JPH0219832A - 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents
液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH0219832A JPH0219832A JP63169926A JP16992688A JPH0219832A JP H0219832 A JPH0219832 A JP H0219832A JP 63169926 A JP63169926 A JP 63169926A JP 16992688 A JP16992688 A JP 16992688A JP H0219832 A JPH0219832 A JP H0219832A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- bath
- filter substrate
- tank
- fluorocarbon
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製
造方法に関し、特に洗浄工程を改良したカラーフィルタ
基板の製造方法に係わる。
造方法に関し、特に洗浄工程を改良したカラーフィルタ
基板の製造方法に係わる。
（従来の技術）
液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板は、薄膜トラン
ジスタアレイ等が設けられた駆動用基板と対向配置し、
それら基板間に液晶を収容して液晶セルを組立てるのに
使用されている。かかるカラーフィルタ基板は、通常、
ガラス板表面に赤、青、緑のフィルタ層を設け、かつ各
フィルタ層を含むガラス板表面に樹脂保護膜を被覆し、
更に該保護膜上に透明導電膜（例えばＩＴＯ膜）をスパ
ッタ蒸着した構造となっている。
ジスタアレイ等が設けられた駆動用基板と対向配置し、
それら基板間に液晶を収容して液晶セルを組立てるのに
使用されている。かかるカラーフィルタ基板は、通常、
ガラス板表面に赤、青、緑のフィルタ層を設け、かつ各
フィルタ層を含むガラス板表面に樹脂保護膜を被覆し、
更に該保護膜上に透明導電膜（例えばＩＴＯ膜）をスパ
ッタ蒸着した構造となっている。
ところで、上記カラーフィルタ基板は従来より次のよう
な工程により製造されている。まず、複数枚の基板を取
出すことが可能な大面積のガラス板表面に赤、青、緑の
フィルタ層を形成した後、各フィルタ層を含むガラス板
表面に樹脂溶液を塗布し、乾燥して樹脂保護膜を被覆す
る。つづいて、このガラス板をスクライブし、更に面取
り加工を行なって複数枚のカラーフィルタ基板素材を作
製する。ひきつづき、この基板素材をトリクレンを洗浄
液とした超音波洗浄を施した後、スパッタ蒸着により基
板素材表面の樹脂保護膜上に透明導電膜（例えばＩＴＯ
膜）を形成してカラーフィルタ基板を製造する。
な工程により製造されている。まず、複数枚の基板を取
出すことが可能な大面積のガラス板表面に赤、青、緑の
フィルタ層を形成した後、各フィルタ層を含むガラス板
表面に樹脂溶液を塗布し、乾燥して樹脂保護膜を被覆す
る。つづいて、このガラス板をスクライブし、更に面取
り加工を行なって複数枚のカラーフィルタ基板素材を作
製する。ひきつづき、この基板素材をトリクレンを洗浄
液とした超音波洗浄を施した後、スパッタ蒸着により基
板素材表面の樹脂保護膜上に透明導電膜（例えばＩＴＯ
膜）を形成してカラーフィルタ基板を製造する。
しかしながら、上記従来の製造方法ではスクライブ、面
取り加工後の超音波洗浄において、カラーフィルタ基板
素材の樹脂保護膜に付着乃至一部埋め込まれた微細なガ
ラス片や樹脂片等を充分に除去できず、そのままＩＴＯ
のスパッタ蒸着工程まで持ち込まれるため、製造された
カラーフィルタ基板の透明導電膜側に前記ガラス片等に
起因する突起が発生する。事実、製造後のカラーフィル
タ基板表面に斜光を照射しながら表面状態を目視検査す
ると、製造したカラーフィルタ基板のうち２０〜３０％
の基板に突起が検出された。このようなカラーフィルタ
基板表面への突起発生は、液晶セルとして組込んだ場合
、点欠陥、ギャップ不良という重大な問題を招く。
取り加工後の超音波洗浄において、カラーフィルタ基板
素材の樹脂保護膜に付着乃至一部埋め込まれた微細なガ
ラス片や樹脂片等を充分に除去できず、そのままＩＴＯ
のスパッタ蒸着工程まで持ち込まれるため、製造された
カラーフィルタ基板の透明導電膜側に前記ガラス片等に
起因する突起が発生する。事実、製造後のカラーフィル
タ基板表面に斜光を照射しながら表面状態を目視検査す
ると、製造したカラーフィルタ基板のうち２０〜３０％
の基板に突起が検出された。このようなカラーフィルタ
