JPH02201143A - Abnormality detector for coating material surface - Google Patents

Abnormality detector for coating material surface

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JPH02201143A
JPH02201143A JP2202989A JP2202989A JPH02201143A JP H02201143 A JPH02201143 A JP H02201143A JP 2202989 A JP2202989 A JP 2202989A JP 2202989 A JP2202989 A JP 2202989A JP H02201143 A JPH02201143 A JP H02201143A
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JP
Japan
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laser beam
photoreceptor drum
light
laser light
reflected
Prior art date
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Pending
Application number
JP2202989A
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Japanese (ja)
Inventor
Masafumi Tanaka
雅史 田中
Satoru Miura
覚 三浦
Masanori Ishitani
石谷 優典
Kaname Nakatani
中谷 要
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Mita Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mita Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mita Industrial Co Ltd filed Critical Mita Industrial Co Ltd
Priority to JP2202989A priority Critical patent/JPH02201143A/en
Publication of JPH02201143A publication Critical patent/JPH02201143A/en
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To surely and accurately detect the abnormality of the surface of a coating material by irradiating the surface at a prescribed angle and detecting the optical information of the reflected light thereof. CONSTITUTION:The laser light from a light source 11 is projected via a rotary polyhedral mirror 13 and a parabolic mirror 14 to the surface of a photosensitive drum 30 at a prescribed angle with the axial center direction and scans the surface. The reflected light on the surface thereof is sent to a photodetector 17 and the intensity of the light is detected by a photoelectron multiplier 17b and is transmitted to a surface device, etc. The abnormality on the drum 30 surface is inspected by the repetition of such operation over the entire surface.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えば、複写機、レーザープリンタ等の画像
形成装置に使用される感光体のように、基体上にコーテ
ィング層が設けられたコーティング物の表面の異常を検
出する装置に関する。
Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a coating in which a coating layer is provided on a substrate, such as a photoreceptor used in an image forming apparatus such as a copying machine or a laser printer. The present invention relates to a device for detecting an abnormality on the surface of an object.

(従来の技術) 複写機やレーザープリンタ等の画像形成装置に使用され
る感光体ドラムは、通常、アルミニウム素管に、直接、
あるいはアルマイト層を介して感光層がコーティングさ
れている。このような感光体ドラムは、表面(感光層表
面)に傷が付いたりゴミ等の異物が付着していると、良
好な画像を形成することができない、このため、該感光
体ドラムはその感光層表面に傷や異物の付着等の異常が
存在するかの検査が行われる。
(Prior Art) Photoreceptor drums used in image forming devices such as copying machines and laser printers are usually made by directly attaching them to aluminum tubes.
Alternatively, a photosensitive layer is coated with an alumite layer interposed therebetween. Such a photoreceptor drum cannot form a good image if its surface (the surface of the photoreceptor layer) is scratched or has foreign matter such as dust attached. An inspection is performed to determine whether there are any abnormalities such as scratches or adhesion of foreign matter on the surface of the layer.

従来、感光体ドラム表面の検査には、例えば、特開昭6
1−20080号公報に開示されている装置が使用され
る。該装置は、感光体ドラムの表面に光を照射して、そ
の反射光の光量や強度に基づいて感光体ドラム表面の異
常を検出する。近時、このような感光体ドラム表面の検
査装置に、コヒーレントなレーザー光を使用することに
より、検査の精度および検査速度を向上させることが行
われている。
Conventionally, for inspection of the surface of a photoreceptor drum, for example,
The device disclosed in Publication No. 1-20080 is used. This device irradiates the surface of the photoreceptor drum with light and detects abnormalities on the surface of the photoreceptor drum based on the amount and intensity of the reflected light. Recently, coherent laser light has been used in such photoreceptor drum surface inspection devices to improve inspection accuracy and inspection speed.

