JPH02201252A - 電気化学測定トンネル電流同時測定装置およびトンネル探針 - Google Patents
電気化学測定トンネル電流同時測定装置およびトンネル探針Info
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- JPH02201252A JPH02201252A JP1021550A JP2155089A JPH02201252A JP H02201252 A JPH02201252 A JP H02201252A JP 1021550 A JP1021550 A JP 1021550A JP 2155089 A JP2155089 A JP 2155089A JP H02201252 A JPH02201252 A JP H02201252A
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- G—PHYSICS
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- G01Q60/16—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電気化学測定トンネル電流同時測定装置及び
トンネル探針に関する。
トンネル探針に関する。
具体的には、溶液中で試料を電位制御し、電気化学測定
を行い、同時に試料とトンネル探針との間に流れるトン
ネル電流を検出する装置であり、さらに、検出したトン
ネルを流より試料表面の像として表わす電気化学測定中
での走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴＭと言う）に関
する。
を行い、同時に試料とトンネル探針との間に流れるトン
ネル電流を検出する装置であり、さらに、検出したトン
ネルを流より試料表面の像として表わす電気化学測定中
での走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴＭと言う）に関
する。
（発明の概要〕
本発明は、試料、対極、参照電極およびトンネル探針を
溶液中に設置した電気化学セルと、試料の電位を設定す
る手段と、試料と対極とに流れる電流を検出する手段と
、試料とトンネル探針との距離を移動する手段と、トン
ネル探針の電位を設定する手段と、トンネル探針と試料
との電位差により流れるトンネル電流を検出する手段よ
り構成される。場合によって１よ、試料の電位およびト
ンネル探針の電位が走査可能な手段をも含む。
溶液中に設置した電気化学セルと、試料の電位を設定す
る手段と、試料と対極とに流れる電流を検出する手段と
、試料とトンネル探針との距離を移動する手段と、トン
ネル探針の電位を設定する手段と、トンネル探針と試料
との電位差により流れるトンネル電流を検出する手段よ
り構成される。場合によって１よ、試料の電位およびト
ンネル探針の電位が走査可能な手段をも含む。
さらに、試料とトンネル探針との電位差を一定にし、ト
ンネル探針を試料表面をＸＹ軸に走査し、その際、検出
したトンネル電流がほぼ一定になるようトンネル探針と
試料の距離を制御ＪするＺ軸制御を用い、トンネル探針
の位置を三次元表示で表わすことにより、試料表面の像
を表わす、電気化学測定中での走査型トンネル顕微鏡装
置をも含むものである。特に、トンネル探針を、金、金
を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭素化合物で形
成し、トンネル探針自身の電気化学反応が生じない電位
領域（ウィンドウ）を大幅に広くでき、溶液中における
電極上に析出した物質の同定や、付着に不純物の同定を
可能にするものである。
ンネル探針を試料表面をＸＹ軸に走査し、その際、検出
したトンネル電流がほぼ一定になるようトンネル探針と
試料の距離を制御ＪするＺ軸制御を用い、トンネル探針
の位置を三次元表示で表わすことにより、試料表面の像
を表わす、電気化学測定中での走査型トンネル顕微鏡装
置をも含むものである。特に、トンネル探針を、金、金
を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭素化合物で形
成し、トンネル探針自身の電気化学反応が生じない電位
領域（ウィンドウ）を大幅に広くでき、溶液中における
電極上に析出した物質の同定や、付着に不純物の同定を
可能にするものである。
〔従来の技術〕
試料の電位規制を行い電流検出し、電気化学反応を解明
する手法は一般的であり、装置としてもボテンシオスタ
７ト、ポーラログラフイーなどとして市販されている。
する手法は一般的であり、装置としてもボテンシオスタ
７ト、ポーラログラフイーなどとして市販されている。
一方、試料とチップ間に電圧を印加しトンネル電流を検
出する方法も一般的であり、さらに検出したトンネル電
流により試料の表面像として表わす手段としては走査型
トンネル顕微鏡として知られている。この走査型トンネ
ル顕微鏡に関しては、例えば米国特許４３４３９９３号
明細書等において周知であり、超高真空下での測定が行
われてきたが、最近では大気中、溶液中での測定も可能
となっている。
