JPH02198679A

JPH02198679A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH02198679A
Application number: JP1830189A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Yokoyama; 正教横山
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-01-27
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1990-08-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は２例えばＣＣＤ　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌ
ｅｄＤｅｖｌｃｅ）などの電子部品を洗浄して微小な付
着ごみを除去する洗浄装置に関する。

（従来の技術）例えば、第２図に示すようなＣＯＤ　（ＣｈａｒｇｅＣ
ｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）型の固体撮像索子などで
はパッケージＡの内部に付着ごみが存在すると、この付
着ごみによって撮像特性を害されることがある。

このため、この種の固体撮像素子では、パッケージＡの
内部の微小な付着ごみを確実に除去する必要がある。そ
して、従来は、上記パッケージＡの付むごみの除去には
フレオン洗浄装置等が用いられていた。そして、このフ
レオン洗浄装置等では。

洗浄液が溜められた超音波洗浄槽の中にパッケージＡ等
の被洗浄物（以下、ワークと称する）を浸し、上記洗浄
液に超音波振動を加えて上記ワークを洗浄していた。

（発明が解決しようとする課題）つまり、従来のものでは、超音波洗浄槽に溜められた洗
浄液の全体に超音波振動を加えていた。

そして、洗浄液全体を振動させていたことから。

振動エネルギを大とする必要があった。また、ワークの
全体を洗浄液に浸していたため大量の洗浄液が必要であ
り、装置が大型だった。さらに、ワークを洗浄液から取
出す際に、−旦除去されて洗浄液中に浮遊したごみが上
記ワークに再び付着し。

ワークが再汚染されることがあった。

本発明の目的とするところは、ワークを再汚染すること
がなく、さらに、洗浄液の加振に要するエネルギが小さ
く小型な洗浄装置を提供することにある。

Ｃ発明の構成］（課題を解決するための手段及び作用）上記目的を達成
するために本発明は、被洗浄物を保持する保持具と、上
記被洗浄物を覆い、被洗浄物との間に被洗浄物の被洗浄
面に沿った洗浄液流通用の空間を形成するカバー部材と
、上記洗浄液流通用の空間に洗浄液を連続的に供給可能
な洗浄液供給装置と、上記カバー部材と一体的に結合し
上記カバー部材を振動させる加振装置と、少なくとも上
記洗浄液供給装置および上記加振装置とを制御する制御
装置とを具備したことにある。

こうすることによって本発明は、装置の小型化を可能に
するとともに、ワークの再汚染を防ぎ。

さらに、少ない振動エネルギで洗浄液に加振できるよう
にしたことにある。

（実施例）以下２本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すものであり。

図中の１は例えばＣＣＤ　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌ
ｅｄＤ８ＶＪｃｅ）型固体撮像素子のパッケージＡを保
持した保持具である。この保持具１は下側部材２と上側
部材３とを有している。そして、このうち下側部材２は
、パッケージＡの外側形状にほぼ対応した形状のパッケ
ージ収納用凹陥部（以下、凹陥部と称する）４を有して
いる。この凹陥部４は段差状に成形されて段階的な深さ
を有しており、上記パッケージＡとバケージＡに突設さ
れたピンＢ・・・とをその内部に収納できるようになっ
ている。

そして、凹陥部４の深さ方向中間部には中央側へ向は全
周に亘って形成された係止部５が設けられており、この
係止部５は、上方から収納されたパッケージＡの下面側
縁部を係止させている。さらに、この凹陥部４は下側部
材２の上面６に開放しており、この凹陥部４の開放縁部
には中央側へ低い傾斜面７がほぼ全周に亘って形成され
ている。

そして、下側部材２の上面６は、上記凹陥部４に収納さ
れたパッケージＡの全体よりも幾分上方の部位に位置し
ている。

また、上記上側部材３は上記下側部材２に対して接離自
在のものである。そして、この上側部材３は枠状に成形
されている。

さらに、上側部材３の下面８側には断面はぼ円形のＯリ
ング９が設けられている。このＱ　１７ング９は１例え
ばゴムなどの弾性体からなるもので。

上側部材３の下面８に沿って配置されている。そして、
Ｏリング９は、上記下面８に形成されたリング溝１０に
嵌め込まれて固定されている。そして、０リング９はそ
の一部を上記下面８から突出させている。

さらに、上記上側部材３は下側部材２に組付けられ１図
示しないクランパにより押え付けられる。

そして５上側部材３が下側部材２に押し付けられてその
下面８の外縁部を下側部材２の上面６の最上縁部に接し
たときには、上記Ｏリング９が、上記凹陥部４に収納さ
れ段差状の、被洗浄面としての内側面１１を有するパッ
ケージＡの最上部に圧接する。なお、このとき、上側部
材３の下面８とパッケージＡの最上部とはＯリング９を
介して離間している。

また、上記上側部材３の中央部には板状体からなるカバ
ー部材１２が設けられている。このカバー部材１２は、
振動するのに十分な弾性を有する例えばＳＵＳなどのス
テンレス鋼などからなるもので、上記パッケージＡの上
面形状にほぼ沿うように９．中央側へ深い段差状に成形
されている。そして、カバー部材１２は、その外縁部を
上記上側部材３の内側壁１３に固定されている。さらに
。

