JPH02198979A - ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置Info
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- JPH02198979A JPH02198979A JP1490289A JP1490289A JPH02198979A JP H02198979 A JPH02198979 A JP H02198979A JP 1490289 A JP1490289 A JP 1490289A JP 1490289 A JP1490289 A JP 1490289A JP H02198979 A JPH02198979 A JP H02198979A
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- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
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- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Unwinding Of Filamentary Materials (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高硬度脆性材料のインゴットを同時に多数のウ
ェハー状に切断するワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワ
イヤ巻付回数調整方法及びその装置に関する。
ェハー状に切断するワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワ
イヤ巻付回数調整方法及びその装置に関する。
上記ワイヤ式切断機の従来例を第６図及び第７図に示す
。このワイヤ式切断機１００はワイヤＳの張設機構１０
１と対をなす繰出し及び巻取リール１０２．１０３を備
える。張Ｍ２機構１０１は例えば３個の溝ローラ１０４
ａ、１０４ｂ、１０４ｃを以てする溝ローラ群１０４を
前接の支持ブラケット１０５．１０６に回動自在に支持
してなり、支持ブラケツｌ−１０５，１０６は機台フレ
ームＦに取り付けられる。
。このワイヤ式切断機１００はワイヤＳの張設機構１０
１と対をなす繰出し及び巻取リール１０２．１０３を備
える。張Ｍ２機構１０１は例えば３個の溝ローラ１０４
ａ、１０４ｂ、１０４ｃを以てする溝ローラ群１０４を
前接の支持ブラケット１０５．１０６に回動自在に支持
してなり、支持ブラケツｌ−１０５，１０６は機台フレ
ームＦに取り付けられる。
各溝ローラ１０４ａ〜１０４Ｃは何れも所定ピッチに環
状溝を形成し、これに沿ってワイヤＳを螺旋状に巻回し
、両端の引出し１ｌＩｓａ、Ｓｂはそれぞれダンサロー
ラ１０８，１０９を経て上記巻取リール１０２．１０３
に巻付けられている。図中Ｗは被切断物、 １２０は被
切断物の昇降装置である。
状溝を形成し、これに沿ってワイヤＳを螺旋状に巻回し
、両端の引出し１ｌＩｓａ、Ｓｂはそれぞれダンサロー
ラ１０８，１０９を経て上記巻取リール１０２．１０３
に巻付けられている。図中Ｗは被切断物、 １２０は被
切断物の昇降装置である。
上記ｉＭコロ−群１０４に巻付けられるワイヤの巻付回
数は、被切断物Ｗから切り取るウェハーの枚数により決
定する。従ってワイヤ巻付回数の増減に際しては通常一
方の引出し線例えばＳａを切断して巻数を増減する手段
が採られている。
数は、被切断物Ｗから切り取るウェハーの枚数により決
定する。従ってワイヤ巻付回数の増減に際しては通常一
方の引出し線例えばＳａを切断して巻数を増減する手段
が採られている。
しかしワイヤＳは、切断した後これを接続して使用する
ことは非常に困難であり、実用Ｅ不可能である。従って
ワイヤはり−ル］０２に至る長さのものを放棄せねばな
らず、上記巻数の増減に手数を要すると共に、ワイヤの
ロスが問題となる。
ことは非常に困難であり、実用Ｅ不可能である。従って
ワイヤはり−ル］０２に至る長さのものを放棄せねばな
らず、上記巻数の増減に手数を要すると共に、ワイヤの
ロスが問題となる。
本発明はかかる点に鑑み、ワイヤを切断することなく溝
ローラ群への巻付回数の増減を簡易に行なうことを目的
とする。
ローラ群への巻付回数の増減を簡易に行なうことを目的
とする。
上記目的を達成するための第１の発明は溝ローラ群への