出する方法も一般的であり、さらに検出したトンネル電
流により試料の表面像として表わす手段としては走査型
トンネル顕微鏡として知られている。この走査型トンネ
ル顕微鏡に関しては、例えば米国特許４３４３９９３号
明細書等において周知であり、超高真空下での測定が行
われてきたが、最近では大気中、溶液中での測定も可能
となっている。
しかし、電気化学反応、例えば、電解析出゛過程、電極
の腐食過程、各種電極反応を電気化学測定と同時にトン
ネル電流を検出する方法は確立されておらず、不可能で
あった。
の腐食過程、各種電極反応を電気化学測定と同時にトン
ネル電流を検出する方法は確立されておらず、不可能で
あった。
更に、トンネル探針は、白金が主に使用されており、ト
ンネル探針自身のウィンドウが狭く、溶液中における電
極上に析出した物質の同定が困難であった。
ンネル探針自身のウィンドウが狭く、溶液中における電
極上に析出した物質の同定が困難であった。
上記課題を解決するために、本発明においては、試料の
電位を設定する手段と、試料と対極とに流れる電流を検
出する手段と、試料とトンネル探針との距離を移動する
手段と、トンネル探針の電位を設定する手段と、トンネ
ル探針と試料との電位差により流れるトンネル電流を検
出する手段とにより構成され、かつ、該トンネル探計が
、金、金を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭素化
合物で形成されている。
電位を設定する手段と、試料と対極とに流れる電流を検
出する手段と、試料とトンネル探針との距離を移動する
手段と、トンネル探針の電位を設定する手段と、トンネ
ル探針と試料との電位差により流れるトンネル電流を検
出する手段とにより構成され、かつ、該トンネル探計が
、金、金を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭素化
合物で形成されている。
このような構成とすることから、本発明により試料電位
を固定しトンネル電流の測定が可能となった。このこと
は、試料電位で行われている電極反応をトンネル電流の
変化で解析でき、トンネル電流が一定になるように、試
料表面を走査することで、試料表面の構造の変化として
解析が可能である０周知である溶液中での走査型トンネ
ル顕微鏡は、単に溶液中の試料表面を走査型トンネル顕
ｍ鏡で観測を行うものであり、本発明による試料電位制
御下でのトンネル電流の検出により電極反応の本質の解
明が可能となる。
を固定しトンネル電流の測定が可能となった。このこと
は、試料電位で行われている電極反応をトンネル電流の
変化で解析でき、トンネル電流が一定になるように、試
料表面を走査することで、試料表面の構造の変化として
解析が可能である０周知である溶液中での走査型トンネ
ル顕微鏡は、単に溶液中の試料表面を走査型トンネル顕
ｍ鏡で観測を行うものであり、本発明による試料電位制
御下でのトンネル電流の検出により電極反応の本質の解
明が可能となる。
次に試料電位を走査し、試料とチップとの電位差を一定
にした場合の作用を述べる０通常、試料の電位−電流曲
線（サイクリックボルタモダラム）より電極反応の過程
の解析が行われているが、本発明による方法および装置
を用いることにより、サイクリックポルタモグラムの各
電位におけるトンネル電流が測定され、さらに各電位に
おける試料表面の構造が得られ、電気化学反応を電極表
面構造と対応させて解析することが可能となる。
にした場合の作用を述べる０通常、試料の電位−電流曲
線（サイクリックボルタモダラム）より電極反応の過程
の解析が行われているが、本発明による方法および装置
を用いることにより、サイクリックポルタモグラムの各
電位におけるトンネル電流が測定され、さらに各電位に
おける試料表面の構造が得られ、電気化学反応を電極表
面構造と対応させて解析することが可能となる。
更に、金、金を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭
素化合物は、ウィンドウが１．０〜２．０■と広（、こ
のトンネル探針のウィンドウを広くできることは、溶液
中で行う電極上に析出する物質に対して、トンネル探針
の電位を変化させ、その時に流れるトンネル電流の変化
により、物質のエネルギー準位を決定して、物質の同定
を行う際に、トンネル探針の変化する電位域を広くする
ことができるものである。
素化合物は、ウィンドウが１．０〜２．０■と広（、こ
のトンネル探針のウィンドウを広くできることは、溶液
中で行う電極上に析出する物質に対して、トンネル探針
の電位を変化させ、その時に流れるトンネル電流の変化
により、物質のエネルギー準位を決定して、物質の同定
を行う際に、トンネル探針の変化する電位域を広くする
ことができるものである。
金による探針は、ウィンドウが広く本発明に適している
が、硬度、強度の向上を目的として、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｗを
微量添加した金を主成分とする金合金による探針も本発
明に使用できる。
が、硬度、強度の向上を目的として、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｗを
微量添加した金を主成分とする金合金による探針も本発
明に使用できる。
又、炭素および炭素化合物による探針としては、ワック
ス等を含浸させた高純度グラファイト、高温減圧下で炭
素水素を熱分解して生成した熱分析グラファイト、グラ
ファイト粉にエポキシ等のバインダを添加して形成する
カーボンペースト電極、炭素にｉｌｌの炭化ホウ素を添
加した炭素化合物等により探針が適している。
ス等を含浸させた高純度グラファイト、高温減圧下で炭
素水素を熱分解して生成した熱分析グラファイト、グラ
ファイト粉にエポキシ等のバインダを添加して形成する
カーボンペースト電極、炭素にｉｌｌの炭化ホウ素を添
加した炭素化合物等により探針が適している。
更に、本発明におけるトンネル探針は、探針先端部を除
き、ガラスコーティング等の絶縁膜を形成することが好
ましい。
き、ガラスコーティング等の絶縁膜を形成することが好
ましい。
以下に、本発明の実施例を図面に基づいて、説明する。
（実施例１）
第１図は、本発明の電気化学測定トンネル電流同時測定
装置のトンネル探針の断面図である。
装置のトンネル探針の断面図である。
０．３龍φの金線を用い、機械研磨にて先端部を鋭利に
加工し、導電性探針１を得る。
加工し、導電性探針１を得る。
次に、導電性探針１の先端部を除き、ガラスコーティン
グを施し、絶縁層２を形成し、トンネル探針３を得る。
グを施し、絶縁層２を形成し、トンネル探針３を得る。
このトンネル探針３を用い、ＩＭＨ！ ３０４溶液中で
の電流−電位曲線を測定し、結果を第２図に示す。
の電流−電位曲線を測定し、結果を第２図に示す。
第３図から、電気化学反応が生じない電位領域（ウィン
ドウ）カ、−０，１＋０．９Ｖと１．９ Ｖを達成して
いる。
ドウ）カ、−０，１＋０．９Ｖと１．９ Ｖを達成して
いる。
（実施例２）
導電性探針１の材料を、金合金（Ａｕ：ｂａｌ。
Ｐｄ：０．２５ｗｔ％＋Ｐｔ：０．２５ｗｔ％ｌＷ二０
．２５ｗｔ％）、高純度グラファイト （グラソシカー
ボン）、炭素に炭化ホウ素を３を一％添加した炭素化合
物で実施例１と同様にトンネル探針３を作製した。
．２５ｗｔ％）、高純度グラファイト （グラソシカー
ボン）、炭素に炭化ホウ素を３を一％添加した炭素化合
物で実施例１と同様にトンネル探針３を作製した。
このトンネル探針３を用い、実施例１と同様にウィンド
ウを測定した結果を第１表に示す。
ウを測定した結果を第１表に示す。
（比較例）
導電性探針１の材料を白金とし、実施例１と同様にトン
ネル探針３を作製し、０．５Ｍ Ｈｚ ３０４溶液中
での電流−電位曲線を測定し、結果を第３図に示す。
ネル探針３を作製し、０．５Ｍ Ｈｚ ３０４溶液中
での電流−電位曲線を測定し、結果を第３図に示す。
第３図から電気化学反応が生じないウィンドウは＋０．
３〜＋〇、６Ｖ（０，３Ｖ）と非常に狭い結果であった
。
３〜＋〇、６Ｖ（０，３Ｖ）と非常に狭い結果であった
。
第１表
第１表からトンネル探針を、金、金合金、炭素、炭素化
合物とすることにより、従来の白金に比較し、大幅に広
いウィンドウが達成されることが確認できた。
合物とすることにより、従来の白金に比較し、大幅に広
いウィンドウが達成されることが確認できた。
次に、実施例Ｉ〜２で作製したトンネル探針を用いた本
発明装置の動作を説明する。
発明装置の動作を説明する。
第４図は、本発明による電気化学測定トンネル電流同時
測定装置の概略図である。
測定装置の概略図である。
電気化学セル１４は、試料１１．参照電極１２．対極１
３、トンネル探針３が配置され、溶液１５で満たされて
いる。
３、トンネル探針３が配置され、溶液１５で満たされて
いる。
参照電極１２は、電気化学で一般的に用いられる参照電
極であり、ＳＣＥ、 ＩＩ−塩化銀電極が代表的である
。トンネル探針３は、実施例１．２で示すように金、金
合金、炭素、炭素化合物の探針材料を、機械研磨、段階
研磨により鋭利な先端部を形成し、先端部以外をガラス
コーティングの絶縁膜で被覆している。
極であり、ＳＣＥ、 ＩＩ−塩化銀電極が代表的である
。トンネル探針３は、実施例１．２で示すように金、金
合金、炭素、炭素化合物の探針材料を、機械研磨、段階
研磨により鋭利な先端部を形成し、先端部以外をガラス
コーティングの絶縁膜で被覆している。
又、電気化学セル１４は、振動等の外的要因によるトン
ネル探針３と試料１１との距離変動を防ぐため、除震台
１６上に設置される。
ネル探針３と試料１１との距離変動を防ぐため、除震台
１６上に設置される。
試料１１．参照電極１２．対極１３は、試料電位制御・
試料電流検出部１７に接続され、電源１８による電圧を
用い、試料１１の電位設定を行い、電気化学測定を行う
ことができ、この試料電位制御・試料電流検出部１７は
、試料電位・試料電流記録部１９に接続され、電位−電
流曲線等の電気化学測定を記録することができる。
試料電流検出部１７に接続され、電源１８による電圧を
用い、試料１１の電位設定を行い、電気化学測定を行う
ことができ、この試料電位制御・試料電流検出部１７は
、試料電位・試料電流記録部１９に接続され、電位−電
流曲線等の電気化学測定を記録することができる。
更に、トンネル探針３．試料１１．参照電極１２゜対極