カバー部材１２の全体はパッケージＡと離間しており、
カバー部材１２の下面とパッケージＡの上面との間には
略均−な間隔の隙間が形成されている。

そして、カバー部材１２とパッケージＡとの間には洗浄
液流通用の空間１４が形成されている。

この洗浄液流通用の空間１４は、上側部材３の内部に略
全周に亘って設けられた洗浄液排出路１５に連通してい
る。そして、この洗浄液流通用の空間１４は、０リング
１０によりシールされている。

なお１図中に１６で示すのは、上記洗浄液排出路１５の
出口側端部に接続された排出チューブである。

また１図中に１７で示すのは加振装置である。

この加振装置１７は、カバー部材１２の中央部に立設さ
れた振動伝達用の筒状体１８と圧電素子１９とを有して
いる。このうち筒状体１８は上記カバー部材１２と一体
に成形されており、その内部に上記洗浄液流通用の空間
１４と連通ずる洗浄液流通路２０を有している。また、
筒状体１８は。

その軸方向中間部に径方向に突設されたフランジ部２１
を有している。そして、このフランジ部２１は筒状体１
８に一体に形成されている。さらに、筒状体１８の先端
には蛇腹状の吸込チューブ２２が外嵌されている。

また、筒状体１６に形成されたフランジ部２２には、上
面側から上記圧電素子１９が当接している。この圧電索
子１９は一端側を上側部材３の上面に固定されており、
その自由端部を上記フランジ部２１に当接させている。

さらに、圧電素子１９は２図中に２３で示す制御装置か
らの指令信号受け、交流電圧を付加されて高周波数で電
歪振動する。そして、圧電素子１９は上記フランジ部２
１を介して、筒状体１８およびカバー部材１２とを超音
波振動させる。

さらに、筒状体１８の洗浄液流通路２０．及び。

カバー部材１２の内側の洗浄液流通用の空間１４には１
図中に２４で示す洗浄液供給装置から洗浄液２５が圧送
されている。この洗浄液２５は洗浄液流通用の空間１４
に満たされており、パッケージＡの内側面１１に接した
のち上記洗浄液排出路１５に流入している。

さらに、上記洗浄液流通用の空間１４および洗浄液流通
路２０の内部の洗浄液２５は、超音波振動する筒状体１
８およびカバー部材１２からエネルギを受けて振動して
いる。そして、洗浄液２５は、パッケージＡの内側面１
１に付着したごみをｉｌｌ　Ｍさせて除去し、この除去
したごみと共に洗浄液排出路１５から外部へ流出する。

なお、洗浄液供給装置２４には制御装置２３からの信号
が入力されるようになっている。

さらに、上記洗浄液２５への加振はある時間に設定され
ている。そして、洗浄液２５への加振が停止されてパッ
ケージＡの洗浄が終わると、上記へ〇上側部材３から上記クラン羽〃′が取外される。そして
、上側部材３と下側部材２とが分離され、洗浄が終わっ
たパッケージＡが取出される。

このような構成のものでは、洗浄液２５が、パッケージ
Ａの被洗浄面に連続して供給され除去した付着ごみを運
び去るので、上記ごみがバ・ソケージＡに再び付着する
ことがない。したがって、パッケージへの再汚染を防止
することができる。また、パッケージＡの被洗浄面１１
の周囲のみに洗浄液を供給しているので、大型な洗浄液
槽などが不要で、これにより装置全体が小型になる。ま
た。

上記被洗浄面１１の周囲のみに供給された洗浄液に加振
しているので、洗浄に必要な振動エネルギが少ない。

なお２本発明は、ＣＣＤ型固体撮像素子以外の被洗浄物
を洗浄するものにも適用可能である。

［発明の効果］以上説明したように本発明は、保持具により被洗浄物を
保持し、カバー部材により上記被洗浄物との間に、被洗
浄物の被洗浄面に沿った洗浄液流通用の空間を形成し、
洗浄液供給装置により上記洗浄液流通用の空間に洗浄液
を連続的に供給し。

上記カバー部材と一体的に結合した加振装置により上記
洗浄液を振動させるとともに、これら洗浄液供給装置お
よび加振装置とを制御する制御装置とを設けたものであ
る。

したがって本発明は、装置を小型化し、被洗浄物の再汚
染を防ぐとともに、少ない振動エネルギで洗浄液に加振
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略構成図。第２−も般のＣＣＤ型固体撮像素子を示す一部破断した
斜視図である。１・・・保持具、１１・・・パッケージの内側面（被洗
浄面）１２・・・カバー部材、１４・・・洗浄液流通用
の空間、１７・・・加振装置、２３・・・制御装置、２
４・・・洗浄液供給装置、２５・・・洗浄液、Ａ・・・
ＣＯＤのパッケージ（被洗浄物）。

Claims

【特許請求の範囲】

被洗浄物を保持する保持具と、上記被洗浄物を覆い、被
洗浄物との間に被洗浄物の被洗浄面に沿った洗浄液流通
用の空間を形成するカバー部材と、上記洗浄液流通用の
空間に洗浄液を連続的に供給可能な洗浄液供給装置と、
上記カバー部材と一体的に結合し上記カバー部材を振動
させる加振装置と、少なくとも上記洗浄液供給装置およ
び上記加振装置とを制御する制御装置とを具備した洗浄
装置。