JPH0219957Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体ウエハーや液晶デイスプレイ
の基板等の製造過程で、フオトレジスト等を均一
厚さに塗布するために用いるスピンコータに用い
られ、特に角型のウエハーや基板等の試料をスピ
ンコータから取出すために用いる装置に関するも
のである。

（考案の背景） 半導体や液晶デイスプレイ等の製造分野におい
て、半導体ウエハーや基板等にフオトレジストを
塗布するスピンコータが従来より知られている。
このスピンコータは、垂直な軸回りに高速回転す
る試料台にウエハーや基板等の試料を乗せ、この
試料を高速回転しつつフオトレジストを表面に滴
下し、均一厚さにレジストを塗布するものであ
る。この場合試料は周囲を囲むカツプの中で回転
され、レジストの飛散が防止される。

このように試料をカツプ内で回転する場合に
は、レジスト塗布後の試料をカツプから取出す際
に、試料表面のレジストに傷を付けないようにし
なければならない。

そこで従来よりマジツクハンド等の装置で試料
の周縁を挟んで取出すものや、２分割したトレイ
をカツプの中に入れて試料の下縁に係合させ、試
料を取出すものがある。しかしこれらの場合には
マジツクハンドや２分割トレイなどの構造が複雑
になると共に、金属の接触・摩耗等によるゴミの
発生のため製品の不良率が増大するという問題が
あつた。また試料台を上方へ押上げて試料をカツ
プから上方へ出し、水平方向に移動するトレイに
よつて試料の対向する辺の下縁をこのトレイに係
止させて試料を取出すものも知られている。しか
しこの場合、試料台をその高速回転装置と共に上
下動させると機構が大がかりとなり、高速回転時
の振動も発生し易くなる。なお試料台のみを上下
動させる構造も考え得るが、一般にはこの試料台
は空気負圧で試料を固定する方式を採つているの
で、この試料台のみを上下動する構造は一層複雑
になる。

（考案の目的） 本考案はこのような事情に鑑みなされたもので
あり、構造が簡単でありまたゴミの発生が少なく
製品不良率を大幅に低下させることが可能なスピ
ンコータの角型試料取出し装置を提供することを
目的とする。

（考案の構成） 本考案によればこの目的は、角型試料を試料台
により垂直な回転軸回りに高速回転し、この試料
表面にレジスト薄膜を塗布するスピンコータにお
いて、前記試料が上下方向に通過可能な開口を有
する枠体と、この枠体より上方へ起立するストツ
パと、このストツパを介して前記枠体を吊下する
支持腕と、この支持腕を上下動させる駆動装置と
を備え、前記枠体を下降して前記試料を開口から
枠体の上方に位置させ、さらに試料を回動するこ
とにより試料を枠体に係止することを特徴とする
スピンコータの角型試料取出し装置により達成さ
れる。

（実施例） 第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
平面図、第３図は側断面図、また第４図は動作説
明図である。

これらの図で符号１０は逆きのこ型の試料台で
あり、垂直な軸回りに高速回転される。この試料
台１０の上面にはウエハーや基板などの角型の試
料１２が載せられる。試料台１０の上面には図示
しない通路を介して負圧が導かれ、この負圧によ
り試料１２は試料台１０の上面に固定される。試
料台１０はその水平方向の周囲がカツプ１４で囲
まれている。

従つて試料１２の上面に適量のフオトレジスト
を滴下して試料台１０と共に試料１２を高速回転
させれば、レジストは遠心力により周囲に飛散し
試料１２の上面に均一厚さに塗布される。

１６はこの試料１２を上下方向に通過させ得る
ように４角形に作られた枠体であり、４辺の中央
にはそれぞれ円柱状のストツパ１８が上方へ向つ
て突設されている。２０は支持腕であり、その一
端は駆動装置２２により上下動および回動可能に
支持されている。この支持腕２０の回動端は下方
に垂下し、この下端は十字状に半径方向にのびて
各ストツパ１８に固着されている。

従つて支持腕２０を第３図のように試料台１０
より十分高い位置に上昇させ、試料１２の上面に
適量のフオトレジストを滴下して試料台１０と共
に試料１２を高速回転させれば、レジストは遠心
力により周囲に飛散し、試料１２の上面に均一厚
さの膜が形成される。このようにレジストを塗布
した後、試料１２が枠体１６の開口の下方に入る
ような回転位置に試料台１０を停止させる。次に
駆動装置２２は支持腕２０を下降させ、枠体１６
の開口を通して試料１２を４つのストツパ１８で
囲まれる空間に位置させる（第４図Ａ）。その後
試料台１０は数10度の範囲内で回転される。この
結果試料１２は第１，２図に仮想線１２Ａで示す
ように、その４つの角部付近が枠体１６の上でス
トツパ１８に当接する。そして駆動装置２２が支
持腕２０を上昇させれば試料１２の４隅は枠体１
６に乗つた状態で引上げられる。なおこの時には
試料１２を試料台１０に固定するための負圧によ
る吸引を停止し、試料台１２を試料台１０から解
放するのは勿論である。

以上の実施例では４角形の試料１２と、４角形
の枠体１６を用いているが、本考案はこれに限ら
れるものではなく、試料形状に応じて３角、６角
等他の形状の枠体であつてもよい。

第５図は他の実施例の斜視図であり、この実施
例は枠体１６Ａを４個に分割し、それぞれをスト
ツパ１８Ａを介して支持腕２０Ａに取付けたもの
である。本考案の枠体はこの実施例のように一部
を切り欠いたものであつてもよい。

（考案の効果） 本考案は以上のように、枠体を下降させてその
開口に試料を通して枠体を試料の下方に位置さ
せ、この状態で試料を回動させて試料の隅付近を
枠体の上方に位置させる。そして枠体を上昇させ
ることにより試料を枠体に載せて取出すものであ
る。試料台は本来回転するものでありその回転角
度位置制御機能も本来備えるものであるから、枠
体や支持腕あるいは駆動装置を設けるだけで済
み、構造が非常に簡単である。また試料を挟んで
保持するものではないから金属粉などのゴムが発
生しにくく製品の不良率も大幅に低くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
平面図、第３図は側断面図、第４図は動作説明
図、また第５図は他の実施例の斜視図である。 １０……試料台、１２……試料、１６……枠
体、１８……ストツパ、２０……支持腕、２２…
…駆動装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 角型試料を試料台により垂直な回転軸回りに高
   速回転し、この試料表面にレジストを塗布するス
   ピンコータにおいて、 前記試料が上下方向に通過可能な開口を有する
   枠体と、この枠体より上方へ起立するストツパ
   と、このストツパを介して前記枠体を吊下する支
   持腕と、この支持腕を上下動させる駆動装置とを
   備え、前記枠体を下降して前記試料を開口から上
   方に位置させ、さらに試料を回動することにより
   試料を枠体に係止することを特徴とするスピンコ
   ータの角型試料取出し装置。