１３はトンネル探針と試料との電位差制御・トンネル電
流検出部２０に接続され、電源２２による電圧を用い、
試料電位制御・試料電流検出部１７とも接続した回路で
、トンネル探針ｌＯと試料１１との電位差設定、トンネ
ル電流の検出を行い、トンネル探針と試料との電位差制
御・トンネル電流検出部２０は、トンネル電流・トンネ
ル探針と試料との電位差記録部２１に接続され記録する
。
１３はトンネル探針と試料との電位差制御・トンネル電
流検出部２０に接続され、電源２２による電圧を用い、
試料電位制御・試料電流検出部１７とも接続した回路で
、トンネル探針ｌＯと試料１１との電位差設定、トンネ
ル電流の検出を行い、トンネル探針と試料との電位差制
御・トンネル電流検出部２０は、トンネル電流・トンネ
ル探針と試料との電位差記録部２１に接続され記録する
。
又、トンネル探針３と試料１１との間をトンネル電流が
流れる距離に移動するための、粗動機Ｉ＃２３が設置さ
れている。
流れる距離に移動するための、粗動機Ｉ＃２３が設置さ
れている。
具体的には、トンネル探針３として、実施例１で作製し
た金によるトンネル探針、試料１１として、ＨＯＰＧ
（ハイオーダーバイオティックグラファイト）、溶液１
５として、過塩素酸銀、対極１３として、鎖線を用い、
サイクリックポルタモグラムと同期したＨＯＰＧ表面の
Ａｇの析出／溶融のＳＴＭ像が得られた。
た金によるトンネル探針、試料１１として、ＨＯＰＧ
（ハイオーダーバイオティックグラファイト）、溶液１
５として、過塩素酸銀、対極１３として、鎖線を用い、
サイクリックポルタモグラムと同期したＨＯＰＧ表面の
Ａｇの析出／溶融のＳＴＭ像が得られた。
更に、試料１１表面を走査型トンネル分光測定し、析出
物がＡｇであることを同定した。
物がＡｇであることを同定した。
以上説明したように、本発明によれば電気化学測定のト
ンネル電流とを同時に測定でき、電気化学反応を試料表
面構造と対応させて解析でき、更にトンネル探針のウィ
ンドウを従来探針に比べ大幅に広げられ、溶液中での試
料表面の析出物の同定をも可能とするものであり、表面
処理技術、半導体等の分野に重要な装置を提供するもの
である。
ンネル電流とを同時に測定でき、電気化学反応を試料表
面構造と対応させて解析でき、更にトンネル探針のウィ
ンドウを従来探針に比べ大幅に広げられ、溶液中での試
料表面の析出物の同定をも可能とするものであり、表面
処理技術、半導体等の分野に重要な装置を提供するもの
である。
第１図は本発明の電気化学測定トンネル電流同時測定装
置のトンネル探針の断面図、第２図はＩＭ Ｈｚ Ｓ
ｏｎ中におけるＡｕの電極の電流−電位曲線を示す図、
第３図は０．５Ｍ Ｈｚ Ｓｏｎ中におけるｐｔ電極
の電流−電位曲線を示す図、第４図は本発明による電気
化学測定トンネル電流同時測定装置の概略図である。 ｌ・・・導電性探針 ２・・・絶縁膜 ３・・・トンネル探針 以上 才９廻ａｆ４の電気イ乙学講り定トン表Ｌｔ；ｔＩ）７
μ牛須１１克襞ｌのトンフル右１けのｔケ面図 第１図 Ｅ（Ｖｕｓ、 ＮＨＥ） 第３ｗＪ 第 Ｅ（Ｖ ｖｓ、 ＮＨＥ） 図 不顎叩ドよろ貢ＪζＡ乙悸す覗・１定トン不１し亀丸同
しジ清は装置のＲ路面 ｆＪ ４ 図
置のトンネル探針の断面図、第２図はＩＭ Ｈｚ Ｓ
ｏｎ中におけるＡｕの電極の電流−電位曲線を示す図、
第３図は０．５Ｍ Ｈｚ Ｓｏｎ中におけるｐｔ電極
の電流−電位曲線を示す図、第４図は本発明による電気
化学測定トンネル電流同時測定装置の概略図である。 ｌ・・・導電性探針 ２・・・絶縁膜 ３・・・トンネル探針 以上 才９廻ａｆ４の電気イ乙学講り定トン表Ｌｔ；ｔＩ）７
μ牛須１１克襞ｌのトンフル右１けのｔケ面図 第１図 Ｅ（Ｖｕｓ、 ＮＨＥ） 第３ｗＪ 第 Ｅ（Ｖ ｖｓ、 ＮＨＥ） 図 不顎叩ドよろ貢ＪζＡ乙悸す覗・１定トン不１し亀丸同
しジ清は装置のＲ路面 ｆＪ ４ 図
Claims (2)
- （１）試料、対極、参照電極およびトンネル探針とを溶
液中に配置した電気化学セルにおいて、試料の電位を設
定する手段と、試料と対極とに流れる電流を検出する手
段と、試料とトンネル探針との距離を移動する手段と、
トンネル探針の電位を設定する手段と、トンネル探針と
試料との電位差により流れるトンネル電流を検出する手
段とにより構成され、かつ、該トンネル探針が、金、金
を主成分とする金合金、炭素、もしくは炭素化合物で形
成されていることを特徴とする電気化学測定トンネル電
流同時測定装置。 - （２）試料、対極、参照電極およびトンネル探針とを溶
液中に配置した電気化学セルを用い、電気化学測定ある
いはトンネル電流を測定する装置に用いる探針において
、 前記トンネル探針が、金、金を主成分とする金合金、炭
素もしくは炭素化合物で形成されていることを特徴とす
るトンネル探針。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1021550A JP2814256B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電気化学測定トンネル電流同時測定装置およびトンネル探針 |
