JPH02194066A - 膜形成用塗布剤 - Google Patents
膜形成用塗布剤Info
- Publication number
- JPH02194066A JPH02194066A JP1460089A JP1460089A JPH02194066A JP H02194066 A JPH02194066 A JP H02194066A JP 1460089 A JP1460089 A JP 1460089A JP 1460089 A JP1460089 A JP 1460089A JP H02194066 A JPH02194066 A JP H02194066A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- metal
- resin acid
- forming coating
- salt
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- Pending
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- Paints Or Removers (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、基板上に金属化合物の膜を形成するために用
いられる膜形成用塗布剤に関する。
いられる膜形成用塗布剤に関する。
（従来の技術）
金属酸化物の膜の中には工業的に有用な特性をもつもの
が数多く知られている。
が数多く知られている。
従来、基板上に金属酸化物の膜を形成するためには、目
的とする金属を含む有機酸塩、金属アルコキシド、アセ
チルアセトネート錯塩等を主成分とする膜形成用塗布剤
が用いられてきた。
的とする金属を含む有機酸塩、金属アルコキシド、アセ
チルアセトネート錯塩等を主成分とする膜形成用塗布剤
が用いられてきた。
このような膜は、基板上に膜形成用塗布剤を塗布したの
ち、適温かつ適当な雰囲気中で基板を加熱することによ
って有機物を揮発させ、金属化合な塗布方法を使いわけ
る必要があり、塗布方法の異なる色々な塗布設備を必要
とする欠点がある。
ち、適温かつ適当な雰囲気中で基板を加熱することによ
って有機物を揮発させ、金属化合な塗布方法を使いわけ
る必要があり、塗布方法の異なる色々な塗布設備を必要
とする欠点がある。
また、従来の塗布剤は溶解麿が低く、他の主成分あるい
は組成の異なる溶媒等を加えると、固形分が析出したり
、形成された膜の組成に偏析が起り易い欠点がある。
は組成の異なる溶媒等を加えると、固形分が析出したり
、形成された膜の組成に偏析が起り易い欠点がある。
さらに、従来の塗布剤は大気中の水分等に対し反応活性
の高いものが多く、そのため利用上大きな制約がある欠
点がある。
の高いものが多く、そのため利用上大きな制約がある欠
点がある。
また、使用できる溶媒とそれに可溶性の主成分が少なく
、限られた金属の塗布剤しか製造できない欠点がある。
、限られた金属の塗布剤しか製造できない欠点がある。
（解決しようとする問題点）
本発明は、上記の欠点を除去し、多種類の金属酸化物あ
るいは複合酸化物の膜が形成できる膜形成用塗布剤を提
供しようとするものである。
るいは複合酸化物の膜が形成できる膜形成用塗布剤を提
供しようとするものである。
（問題を解決するための手段）
本発明は、塗布剤の主成分として樹脂酸金属塩を用いる
ことによって目的を達成することができる。
ことによって目的を達成することができる。
樹脂酸はアビエチン型とピマール型とがある。
アビエチン型樹脂酸としては、アビエチン酸、ネオアビ
エチン酸、レポピマール酸等があり、ピマール型樹脂酸
としては、デキストロピマール酸がある。
エチン酸、レポピマール酸等があり、ピマール型樹脂酸
としては、デキストロピマール酸がある。
ロジンはアビエチン酸を主成分とした種々な樹脂酸の混
合物である。
合物である。
本発明は、これらの樹脂酸あるいはロジンのような樹脂
酸混合物の金属塩、あるいは樹脂酸混合物の金属塩の樹
脂酸根を一部有ＩａＭ、アルコキシド、アセチルアセト
ナート等で置換したものを塗布剤の主成分とし−Ｃ使用
する。
酸混合物の金属塩、あるいは樹脂酸混合物の金属塩の樹
脂酸根を一部有ＩａＭ、アルコキシド、アセチルアセト
ナート等で置換したものを塗布剤の主成分とし−Ｃ使用
する。
これらの樹脂酸金属塩の溶媒および安定化剤としては、
酢酸エステル類、石油類あるいはこれらを混合したもの
が好ましいが、樹脂酸金属塩の種類、塗布条件等に応じ
、有機酸、ギ酸エステル類アルコール類、動植物油脂類
あるいはこれらを混合したものでもよい。
酢酸エステル類、石油類あるいはこれらを混合したもの
が好ましいが、樹脂酸金属塩の種類、塗布条件等に応じ
、有機酸、ギ酸エステル類アルコール類、動植物油脂類
あるいはこれらを混合したものでもよい。