レーザー光を用いた感光体ドラム表面の異常検出装置の
一例を第3図に示す6被検査物である感光体ドラム30
は回転可能に支持されており、該感光体ドラム30に、
レーザー光源41から発せられるレーザー光が、一対の
反射M42および43を介して回転多面鏡44に照射さ
れている。該回転多面鏡44は、照射されるレーザー光
を、その回転により、感光体ドラム30の軸心方向に沿
って一方の端部から他方の端部に順次走査する。そして
、感光体ドラム30の細心方向に照射されたレーザー光
は、該感光体ドラム30の表面にて順次反射されて、受
光部45内の光電子増倍管45aに与えられる。該受光
部45内の光電子増倍管45aは感光体ドラム30表面
にて反射されたレーザー光を順次捉え、該レーザー光の
強度に対応した電圧を順次出力する。感光体ドラム30
表面に傷等の異常が存在する場合には、その異常部に照
射されたレーザ光が乱反射し、該光電子増倍管45aに
捉えられるレーザ光の強度が低下する。従って、該光電
子増倍管45aの検出電圧が低下し、その検出結果に基
づき、感光体ドラム30の表面の異常が検出される。感
光体ドラム30の軸心方向に沿っての一方向の走査が終
了すると、感光体ドラム30は、所定量だけ回動され、
直前にレーザー光の走査が終了した部分に隣接した感光
体ドラム30の表面部分にレーザー光が感光体ドラム3
0の軸心方向に沿って走査される。以後、同様の動作が
繰り返され、感光体ドラム30表面全体にわたって、異
常が存在するかどうかが検査される。
An example of an abnormality detection device on the surface of a photoreceptor drum using laser light is shown in FIG.
is rotatably supported, and on the photosensitive drum 30,
Laser light emitted from a laser light source 41 is irradiated onto a rotating polygon mirror 44 via a pair of reflections M42 and M43. The rotating polygon mirror 44 sequentially scans the irradiated laser light from one end to the other end along the axial direction of the photoreceptor drum 30 by its rotation. The laser beam irradiated in the direction of the photoreceptor drum 30 is sequentially reflected on the surface of the photoreceptor drum 30 and applied to the photomultiplier tube 45a in the light receiving section 45. A photomultiplier tube 45a in the light receiving section 45 sequentially captures the laser light reflected on the surface of the photoreceptor drum 30, and sequentially outputs voltages corresponding to the intensity of the laser light. Photosensitive drum 30
If there is an abnormality such as a scratch on the surface, the laser light irradiated to the abnormal part is diffusely reflected, and the intensity of the laser light captured by the photomultiplier tube 45a is reduced. Therefore, the detection voltage of the photomultiplier tube 45a decreases, and based on the detection result, an abnormality on the surface of the photoreceptor drum 30 is detected. When scanning in one direction along the axial direction of the photoreceptor drum 30 is completed, the photoreceptor drum 30 is rotated by a predetermined amount, and
The laser beam is applied to the surface area of the photoreceptor drum 30 adjacent to the area where the laser beam scan ended immediately before.
Scanned along the 0 axis direction. Thereafter, similar operations are repeated, and the entire surface of the photoreceptor drum 30 is inspected to see if there is any abnormality.