| EP90300532A EP0381337B1 (en) | 1989-01-31 | 1990-01-18 | Apparatus and method for simultaneously effecting electro-chemical measurement and measurement of tunnelling current and tunnel probe therefor |
| DE69026124T DE69026124T2 (de) | 1989-01-31 | 1990-01-18 | Apparat und Methode zum gleichzeitigen Messen von elektrochemischen und Tunnel-Effekten und dazugehörige Tunnelsonde |
| CA002008941A CA2008941C (en) | 1989-01-31 | 1990-01-30 | Tunnel probe and apparatus for simultaneously measuring electrochemical reaction and a tunneling current |
| US07/472,747 US5120959A (en) | 1989-01-31 | 1990-01-31 | Apparatus for simultaneously effecting electrochemical measurement and measurement of tunneling current and tunnel probe therefor |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1021550A JP2814256B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電気化学測定トンネル電流同時測定装置およびトンネル探針 |
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|---|---|
| JPH02201252A true JPH02201252A (ja) | 1990-08-09 |
| JP2814256B2 JP2814256B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=12058105
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1021550A Expired - Lifetime JP2814256B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 電気化学測定トンネル電流同時測定装置およびトンネル探針 |
Country Status (5)
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|---|---|
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| EP (1) | EP0381337B1 (ja) |
| JP (1) | JP2814256B2 (ja) |
| CA (1) | CA2008941C (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2010243355A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Hitachi Ltd | プローブ顕微鏡及びそれを用いた測定方法 |
| JP2010276488A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Hitachi Ltd | プローブ顕微鏡 |
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| US5621210A (en) * | 1995-02-10 | 1997-04-15 | Molecular Imaging Corporation | Microscope for force and tunneling microscopy in liquids |
| WO1996028837A1 (en) * | 1995-03-10 | 1996-09-19 | Molecular Imaging Corporation | Hybrid control system for scanning probe microscopes |
| US5630932A (en) * | 1995-09-06 | 1997-05-20 | Molecular Imaging Corporation | Tip etching system and method for etching platinum-containing wire |
| US5874668A (en) * | 1995-10-24 | 1999-02-23 | Arch Development Corporation | Atomic force microscope for biological specimens |