ワイヤ巻付回数調整方法に係り、溝ローラ群の各溝ロー
ラの一側を回転円板へ回動可能に軸支し、溝ローラ訂に
巻かれたワイヤの上記回転円板とは反対側から引き出さ
れる引出し線の一部を溝ローラに引掛けて回転円板の回
転軸心上に引き出して該軸心付近に位置する鉤片に保持
し、回転円板の左右選択回転により、回転円板側のワイ
ヤの引出し線に対し溝ローラ群への巻付けあるいは巻戻
しを行なうようにしたものである。
ワイヤ巻付回数調整方法に係り、溝ローラ群の各溝ロー
ラの一側を回転円板へ回動可能に軸支し、溝ローラ訂に
巻かれたワイヤの上記回転円板とは反対側から引き出さ
れる引出し線の一部を溝ローラに引掛けて回転円板の回
転軸心上に引き出して該軸心付近に位置する鉤片に保持
し、回転円板の左右選択回転により、回転円板側のワイ
ヤの引出し線に対し溝ローラ群への巻付けあるいは巻戻
しを行なうようにしたものである。
また第２の発明は上記方法を実施する装置に係り、溝ロ
ーラ群の各溝ローラの一端をそれぞれ回転可能に支持す
る回転円板と、溝ローラ群の上記回転円板とは反対側に
設けられたワイヤ引出し線の把持手段とを備え、把持手
段はは適宜の溝ローラの自由端に取り付けられるワイヤ
誘導杆と回転円板の回転軸心付近に位置するワイヤ係合
鈎片とを備え、溝ローラ群に巻かれるワイヤの上記回転
円板とは反対側の引出し線を上記誘導杆を介して鉤片に
引掛は保持し、回転円板の左右選択回転により該回転円
板側のワイヤ引出し線に対し溝ローラ群への巻付あるい
は巻戻しを行なうようにしたものである。
ーラ群の各溝ローラの一端をそれぞれ回転可能に支持す
る回転円板と、溝ローラ群の上記回転円板とは反対側に
設けられたワイヤ引出し線の把持手段とを備え、把持手
段はは適宜の溝ローラの自由端に取り付けられるワイヤ
誘導杆と回転円板の回転軸心付近に位置するワイヤ係合
鈎片とを備え、溝ローラ群に巻かれるワイヤの上記回転
円板とは反対側の引出し線を上記誘導杆を介して鉤片に
引掛は保持し、回転円板の左右選択回転により該回転円
板側のワイヤ引出し線に対し溝ローラ群への巻付あるい
は巻戻しを行なうようにしたものである。
溝ローラ群に巻かれるワイヤの回転円板とは反対側から
引き出される引出し線を溝ローラに係止しつつ回転円板
の回転軸心上に引出し、該軸心上に保持することにより
、回転円板の回転時、該引出し線に対しては張力の変動
はない。
引き出される引出し線を溝ローラに係止しつつ回転円板
の回転軸心上に引出し、該軸心上に保持することにより
、回転円板の回転時、該引出し線に対しては張力の変動
はない。
他方の回転円板側のワイヤの引出し線は該円板の左右選
択回転により溝ローラ群への巻付あるいは巻戻しが行な
われる。
択回転により溝ローラ群への巻付あるいは巻戻しが行な
われる。
第１図乃至第５図は本発明の実施例を示す。
ワイヤＳの張設機構１は複数例えば３個の溝ローラ３．
４． ５よりなる溝ローラ群２を備え、各溝ローラは
略々正三角形に配置し、機台フレームＦにベアリング６
を介して回動自在に取り付けられる回転円板７にそれぞ
れその一側を回転自在に支持されている。各溝ローラ３
，４゜５はそれぞれ所定ピッチの環状溝３ａ、４ａ。
４． ５よりなる溝ローラ群２を備え、各溝ローラは
略々正三角形に配置し、機台フレームＦにベアリング６
を介して回動自在に取り付けられる回転円板７にそれぞ
れその一側を回転自在に支持されている。各溝ローラ３
，４゜５はそれぞれ所定ピッチの環状溝３ａ、４ａ。
５ａを刻設し、ワイヤＳを各溝ローラに亘って螺旋状に
巻付けてなるもので、ワイヤＳの両端引出しＱ ’Ｅ
ａ、 Ｓｌ）はそれぞれガイドローラ８゜９を介して
第６，７図に示す周知構造と同様にダンサローラにより
張力を保持しつつリールに巻付けられている。
巻付けてなるもので、ワイヤＳの両端引出しＱ ’Ｅ
ａ、 Ｓｌ）はそれぞれガイドローラ８゜９を介して
第６，７図に示す周知構造と同様にダンサローラにより
張力を保持しつつリールに巻付けられている。
また各溝ローラ３． ４． ５のそれぞれ他端（ごは軸
受部材１０． １１． １２を備え、各軸受部材はブラ
ケット１３により連結され、ブラケット１３は連結杆１
４により回転円板７に接続されている。
受部材１０． １１． １２を備え、各軸受部材はブラ
ケット１３により連結され、ブラケット１３は連結杆１
４により回転円板７に接続されている。
回転円板７は中心軸１５を備え、中心軸１５はベアリン
グ１６により回転自在に支持され、駆動プーリ１７を固
着し、この駆動プーリ１７はベルト］８を介して回転円