(発明が解決しようとする課11り 前述したように、感光体ドラム30は、アルミニウム素
管の外周面に直接あるいはアルマイ)・層を介して感光
層が積層されている6例えば、アルミニウム素管に感光
層が偵接荷屑された感光体ドラム30にレーザー光を照
射すると、レーザー光の一部は感光層の界面にて反射さ
れるとともに、該感光層内にも進入する。該感光層内に
進入したレーザー光が、該感光層内にて乱反射する場合
には、該感光層を透過するレーザー光量が少なく、該感
光層とアルミニウム素管との界面にて反射されるレーザ
ー光量が少をくなり、該感光層の表面からはその界面に
て反射されるレーザー光の影響はほとんどないが、感光
層の光透過度が高い場合には、該感光層とアルミニウム
素管との界面でのレーザー光の反射光量が増加して、感
光層から出射されるレーザー光量が増加する。感光体ド
ラム30の感光層へは、回転多面j144により反射さ
れたレーザー光が、直接、感光体ドラム30の軸心方向
に走査されているなめ、該感光層にて反射されるレーザ
ー光の反射角度は、レーザー光が感光体ドラム3゜の軸
心方向に沿って走査される間に順次変化する。
(Issues to be Solved by the Invention 11) As mentioned above, the photosensitive drum 30 has a photosensitive layer laminated directly on the outer circumferential surface of an aluminum tube or via an aluminium layer. When laser light is irradiated onto the photosensitive drum 30 on which the photosensitive layer has been deposited, part of the laser light is reflected at the interface of the photosensitive layer and also enters the photosensitive layer. When the laser light that has entered the photosensitive layer is diffusely reflected within the photosensitive layer, the amount of laser light that passes through the photosensitive layer is small, and the laser beam is reflected at the interface between the photosensitive layer and the aluminum tube. As the amount of light decreases, the laser light reflected from the surface of the photosensitive layer at the interface has almost no effect. The amount of laser light reflected at the interface increases, and the amount of laser light emitted from the photosensitive layer increases. The laser beam reflected by the rotating polygon j144 is directly scanned to the photosensitive layer of the photosensitive drum 30 in the axial direction of the photosensitive drum 30, and the laser beam reflected from the photosensitive layer is reflected. The angle changes sequentially while the laser beam is scanned along the axial direction of the photoreceptor drum 3°.

このため、感光層にて反射されたレーザー光と、前述し
た感光層とアルミニウム素管との界面にて反射されて感
光層から出射されるレーザー光の位相がずれて、両者が
干渉してしまう、この位相差がレーザ光の走査に伴い、
感光体ドラム30の軸心方向に沿って順次干渉し、感光
体ドラム30上に明晴模櫟となったいわゆる干渉縞が発
生する。受光部45内に配設された光電子増倍管45a
は、その干渉光を捉えて該干渉光の強度に対応した電圧
を出力するため、該光電子増倍管45ユの検出信号は、
レーザー光の強度検出信号に上記干渉縞がノイズとして
重畳された状態に、なる、このような状態になると、感
光体ドラム30表面の異常を検出できないおそれがある
For this reason, the phase of the laser beam reflected by the photosensitive layer and the laser beam reflected at the interface between the photosensitive layer and the aluminum tube described above and emitted from the photosensitive layer is shifted, causing interference between the two. , this phase difference is caused by the scanning of the laser beam,
The interference occurs sequentially along the axial direction of the photoreceptor drum 30, and so-called interference fringes with bright and clear patterns are generated on the photoreceptor drum 30. A photomultiplier tube 45a disposed within the light receiving section 45
captures the interference light and outputs a voltage corresponding to the intensity of the interference light, so the detection signal of the photomultiplier tube 45 is
In such a state where the interference fringes are superimposed as noise on the intensity detection signal of the laser beam, there is a possibility that an abnormality on the surface of the photoreceptor drum 30 cannot be detected.

本発明は、上記従来の問題を解決するものであり、その
目的は、レーザー光によりコーティング物表面の異常を
確実に、しがち精度よく検出し得るコーティング物表面
の異常検出装置を提供することにある。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to provide an abnormality detection device on the surface of a coated object that can reliably and accurately detect abnormalities on the surface of the coated object using laser light. be.

(課題を解決するための手段) 本発明のコーティング物の異常検出装置は、基体上にコ
ーティング層が設けられたコーティング物の表面にレー
ザー光を照射して該コーティング物の表面の異常を検出
する装置であって、レーザー光源と、該レーザー光源か
ら発せられたレーザー光を所定方向に順次走査する走査
手段と、該走査手段にて走査されるレーザー光を、前記
コーティング物の表面へ、該表面とは常に所定の角度で
順次照射するべく該レーザー光の光路を変更する光路変
更手段と、該コーティング物の表面に照射されたレーザ
ー光の反射光を捉えてその光学的情報を検出する検出手
段と、と具備してなり、そのことにより、上記目的が達
成される。
(Means for Solving the Problems) The abnormality detection device for a coated object of the present invention detects an abnormality on the surface of the coated object by irradiating a laser beam onto the surface of the coated object, which has a coating layer provided on a substrate. The apparatus includes a laser light source, a scanning means for sequentially scanning laser light emitted from the laser light source in a predetermined direction, and a laser light scanned by the scanning means to the surface of the coated object. means for changing the optical path of the laser beam so that it is always irradiated sequentially at a predetermined angle; and a detection means for capturing the reflected light of the laser beam irradiated on the surface of the coated object and detecting its optical information. By this, the above object is achieved.

