JPH02197600A - 金属表面の化学処理装置 - Google Patents
金属表面の化学処理装置Info
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- JPH02197600A JPH02197600A JP1576889A JP1576889A JPH02197600A JP H02197600 A JPH02197600 A JP H02197600A JP 1576889 A JP1576889 A JP 1576889A JP 1576889 A JP1576889 A JP 1576889A JP H02197600 A JPH02197600 A JP H02197600A
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- JP
- Japan
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- parts
- workpiece
- cell lines
- cell line
- line
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明はメツキ等に代表される金属表面の化学処理装
置に関する。
置に関する。
[従来の技術]
例えば、車両の構成部品であるワークをメツキ処理する
場合に、複数のワークをかごに入れて電解槽に浸して、
メツキを施すことが行なわれている。
場合に、複数のワークをかごに入れて電解槽に浸して、
メツキを施すことが行なわれている。
この方法では、−度に大量のワークを処理できる利点が
あるが、電解槽にワークを入れるときや出すときに、メ
ツキ液が飛散することがあり、環境上問題がある。
あるが、電解槽にワークを入れるときや出すときに、メ
ツキ液が飛散することがあり、環境上問題がある。
このため、例えば第7図に示すように、電解液タンク1
00をバイブ101でセル電解槽102と連結し、循環
ポンプ103の駆動で電解液を循環させ、この密閉され
たセル電解槽102にチャック!04でワーク105を
保持して供給し、セル電解槽102とチャック104と
を通電させ、メツキを施すものがある。
00をバイブ101でセル電解槽102と連結し、循環
ポンプ103の駆動で電解液を循環させ、この密閉され
たセル電解槽102にチャック!04でワーク105を
保持して供給し、セル電解槽102とチャック104と
を通電させ、メツキを施すものがある。
[発明が解決しようとする課B]
このように、ワークをチャックで保持して、密閉された
セル電解槽に供給してメツキを施す場合、−度に大量の
ワークを処理することが困難である。このため、例えば
密閉されたセル電解槽を複数備えたセルラインを設け、
さらにこのセルラインを複数配置することにより、ワー
クを大量に処理することが可能になるが、この場合ワー
クは個々のセル電解イ1で処理されるため、セルライン
の増加や設置によって、処理液槽や配管、ポンプ等の駆
動機構等の付帯設備の数が増加したり大かくなる。
セル電解槽に供給してメツキを施す場合、−度に大量の
ワークを処理することが困難である。このため、例えば
密閉されたセル電解槽を複数備えたセルラインを設け、
さらにこのセルラインを複数配置することにより、ワー
クを大量に処理することが可能になるが、この場合ワー
クは個々のセル電解イ1で処理されるため、セルライン
の増加や設置によって、処理液槽や配管、ポンプ等の駆
動機構等の付帯設備の数が増加したり大かくなる。
また、搬送機構が複数必要となりコストが高くなる。一
方ワークを搬送するキャリヤは1つの処理工程に2つ、
すなわち前工程からセルラインにセットするものと、セ
ルラインから外して次工程に送るものが設けられていた
。搬送機構を簡単にするために、キャリヤを1つの処理
工程につき1つとすることが考えられるが、車に数を減
らしただけではワークをセルラインにセットし、処理を
終了した後に、このワークを外して次の処理工程に搬送
し、再びワークをセルラインにセットする必要がある。
方ワークを搬送するキャリヤは1つの処理工程に2つ、
すなわち前工程からセルラインにセットするものと、セ
ルラインから外して次工程に送るものが設けられていた
。搬送機構を簡単にするために、キャリヤを1つの処理
工程につき1つとすることが考えられるが、車に数を減
らしただけではワークをセルラインにセットし、処理を
終了した後に、このワークを外して次の処理工程に搬送