また、本発明になる膜形成用塗布剤は、異種金属の樹脂
酸金属塩を主成分として共存させることができるため容
易に金属複合酸化物の膜を基板上に形成することができ
る。
酸金属塩を主成分として共存させることができるため容
易に金属複合酸化物の膜を基板上に形成することができ
る。
膜形成が可能な基板は、ガラス、セラミックス、半導体
、金属、耐熱性有機材料等であり、これらの基板に塗布
した膜は、基板加熱という簡単な処理法によって密着性
がよく、かつ、表面硬度の高い金属酸化物の膜を形成す
ることができる。
、金属、耐熱性有機材料等であり、これらの基板に塗布
した膜は、基板加熱という簡単な処理法によって密着性
がよく、かつ、表面硬度の高い金属酸化物の膜を形成す
ることができる。
また、このようにして形成した金属酸化物の膜の上にさ
らに他種類の膜を形成し多層構造の膜を形成することも
容易である。
らに他種類の膜を形成し多層構造の膜を形成することも
容易である。
本発明になる膜形成用塗布剤に含有する樹脂酸金属塩の
金属の種類は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土
類、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、１１ ｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ
、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｆｅ。
金属の種類は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土
類、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、１１ ｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ
、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｆｅ。
Ｃｏ１Ｎｉ、ＣＵ、Ｚｎ、Ｂ、ＡＩ、Ｇａ、Ｉｎ。
Ｓ ｉ 、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＡＳ、Ｓｂ、Ｂ ！等が
製造可能であり、極めて多種類の金属酸化物あるいは複
合酸化物の膜を基板上に形成することができる。
製造可能であり、極めて多種類の金属酸化物あるいは複
合酸化物の膜を基板上に形成することができる。
（実施例１）
アセチルアセトナート鉄１３．３０とロジン２２．８Ｑ
を混合し、留出分がなくなるまで１４０℃で加熱し、固
形の樹脂酸の鉄塩を生成した。
を混合し、留出分がなくなるまで１４０℃で加熱し、固
形の樹脂酸の鉄塩を生成した。
その固形分２８．６０をテレピン油、酢酸−ｎ−ブチル
、酢酸エチルの混合溶媒７０Ｇで溶解した。
、酢酸エチルの混合溶媒７０Ｇで溶解した。
このようにして製造した膜形成用塗布剤を浸漬引き上げ
法によりガラス基板に塗布したのら、大気中５４０℃で
３０分焼付けしたところ、赤褐色透明のＦｅ２Ｏ３膜を
形成することができた。
法によりガラス基板に塗布したのら、大気中５４０℃で
３０分焼付けしたところ、赤褐色透明のＦｅ２Ｏ３膜を
形成することができた。
（実施例２）
プロピオン酸２０Ｑにロジン２０．７０を溶かした溶液
に、ペンタ−ｎ−ブトキシタンタル１２．５０を加え留
出分がなくなるまで１３０℃で加熱し固形の樹脂酸のタ
ンタル塩を生成した。
に、ペンタ−ｎ−ブトキシタンタル１２．５０を加え留
出分がなくなるまで１３０℃で加熱し固形の樹脂酸のタ
ンタル塩を生成した。
その固形分２８．２０をテレピン油、酢酸−ｎ−ブチル
、プロピオン酸の混合溶媒７１ｇを用いて溶解した。
、プロピオン酸の混合溶媒７１ｇを用いて溶解した。
このようにして製造した膜形成用塗布剤を浸漬引き上げ
法によりガラス基板に塗布したのら、大気中５４０℃で
３０分焼付（プしたところ、無色透明のＴａ２０５膜を
形成することができた。
法によりガラス基板に塗布したのら、大気中５４０℃で
３０分焼付（プしたところ、無色透明のＴａ２０５膜を
形成することができた。
（実施例３）
チタンを１．１重量％含有する本発明になる膜形成用塗
布剤５０Ｇとバリウムを３．１重口％含有する本発明に
なる膜形成用塗布剤５０Ｃｌを混合した。
布剤５０Ｇとバリウムを３．１重口％含有する本発明に
なる膜形成用塗布剤５０Ｃｌを混合した。
この混合液を浸漬引き上げ法によりガラス基板に塗布し
たのち、大気中５４０℃で６０分焼付けしたところ、無
色透明の膜を形成することができた。
たのち、大気中５４０℃で６０分焼付けしたところ、無
色透明の膜を形成することができた。
この膜をＸ線回折装置で分析した結果、その回折像から
ＢａＴｉＯ３の複合酸化膜であることがわかった。