(実施例) 以下に本発明を実施例について説明する。(Example) The present invention will be described below with reference to Examples.

第1図は、本発明のコーティング物表面の異常検出装置
の概略構成図である。該検出装置は、例えば、複写機等
の画像形成装置に使用される感光体ドラム30の表面の
異常を検出するために用いられる。該感光体ドラム30
は、アルミニウム素管の外周面に、直接、感光層が積層
されたものである。
FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus for detecting an abnormality on the surface of a coated object according to the present invention. The detection device is used, for example, to detect an abnormality on the surface of a photosensitive drum 30 used in an image forming apparatus such as a copying machine. The photosensitive drum 30
In this case, a photosensitive layer is directly laminated on the outer peripheral surface of an aluminum tube.

被検査物である該感光体ドラム30は、水平状のステー
ジ16上にn置される。該ステージ16は、その下方に
配設されたステッピングモーター15の出力軸に取り付
けられており、該ステッピングモーター15の駆動によ
り、ステージ16が間欠的に回動される。
The photosensitive drum 30, which is the object to be inspected, is placed on the horizontal stage 16. The stage 16 is attached to the output shaft of a stepping motor 15 disposed below the stage 16, and the stepping motor 15 is driven to rotate the stage 16 intermittently.

該ステージ16上に載置される感光体ドラム30の側方
には、He−Neレーザー光を発するレーザー光源11
が配設されている。該レーザー光111から発せられる
レーザー光は、集光レンズ12にて集光されて、レーザ
ー光の走査手段である回転多面鏡13に照射される。該
回転多面鏡13は、回転軸が、照射されるレーザー光と
は直交しており、その回転により、レーザー光源から発
せられて集光レンズ12にて集光されたレーザー光を、
光路変更手段である放物面鏡14へ順次照射する。該放
物面j!14は、ステージ16に載置された感光体ドラ
ム30および回転多面鏡13に、放物面状になった内周
面が対向している。該放物面jJ!14の内周面は、ス
テージ16に載置される感光体ドラム30の軸心方向に
沿った断。
A laser light source 11 that emits He-Ne laser light is installed on the side of the photosensitive drum 30 placed on the stage 16.
is installed. The laser beam emitted from the laser beam 111 is condensed by a condenser lens 12 and irradiated onto a rotating polygon mirror 13 which is a laser beam scanning means. The rotation axis of the rotating polygon mirror 13 is perpendicular to the irradiated laser beam, and by its rotation, the laser beam emitted from the laser light source and condensed by the condensing lens 12 is
The light is sequentially irradiated onto a parabolic mirror 14 serving as an optical path changing means. The paraboloid j! Reference numeral 14 has a parabolic inner peripheral surface facing the photosensitive drum 30 placed on the stage 16 and the rotating polygon mirror 13 . The paraboloid jJ! The inner circumferential surface 14 is a section along the axial direction of the photosensitive drum 30 placed on the stage 16.

面における内周面が放物線状になっており、該放物面j
a1・1へは、回転多面jm1.3により感光体ドラム
31)の軸心方向に沿ってレーザー光が順次走査される
。該放物線の形状は、回転多面鏡13により感光体ドラ
ム30の軸心方向へ順次走査されるレーザー光が、該放
物面鏡14のその内周面(放物面)にて反射された際に
、感光体ドラム30の表面に、常に所定の角度で順次照
射されるように、設定されている。従って、回転多面鏡
13にて所定方向へ走査されたレーザー光は、放物面鏡
14により、ステージ16に載置された感光体ドラム3
0の表面に、常に所定角度となるように順次照射され、
該感光体ドラム30の軸心方向に沿って走査される。
The inner peripheral surface of the surface is parabolic, and the parabolic surface j
A1.1 is sequentially scanned with laser light along the axial direction of the photoreceptor drum 31) by the rotating polygon jm1.3. The shape of the parabola is determined when the laser beam sequentially scanned in the axial direction of the photoreceptor drum 30 by the rotating polygon mirror 13 is reflected by the inner peripheral surface (paraboloid) of the parabolic mirror 14. In addition, it is set so that the surface of the photoreceptor drum 30 is always irradiated sequentially at a predetermined angle. Therefore, the laser beam scanned in a predetermined direction by the rotating polygon mirror 13 is transmitted to the photoreceptor drum 3 mounted on the stage 16 by the parabolic mirror 14.
0 surface is irradiated sequentially at a predetermined angle,
Scanning is performed along the axial direction of the photosensitive drum 30.