板駆動モータ１９に連結されている。
グ１６により回転自在に支持され、駆動プーリ１７を固
着し、この駆動プーリ１７はベルト］８を介して回転円
板駆動モータ１９に連結されている。
またこの中心軸１５には２個のプーリ２１゜２２を備え
たプーリ筒２０を回動可能に遊嵌し、一方のプーリ２１
は１個の溝ローラ３に連結する主軸２３に取り付けられ
るプーリ２４との間にベルト２５を架設し、他方のプー
リ２２は溝ローラ駆動モータ２６にベルト２７を介して
連結されている。
たプーリ筒２０を回動可能に遊嵌し、一方のプーリ２１
は１個の溝ローラ３に連結する主軸２３に取り付けられ
るプーリ２４との間にベルト２５を架設し、他方のプー
リ２２は溝ローラ駆動モータ２６にベルト２７を介して
連結されている。
上記フレームＦには第１．第２図に示す如く回転円！ｆ
ｉ７の上方に位置して前方に伸びる対をなす案内杆３０
．３０を前接進退可能に嵌挿し、案内杆先端には支持板
３１を取り付ける。この支持板３１には前記ラフ。ラケ
ット１３に対し着脱可能の連結手段３２を備える。この
連結手段３２は、例えばブラケット１３に先端を傾斜し
た突子３３を突出して設け、支持板３１にはこの突子を
嵌入する嵌合筒３４を設けてなるもので、この連結手段
は１個でもよいが間隔を存して２個設けることがブラケ
ット１３を強固に支持することができ好ましい。３５は
案内杆３０を前後進させる空圧シリンダである。
ｉ７の上方に位置して前方に伸びる対をなす案内杆３０
．３０を前接進退可能に嵌挿し、案内杆先端には支持板
３１を取り付ける。この支持板３１には前記ラフ。ラケ
ット１３に対し着脱可能の連結手段３２を備える。この
連結手段３２は、例えばブラケット１３に先端を傾斜し
た突子３３を突出して設け、支持板３１にはこの突子を
嵌入する嵌合筒３４を設けてなるもので、この連結手段
は１個でもよいが間隔を存して２個設けることがブラケ
ット１３を強固に支持することができ好ましい。３５は
案内杆３０を前後進させる空圧シリンダである。
４０は溝ローラ３の自由端側の引出し線ｓｂを把持し一
部を回転円板７０回転軸心Ｘ上に保持するための引出し
線把持手段である。この把持手段４０は上記溝ローラ３
の軸受部材１０上に設けるワイヤ誘導杆４１と支持板３
１に取り付ける係合鈎片４２とからなる。誘導杆４１は
杆体４３の前後にガイドローラ４４．４５を取り付けて
なる。鉤片４２は鋼材を螺旋状に屈曲し、ワイヤＳの挿
入を可能とすると共に、後記する如く引出し線の回動に
対しても保持するようにしたものである。この鉤片４２
は常時上記回転軸心Ｘ上に位置させてもよいが、不使用
時は邪魔になる場合があり支持板３１に取り付けた支持
ブラケット４６により上下方向に回動可能とし、適所に
収納可能とすることが好ましい。
部を回転円板７０回転軸心Ｘ上に保持するための引出し
線把持手段である。この把持手段４０は上記溝ローラ３
の軸受部材１０上に設けるワイヤ誘導杆４１と支持板３
１に取り付ける係合鈎片４２とからなる。誘導杆４１は
杆体４３の前後にガイドローラ４４．４５を取り付けて
なる。鉤片４２は鋼材を螺旋状に屈曲し、ワイヤＳの挿
入を可能とすると共に、後記する如く引出し線の回動に
対しても保持するようにしたものである。この鉤片４２
は常時上記回転軸心Ｘ上に位置させてもよいが、不使用
時は邪魔になる場合があり支持板３１に取り付けた支持
ブラケット４６により上下方向に回動可能とし、適所に
収納可能とすることが好ましい。
図中５０は被切断物Ｗの昇降装置である。
上記構成に於て、ワイヤＳによる切断時には、案内杆３
０は第１図に示す如く前進位置にあって支持板３１は連
結手段３２によりブラケット１３に連結し、各満ローラ
３． ４． ５の軸受部材１０． １１． １２を支持
している。この状態において溝ローラ駆動モータ２６を
駆動することにより溝ローラ３は回動し、溝ローラ群２
に巻付けられるワイヤＳを一方向に高速移行させ、これ
と同期して巻取リール（図示省略）を駆動してワイヤの
巻取りを行ない、昇降装置５０により被切断物Ｗを徐々
に押し上げ切断作業を行な う。
０は第１図に示す如く前進位置にあって支持板３１は連
結手段３２によりブラケット１３に連結し、各満ローラ
３． ４． ５の軸受部材１０． １１． １２を支持
している。この状態において溝ローラ駆動モータ２６を
駆動することにより溝ローラ３は回動し、溝ローラ群２
に巻付けられるワイヤＳを一方向に高速移行させ、これ
と同期して巻取リール（図示省略）を駆動してワイヤの