基板表面への突起発生は、液晶セルとして組込んだ場合
、点欠陥、ギャップ不良という重大な問題を招く。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたも
ので、樹脂保護膜表面の微細なガラス片、その他樹脂片
等を効率よく除去して該微細なガラス片等による突起発
生を軽減した液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の
製造方法を提供しようとするものである。
ので、樹脂保護膜表面の微細なガラス片、その他樹脂片
等を効率よく除去して該微細なガラス片等による突起発
生を軽減した液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の
製造方法を提供しようとするものである。
［発明の構成コ
（課題を解決するたの手段）
本発明は、表面に樹脂保護膜が被覆されたカラーフィル
タ基板素材をフロン蒸気が充満している蒸気槽、フロン
液が収容された超音波洗浄槽、フロン液が収容されたす
すぎ槽及びフロン蒸気が充満された仕上げ蒸気槽の４槽
に順次移送させ、同時に清浄なフロン液を前記仕上げ蒸
気槽及びすすぎ槽に供給すると共に、該すすぎ槽内のフ
ロン液を後段側の前記超音波洗浄槽及び蒸気槽に順次オ
ーバフローさせて洗浄処理を行なう工程と、このカラー
フィルタ基板素材の保護膜上に透明導電膜を形成する工
程とを具備したことを特徴とする液晶ディスプレイ用カ
ラーフィルタ基板の製造方法である。
タ基板素材をフロン蒸気が充満している蒸気槽、フロン
液が収容された超音波洗浄槽、フロン液が収容されたす
すぎ槽及びフロン蒸気が充満された仕上げ蒸気槽の４槽
に順次移送させ、同時に清浄なフロン液を前記仕上げ蒸
気槽及びすすぎ槽に供給すると共に、該すすぎ槽内のフ
ロン液を後段側の前記超音波洗浄槽及び蒸気槽に順次オ
ーバフローさせて洗浄処理を行なう工程と、このカラー
フィルタ基板素材の保護膜上に透明導電膜を形成する工
程とを具備したことを特徴とする液晶ディスプレイ用カ
ラーフィルタ基板の製造方法である。
また、本発明は洗浄処理されたカラーフィルタ基板素材
の保護膜上に透明導電膜を形成した後、上記洗浄処理を
再度行なうことを特徴とする液晶ディスプレイ用カラー
フィルタ基板の製造方法である。
の保護膜上に透明導電膜を形成した後、上記洗浄処理を
再度行なうことを特徴とする液晶ディスプレイ用カラー
フィルタ基板の製造方法である。
（作用）
本発明によれば、表面に樹脂保護膜が被覆されたカラー
フィルタ基板素材をフロン蒸気が充満している蒸気槽、
フロン液が収容された超音波洗浄槽、フロン液が収容さ
れたすすぎ槽及びフロン蒸気が充満された仕上げ蒸気槽
の４の槽を順次移送させることによって、基板素材の樹
脂保護膜表面に付着した微細なガラス片や汚れの大部分
を前記蒸気槽で除去し、その後の超音波洗浄槽、すすぎ
槽及び仕上げ蒸気槽への移送によりガラス片を効果的に
除去できる。また、フロン液の流れを清浄なフロン液を
前記仕上げ蒸気槽及びすすぎ槽に供給すると共に、該す
すぎ槽内のフロン液を後段側の超音波洗浄槽及び蒸気槽
に順次オーバフローさせる形態をとることによって、前
段側の槽への汚れを持込みを防止でき、常に最終仕上げ
工程で清浄なフロン処理がなされて洗浄効果が向上され
るため、洗浄シミのない清浄な基板素材を得ることがで
きる。こうした洗浄処理後の基板素材の樹脂保護膜にＩ
ＴＯ膜などの透明導電膜をスパッタ蒸着などにより形成
することによって、液晶セルとして組込んだ場合、点欠
陥、ギャップ不良となる突起発生を軽減できるため、カ
ラーフィルタ基板を高歩留りで製造できる。
フィルタ基板素材をフロン蒸気が充満している蒸気槽、
フロン液が収容された超音波洗浄槽、フロン液が収容さ
れたすすぎ槽及びフロン蒸気が充満された仕上げ蒸気槽
の４の槽を順次移送させることによって、基板素材の樹
脂保護膜表面に付着した微細なガラス片や汚れの大部分
を前記蒸気槽で除去し、その後の超音波洗浄槽、すすぎ
槽及び仕上げ蒸気槽への移送によりガラス片を効果的に
除去できる。また、フロン液の流れを清浄なフロン液を
前記仕上げ蒸気槽及びすすぎ槽に供給すると共に、該す
すぎ槽内のフロン液を後段側の超音波洗浄槽及び蒸気槽
に順次オーバフローさせる形態をとることによって、前
段側の槽への汚れを持込みを防止でき、常に最終仕上げ
工程で清浄なフロン処理がなされて洗浄効果が向上され
るため、洗浄シミのない清浄な基板素材を得ることがで
きる。こうした洗浄処理後の基板素材の樹脂保護膜にＩ
ＴＯ膜などの透明導電膜をスパッタ蒸着などにより形成
することによって、液晶セルとして組込んだ場合、点欠