感光体ドラム30の表面へ、その軸心方向に沿って走査
されるレーザー光は、該感光体ドラム30の表面にて所
定の反射角度で反射されて、受光器17へ照射される。
The laser beam scanned along the axial direction of the surface of the photoreceptor drum 30 is reflected by the surface of the photoreceptor drum 30 at a predetermined reflection angle, and is irradiated onto the light receiver 17 .

該受光器17は、受光面が感光体ドラム31)の細心方
向に平行しており、該受光面に受光窓が開設されている
。該受光窓の長さは感光体ドラム31〕の軸心方向長さ
よりも若干長くなっており、該受光窓には、例えば、ス
リガラスを用いた拡散板17aが装着されている。感光
体ドラム30にて反射されたレーザー光は該拡散板17
ユを介して受光317の内部に進入する。該受光器17
の内部には、感光体ドラム30から反射されたレーザー
光の光学的情報を検出するための光電子増倍管1?bが
配設されている。感光体ドラム30にて反射されたレー
ザー光は、拡散板17λにて拡散されて該光電子増倍管
17bに入射される。該光電子増倍管17bは、入射さ
れたレーザー光の強度に対応した電圧を出力する。
The light receiving surface of the light receiver 17 is parallel to the direction of the photoreceptor drum 31), and a light receiving window is provided on the light receiving surface. The length of the light-receiving window is slightly longer than the length of the photoreceptor drum 31 in the axial direction, and a diffuser plate 17a made of, for example, ground glass is attached to the light-receiving window. The laser beam reflected by the photoreceptor drum 30 is transmitted to the diffuser plate 17.
The light enters the interior of the light receiving unit 317 through the y. The light receiver 17
Inside, there is a photomultiplier tube 1? for detecting optical information of the laser beam reflected from the photoreceptor drum 30. b is provided. The laser beam reflected by the photoreceptor drum 30 is diffused by the diffusion plate 17λ and enters the photomultiplier tube 17b. The photomultiplier tube 17b outputs a voltage corresponding to the intensity of the incident laser light.

拡散板17λは、該拡散板17aを通過して光電子増倍
管17bに入射されるレーザー光の光量ムラをなくして
いる。
The diffuser plate 17λ eliminates unevenness in the amount of laser light that passes through the diffuser plate 17a and enters the photomultiplier tube 17b.