巻取りを行ない、昇降装置５０により被切断物Ｗを徐々
に押し上げ切断作業を行な う。
次に、溝ローラ群２のワイヤ巻付回数の増減に当たって
は案内杆３０と共に支持板３１を第１図鎖線に示す位置
に引出し、鉤片４２を回転円板７の回転軸心Ｘ付近に回
動移行する。ついで溝ローラ３の自由端側の引出し線Ｓ
ｂを上記誘導杆４１を介して鉤片４２に引掛ける（第５
図）。
は案内杆３０と共に支持板３１を第１図鎖線に示す位置
に引出し、鉤片４２を回転円板７の回転軸心Ｘ付近に回
動移行する。ついで溝ローラ３の自由端側の引出し線Ｓ
ｂを上記誘導杆４１を介して鉤片４２に引掛ける（第５
図）。
二〇状憇において回転円板７を第５図において矢符Ｒ方
向に回動するときは、引出し＊ｓｂは鉤片４２を頂点と
した円錐面を移行し、加燃されるも繰り出しリールに弱
い張力をかけておくことにより引出しあるいは弛緩され
ることはない、これに対し反対側の引出しｗＡＳａは弛
みを生じ、巻取リール（何れも第６図参照）により巻取
ることによりワイヤに弛みなく、溝ローラ群への巻付回
数は減少する。
向に回動するときは、引出し＊ｓｂは鉤片４２を頂点と
した円錐面を移行し、加燃されるも繰り出しリールに弱
い張力をかけておくことにより引出しあるいは弛緩され
ることはない、これに対し反対側の引出しｗＡＳａは弛
みを生じ、巻取リール（何れも第６図参照）により巻取
ることによりワイヤに弛みなく、溝ローラ群への巻付回
数は減少する。
また回転円板７を矢符Ｒと反対方向Ｒ°に回動するとき
は、一方の引出し線ｓｂには引張りあるいは弛緩作用は
与えられないが、他方の引出し線Ｓａは引張られて溝ロ
ーラ群２への巻数は増加する。なおこの場合、ガイドロ
ーラ８をトラバース機構５１に取り付け、回転円板７の
１回転毎に１ピツチ矢符Ｔ方向に移行することによりワ
イヤＳを溝ロー、う群２に対し所定ピッチを以て巻付け
ることができる。
は、一方の引出し線ｓｂには引張りあるいは弛緩作用は
与えられないが、他方の引出し線Ｓａは引張られて溝ロ
ーラ群２への巻数は増加する。なおこの場合、ガイドロ
ーラ８をトラバース機構５１に取り付け、回転円板７の
１回転毎に１ピツチ矢符Ｔ方向に移行することによりワ
イヤＳを溝ロー、う群２に対し所定ピッチを以て巻付け
ることができる。
本発明によるときは、溝ローラ群を回転円板に取り付け
、この溝ローラ群に巻付けられるワイヤの一方の引出し
線即ち回転円板とは反対側から引き出されるワイヤの一
部を回転円板の回転軸心上に導いて保持し、回転円板を
回転するようにしたから、上記引出し線は円錐面上の移
動のみで張力の変化がなく保持されると共に、他方の回
転円板側の引出し線は回転円板の回転方向により巻付作
用あるいは巻戻し作用が行なわれ、従って溝ローラ群へ
のワイヤの巻数の増減を従来のワイヤの切断及びこれに
伴う問題点を生ずることなく簡易に行なうことができる
。
、この溝ローラ群に巻付けられるワイヤの一方の引出し
線即ち回転円板とは反対側から引き出されるワイヤの一
部を回転円板の回転軸心上に導いて保持し、回転円板を
回転するようにしたから、上記引出し線は円錐面上の移
動のみで張力の変化がなく保持されると共に、他方の回
転円板側の引出し線は回転円板の回転方向により巻付作
用あるいは巻戻し作用が行なわれ、従って溝ローラ群へ
のワイヤの巻数の増減を従来のワイヤの切断及びこれに
伴う問題点を生ずることなく簡易に行なうことができる
。
第１図乃至第５図は本発明の実施例に関し、第１図はワ
イヤ張設機構の縦断面図、第２図はその右側面図、第３
図は第１図におけるＩ−Ｉ線に沿う案内杆作動説明図、
第４図は第２図におけるＩＴ −ＩＩ線に沿う連結手段
の断面図、第５図はワイヤ巻付回数調整要領の説明図、
第６図は従来のワイヤ式切断機の全体説明図、第７図は
そのワイヤ張設機構の斜視図である。 ｌはワイヤ張設機構、２は溝ローラ群、３゜４．５は溝
ローラ、７は回転円板、４０は引出し線把持手段、４１
はワイヤ誘導杆、４２は係合鈎片、Ｘは回転軸心である
。 特許出願人 住友金属工業株式会社 第４図 第５図
イヤ張設機構の縦断面図、第２図はその右側面図、第３
図は第１図におけるＩ−Ｉ線に沿う案内杆作動説明図、
第４図は第２図におけるＩＴ −ＩＩ線に沿う連結手段
の断面図、第５図はワイヤ巻付回数調整要領の説明図、
第６図は従来のワイヤ式切断機の全体説明図、第７図は
そのワイヤ張設機構の斜視図である。 ｌはワイヤ張設機構、２は溝ローラ群、３゜４．５は溝
ローラ、７は回転円板、４０は引出し線把持手段、４１
はワイヤ誘導杆、４２は係合鈎片、Ｘは回転軸心である