| US5654546A (en) * | 1995-11-07 | 1997-08-05 | Molecular Imaging Corporation | Variable temperature scanning probe microscope based on a peltier device |
| US5821545A (en) * | 1995-11-07 | 1998-10-13 | Molecular Imaging Corporation | Heated stage for a scanning probe microscope |
| JP3016129B2 (ja) * | 1996-04-02 | 2000-03-06 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 微細加工方法 |
| SE0004334D0 (sv) * | 2000-11-24 | 2000-11-24 | Sahltech Ab | Electron spectroscopy |
| US20070023283A1 (en) * | 2003-01-30 | 2007-02-01 | Chun-Mu Huang | Method for manufacturing electrochemical sensor and structure thereof |
| CN111157769A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-15 | 广州大学 | 一种电致化学发光成像系统及其成像方法 |
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|---|---|---|---|---|
| US4868396A (en) | 1987-10-13 | 1989-09-19 | Arizona Board Of Regents, Arizona State University | Cell and substrate for electrochemical STM studies |
| JPH06105262B2 (ja) * | 1987-11-27 | 1994-12-21 | セイコー電子工業株式会社 | 電気化学測定およびトンネル電流同時測定方法および装置 |
| GB8818445D0 (en) * | 1988-08-03 | 1988-09-07 | Jones B L | Stm probe |
| JP6105262B2 (ja) | 2012-11-29 | 2017-03-29 | デンカ株式会社 | アルミニウム−ダイヤモンド系複合体放熱部品 |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1021550A patent/JP2814256B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-18 DE DE69026124T patent/DE69026124T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-01-18 EP EP90300532A patent/EP0381337B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-30 CA CA002008941A patent/CA2008941C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-01-31 US US07/472,747 patent/US5120959A/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JP2010243355A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Hitachi Ltd | プローブ顕微鏡及びそれを用いた測定方法 |
| JP2010276488A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Hitachi Ltd | プローブ顕微鏡 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0381337B1 (en) | 1996-03-27 |
| JP2814256B2 (ja) | 1998-10-22 |
| US5120959A (en) | 1992-06-09 |
| EP0381337A2 (en) | 1990-08-08 |
| EP0381337A3 (en) | 1991-02-27 |
| CA2008941C (en) | 1999-12-07 |
| DE69026124D1 (de) | 1996-05-02 |
| DE69026124T2 (de) | 1996-08-14 |
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