このような構成のコーティング物表面の検査装置では、
レーザー光源11から発せられるレーザー光が集光レン
ズ12を介して回転多面113に照射される9回転多面
jlJ113は、その回転により照射されるレーザー光
を放物面鏡14の放物面に沿うように順次走査する。そ
して、該放物面鏡14に照射されるレーザー光は、該放
物面1114の放物面にて順次反射され、ステージ16
にn置された感光体ドラム30の表面へ、該感光体ドラ
ム30の表面に対して所定の角度なるように照射される
。その結果、該感光体ドラム30の表面には、所定角度
でレーザー光が入射し、該感光体ドラム30の軸心方向
に沿って順次走査される。該感光体ドラム30に照射さ
れたレーザー光は2その表面にて反射されて、受光器1
7へ4次照射される。受光器!7へ照射されたレーザー
光は、該受光器17の拡散板171を通過した後に、該
受光器17内の光学情報検出手段である光電子増倍管1
7bへ与えられる。該光電子増倍管17bは、入射され
るレーザー光の強度を順次検出し、レーザ光の強度に対
応した電圧を出力する。その検出結果は、所定の表示装
置あるいは記憶装置等へ出力される。
In the inspection device for the surface of a coated object with such a configuration,
The laser beam emitted from the laser light source 11 is irradiated onto the rotating polygon 113 through the condensing lens 12. The 9-rotating polygon jlJ113 directs the laser beam irradiated by its rotation along the paraboloid of the parabolic mirror 14. Scan sequentially. The laser beam irradiated onto the parabolic mirror 14 is sequentially reflected by the parabolic surface of the parabolic surface 1114, and
The light is irradiated onto the surface of the photoreceptor drum 30 placed at a predetermined angle with respect to the surface of the photoreceptor drum 30 . As a result, the laser beam is incident on the surface of the photoreceptor drum 30 at a predetermined angle, and is sequentially scanned along the axial direction of the photoreceptor drum 30. The laser beam irradiated onto the photoreceptor drum 30 is reflected by the surface of the photoreceptor drum 2.
7 is irradiated fourthly. Receiver! After passing through the diffuser plate 171 of the light receiver 17, the laser beam irradiated onto the light receiver 17 passes through the photomultiplier tube 1, which is an optical information detecting means in the light receiver 17.
given to 7b. The photomultiplier tube 17b sequentially detects the intensity of the incident laser light and outputs a voltage corresponding to the intensity of the laser light. The detection results are output to a predetermined display device, storage device, or the like.

感光体ドラム30の軸心に沿って、一方の端部から他方
の端部へとレーザー光が走査されると、ステッピングモ
ーター15が駆動されて、ステージ16が所定量だけ回
動され、該ステージ16上の感光体ドラム30表面に照
射されるレーザー光の位置が、その直Hに走査されたレ
ーザー光の位置に隣接した部分となる。そして、その感
光体ドラム3oの表面部分に、レーザー光が走査され、
その走査されたレーザー光が、順次、受光器17の光電
子増倍管17bに入射される。このような動作が順次繰
り返されることにより、感光体ドラム30表面全体にレ
ーザー光が走査され、該表面全体にわたっての異常の検
査がおこなわれる。
When the laser beam is scanned from one end to the other along the axis of the photoreceptor drum 30, the stepping motor 15 is driven and the stage 16 is rotated by a predetermined amount. The position of the laser beam irradiated onto the surface of the photoreceptor drum 30 on the photoreceptor drum 16 is a portion adjacent to the position of the laser beam scanned in the direct H direction. Then, a laser beam is scanned on the surface of the photoreceptor drum 3o,
The scanned laser light is sequentially incident on the photomultiplier tube 17b of the light receiver 17. By sequentially repeating such operations, the entire surface of the photoreceptor drum 30 is scanned with laser light, and abnormalities are inspected over the entire surface.

感光体ドラム30へ照射されるレーザー光は、上述した
ように、該感光体ドラム30の表面に対して常に所定角
度で入射されてその軸心方向へ走査されているため、該
感光体ドラム30における感光層とアルミニウム素管と
の界面にて反射されるレーザー光が感光層から出射して
も、その出射の際に、該感光層に照射されて該感光層に
て直接反射されるレーザー光との位相が感光体ドラム3
0の細心方向に一定になる。その結果、受光器17内の
光電子増倍管17bには、感光体ドラム3(1にて反射
された干渉状態のレーザー光が入射されるが、該光電子
増倍管17hは、そのレーザー光の強度を、ノイズが重
畳されていない状態で検出する。感光体ドラム30の表
面に異常が存在する場合には、その異常部にてレーザ光
が乱反射するため、光電子増倍管17bに入射されるレ
ーザ光の強度が低下し、該光電子増倍管17bの出力電
圧が低下する。従って、該光電子増倍管17bの出力電
圧が所定の値よりも低下した場合には、感光体ドラム3
0の表面に異常が存在するとして判断され、その検出結
果に基づき、感光体ドラム30の表面の傷や異物の付着
等をきわめて容易に発見し得る。
As described above, the laser light irradiated onto the photoreceptor drum 30 is always incident on the surface of the photoreceptor drum 30 at a predetermined angle and scanned in the direction of its axis. Even if the laser light reflected at the interface between the photosensitive layer and the aluminum tube is emitted from the photosensitive layer, at the time of emission, the laser light is irradiated onto the photosensitive layer and directly reflected by the photosensitive layer. The phase with photoreceptor drum 3 is
It becomes constant in the minute direction of 0. As a result, the interference laser beam reflected by the photoreceptor drum 3 (1) enters the photomultiplier tube 17b in the light receiver 17, but the photomultiplier tube 17h The intensity is detected with no noise superimposed. If there is an abnormality on the surface of the photoreceptor drum 30, the laser light is diffusely reflected at the abnormality and is therefore incident on the photomultiplier tube 17b. The intensity of the laser beam decreases, and the output voltage of the photomultiplier tube 17b decreases.Therefore, when the output voltage of the photomultiplier tube 17b decreases below a predetermined value, the photoreceptor drum 3
It is determined that an abnormality exists on the surface of the photosensitive drum 30, and based on the detection result, scratches, adhesion of foreign matter, etc. on the surface of the photosensitive drum 30 can be found very easily.