。 特許出願人 住友金属工業株式会社 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）複数の溝ローラを一群とし、これにワイヤを螺旋
状に巻回し、ワイヤを走行させつつ被切断物をこのワイ
ヤに押し当て、同時に多数のウェハー状に切断するワイ
ヤ式切断機において、各溝ローラの一側を回転円板へ回
動可能に軸支し、溝ローラ群に巻かれたワイヤの上記回
転円板とは反対側から引き出される引出し線の一部を溝
ローラに引掛けて回転円板の回転軸心上に引き出して該
軸心付近に位置する鈎片に保持し、回転円板の左右選択
回転により、回転円板側のワイヤの引出し線に対し溝ロ
ーラ群への巻付けあるいは巻戻しを行なうことを特徴と
するワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調
整方法。 - （２）複数の溝ローラを一群とし、これにワイヤを螺旋
状に巻回し、ワイヤを走行させつつ被切断物をこのワイ
ヤに押し当て、同時に多数のウェハー状に切断するワイ
ヤ式切断機において、各溝ローラの一端をそれぞれ回転
可能に支持する回転円板と、溝ローラ群の上記回転円板
とは反対側に設けられたワイヤ引出し線の把持手段とを
備え、把持手段はは適宜の溝ローラの自由端に取り付け
られるワイヤ誘導杆と回転円板の回転軸心付近に位置す
るワイヤ係合鈎片とを備え、溝ローラ群に巻かれるワイ
ヤの上記回転円板とは反対側の引出し線を上記誘導杆を
介して鉤片に引掛け保持し、回転円板の左右選択回転に
より該回転円板側のワイヤ引出し線に対し溝ローラ群へ
の巻付あるいは巻戻しを行なうことを特徴とするワイヤ
式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490289A JP2650393B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490289A JP2650393B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02198979A true JPH02198979A (ja) | 1990-08-07 |
| JP2650393B2 JP2650393B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=11873922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1490289A Expired - Lifetime JP2650393B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機の溝ローラ群へのワイヤ巻付回数調整方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2650393B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITPR20080062A1 (it) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Effe Meccanica S R L | Macchina multifilo per il taglio in un unica fase di blocchi di marmo o granito o pietre dure in genere. |
-
1989
- 1989-01-24 JP JP1490289A patent/JP2650393B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITPR20080062A1 (it) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Effe Meccanica S R L | Macchina multifilo per il taglio in un unica fase di blocchi di marmo o granito o pietre dure in genere. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2650393B2 (ja) | 1997-09-03 |
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