陥、ギャップ不良となる突起発生を軽減できるため、カ
ラーフィルタ基板を高歩留りで製造できる。
また、上記透明導電膜形成後に再度同様な洗浄処理を施
すことによって、搬送等により該透明導電膜表面に付着
した微細なガラス片や汚れを効果的に除去でき、液晶セ
ルとして組込んだ場合、点欠陥、ギャップ不良となる突
起発生を大幅に軽減できるため、高品質のカラーフィル
タ基板をより高歩留りで製造できる。
すことによって、搬送等により該透明導電膜表面に付着
した微細なガラス片や汚れを効果的に除去でき、液晶セ
ルとして組込んだ場合、点欠陥、ギャップ不良となる突
起発生を大幅に軽減できるため、高品質のカラーフィル
タ基板をより高歩留りで製造できる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を第１図を参照して説明する。
実施例１
第１図は、本発明の製造方法に使用される洗浄装置を示
す概略図である。図中の１は、内側にヒータ２を付設し
た蒸気槽である。この蒸気槽１の前段側には、底部に超
音波発振器３を付設した超音波洗浄槽４が配設されてい
る。この超音波洗浄槽４の前段側には、すすぎ槽５が配
設されている。
す概略図である。図中の１は、内側にヒータ２を付設し
た蒸気槽である。この蒸気槽１の前段側には、底部に超
音波発振器３を付設した超音波洗浄槽４が配設されてい
る。この超音波洗浄槽４の前段側には、すすぎ槽５が配
設されている。
また、このすすぎ槽５の前段側には内側にヒータ６を付
設した仕上げ蒸気槽７が配設されている。
設した仕上げ蒸気槽７が配設されている。
次に、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方
法を説明する。
法を説明する。
まず、複数枚の基板を取出すことが可能な大面積のガラ
ス板表面に赤、青、緑のフィルタ層を形成した後、各フ
ィルタ層を含むガラス板表面に樹脂溶液を塗布し、乾燥
して樹脂保護膜を被覆した。
ス板表面に赤、青、緑のフィルタ層を形成した後、各フ
ィルタ層を含むガラス板表面に樹脂溶液を塗布し、乾燥
して樹脂保護膜を被覆した。
つづいて、このガラス板をスクライブし、更に面取り加
工を行なって複数枚のカラーフィルタ基板素材を作製し
た。
工を行なって複数枚のカラーフィルタ基板素材を作製し
た。
次いで、前述した第１図の洗浄装置における仕上げ蒸気
槽７及びすすぎ槽５に新鮮なフロン液又は冷却、清浄化
した回収フロン液を供給すると共に、すすぎ槽５内で一
杯となったフロン液８をその後段側の超音波洗浄槽４、
蒸気槽１に順次オーバーフローさせた。なお、蒸気槽１
内のフロン液を一定の処理時間毎に図示しないタンクに
引き抜き、冷却、フィルタによる清浄化を行なって前記
仕上げ蒸気槽７及びすすぎ槽５へ新鮮なフロン液と共に
供給した。こうした状態で、前記カラーフィルタ基板素
材をヒータ２の加熱によりフロン蒸気が充満されている
蒸気槽１内に移送して基板素材表面の洗浄した後、フロ
ン液８が収容された超音波洗浄槽４に移送し、ここで超
音波発振器３の駆動による超音波洗浄を行なった。つづ
いて、超音波洗浄された基板素材をフロン液８が収容さ
れたすすぎ槽５内に移送、浸漬してすすぎ処理を行ない
、最後にヒータ６の加熱によりフロン蒸気が充満されて
いる仕上げ蒸気槽７内に移送して基板素材表面の洗浄を
行なった。
槽７及びすすぎ槽５に新鮮なフロン液又は冷却、清浄化
した回収フロン液を供給すると共に、すすぎ槽５内で一
杯となったフロン液８をその後段側の超音波洗浄槽４、
蒸気槽１に順次オーバーフローさせた。なお、蒸気槽１
内のフロン液を一定の処理時間毎に図示しないタンクに
引き抜き、冷却、フィルタによる清浄化を行なって前記
仕上げ蒸気槽７及びすすぎ槽５へ新鮮なフロン液と共に
供給した。こうした状態で、前記カラーフィルタ基板素
材をヒータ２の加熱によりフロン蒸気が充満されている
蒸気槽１内に移送して基板素材表面の洗浄した後、フロ
ン液８が収容された超音波洗浄槽４に移送し、ここで超
音波発振器３の駆動による超音波洗浄を行なった。つづ
いて、超音波洗浄された基板素材をフロン液８が収容さ
れたすすぎ槽５内に移送、浸漬してすすぎ処理を行ない
、最後にヒータ６の加熱によりフロン蒸気が充満されて
いる仕上げ蒸気槽７内に移送して基板素材表面の洗浄を
行なった。
次いで、前記洗浄処理を施した基板素材の樹脂保護膜上
にスパッタ蒸着によりＩＴＯ膜を形成してカラーフィル
タ基板を製造した。
にスパッタ蒸着によりＩＴＯ膜を形成してカラーフィル
タ基板を製造した。
しかして、本実施例１により製造されたカラーフィルタ
基板１００枚について斜光を照射しながら表面状態を目
視検査して不良の原因となる突起が発生した枚数を調べ