第2図は、本発明の他の実施例におけるコーティング物
表面の異常検出装!の概l!構成図である。
FIG. 2 shows a device for detecting abnormalities on the surface of a coated object in another embodiment of the present invention. General information! FIG.

本実施例では、レーザー光源11から発せられるレーザ
ー光が、集光レンズ12および反射鏡10を介して、レ
ーザー光走査手段である回転多面j113に照射される
。該回転多面鏡13はその反射光が感光体ドラム30の
配役方向へ照射されるように配設されており、該回転多
面1!13と感光体ドラム30との間に、光路変更手段
としての凹レンズ19が介装されている。そして1回転
多面3113は、該凹レンズ19の焦点位置にてレーザ
ー光を反射させるように位置決めされている。従って、
該回転多面[13にて走査されたレーザー光は、該凹レ
ンズ19を通過することにより、感光体ドラム30の表
面へ、常に所定角度となって、順次、照射され、該感光
体ドラム30の軸心方向へ走査される。感光体ドラム3
0にて反射されたレーザー光は、前記実施例と同様に、
受光器17の拡散板17&を介して、光学情報の検出手
段である光電r・増11′4管17bに入射され、該光
電子増倍管17bにてそのレーザー光の強度が、順次、
検出される。
In this embodiment, a laser beam emitted from a laser light source 11 is irradiated onto a rotating polygon j113, which is a laser beam scanning means, via a condenser lens 12 and a reflecting mirror 10. The rotating polygon mirror 13 is arranged so that its reflected light is irradiated in the direction in which the photoreceptor drum 30 is arranged. A concave lens 19 is interposed. The one-turn polygon 3113 is positioned so as to reflect the laser beam at the focal position of the concave lens 19. Therefore,
The laser beam scanned by the rotating polygon 13 passes through the concave lens 19 and is sequentially irradiated onto the surface of the photoreceptor drum 30 at a predetermined angle. Scanned towards the heart. Photosensitive drum 3
The laser beam reflected at 0 is similar to the above example,
The laser beam enters the photomultiplier 11'4 tube 17b, which is an optical information detection means, through the diffuser plate 17& of the light receiver 17, and the intensity of the laser beam is sequentially increased by the photomultiplier tube 17b.
Detected.

本実施例の場合にも、前記実M1例と同様に、感光体ド
ラム30表面には、常に所定4角度でレーザー光が照射
されるため、該感光体ドラム30における感光層とアル
ミニウム素管との界面でのレーザー反射光と感光層表面
でのレーザー反射光とが相互に干渉しても、光電子増倍
管17bには、感光体ドラム30の軸心方向に位相差が
一定であるレーザー光が入射される。その結果、ハ光電
子増倍管17bは、レーザー光の強度とノイズが重畳さ
れていない状態で検出するため、感光体ドラム30表面
の傷や異物の付着等の異常を容易に検出し得る。
In the case of this embodiment, as in the actual M1 example, the surface of the photoreceptor drum 30 is always irradiated with laser light at four predetermined angles, so that the photoreceptor layer and the aluminum tube on the photoreceptor drum 30 are Even if the laser reflected light at the interface and the laser reflected light at the surface of the photosensitive layer interfere with each other, the photomultiplier tube 17b receives laser light whose phase difference is constant in the axial direction of the photosensitive drum 30. is incident. As a result, the photomultiplier tube 17b detects the intensity of the laser beam and noise without being superimposed, and therefore can easily detect abnormalities such as scratches or adhesion of foreign matter on the surface of the photoreceptor drum 30.