し、再びワークをセルラインにセットする必要がある。
従って、この処理したワークを次の処理工程に搬送して
再びセットする間、セルラインの処理が停止され、処理
時間のロスが生じて短時間に大量の処理を行なうことが
で診ない等の問題がある。
再びセットする間、セルラインの処理が停止され、処理
時間のロスが生じて短時間に大量の処理を行なうことが
で診ない等の問題がある。
また、例えば複数のセルラインを水平にして垂直方向に
瓜ねて段状に配置したり、セルラインを垂直にして水平
方向に対向させて配置することが考えられるが、複数の
セルライン同士が近接して、例えばメツキ処理等頻繁に
メンテナンスを必要とする処理装置ではメンテナンスを
考慮した設計が特に重要である。
瓜ねて段状に配置したり、セルラインを垂直にして水平
方向に対向させて配置することが考えられるが、複数の
セルライン同士が近接して、例えばメツキ処理等頻繁に
メンテナンスを必要とする処理装置ではメンテナンスを
考慮した設計が特に重要である。
また、ワークの搬送機構はセルラインにワークをセット
したり、処理が終了したセルラインからワークを外して
次工程にワークを搬送するとき、セルラインや他の第埋
部と干渉しないタイミングで搬送するようにしたり、搬
送機構の姿勢を変化させて干渉しないようにする必要が
あり、搬送機構の設定が複雑になる等の課題がある。
したり、処理が終了したセルラインからワークを外して
次工程にワークを搬送するとき、セルラインや他の第埋
部と干渉しないタイミングで搬送するようにしたり、搬
送機構の姿勢を変化させて干渉しないようにする必要が
あり、搬送機構の設定が複雑になる等の課題がある。
この発明は、かかる実状に鑑みなされたもので、付帯設
備の共通化を図り、その分小型で設置スペースの確保が
容易で、しかも生産効率を向上させ、さらにメンテナン
ス性の向上を図り、かつ搬送機構の設計が容易である金
属表面の化学処理装置を提供することを目的としている
。
備の共通化を図り、その分小型で設置スペースの確保が
容易で、しかも生産効率を向上させ、さらにメンテナン
ス性の向上を図り、かつ搬送機構の設計が容易である金
属表面の化学処理装置を提供することを目的としている
。
[課題を解決するための手段]
前記課題を解決するために、この発明の金属表面の化学
処理装置は、複数のワークに所定の表面処理を行なうセ
ルラインを共通の付帯設備に対応して複数水平に配置し
て、水平方向のワーク搬送ラインを設け、前記複数のセ
ルラインを共通の付帯設備で切換えて駆動可能にすると
共に、前記ワーク搬送ラインに水平方向に並べたチャッ
クを設けたキャリヤを有し、複数のセルラインから空の
セルラインを選択してワークをセットすると共に、表面
処理をしたワークを外して、次の処理工程へ搬送する搬
送機構を備えたことを特徴としている。
処理装置は、複数のワークに所定の表面処理を行なうセ
ルラインを共通の付帯設備に対応して複数水平に配置し
て、水平方向のワーク搬送ラインを設け、前記複数のセ
ルラインを共通の付帯設備で切換えて駆動可能にすると
共に、前記ワーク搬送ラインに水平方向に並べたチャッ
クを設けたキャリヤを有し、複数のセルラインから空の
セルラインを選択してワークをセットすると共に、表面
処理をしたワークを外して、次の処理工程へ搬送する搬
送機構を備えたことを特徴としている。
[作用]
この発明の金属表面の化学処理装置では、複数のワーク
に所定の表面処理を行なうセルラインを共通の付帯設備
に対応して複数水平に配置し、この複数のセルラインを
共通の付帯設備で切換えて駆動するため、処理が連続的
に行なわれるので生産効率が向上すると共に、共通とし
ている付帯設備の能力を特に大きくする必要がない。
に所定の表面処理を行なうセルラインを共通の付帯設備
に対応して複数水平に配置し、この複数のセルラインを
共通の付帯設備で切換えて駆動するため、処理が連続的
に行なわれるので生産効率が向上すると共に、共通とし
ている付帯設備の能力を特に大きくする必要がない。
また、セルラインとワーク搬送ラインとが水平であり、
しかも水平方向に並べたチャックを設けたキャリヤを有
し、ワーク搬送ラインとチャックの配置方向が共に水平
であるから、搬送タイミングやキャリヤに他のセルライ
ンや処理部との干渉を考慮する必要がなく、装置の設計
が容易になる。
しかも水平方向に並べたチャックを設けたキャリヤを有
し、ワーク搬送ラインとチャックの配置方向が共に水平
であるから、搬送タイミングやキャリヤに他のセルライ
ンや処理部との干渉を考慮する必要がなく、装置の設計
が容易になる。
