全26を端部に設けたア
ダプタプリント板2とよりなり、この二つのプリント板
1及び2は、アダプタプリント板2に設けられた四つの
円筒形支柱23及び三つの止め具24でIC実装プリン
ト板1を重ねて組み合せ、ソケットのリード12とリー
ド接触端子21とを電気的に接続して複合体を構成して
いる。
IC実装プリント板1とアダプタプリント板2を組合せ
るには、アダプタプリント板2の円筒形の支柱23の先
端の突起をIC実装プリント板1の円形の位置合せ穴1
3に賞金させ、その状態でアダプタプリント板2の三面
に設けている止め具24の突起をIC実装プリント板1
に設けた溝14に引掛ける。
るには、アダプタプリント板2の円筒形の支柱23の先
端の突起をIC実装プリント板1の円形の位置合せ穴1
3に賞金させ、その状態でアダプタプリント板2の三面
に設けている止め具24の突起をIC実装プリント板1
に設けた溝14に引掛ける。
こうするとプリント板1とプリント板2が止め具24に
よりしっかりと合体・固定する。
よりしっかりと合体・固定する。
この状態でBT炉に入れ、規定の時装置いた後BT炉か
ら取り出し、被試験IC100の電気的特性を測定する
。
ら取り出し、被試験IC100の電気的特性を測定する
。
第2図はテストボードに実装した第1図のアダプタプリ
ント板の側面図である。
ント板の側面図である。
まず止め具24を開いてIC実装プリント板1をアダプ
タプリント板2からはずし、IC100をソケット11
に装着・固定したままIC実装プリント板1のソケット
のリード12をテスタ5のテストボード3に設けである
テストボードコネクタ4に差し込みIC100の測定を
行なう。
タプリント板2からはずし、IC100をソケット11
に装着・固定したままIC実装プリント板1のソケット
のリード12をテスタ5のテストボード3に設けである
テストボードコネクタ4に差し込みIC100の測定を
行なう。
ソケットのり−ド12は長くかつIC100のリードに
直接対応しているので、自動テスタによる測定もできる
。
直接対応しているので、自動テスタによる測定もできる
。
特性測定が終了した後、再度プリント板2にプリント板
1を組会せ合体し、又一定時間BT炉に入れる。
1を組会せ合体し、又一定時間BT炉に入れる。
信頼性試験終了までこの作業を何回も繰り返すことにな
る。
る。
このように被試験IC100は信頼性試験開始前に電気
特性の初期値を測定し、IC実装プリント板1のソケッ
ト11に装着・固定された後、一定の時間を経て信頼性
試験か終了した時点でソケット11より取り出されるま
では異常な事態が発生しないかぎり、信頼性試験の途中
でソケット11への装着及びソケット11からの取り出
しを行なうことはない。
特性の初期値を測定し、IC実装プリント板1のソケッ
ト11に装着・固定された後、一定の時間を経て信頼性
試験か終了した時点でソケット11より取り出されるま
では異常な事態が発生しないかぎり、信頼性試験の途中
でソケット11への装着及びソケット11からの取り出
しを行なうことはない。
従ってrc+ooの特性試験時間は短縮され、またIC
のリード損傷も発生しない。
のリード損傷も発生しない。
第3図(a)〜(c)は本発明の第2の実施例のバーン
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の側面図である。
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の側面図である。
第3図(a)〜(c)に示すように、本実施例が前述の
第1の実施例と異なるのは、IC実装プリント板1.l
とアダプタプリント板2.の電気的接続をソケット11
のリード12.を使用しないで、オス・メスの専用の接
続用コネクタ15及び25を設けた点である。
第1の実施例と異なるのは、IC実装プリント板1.l
とアダプタプリント板2.の電気的接続をソケット11
のリード12.を使用しないで、オス・メスの専用の接
続用コネクタ15及び25を設けた点である。
専用のコネクタを使用するとソケットと専用コネクタと
の配線パターンを必要とするが、電気的接続が確実にな
るという利点がある。
の配線パターンを必要とするが、電気的接続が確実にな
るという利点がある。
IC実装プリント板18のテスタへの接続が接続コネク
タを用いて行われる以外は、特性測定動作は第1の実施
例と同様である。
タを用いて行われる以外は、特性測定動作は第1の実施
例と同様である。
以上説明したように本発明の集積回路の試験装置は、バ
ーンインボードを被試験ICを実装するプリント板と、
ICの信頼性試験回路を構成するアダプタプリントとに
別々に分けて、バーンイン時には一体化し、特性測定時
には分離することにより、被試験ICのソケットからの
着脱を信頼性試験の開始と終了時の各1回にするだけな
ので、着脱工数を省くことができ、かつICのリードの
損傷を生じないという効果がある。
ーンインボードを被試験ICを実装するプリント板と、
ICの信頼性試験回路を構成するアダプタプリントとに
別々に分けて、バーンイン時には一体化し、特性測定時
には分離することにより、被試験ICのソケットからの
着脱を信頼性試験の開始と終了時の各1回にするだけな
ので、着脱工数を省くことができ、かつICのリードの