ＢａＴｉＯ３の複合酸化膜であることがわかった。
（発明の効果）
本発明によれば、殆んどの金属の樹脂酸金属塩は種々な
有機溶媒に溶解するため、色々な金属の膜形成用塗布剤
を製造することができる特徴がある。
有機溶媒に溶解するため、色々な金属の膜形成用塗布剤
を製造することができる特徴がある。
また、塗布剤中の主成分がどの塗布剤も樹脂酸金属塩で
あるため、粘性等の物性の調整が容易であり、そのため
塗布方法を特定することができ、多種類の塗布設備を必
要としない利点がある。
あるため、粘性等の物性の調整が容易であり、そのため
塗布方法を特定することができ、多種類の塗布設備を必
要としない利点がある。
ざらに、異種金属の樹脂酸金属塩を含む本発明になる塗
布剤は、任意の割合で混合でき、かつ、各々の酸化物が
揮発しないような低温の熱処理で相互に反応し複合酸化
物になるため、様々な有用な特性を有する複合酸化物の
一定組成で均一な膜を簡単な操作で安価に基板上に形成
することができる特徴がある。
布剤は、任意の割合で混合でき、かつ、各々の酸化物が
揮発しないような低温の熱処理で相互に反応し複合酸化
物になるため、様々な有用な特性を有する複合酸化物の
一定組成で均一な膜を簡単な操作で安価に基板上に形成
することができる特徴がある。
また、どの樹脂酸金属塩も色々な溶媒に溶解することが
できるため、用途、塗布方法等に応じて溶媒の選択が容
易である特徴がある。
できるため、用途、塗布方法等に応じて溶媒の選択が容
易である特徴がある。
Claims (1)
- 主成分として樹脂酸金属塩を含むことを特徴とする膜形
成用塗布剤
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1460089A JPH02194066A (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | 膜形成用塗布剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1460089A JPH02194066A (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | 膜形成用塗布剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194066A true JPH02194066A (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=11865685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1460089A Pending JPH02194066A (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | 膜形成用塗布剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02194066A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4943091A (ja) * | 1972-08-30 | 1974-04-23 | ||
| JPS57160915A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-04 | Nippon Soda Co Ltd | Composition forming thin tantalum oxide film |
| JPS62297470A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-24 | Nippon Soda Co Ltd | 金属酸化物薄膜形成用ペ−スト |
-
1989
- 1989-01-24 JP JP1460089A patent/JPH02194066A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4943091A (ja) * | 1972-08-30 | 1974-04-23 | ||
| JPS57160915A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-04 | Nippon Soda Co Ltd | Composition forming thin tantalum oxide film |
| JPS62297470A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-24 | Nippon Soda Co Ltd | 金属酸化物薄膜形成用ペ−スト |
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