た。その結果、突起発生は１２枚しか認められず、不良
率は１２％と極めて低いことが確認された。
基板１００枚について斜光を照射しながら表面状態を目
視検査して不良の原因となる突起が発生した枚数を調べ
た。その結果、突起発生は１２枚しか認められず、不良
率は１２％と極めて低いことが確認された。
実施例２
実施例１と同様、カラーフィルタ基板素材を作製、第１
図に示す洗浄装置による該基板素材表面の保護膜の洗浄
処理、ＩＴＯ膜のスパッタ蒸着を行なった後、再度、第
１図に示す洗浄装置によりＩＴＯ膜の洗浄処理を行なっ
てカラーフィルタ基板を製造した。
図に示す洗浄装置による該基板素材表面の保護膜の洗浄
処理、ＩＴＯ膜のスパッタ蒸着を行なった後、再度、第
１図に示す洗浄装置によりＩＴＯ膜の洗浄処理を行なっ
てカラーフィルタ基板を製造した。
しかして、本実施例２により製造されたカラーフィルタ
基板１００枚について斜光を照射しながら表面状態を目
視検査して不良の原因となる突起が発生した枚数を調べ
た。その結果、突起発生は１０枚しか認められず、不良
率は１０２６と実施例１に比べてより一層改善されてい
ることが確認された。
基板１００枚について斜光を照射しながら表面状態を目
視検査して不良の原因となる突起が発生した枚数を調べ
た。その結果、突起発生は１０枚しか認められず、不良
率は１０２６と実施例１に比べてより一層改善されてい
ることが確認された。
［発明の効果コ
以上詳述した如く、本発明によれば樹脂保護膜表面の微
細なガラス片、その他樹脂片等を効率よく除去して該微
細なガラス片等による突起発生を軽減でき、ひいては液
晶セルとして組込んだ場合、点欠陥、ギャップ不良の発
生のない高品質のカラーフィルタ基板を高歩留りで製造
し得る方法を提供できる。
細なガラス片、その他樹脂片等を効率よく除去して該微
細なガラス片等による突起発生を軽減でき、ひいては液
晶セルとして組込んだ場合、点欠陥、ギャップ不良の発
生のない高品質のカラーフィルタ基板を高歩留りで製造
し得る方法を提供できる。
第１図は、本発明の実施例で使用した洗浄装置の一形態
を示す概略図である。 ｌ・・・蒸気槽、４・・・超音波洗浄槽、５・・・すす
ぎ槽、７・・・仕上げ蒸気槽。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
を示す概略図である。 ｌ・・・蒸気槽、４・・・超音波洗浄槽、５・・・すす
ぎ槽、７・・・仕上げ蒸気槽。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (2)
- （１）、表面に樹脂保護膜が被覆されたカラーフィルタ
基板素材をフロン蒸気が充満している蒸気槽、フロン液
が収容された超音波洗浄槽、フロン液が収容されたすす
ぎ槽及びフロン蒸気が充満された仕上げ蒸気槽の４槽に
順次移送させ、同時に清浄なフロン液を前記仕上げ蒸気
槽及びすすぎ槽に供給すると共に、該すすぎ槽内のフロ
ン液を後段側の前記超音波洗浄槽及び蒸気槽に順次オー
バフローさせて洗浄処理を行なう工程と、このカラーフ
ィルタ基板素材の保護膜上に透明導電膜を形成する工程
とを具備したことを特徴とする液晶ディスプレイ用カラ
ーフィルタ基板の製造方法。 - （２）、洗浄処理されたカラーフィルタ基板素材の保護
膜上に透明導電膜を形成した後、上記洗浄処理を再度、
行なうことを特徴とする請求項１記載の液晶ディスプレ
イ用カラーフィルタ基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63169926A JPH0219832A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63169926A JPH0219832A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0219832A true JPH0219832A (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=15895505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63169926A Pending JPH0219832A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0219832A (ja) |
-
1988
- 1988-07-07 JP JP63169926A patent/JPH0219832A/ja active Pending
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