[実施例]
次に、この発明の一実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第1図は金属表面の化学処理装置の平面図、第2図はそ
の正面図、第3図は一方のワーク搬送ラインの左側面図
、第4図は作動チャートである。
の正面図、第3図は一方のワーク搬送ラインの左側面図
、第4図は作動チャートである。
図において符号IA、IBはワーク投入部、2A、2B
は脱脂部、3A、3Bは水洗部、4A4Bはエツチング
部、5A、5Bは水洗部、6A、6Bはメツキ部、7A
、7Bは水洗部であリ、これらは付帯設備220,24
0,260の両側に、それぞれ共通の付帯設備220,
240.260に対応して複数水平に配置されている。
は脱脂部、3A、3Bは水洗部、4A4Bはエツチング
部、5A、5Bは水洗部、6A、6Bはメツキ部、7A
、7Bは水洗部であリ、これらは付帯設備220,24
0,260の両側に、それぞれ共通の付帯設備220,
240.260に対応して複数水平に配置されている。
この水洗部7A、7Bの後段に乾燥部8A。
8Bを配置することもできる。
そして、これらの各処理工程をワークが搬送機構9A、
9Bによつて搬送して処理される。
9Bによつて搬送して処理される。
また、付帯設備220,240,260は処理液タンク
、配管、バルブ、ポンプ及び制御機構等で構成され、さ
らに制御ボックス270、ファン271及びエツチング
部4A、4B用レクチファイヤ272、メツキ部6A、
6B用レクチファイヤ273が設けられ、これらはいず
れも共用され、その分装置が小型になっている。
、配管、バルブ、ポンプ及び制御機構等で構成され、さ
らに制御ボックス270、ファン271及びエツチング
部4A、4B用レクチファイヤ272、メツキ部6A、
6B用レクチファイヤ273が設けられ、これらはいず
れも共用され、その分装置が小型になっている。
前記ワーク投入部IA、IBにはワーク10が供給され
、このワークlOは搬送機構9A、9Bのキャリヤ91
で把持可能に載置される。
、このワークlOは搬送機構9A、9Bのキャリヤ91
で把持可能に載置される。
脱脂部2A、2Bではワークの表面の油を除去する処理
が、エツチング部4A、4Bでは通電してワークの表面
を粗くする処理が行なわれ、またメツキ部6A、6Bで
は通電してワークにメツキを施す処理が行なわれる。ま
た、乾燥部8A、8Bを設けると、メツキを施したワー
クが乾燥される。
が、エツチング部4A、4Bでは通電してワークの表面
を粗くする処理が行なわれ、またメツキ部6A、6Bで
は通電してワークにメツキを施す処理が行なわれる。ま
た、乾燥部8A、8Bを設けると、メツキを施したワー
クが乾燥される。
脱脂部2A、2B、エツチング部4A、4B及びメツキ
部6A、6Bはそれぞれ複数のワークに所定の表面処理
を行なうセルライン21,41゜61を有しており、こ
れらは水平方向に配置されている。このそれぞれのセル
ライン21.41゜61には6個の処理槽200が水平
方向に配置され、この処理槽200内には処理液が充填
され、内蔵したワーク取付治具201と、このワーク取
付治具201に対向して配置されたワーク取付治具20
2とでワークを支持するようになっている。このワーク
取付治具202はガイドロッド203を介して、処理槽
200側のエアシリンダ204のロッド205と連結さ
れており、このエアシリンダ204の作動で移動し、ワ
ークを処理槽200に設けられたワーク取付治具201
とでワークを支持して処理槽200内に供給し、それぞ
れの表面処理を行なうようになつている。
部6A、6Bはそれぞれ複数のワークに所定の表面処理
を行なうセルライン21,41゜61を有しており、こ
れらは水平方向に配置されている。このそれぞれのセル
ライン21.41゜61には6個の処理槽200が水平
方向に配置され、この処理槽200内には処理液が充填
され、内蔵したワーク取付治具201と、このワーク取
付治具201に対向して配置されたワーク取付治具20
2とでワークを支持するようになっている。このワーク
取付治具202はガイドロッド203を介して、処理槽
200側のエアシリンダ204のロッド205と連結さ
れており、このエアシリンダ204の作動で移動し、ワ
ークを処理槽200に設けられたワーク取付治具201
とでワークを支持して処理槽200内に供給し、それぞ
れの表面処理を行なうようになつている。
このように、脱脂部2A、2B、エツチング部4A、4
B及びメツキ部6A、6Bはそれぞれセルライン21.