(発明の効果) 本発明のコーティング物表面の異常検出装置は、このよ
うに、レーザー光が、放物面鏡や凹レンズ等の光路変更
手段にて、被検査物であるコーティング物の表面に、常
に所定の角度で照射されるため、該コーティング物表面
にて直接反射されるレーザー光と、コーティング層の界
面にて反射されるレーザー光との間の位相差はレーザ光
の走査に関係なく一定であるため、光学情報の検出手段
による検出信号にノイズが重畳されず、コーティング物
表面の異常を確実にしかも正確に検出し得る。
(Effects of the Invention) The apparatus for detecting an abnormality on the surface of a coated object of the present invention is configured such that the laser beam is directed onto the surface of the coated object to be inspected using an optical path changing means such as a parabolic mirror or a concave lens. Since the laser beam is always irradiated at a predetermined angle, the phase difference between the laser beam directly reflected on the surface of the coated object and the laser beam reflected at the interface of the coating layer is constant regardless of the scanning of the laser beam. Therefore, noise is not superimposed on the detection signal by the optical information detection means, and abnormalities on the surface of the coated object can be detected reliably and accurately.

、″   の  t; 日 第1図は本発明のコーティング物表面の異常検出装置の
一例を示す概略構成図、第2図は本発明のコーティング
物表面の異常検出装置の他の実施例の概略構成図、第3
図は従来のコーティング物表面の異常検出装置の概略構
成図である。
,''t; Day FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of the apparatus for detecting an abnormality on the surface of a coated object according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram of another embodiment of the apparatus for detecting an abnormality on the surface of a coated object according to the present invention. Figure, 3rd
The figure is a schematic configuration diagram of a conventional abnormality detection device on the surface of a coated object.

11・・・レーザー光源、13・・・回転多面鏡、14
・・・放物面鏡、15・・・ステッピングモーター、1
6・・・ステージ、17・・受光器、19・・・凹レン
ズ。
11... Laser light source, 13... Rotating polygon mirror, 14
...parabolic mirror, 15...stepping motor, 1
6... Stage, 17... Light receiver, 19... Concave lens.

以上that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、基体上にコーティング層が設けられたコーティング
物の表面にレーザー光を照射して該コーティング物の表
面の異常を検出する装置であって、レーザー光源と、 該レーザー光源から発せられたレーザー光を所定方向に
順次走査する走査手段と、 該走査手段にて走査されるレーザー光を、前記コーティ
ング物の表面へ、該表面とは常に所定の角度で順次照射
するべく該レーザー光の光路を変更する光路変更手段と
、 該コーティング物の表面に照射されたレーザー光の反射
光を捉えてその光学的情報を検出する検出手段と、 を具備するコーティング物表面の異常検出装置。
[Claims] 1. An apparatus for detecting abnormalities on the surface of a coated article by irradiating the surface of a coated article with a coating layer on a substrate, comprising: a laser light source; and the laser light source. scanning means for sequentially scanning laser light emitted from the surface in a predetermined direction; An abnormality detection device on the surface of a coated object, comprising: an optical path changing means for changing the optical path of the laser beam; and a detection means for capturing the reflected light of the laser beam irradiated on the surface of the coated object and detecting its optical information. .
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010186834A (en) * 2009-02-10 2010-08-26 Fanuc Ltd Device for diagnosing damage of optical component in laser resonator
JP2011220816A (en) * 2010-04-09 2011-11-04 Niigata Univ Method for measuring shape of cylindrical surface

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