損傷を生じないという効果がある。
第1図(a)〜(c)は本発明の第1の実施例のバーン
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の平面図、第2図はテストボードに実装した
第1図のアダプタプリント板の側面図、第3図(a)〜
(c)は本発明の第2の実施例のバーンインボードの側
面図、IC実装プリント板及びアダプタプリント板の平
面図、第4図はテストボードに実装した第3図のアダプ
タプリント板の側面図、第5図(a)及び(b)は従来
の集積回路の試験装置の一例のバーンインボードの側面
図及び平面図、第6図はテストボードに実装した第5図
のプリント板の側面図である。 1.1.・・IC実装プリント板、2,2.・・・アダ
プタプリント板、3,3.・・・テストボード、4.4
.・・・テストボードコネクタ、5・・・テスタ、11
・・・ソケット、12・・・ソケトのリード、13・・
・位置合せ穴、14・・・溝、15・・・接続コネクタ
(メス)、21・・・リード接触端子、22・・・電子
部品、23・・円筒形支柱、24・・・止め具、25・
・・接続コネクタ(オス)、26・・・プリント板接木
全、100・・・被試験IC0
インボードの側面図、IC実装プリント板及びアダプタ
プリント板の平面図、第2図はテストボードに実装した
第1図のアダプタプリント板の側面図、第3図(a)〜
(c)は本発明の第2の実施例のバーンインボードの側
面図、IC実装プリント板及びアダプタプリント板の平
面図、第4図はテストボードに実装した第3図のアダプ
タプリント板の側面図、第5図(a)及び(b)は従来
の集積回路の試験装置の一例のバーンインボードの側面
図及び平面図、第6図はテストボードに実装した第5図
のプリント板の側面図である。 1.1.・・IC実装プリント板、2,2.・・・アダ
プタプリント板、3,3.・・・テストボード、4.4
.・・・テストボードコネクタ、5・・・テスタ、11
・・・ソケット、12・・・ソケトのリード、13・・
・位置合せ穴、14・・・溝、15・・・接続コネクタ
(メス)、21・・・リード接触端子、22・・・電子
部品、23・・円筒形支柱、24・・・止め具、25・
・・接続コネクタ(オス)、26・・・プリント板接木
全、100・・・被試験IC0
Claims (1)
- 被試験集積回路を装着する複数のソケットを表面に設け
該ソケットのリードを裏面に突出したIC実装プリント
板と、前記リードに対応して接続する複数の接触子を表
面に設けかつ該接触子に試験回路を介して接続するコネ
クタを端部に設けたアダプタプリント板とを、一体化機
構で電気的に接続した複合バーンインボードを有するこ
とを特徴とする集積回路の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011301A JPH02190774A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 集積回路の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011301A JPH02190774A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 集積回路の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02190774A true JPH02190774A (ja) | 1990-07-26 |
Family
ID=11774173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011301A Pending JPH02190774A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 集積回路の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02190774A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5574384A (en) * | 1995-01-31 | 1996-11-12 | Tabai Espec Corp. | Combined board construction for burn-in and burn-in equipment for use with combined board |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1011301A patent/JPH02190774A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5574384A (en) * | 1995-01-31 | 1996-11-12 | Tabai Espec Corp. | Combined board construction for burn-in and burn-in equipment for use with combined board |
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