41.61がそれぞれ水平方向に独立して配置されてお
り、メンテナンスの際に他のセルラインが邪魔になるこ
とがなく、作業性が向上する。
B及びメツキ部6A、6Bはそれぞれセルライン21.
41.61がそれぞれ水平方向に独立して配置されてお
り、メンテナンスの際に他のセルラインが邪魔になるこ
とがなく、作業性が向上する。
この脱脂部2A、2B、エツチング部4A、4B及びメ
ツキ部6A、6Bの間にはそれぞれ水洗部3A、3B、
5A、5B、7A、7Bが配置され、この水洗部3A、
3B、5A、5B、7A。
ツキ部6A、6Bの間にはそれぞれ水洗部3A、3B、
5A、5B、7A、7Bが配置され、この水洗部3A、
3B、5A、5B、7A。
7Bにワークを入れて水洗することができるようになっ
ている。
ている。
搬送機構9A、9Bにはキャリヤ91,92゜93が脱
脂部2A、2B、エツチング部4A、4B及びメツキ部
6A、6Bにそれぞれ対応して、レール97に走行可能
に設けられている。また、乾燥部8A、8Bを備える場
合にはキャリヤ94が対応して設けられる。このそれぞ
れのキャリヤ91〜94はロッド95で連結され、モー
タの駆動で走行する駆動機構96で連動してレール9フ
上を移動する。
脂部2A、2B、エツチング部4A、4B及びメツキ部
6A、6Bにそれぞれ対応して、レール97に走行可能
に設けられている。また、乾燥部8A、8Bを備える場
合にはキャリヤ94が対応して設けられる。このそれぞ
れのキャリヤ91〜94はロッド95で連結され、モー
タの駆動で走行する駆動機構96で連動してレール9フ
上を移動する。
それぞれのキャリヤ91〜94はチャック98が6個水
平方向に設けられており、このチャック98でワークを
保持し、所定の位置に連動して搬送するようになってい
る。このチャック98はシリンダ99aで上下動し、シ
リンダ99bで前後進して所定の位置に8勤する。
平方向に設けられており、このチャック98でワークを
保持し、所定の位置に連動して搬送するようになってい
る。このチャック98はシリンダ99aで上下動し、シ
リンダ99bで前後進して所定の位置に8勤する。
この搬送機構9A、9Bはワーク搬送ラインA、B毎に
備えられているため、セルライン21.41.61にワ
ークをセットし、かつ表面処理をしたワークを外して、
次の処理工程へ搬送する搬送タイミングや機構に、他の
セルラインや処理部と干渉することがないように考慮す
る必要がなく、装置の設計が容易になる。
備えられているため、セルライン21.41.61にワ
ークをセットし、かつ表面処理をしたワークを外して、
次の処理工程へ搬送する搬送タイミングや機構に、他の
セルラインや処理部と干渉することがないように考慮す
る必要がなく、装置の設計が容易になる。
この実施例の作動を第1図及び第4図に基づいて説明す
る。
る。
第4図において、実線で示したラインはワーク搬送ライ
ンAの流れを示し、破線で示したラインがワーク搬送ラ
インBの流れを示しており、また四角で囲まれる箇所が
駆動している部分であり、このとき他方のラインは休止
している。
ンAの流れを示し、破線で示したラインがワーク搬送ラ
インBの流れを示しており、また四角で囲まれる箇所が
駆動している部分であり、このとき他方のラインは休止
している。
即ち、搬送機構9Aのモータで駆動する駆動機構96で
、脱脂部2Aに対応して配置されたキャリヤ91がワー
ク没入部1のワーク10を保持して脱脂部2Aのセルラ
イン21に供給し、ここでワーク10の脱脂処理が行な
われる。
、脱脂部2Aに対応して配置されたキャリヤ91がワー
ク没入部1のワーク10を保持して脱脂部2Aのセルラ
イン21に供給し、ここでワーク10の脱脂処理が行な
われる。
このとき、搬送機4I9Bのキャリヤ9!はワーク投入
部IBに供給されているワーク10を保持して、脱脂部
2Bのセルライン21に供給し、セルライン22での脱
脂処理に備える。セルライン21での脱脂処理が完了す
ると、セルライン22で同様にワーク10の脱脂処理が
行なわれる。
部IBに供給されているワーク10を保持して、脱脂部
2Bのセルライン21に供給し、セルライン22での脱
脂処理に備える。セルライン21での脱脂処理が完了す
ると、セルライン22で同様にワーク10の脱脂処理が
行なわれる。
この間に、脱脂部2Aに対応して配置されたキャリヤ9
1は脱脂処理が完了した脱脂部2Aからセルライン21
のワーク10を外し、水洗部3Aに搬送しワーク10は
水洗される。
1は脱脂処理が完了した脱脂部2Aからセルライン21
のワーク10を外し、水洗部3Aに搬送しワーク10は
水洗される。
ついで、脱脂部2Bに対応して配置されたキャリヤ91
は脱脂部2Bのセルライン21のワーク10の処理が完
了すると、水洗部3Bに搬送して水洗される。
は脱脂部2Bのセルライン21のワーク10の処理が完
了すると、水洗部3Bに搬送して水洗される。
このとき、脱脂部2Aに対応して配置されたキャリヤ9
1はワーク投入部IAまで移動して、次のワーク10を
ワークを外した脱脂部2Aのセルライン21に供給し、
これと同時にエツチング部4Aに対応して配置されたキ
ャリヤ92が水洗部3Aのワーク10を保持して、エツ
チング部4Aのセルライン41に供給して処理する。
1はワーク投入部IAまで移動して、次のワーク10を
ワークを外した脱脂部2Aのセルライン21に供給し、
これと同時にエツチング部4Aに対応して配置されたキ
ャリヤ92が水洗部3Aのワーク10を保持して、エツ
チング部4Aのセルライン41に供給して処理する。
このようにして、ワーク搬送ラインA、Bの各キャリヤ
91,92,93.94は連動しており、脱脂部2A、
2B、水洗部3A、3B、エツチング部4A、4B、水
洗部5A、5B、メツキ部6A、6B及び水洗部7A、
8Bに連続的に搬送して処理し、処理が終了すると、キ
ャリヤ94が連動して水洗部7A、7Bから乾燥部8A
、8Bへ供給し、さらに乾燥部8A、8Bから取出して
完成品置場に置く。
91,92,93.94は連動しており、脱脂部2A、
2B、水洗部3A、3B、エツチング部4A、4B、水
洗部5A、5B、メツキ部6A、6B及び水洗部7A、
8Bに連続的に搬送して処理し、処理が終了すると、キ
ャリヤ94が連動して水洗部7A、7Bから乾燥部8A
、8Bへ供給し、さらに乾燥部8A、8Bから取出して
完成品置場に置く。
第5図は金属表面の化学処理装置の他の実施例の平面図
である。この実施例は共通の付帯設備220.240,
260を一方側に配置し、これに対応する一対の水平方
向のワーク搬送ラインA。
である。この実施例は共通の付帯設備220.240,
260を一方側に配置し、これに対応する一対の水平方
向のワーク搬送ラインA。
B及び一対のセルラインを近接して配置している。この
ため、ワーク没入部IA、IBへのワークの供給が容易
であり、さらに同時に同一機構のメンテナンスを行なう
ことができ、作業性の向上を図ることができる。
ため、ワーク没入部IA、IBへのワークの供給が容易
であり、さらに同時に同一機構のメンテナンスを行なう
ことができ、作業性の向上を図ることができる。
第6図は金属表面の化学処理装置のさらに他の実施例の
平面図である。この実施例は第5図に示す実施例と同様
に構成され、共通の付帯設備220.240,260を
一方側に配置し、これに対応する一対の水平方向のワー
ク搬送ラインA、 Bを近接して配置し、同時に同一
機構のメンテナンスを行なうことができるようにし、作
業性の向上を図ると共に、搬送機構9A、9Bのキャリ
ヤ91 92.93.94同士を、それぞれパイプ28
0で連結し、搬送機構9A側に配置された駆動機構96
のみで搬送できるように駆動源を簡略化したものである
。
平面図である。この実施例は第5図に示す実施例と同様
に構成され、共通の付帯設備220.240,260を
一方側に配置し、これに対応する一対の水平方向のワー
ク搬送ラインA、 Bを近接して配置し、同時に同一
機構のメンテナンスを行なうことができるようにし、作
業性の向上を図ると共に、搬送機構9A、9Bのキャリ
ヤ91 92.93.94同士を、それぞれパイプ28
0で連結し、搬送機構9A側に配置された駆動機構96
のみで搬送できるように駆動源を簡略化したものである
。
なお、前記第5図及び第6図に示す実施例において、2
つのワーク搬送ラインA、Bを単一としてもよい。
つのワーク搬送ラインA、Bを単一としてもよい。
[発明の効果]
前記したように、この発明の金属表面の化学処理装置で
は、複数のワークに所定の表面処理を行なうセルライン
を共通の付帯設備に対応して複数水平に配置し、この複
数のセルラインを共通の付帯設備で切換えて駆動するか
ら、処理が連続的に行なわれ、生産効率が向上すると共
に、共通としている付帯設備の能力を特に大きくする必
要がなく、装置の小型化が可能になる。
は、複数のワークに所定の表面処理を行なうセルライン
を共通の付帯設備に対応して複数水平に配置し、この複
数のセルラインを共通の付帯設備で切換えて駆動するか
ら、処理が連続的に行なわれ、生産効率が向上すると共
に、共通としている付帯設備の能力を特に大きくする必
要がなく、装置の小型化が可能になる。
また、セルラインとワーク搬送ラインとが水平であり、
しかも水平方向に並べたチャックを設けたキャリヤを有
するから、ワーク搬送ラインとチャックの配置方向が共
に水平であり、搬送タイミングやキャリヤに他のセルラ
インや処理部との干渉を考慮する必要がなく、製画の設
計が容易になる。
しかも水平方向に並べたチャックを設けたキャリヤを有
するから、ワーク搬送ラインとチャックの配置方向が共
に水平であり、搬送タイミングやキャリヤに他のセルラ
インや処理部との干渉を考慮する必要がなく、製画の設
計が容易になる。
第1図は金属表面の化学処理装置の平面図、第2図はそ
の正面図、第3図は一方のワーク搬送うインの左側面図
、第4図は作動チャート、第5図及びN6図は金属表面
の化学処理装置の他の実施例の平面図、第7図はセル処
理の構成図である。 図中符号IA、IBはワーク投入部、2A、2Bは脱脂
部、3A、3B、5A、5B、7A、7Bは水洗部、4
A、4Bはエツチング部、6A6Bはメツキ部、8A、
8Bは乾燥部、9A、9Bは搬送機構、220,240
,260は付帯設備、A、Bはワーク搬送ラインである
。
の正面図、第3図は一方のワーク搬送うインの左側面図
、第4図は作動チャート、第5図及びN6図は金属表面
の化学処理装置の他の実施例の平面図、第7図はセル処
理の構成図である。 図中符号IA、IBはワーク投入部、2A、2Bは脱脂
部、3A、3B、5A、5B、7A、7Bは水洗部、4
A、4Bはエツチング部、6A6Bはメツキ部、8A、
8Bは乾燥部、9A、9Bは搬送機構、220,240
,260は付帯設備、A、Bはワーク搬送ラインである
。
Claims (1)
- 複数のワークに所定の表面処理を行なうセルラインを共
通の付帯設備に対応して複数水平に配置して、水平方向
のワーク搬送ラインを設け、前記複数のセルラインを共
通の付帯設備で切換えて駆動可能にすると共に、前記ワ
ーク搬送ラインに水平方向に並べたチャックを設けたキ
ャリヤを有し、複数のセルラインから空のセルラインを
選択してワークをセットすると共に、表面処理をしたワ
ークを外して、次の処理工程へ搬送する搬送機構を備え
たことを特徴とする金属表面の化学処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576889A JPH02197600A (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 金属表面の化学処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576889A JPH02197600A (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 金属表面の化学処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02197600A true JPH02197600A (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=11897980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1576889A Pending JPH02197600A (ja) | 1989-01-25 | 1989-01-25 | 金属表面の化学処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02197600A (ja) |
-
1989
- 1989-01-25 JP JP1576889A patent/JPH02197600A/ja active Pending
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